JPH05183045A - カセット保管ケース - Google Patents
カセット保管ケースInfo
- Publication number
- JPH05183045A JPH05183045A JP65692A JP65692A JPH05183045A JP H05183045 A JPH05183045 A JP H05183045A JP 65692 A JP65692 A JP 65692A JP 65692 A JP65692 A JP 65692A JP H05183045 A JPH05183045 A JP H05183045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- storage case
- wafer
- lid
- cassette storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハカセットの取り出し時や、半導体製造
装置への移し替え時のウエハ表面のダスト付着を防止す
る。 【構成】 カセット保管ケースふた12をウエハカセット
９の側面に配置するとともに、移し替え時に用いるハン
ドル13をふた12の内側に一体に設け、ウエハカセット９
の突起10とカセット保管ケースふた12のハンドル部13と
がふた12を開けるときに互いに係合して引き出せるよう
にしたものである。 【効果】 カセット保管ケースのふた12とハンドル13を
一体化することにより、装置へのウエハカセットのセッ
ト時に生じるダスト付着量の低減が可能となる。
装置への移し替え時のウエハ表面のダスト付着を防止す
る。 【構成】 カセット保管ケースふた12をウエハカセット
９の側面に配置するとともに、移し替え時に用いるハン
ドル13をふた12の内側に一体に設け、ウエハカセット９
の突起10とカセット保管ケースふた12のハンドル部13と
がふた12を開けるときに互いに係合して引き出せるよう
にしたものである。 【効果】 カセット保管ケースのふた12とハンドル13を
一体化することにより、装置へのウエハカセットのセッ
ト時に生じるダスト付着量の低減が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置のカ
セットローダ部にカセットの移し替えと、ウエハの保管
を１つで行うことのできるカセット保管ケースに関する
ものである。
セットローダ部にカセットの移し替えと、ウエハの保管
を１つで行うことのできるカセット保管ケースに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来使用されていたウエハ保管ケ
ースを示す背面図であり、１は多数のウエハ２を収納し
たウエハカセット、３は保管ケース、４はそのふたであ
る。
ースを示す背面図であり、１は多数のウエハ２を収納し
たウエハカセット、３は保管ケース、４はそのふたであ
る。
【０００３】次に図４ａ〜ｅによってその動作について
説明する。ａはカセットケース３にウエハカセット１が
ウエハ２とともに収納された図を示す。こゝでウエハ２
の取り出しは、ｂに示すようにカセットケース３のふた
４をあけ、ｄに示す専用の治具５を用いてｃのようにし
てウエハ２をカセットケース３から取り出す。その後、
移し替え治具６を用いて半導体製造装置７のローダー部
にセットする。
説明する。ａはカセットケース３にウエハカセット１が
ウエハ２とともに収納された図を示す。こゝでウエハ２
の取り出しは、ｂに示すようにカセットケース３のふた
４をあけ、ｄに示す専用の治具５を用いてｃのようにし
てウエハ２をカセットケース３から取り出す。その後、
移し替え治具６を用いて半導体製造装置７のローダー部
にセットする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のカセット保管ケ
ースは以上のように構成されているので、ウエハカセッ
ト１を取り出す時、カセット保管ケース３のふた４をウ
エハ２の上部で開けて取り出さなければならず、カセッ
トの取り出し、移し替えに、２種類の治具５,６を用い
ることが必要で、このため半導体製造装置７のカセット
ローダ部への移し替え時に、ウエハ表面にダストが付着
するという問題点があった。
ースは以上のように構成されているので、ウエハカセッ
ト１を取り出す時、カセット保管ケース３のふた４をウ
エハ２の上部で開けて取り出さなければならず、カセッ
トの取り出し、移し替えに、２種類の治具５,６を用い
ることが必要で、このため半導体製造装置７のカセット
ローダ部への移し替え時に、ウエハ表面にダストが付着
するという問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ウエハ表面のダストの付着を防
止することにより半導体装置等の歩留りの向上を目的と
している。
ためになされたもので、ウエハ表面のダストの付着を防
止することにより半導体装置等の歩留りの向上を目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るカセット
保管ケースは、カセット保管ケースのふたをその内部に
収納したウエハカセットの側面部に配置し、ウエハカセ
ットの移し替え時ウエハカセットを保持するハンドルを
カセット保管ケースのふたと一体化したものである。
保管ケースは、カセット保管ケースのふたをその内部に
収納したウエハカセットの側面部に配置し、ウエハカセ
ットの移し替え時ウエハカセットを保持するハンドルを
カセット保管ケースのふたと一体化したものである。
【０００７】
【作用】この発明におけるカセット保管ケースは、ハン
ドルとカセット保管ケースのふたを一体化し、側面に設
けることにより、カセット取り出し時にダストの付着が
防止され、歩留りを向上させる。
ドルとカセット保管ケースのふたを一体化し、側面に設
けることにより、カセット取り出し時にダストの付着が
防止され、歩留りを向上させる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１ａにおいて、９は側面に係合突起10を有する
ウエハカセット、11は一側面Ａが開放された保管ケー
ス、12は上記側面部Ａを塞ぐ如く被せられ、かつ内側に
上記ウエハカセット９の側面突起10と係合するハンドル
突起13と、外側に把手14とを有する保管ケースふたであ
る。
する。図１ａにおいて、９は側面に係合突起10を有する
ウエハカセット、11は一側面Ａが開放された保管ケー
ス、12は上記側面部Ａを塞ぐ如く被せられ、かつ内側に
上記ウエハカセット９の側面突起10と係合するハンドル
突起13と、外側に把手14とを有する保管ケースふたであ
る。
【０００９】以上のようなものにおいて、ウエハカセッ
ト９を保管ケース11から取り出すときは、同図ｂのよう
にふた12を上方に持ち上げると、ウエハカセット９の突
起10とふた12の内側突起13とが互いに係合し、横方向に
引き出すことで、保管ケースのふた12とともにウエハカ
セット９を取り出すことができる。この後、カセットケ
ース９を別の保持具に取り替えることなく、このまま、
半導体製造装置のローダー側にセットすることができる
ものとなる。
