JP2804230B2 - 真空用フランジの締め付けクランプ - Google Patents
真空用フランジの締め付けクランプInfo
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- JP2804230B2 JP2804230B2 JP14804894A JP14804894A JP2804230B2 JP 2804230 B2 JP2804230 B2 JP 2804230B2 JP 14804894 A JP14804894 A JP 14804894A JP 14804894 A JP14804894 A JP 14804894A JP 2804230 B2 JP2804230 B2 JP 2804230B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空用フランジの締め
付けクランプに関し、特に、クランプ駒の数を増加さ
せ、より強いクランプ力と均一な締め付けを可能とする
ための新規な改良に関する。
付けクランプに関し、特に、クランプ駒の数を増加さ
せ、より強いクランプ力と均一な締め付けを可能とする
ための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空用フ
ランジの締め付けクランプとしては、一般に、図１１及
び図１２に示す実公平４−５８０７号公報に開示された
構成を挙げることができる。すなわち、図１１におい
て、符号１で示されるものは複数のクランプ駒２に接続
された連結板であり、この各連結板１の連結部１ａは、
各々軸支部３を介してクランプ駒２の両端に互いに重合
しない状態で独立して回動自在に接続されている。
ランジの締め付けクランプとしては、一般に、図１１及
び図１２に示す実公平４−５８０７号公報に開示された
構成を挙げることができる。すなわち、図１１におい
て、符号１で示されるものは複数のクランプ駒２に接続
された連結板であり、この各連結板１の連結部１ａは、
各々軸支部３を介してクランプ駒２の両端に互いに重合
しない状態で独立して回動自在に接続されている。
【０００３】前記各連結板１及びクランプ駒２は互いに
連結されて長手形状のチェーン４を形成すると共に、こ
の各クランプ駒２の内側にはテーパ状の凹部からなるテ
ーパ凹部２ａが形成されている。前記チェーン４の各端
部４ａ，４ｂには、チェーン用軸支部５を介してねじ付
クランプ駒６が回動自在に軸支されている。
連結されて長手形状のチェーン４を形成すると共に、こ
の各クランプ駒２の内側にはテーパ状の凹部からなるテ
ーパ凹部２ａが形成されている。前記チェーン４の各端
部４ａ，４ｂには、チェーン用軸支部５を介してねじ付
クランプ駒６が回動自在に軸支されている。
【０００４】前記各ねじ付クランプ駒６には、前記テー
パ凹部２ａと同様のテーパ形状をなすクランプ用テーパ
凹部６ａが設けられていると共に、各ねじ孔６ｂには、
ハンドル７を有するねじ棒８が螺入されており、このね
じ棒８を螺入することによって各ねじ付クランプ駒６同
志を接近させることにより、チェーン４で形成された輪
状の内径を締めるように構成されている。
パ凹部２ａと同様のテーパ形状をなすクランプ用テーパ
凹部６ａが設けられていると共に、各ねじ孔６ｂには、
ハンドル７を有するねじ棒８が螺入されており、このね
じ棒８を螺入することによって各ねじ付クランプ駒６同
志を接近させることにより、チェーン４で形成された輪
状の内径を締めるように構成されている。
【０００５】また、図１２で示す他の従来構成は、前記
連結板１及びクランプ駒２の数を増加させてチェーン４
の長さを長くし、輪状の内径を大径化して、より大径の
真空用フランジの締付けを行うことができるように構成
されている。なお、図１１と同一部分には同一符号を付
し、その説明は省略する。
連結板１及びクランプ駒２の数を増加させてチェーン４
の長さを長くし、輪状の内径を大径化して、より大径の
真空用フランジの締付けを行うことができるように構成
