CN211767248U - 一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，包括盒体，所述盒体的顶端中心处设置有槽口，所述槽口的内部底端周侧设置有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑板，所述盒体的内部周侧设置有多个隔板，多个所述隔板的顶端固定设置有毛毡，所述盒体的一侧固定设置有铰链，所述盒体的另一侧固定设置有锁扣，所述铰链的另一端转动连接有密封门，所述密封门的另一端固定连接有锁扣，所述盒体的一侧的中心处固定连接有把手。本实用新型通过设置槽口，方便机械手臂可以直接进入取出晶圆，减少人力消耗，节省时间的消耗。本实用新型通过纯天然的毛毡，避免晶圆在运输过程产生静电，而对后续的加工造成影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆保护盒领域，尤其涉及一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒。
背景技术
现有的晶圆保护盒在搬运过程中较为简单，但是在卸货时和加工时，需要人工将晶圆逐个取出，非常的麻烦，并且有可能对晶圆造成更大的污染。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，包括盒体，所述盒体的顶端中心处设置有槽口，所述槽口的内部底端周侧设置有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑板，所述盒体的内部周侧设置有多个隔板，多个所述隔板的顶端固定设置有毛毡，所述盒体的一侧固定设置有铰链，所述盒体的另一侧固定设置有锁扣，所述铰链的另一端转动连接有密封门，所述密封门的另一端固定连接有锁扣，所述盒体的一侧的中心处固定连接有把手。
进一步地，所述隔板与盒体的连接处的形状为四分之三个整圆，所述隔板内部的形状为整圆两侧收窄后的形状，所述毛毡通过胶接固定连接在隔板的顶部表面。
进一步地，所述滑板的周侧固定设置有凸起，所述滑板通过凸起来与滑槽进行滑动连接。
进一步地，所述滑板的形状为半圆加一个矩形，所述槽口的形状与滑板的形状一致。
进一步地，所述把手通过螺钉固定连接在盒体的一侧中心处，所述把手的周侧设置有防滑纹。
进一步地，所述密封门的内部设置有与多个隔板的间隔高度一样数量一样的凸台，所述凸台的顶部表面设置有毛毡。
进一步地，所述毛毡的材质为天然棉。
本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型通过设置槽口，方便机械手臂可以直接进入取出晶圆，减少人力消耗，节省时间的消耗。
2、本实用新型通过纯天然的毛毡，避免晶圆在运输过程产生静电，而对后续的加工造成影响。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒的主剖视图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为本实用新型提出的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒的局部剖俯视图；
图4为本实用新型提出的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒的局部俯视图；
图5为本实用新型提出的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒的滑板和凸起示意图。
图例说明：
1、盒体；2、槽口；3、滑槽；4、滑板；5、凸起；6、毛毡；7、隔板；8、把手；9、铰链；10、密封门；11、锁扣。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
参照图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，包括盒体1，盒体1的顶端中心处设置有槽口2，机械手臂通过槽口2伸入和盒体1的内部进行晶圆的取用，槽口2的内部底端周侧设置有滑槽3，通过设置的滑槽3来方便的将滑板4取出，节省时间，滑槽3的内部滑动连接有滑板4，通过滑板4封住盒体1顶部的槽口2，防止灰尘进入，盒体1的内部周侧设置有多个隔板7，通过设置多个隔板7来装运多个晶圆，多个隔板7的顶端固定设置有毛毡6，通过设置毛毡6来防止晶圆摩擦时可能造成的静电，盒体1的一侧固定设置有铰链9，通过铰链9来安装密封门10，密封门10可以完全的打开，防止密封门10对机械手臂提取晶圆造成阻挠，盒体1的另一侧固定设置有锁扣11，用于锁紧密封门10，铰链9的另一端转动连接有密封门10，密封门10的另一端固定连接有锁扣11，盒体1的一侧的中心处固定连接有把手8，方便搬运。
隔板7与盒体1的连接处的形状为四分之三个整圆，方便存放晶圆，隔板7内部的形状为整圆两侧收窄后的形状，防止晶圆晃动掉落，毛毡6通过胶接固定连接在隔板7的顶部表面，增加稳定性。滑板4的周侧固定设置有凸起5，滑板4通过凸起5来与滑槽3进行滑动连接，凸起5滑动连接在滑槽3的内部，且滑槽3的形状与凸起5的形状一致。滑板4的形状为半圆加一个矩形，方便机械手臂的进入，槽口2的形状与滑板4的形状一致。把手8通过螺钉固定连接在盒体1的一侧中心处，把手8的周侧设置有防滑纹，增强易用性。密封门10的内部设置有与多个隔板7的间隔高度一样数量一样的凸台，凸台的顶部表面设置有毛毡6，用于固定晶圆，增加运输时的稳定性。毛毡6的材质为天然棉，防止摩擦生电。
工作原理：使用时，将晶圆放置在隔板7的毛毡6上面，放满之后，关上密封门10，在装运到指定地点之后，打开密封，并将顶部的滑板4抽出，此时，盒体1的顶部露出槽口2，机械手臂可通过槽口2伸入盒体1内部将晶圆吸附住，之后通过密封门10的位置转出，完成机械手臂对晶圆的提取。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (7)
1.一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，包括盒体（1），其特征在于：所述盒体（1）的顶端中心处设置有槽口（2），所述槽口（2）的内部底端周侧设置有滑槽（3），所述滑槽（3）的内部滑动连接有滑板（4），所述盒体（1）的内部周侧设置有多个隔板（7），多个所述隔板（7）的顶端固定设置有毛毡（6），所述盒体（1）的一侧固定设置有铰链（9），所述盒体（1）的另一侧固定设置有锁扣（11），所述铰链（9）的另一端转动连接有密封门（10），所述密封门（10）的另一端固定连接有锁扣（11），所述盒体（1）的一侧的中心处固定连接有把手（8）。
2.根据权利要求1所述的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，其特征在于：所述隔板（7）与盒体（1）的连接处的形状为四分之三个整圆，所述隔板（7）内部的形状为整圆两侧收窄后的形状，所述毛毡（6）通过胶接固定连接在隔板（7）的顶部表面。
3.根据权利要求1所述的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，其特征在于：所述滑板（4）的周侧固定设置有凸起（5），所述滑板（4）通过凸起（5）来与滑槽（3）进行滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，其特征在于：所述滑板（4）的形状为半圆加一个矩形，所述槽口（2）的形状与滑板（4）的形状一致。
5.根据权利要求1所述的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，其特征在于：所述把手（8）通过螺钉固定连接在盒体（1）的一侧中心处，所述把手（8）的周侧设置有防滑纹。
6.根据权利要求1所述的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，其特征在于：所述密封门（10）的内部设置有与多个隔板（7）的间隔高度一样数量一样的凸台，所述凸台的顶部表面设置有毛毡（6）。
7.根据权利要求1所述的一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒，其特征在于：所述毛毡（6）的材质为天然棉。
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