JP2804401B2 - カセット保管ケース - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置のカ
セットローダ部にカセットの移し替えと、ウエハの保管
を１つで行うことのできるカセット保管ケースに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来使用されていたウエハ保管ケ
ースを示す背面図であり、１は多数のウエハ２を収納し
たウエハカセット、３は保管ケース、４はそのふたであ
る。

【０００３】次に図５ａ〜ｅによってその動作について
説明する。ａはカセットケース３にウエハカセット１が
ウエハ２とともに収納された図を示す。こゝでウエハ２
の取り出しは、ｂに示すようにカセットケース３のふた
４をあけ、ｄに示す専用の治具５を用いてｃのようにし
てウエハ２をカセットケース３から取り出す。その後、
移し替え治具６を用いて半導体製造装置７のローダー部
にセットする。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のカセット保管ケ
ースは以上のように構成されているので、ウエハカセッ
ト１を取り出す時、カセット保管ケース３のふた４をウ
エハ２の上部で開けて取り出さなければならず、カセッ
トの取り出し、移し替えに、２種類の治具５,６を用い
ることが必要で、このため半導体製造装置７のカセット
ローダ部への移し替え時に、ウエハ表面にダストが付着
するという問題点があった。

【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ウエハ表面のダストの付着を防
止することにより半導体装置等の歩留りの向上を目的と
している。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るカセット
保管ケースは、カセット保管ケースのふたをその内部に
収納したウエハカセットの側面部に配置し、ウエハカセ
ットの移し替え時、該ふたをもち上げることで、ウエハ
カセットの係合部と係合してこれを保持するハンドル
を、カセット保管ケースのふたと一体に設けたものであ
る。

【０００７】

【作用】この発明におけるカセット保管ケースは、ハン
ドルとカセット保管ケースのふたを一体化し、側面に設
けることにより、カセット取り出し時にダストの付着が
防止され、歩留りを向上させる。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１ａにおいて、９は側面に後述のハンドル突起
13と係合する係合突起10を有するウエハカセット、11は
このウエハカセットの上部を覆いかつ一側面Ａが開放さ
れた保管ケース、12は上記側面部Ａを塞ぐ如く被せら
れ、かつ内側には上記ウエハカセット９の側面の係合突
起10と係合するハンドル突起13と、外側に把手14とを有
する保管ケースふたである。

【０００９】以上のようなものにおいて、ウエハカセッ
ト９を保管ケース11から取り出すときは、同図ｂのよう
にふた12を上方に持ち上げると、ウエハカセット９の係
合突起10とふた12の内側突起13とが互いに係合し、横方
向に引き出すことで、保管ケースのふた12とともにウエ
ハカセット９を取り出すことができる。この後、カセッ
トケース９を別の保持具に取り替えることなく、このま
ま、半導体製造装置のローダー側にセットすることがで
きるものとなる。

【００１０】なお図３は移し替えによるダスト付着量の
増加を示すグラフであり、横軸に半導体製造装置への移
し替えの回数、縦軸にダスト付着量をとり、実線が従来
のカセット保管ケースを使用した場合のダストの増加
量、点線が本発明の一実施例によるカセット保管ケース
を使用した場合のダストの増加量を示す。

【００１１】上記実施例では、側面にカセット保管ケー
スのふた12を設けたものを示したが、図２のように、カ
セット保管ケース９の一側面と上面を開放し、一方その
ふた12を上記開放部を覆う形状とすることによって、半
導体製造装置への移し替え時に、ウエハカセット９の上
部よりのダストの付着を防止することができる。

【００１２】さらに、上記実施例は、ウエハ２を垂直に
保管する形式のものであるが、水平に保管し、ハンドル
付保管ケースのふた12を上部にすることによって、ウエ
ハとウエハカセットとのこすれによる発塵を防止するこ
とができる。

【００１３】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、カセッ
ト保管ケースの側面にウエハカセットの係合部と係合す
るハンドル付のふたを設けるように構成したので、作業
能率が向上し、又、半導体製造装置に装着する時に生じ
るダストの付着を防止し、半導体装置のダストによる歩
留り低下を軽減できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例によるカセット保管ケー
スを示す側面図ａとその動作を示す図ｂである。

【図２】 この発明の他の実施例を示すカセット保管ケ
ースの側面図ａとその動作を示す図ｂである。

【図３】 ウエハカセットの移し替えによるダスト付着
量の増加を示すグラフである。

【図４】 従来のカセット保管ケースを示す背面図であ
る。

【図５】 従来のカセット保管ケースの動作を示す図で
ある。

【符号の説明】

９ ウエハカセット、10 係合突起、11 保管ケース、
12 保管ケースふた、13 ハンドル突起、14 把手。

フロントページの続き (72)発明者 山本 和彦 伊丹市瑞原４丁目１番地 菱電セミコン ダクタシステムエンジニアリング株式会 社内 (72)発明者 石尾 則明 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式 会社 エル・エス・アイ研究所内 (72)発明者 福本 隼明 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式 会社 エル・エス・アイ研究所内

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 開閉するふたを有する保管ケースの中
   に、多数のウエハを収納したウエハカセットを収納する
   ものにおいて、上記保管ケースのふたを、その内部に収
   納したウエハカセットの側面部に配置し、かつ該ふたの
   内側には、移し替え時、該ふたをもち上げることで、上
   記ウエハカセットの係合部と係合して該ウエハカセット
   を保持するハンドルを一体に設けたことを特徴とするカ
   セット保管ケース。