されている。なお、図１１と同一部分には同一符号を付
し、その説明は省略する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空用フランジ
の締め付けクランプは、以上のように構成されていたた
め、次のような課題が存在していた。すなわち、前述の
従来構成の場合、クランプ駒の回転を防止するため、ク
ランプ駒の両端に各連結板の連結部を互いに離間させて
独立した状態で軸支しているため、クランプ駒の数を多
くすることができず、真空フランジに対する作用点が４
〜５個所となり、個々においては過大な点荷重となり、
摩擦等により十分な信頼性を得ることが困難であった。
また、前述のように十分な信頼性が得られない場合、半
導体製造装置等においては真空室と真空ポンプとの距離
が階をまたがって設置されたり、真空室はクリーンルー
ムに設置し真空ポンプはクリーンルーム外の機械室に設
置する等、真空配管の距離が長くなる場合が増加してい
るため、このような場合、従来の真空フランジの締結ク
ランプでは締め付け力が不足し、リークが発生する危険
性があった。
の締め付けクランプは、以上のように構成されていたた
め、次のような課題が存在していた。すなわち、前述の
従来構成の場合、クランプ駒の回転を防止するため、ク
ランプ駒の両端に各連結板の連結部を互いに離間させて
独立した状態で軸支しているため、クランプ駒の数を多
くすることができず、真空フランジに対する作用点が４
〜５個所となり、個々においては過大な点荷重となり、
摩擦等により十分な信頼性を得ることが困難であった。
また、前述のように十分な信頼性が得られない場合、半
導体製造装置等においては真空室と真空ポンプとの距離
が階をまたがって設置されたり、真空室はクリーンルー
ムに設置し真空ポンプはクリーンルーム外の機械室に設
置する等、真空配管の距離が長くなる場合が増加してい
るため、このような場合、従来の真空フランジの締結ク
ランプでは締め付け力が不足し、リークが発生する危険
性があった。
【０００７】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、クランプ駒の数を増加さ
せ、より強いクランプ力と均一な締め付けを可能とした
真空用フランジの締め付けクランプを提供することを目
的とする。
めになされたもので、特に、クランプ駒の数を増加さ
せ、より強いクランプ力と均一な締め付けを可能とした
真空用フランジの締め付けクランプを提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による真空用フラ
ンジの締め付けクランプは、テーパ凹部を有する複数の
クランプ駒を複数の連結板で曲折自在に接続してチェー
ンを形成し、前記チェーンの両端に設けた１対のねじ付
クランプ駒をねじ棒で締結するようにした真空用フラン
ジの締め付けクランプにおいて、前記各連結板の各連結
部は互いに重合して各１個の前記クランプ駒に軸支さ
れ、前記各クランプ駒の前記テーパ凹部の縁部には突部
が形成されていると共に、前記突部が前記連結板と係合
するようにした構成である。
ンジの締め付けクランプは、テーパ凹部を有する複数の
クランプ駒を複数の連結板で曲折自在に接続してチェー
ンを形成し、前記チェーンの両端に設けた１対のねじ付
クランプ駒をねじ棒で締結するようにした真空用フラン
ジの締め付けクランプにおいて、前記各連結板の各連結
部は互いに重合して各１個の前記クランプ駒に軸支さ
れ、前記各クランプ駒の前記テーパ凹部の縁部には突部
が形成されていると共に、前記突部が前記連結板と係合
するようにした構成である。
【０００９】さらに詳細には、前記クランプ駒及び連結
板の数を変えることにより異なる長さの複数の前記チェ
ーンを形成すると共に、前記各チェーンの各クランプ駒
及び連結板の寸法は同一である構成である。
板の数を変えることにより異なる長さの複数の前記チェ
ーンを形成すると共に、前記各チェーンの各クランプ駒
