CN217146884U - 一种收纳晶圆的光罩盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种收纳晶圆的光罩盒，包括底盒和上盖，底盒由左侧板、后侧板、右侧板和底板一体构成，上盖的后端与后侧板铰接，上盖的前端铰接有前侧板，上述底板上设有多个同步支撑晶圆的承载件，该承载件上贴有硅胶垫片；上述上盖底面的两侧分别活动连接有轴杆，该轴杆的内、外端分别设置有按压部和连接部。本实用新型的光罩盒内设有同步支撑晶圆的承载件，承载件定位支撑晶圆，承载件上的硅胶垫片对晶圆具有缓冲作用，复位弹簧与轴杆配合，上盖盖好后，复位弹簧恢复形变促使按压部弹性下压固定晶圆，晶圆保护效果好，光罩盒外侧通过扣件的勾部勾住上盖锁紧，开合简单方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆收纳工具领域，特别是指一种收纳晶圆的光罩盒。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的制作过程中，经常需要使用光罩盒将晶圆在不同的处理设备之间转移，以进行不同的制作过程。目前，市面上光罩盒结构较为简单，光罩盒在运送过程中，晃动使放置于底盒内的晶圆无法处于稳定平衡的状态，常发生移动、碰撞或者摩擦，造成晶圆损坏，保护效果欠佳。
发明内容
本实用新型提供一种收纳晶圆的光罩盒，以克服现有光罩盒存在对晶圆保护效果不佳的问题。
本实用新型采用如下技术方案：
一种收纳晶圆的光罩盒，包括底盒和上盖，底盒由左侧板、后侧板、右侧板和底板一体构成，上盖的后端与后侧板铰接，上盖的前端铰接有前侧板，上述底板上设有多个同步支撑晶圆的承载件，该承载件上贴有硅胶垫片；上述上盖底面的两侧分别活动连接有轴杆，该轴杆的内、外端分别设置有按压部和连接部，按压部和连接部沿不同方向延伸，连接部与上盖底面之间装配有第一复位拉簧，连接部与前侧板之间装配有第二复位拉簧；上述左侧板和右侧板的外侧均设有安装槽，该安装槽的前后壁上铰接有扣件，该扣件设有拨开部和L字形的勾部，上盖顶面设有与勾部适配的凹槽。
进一步改进地，上述左侧板和上述右侧板均设有条形槽，上盖盖住时，上述第一复位拉簧和第二复位拉簧落入条形槽内。
进一步改进地，上述安装槽的后壁上设有呈半球形的凸部。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：本实用新型的光罩盒内设有同步支撑晶圆的承载件，承载件定位支撑晶圆，承载件上的硅胶垫片对晶圆具有缓冲作用，复位弹簧与轴杆配合，上盖盖好后，复位弹簧恢复形变促使按压部弹性下压固定晶圆，晶圆保护效果好，光罩盒外侧通过扣件的勾部勾住上盖锁紧，开合简单方便。
附图说明
图1为本实用新型的光罩盒的正视结构示意图。
图2为本实用新型的光罩盒翻开后的结构示意图。
图3为本实用新型的光罩盒的左视结构示意图。
图4为本实用新型的扣件的立体结构示意图。
图5为本实用新型的轴杆、按压部和连接部的结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。
参照图1至图5，一种收纳晶圆的光罩盒，包括底盒1和上盖15，底盒1和上盖15构成闭合容纳晶圆的容置腔10，底盒1由左侧板12、后侧板13、右侧板14和底板16一体构成，上盖15的后端与后侧板13铰接，上盖15的前端铰接有前侧板11，上述底板16上设有多个同步支撑晶圆的承载件101，优选底板16上设有四个承载件101，承载件101呈L字型，承载件101防止晶圆水平移动，该承载件101上贴有硅胶垫片102；上述上盖15底面的两侧分别活动连接有轴杆3，轴杆3可旋转安装在上盖15的底壁上，该轴杆3的内、外端分别设置有按压部32和连接部31，按压部32和连接部31沿不同方向延伸，连接部31与上盖15底面之间装配有第一复位拉簧33，第一复位拉簧33恢复形变促使轴杆3转动至按压部31下压晶圆，按压部31的外层为硅胶，连接部31与前侧板11之间装配有第二复位拉簧34，第二复位拉簧34恢复形变促使前侧板11合上；上述左侧板12和右侧板14的外侧均设有安装槽121，该安装槽121的前后壁上铰接有扣件2，优选扣件2为铁工件，该扣件2设有拨开部21和L字形的勾部22，上盖15顶面设有与勾部22适配的凹槽151。
参照图1至图5，上述左侧板12和上述右侧板14均设有条形槽120，上盖15盖住时，上述第一复位拉簧33和第二复位拉簧34落入条形槽120内。上述安装槽121的后壁上设有呈半球形的凸部122，拨开部21与安装槽120后壁之间的间距小于凸部122的厚度，凸部122用于阻碍上述拨开部21摆动，保证扣件3稳定锁住上盖15，优选凸部122为材质为金属，保证凸部122不易被拨开部21磨平。
本实用新型的光罩盒内设有同步支撑晶圆的承载件101，承载件101定位支撑晶圆，承载件101上的硅胶垫片102对晶圆具有缓冲作用，复位弹簧与轴杆3配合，上盖15盖好后，复位弹簧恢复形变促使按压部32弹性下压固定晶圆，晶圆保护效果好，光罩盒外侧通过扣件2的勾部22勾住上盖15锁紧，开合简单方便。
上述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。
Claims (3)
1.一种收纳晶圆的光罩盒，包括底盒和上盖，底盒由左侧板、后侧板、右侧板和底板一体构成，上盖的后端与后侧板铰接，上盖的前端铰接有前侧板，其特征在于：所述底板上设有多个同步支撑晶圆的承载件，该承载件上贴有硅胶垫片；所述上盖底面的两侧分别活动连接有轴杆，该轴杆的内、外端分别设置有按压部和连接部，按压部和连接部沿不同方向延伸，连接部与上盖底面之间装配有第一复位拉簧，连接部与前侧板之间装配有第二复位拉簧；所述左侧板和右侧板的外侧均设有安装槽，该安装槽的前后壁上铰接有扣件，该扣件设有拨开部和L字形的勾部，上盖顶面设有与勾部适配的凹槽。
2.如权利要求1所述的一种收纳晶圆的光罩盒，其特征在于：所述左侧板和所述右侧板均设有条形槽，上盖盖住时，所述第一复位拉簧和第二复位拉簧落入条形槽内。
3.如权利要求1所述的一种收纳晶圆的光罩盒，其特征在于：所述安装槽的后壁上设有呈半球形的凸部。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202221008013.XU CN217146884U (zh) | 2022-04-28 | 2022-04-28 | 一种收纳晶圆的光罩盒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221008013.XU CN217146884U (zh) | 2022-04-28 | 2022-04-28 | 一种收纳晶圆的光罩盒 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN217146884U true CN217146884U (zh) | 2022-08-09 |
Family
ID=82663752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202221008013.XU Active CN217146884U (zh) | 2022-04-28 | 2022-04-28 | 一种收纳晶圆的光罩盒 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN217146884U (zh) |
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2022
- 2022-04-28 CN CN202221008013.XU patent/CN217146884U/zh active Active
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