ト９を保管ケース11から取り出すときは、同図ｂのよう
にふた12を上方に持ち上げると、ウエハカセット９の突
起10とふた12の内側突起13とが互いに係合し、横方向に
引き出すことで、保管ケースのふた12とともにウエハカ
セット９を取り出すことができる。この後、カセットケ
ース９を別の保持具に取り替えることなく、このまま、
半導体製造装置のローダー側にセットすることができる
ものとなる。
【００１０】なお図３は移し替えによるダスト付着量の
増加を示すグラフであり、横軸に半導体製造装置への移
し替えの回数、縦軸にダスト付着量をとり、実線が従来
のカセット保管ケースを使用した場合のダストの増加
量、点線が本発明の一実施例によるカセット保管ケース
を使用した場合のダストの増加量を示す。
増加を示すグラフであり、横軸に半導体製造装置への移
し替えの回数、縦軸にダスト付着量をとり、実線が従来
のカセット保管ケースを使用した場合のダストの増加
量、点線が本発明の一実施例によるカセット保管ケース
を使用した場合のダストの増加量を示す。
【００１１】上記実施例では、側面にカセット保管ケー
スのふた12を設けたものを示したが、図２のように、カ
セット保管ケース９の一側面と上面を開放し、一方その
ふた12を上記開放部を覆う形状とすることによって、半
導体製造装置への移し替え時に、ウエハカセット９の上
部よりのダストの付着を防止することができる。
スのふた12を設けたものを示したが、図２のように、カ
セット保管ケース９の一側面と上面を開放し、一方その
ふた12を上記開放部を覆う形状とすることによって、半
導体製造装置への移し替え時に、ウエハカセット９の上
部よりのダストの付着を防止することができる。
【００１２】さらに、上記実施例は、ウエハ２を垂直に
保管する形式のものであるが、水平に保管し、ハンドル
付保管ケースのふた12を上部にすることによって、ウエ
ハとウエハカセットとのこすれによる発塵を防止するこ
とができる。
保管する形式のものであるが、水平に保管し、ハンドル
付保管ケースのふた12を上部にすることによって、ウエ
ハとウエハカセットとのこすれによる発塵を防止するこ
とができる。
【００１３】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、カセッ
ト保管ケースの側面にハンドル付のふたを設けるように
構成したので、作業能率が向上し、又、半導体製造装置
に装着する時に生じるダストの付着を防止し、半導体装
置のダストによる歩留り低下を軽減できる効果がある。
ト保管ケースの側面にハンドル付のふたを設けるように
構成したので、作業能率が向上し、又、半導体製造装置
に装着する時に生じるダストの付着を防止し、半導体装
置のダストによる歩留り低下を軽減できる効果がある。
【図１】この発明の一実施例によるカセット保管ケース
を示す側面図ａとその動作を示す図ｂである。
を示す側面図ａとその動作を示す図ｂである。
【図２】この発明の他の実施例を示すカセット保管ケー
スの側面図ａとその動作を示す図ｂである。
スの側面図ａとその動作を示す図ｂである。
【図３】ウエハカセットの移し替えによるダスト付着量
の増加を示すグラフである。
の増加を示すグラフである。
【図４】従来のカセット保管ケースを示す背面図であ
る。
る。
【図５】従来のカセット保管ケースの動作を示す図であ
る。
る。
９ ウエハカセット 10 突起 11 保管ケース 12 保管ケースふた 13 ハンドル突起 14 把手
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 和彦 伊丹市瑞原４丁目１番地 菱電セミコンダ クタシステムエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 石尾 則明 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式会 社エル・エス・アイ研究所内 (72)発明者 福本 隼明 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式会 社エル・エス・アイ研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 開閉するふたを有する保管ケースの中
に、多数のウエハを収納したウエハカセットを収納する
ものにおいて、上記保管ケースのふたを、その内部に収
納したウエハカセットの側面部に配置し、かつ該ふたの
内側には移し替え時上記ウエハカセットを保持するハン
ドルを一体に設けたことを特徴とするカセット保管ケー
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP65692A JP2804401B2 (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | カセット保管ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP65692A JP2804401B2 (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | カセット保管ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05183045A true JPH05183045A (ja) | 1993-07-23 |
| JP2804401B2 JP2804401B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=11479768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP65692A Expired - Lifetime JP2804401B2 (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | カセット保管ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804401B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101254721B1 (ko) * | 2011-03-30 | 2013-04-15 | 삼성전자주식회사 | 이에프이엠 버퍼 모듈 |
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
-
1992
- 1992-01-07 JP JP65692A patent/JP2804401B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101254721B1 (ko) * | 2011-03-30 | 2013-04-15 | 삼성전자주식회사 | 이에프이엠 버퍼 모듈 |
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2804401B2 (ja) | 1998-09-24 |
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