及び連結板の寸法は同一である構成である。
【００１０】
【作用】本発明による真空用フランジの締め付けクラン
プにおいては、各連結板の連結部が互いに重合した状態
で１個のクランプ駒に軸支されているため、チェーンを
構成するクランプ駒の数を従来よりも多くすることがで
き、より均一に真空フランジを締付けることができる。
また、この各クランプ駒のテーパ凹部の縁部に突部が形
成されているため、この突部が連結板と係合することに
より、各クランプ駒の自由回転が防止されて各クランプ
駒のテーパ凹部が内側を向くように位置決めが達成され
る。また、連結板とクランプ駒の数を増加させることに
より、チェーンの長さを長くし、大径の真空フランジの
締付けが可能となり、この場合の各連結板及び各クラン
プ駒は同一寸法のものを使用することができる。
プにおいては、各連結板の連結部が互いに重合した状態
で１個のクランプ駒に軸支されているため、チェーンを
構成するクランプ駒の数を従来よりも多くすることがで
き、より均一に真空フランジを締付けることができる。
また、この各クランプ駒のテーパ凹部の縁部に突部が形
成されているため、この突部が連結板と係合することに
より、各クランプ駒の自由回転が防止されて各クランプ
駒のテーパ凹部が内側を向くように位置決めが達成され
る。また、連結板とクランプ駒の数を増加させることに
より、チェーンの長さを長くし、大径の真空フランジの
締付けが可能となり、この場合の各連結板及び各クラン
プ駒は同一寸法のものを使用することができる。
【００１１】
【実施例】以下、図面と共に本発明による真空用フラン
ジの締め付けクランプの好適な実施例について詳細に説
明する。なお、従来例と同一又は同等部分には、同一符
号を用いて説明する。図１において、符号１で示される
ものは、複数のクランプ駒２に接続された連結板であ
り、この各連結板１の連結部１ａは、共通の軸支部３を
介して互いに重合する状態で各１個のクランプ駒２に回
動自在に接続されている。
ジの締め付けクランプの好適な実施例について詳細に説
明する。なお、従来例と同一又は同等部分には、同一符
号を用いて説明する。図１において、符号１で示される
ものは、複数のクランプ駒２に接続された連結板であ
り、この各連結板１の連結部１ａは、共通の軸支部３を
介して互いに重合する状態で各１個のクランプ駒２に回
動自在に接続されている。
【００１２】前記各連結板１及びクランプ駒２は互いに
連結されて長手形状のチェーン４を形成すると共に、こ
の各クランプ駒２の内側にはテーパ状の凹部からなるテ
ーパ凹部２ａが形成されている。前記テーパ凹部２ａの
縁部２ａＡには、突部２ａＢが前記テーパ凹部２ａの幅
方向Ａに沿って形成されている。前記突部２ａＢは、前
記クランプ駒２の内側に位置し、かつ、前記各連結板１
と当接して係合することにより各クランプ駒２の回動防
止を行うように構成されている。
連結されて長手形状のチェーン４を形成すると共に、こ
の各クランプ駒２の内側にはテーパ状の凹部からなるテ
ーパ凹部２ａが形成されている。前記テーパ凹部２ａの
縁部２ａＡには、突部２ａＢが前記テーパ凹部２ａの幅
方向Ａに沿って形成されている。前記突部２ａＢは、前
記クランプ駒２の内側に位置し、かつ、前記各連結板１
と当接して係合することにより各クランプ駒２の回動防
止を行うように構成されている。
【００１３】前記チェーン４の各端部４ａ，４ｂには、
チェーン用軸支部５を介してねじ付クランプ駒６が回動
自在に軸支されている。前記各ねじ付クランプ駒６に
は、前記テーパ凹部２ａと同様のテーパ形状をなすクラ
ンプ用テーパ凹部６ａが設けられていると共に、各ねじ
孔６ｂには、ハンドル７を有するねじ棒８が螺入されて
おり、このねじ棒８を螺入することによって各ねじ付ク
ランプ駒６同志を接近させることにより、チェーン４で
形成された輪状の内径を締めるように構成されている。
チェーン用軸支部５を介してねじ付クランプ駒６が回動
自在に軸支されている。前記各ねじ付クランプ駒６に
は、前記テーパ凹部２ａと同様のテーパ形状をなすクラ
ンプ用テーパ凹部６ａが設けられていると共に、各ねじ
孔６ｂには、ハンドル７を有するねじ棒８が螺入されて
おり、このねじ棒８を螺入することによって各ねじ付ク
ランプ駒６同志を接近させることにより、チェーン４で
形成された輪状の内径を締めるように構成されている。
【００１４】次に、前述の構成において、ハンドル７を
回転させて、ねじ棒８を介して前記各ねじ付クランプ駒
６を接近させて締付けることにより、輪状に形成された
前記チェーン４の各クランプ駒２の各テーパ凹部２ａ内
に位置した真空用フランジ（図示せず）を締付けること
ができる。
回転させて、ねじ棒８を介して前記各ねじ付クランプ駒
６を接近させて締付けることにより、輪状に形成された
前記チェーン４の各クランプ駒２の各テーパ凹部２ａ内
に位置した真空用フランジ（図示せず）を締付けること
ができる。
【００１５】前述の締付けの場合、前記クランプ駒２の
数は、従来例の構成に比較すると増加しているため、真
空用フランジに対する締付けの作用点が従来よりも多点
状態となり、摩擦等の少ない安定した締付けを得ること
ができた。なお、前述の締付け量の測定は、図９及び図
１０で示すように、図９のフリー時と図１０の締付時に
おけるＯリング３０の潰れ量Ｓを測定することにより判
定したが、従来構成よりも本発明品の方が締付量が増大
し、安定した信頼性を確保することができた。
数は、従来例の構成に比較すると増加しているため、真
空用フランジに対する締付けの作用点が従来よりも多点
状態となり、摩擦等の少ない安定した締付けを得ること
ができた。なお、前述の締付け量の測定は、図９及び図
１０で示すように、図９のフリー時と図１０の締付時に
おけるＯリング３０の潰れ量Ｓを測定することにより判
定したが、従来構成よりも本発明品の方が締付量が増大
し、安定した信頼性を確保することができた。
【００１６】次に、図８で示す構成は、前述の図１から
図７で示した実施例の他の実施例を示すもので、前述の
実施例と異なる構成は、クランプ駒２の数を６個から７
個とし、連結板１の数を７個から８個として大径化した
ものであり、各クランプ駒２の寸法及び各連結板１の寸
法は全く同一としているため、図１及び図８に示す各連
結板１及びクランプ駒２の部品としては同一のものを用
いることができる。
図７で示した実施例の他の実施例を示すもので、前述の
実施例と異なる構成は、クランプ駒２の数を６個から７
個とし、連結板１の数を７個から８個として大径化した
ものであり、各クランプ駒２の寸法及び各連結板１の寸
法は全く同一としているため、図１及び図８に示す各連
結板１及びクランプ駒２の部品としては同一のものを用
いることができる。
【００１７】また、図８の構成では、図１に比較して連
結板１及びクランプ駒２の数を１個各々増設した場合に
ついては述べたが、この増設の数は１個に限ることなく
自在とすることができる。なお、図１と同一部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
結板１及びクランプ駒２の数を１個各々増設した場合に
ついては述べたが、この増設の数は１個に限ることなく
自在とすることができる。なお、図１と同一部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
【００１８】また、前述の実施例におけるクランプ駒２
の外形形状は、４角形に限ることなく、例えば、５角形
等の他の形状とすることもでき、さらに、前記突部２ａ
Ｂの形状も、リブ状に限ることなく、例えば、その両端
を突出させて、その中央位置に凹部を形成し、全体とし
て凹凸状として形成することもできる。
の外形形状は、４角形に限ることなく、例えば、５角形
等の他の形状とすることもでき、さらに、前記突部２ａ
Ｂの形状も、リブ状に限ることなく、例えば、その両端
を突出させて、その中央位置に凹部を形成し、全体とし
て凹凸状として形成することもできる。
【００１９】
【発明の効果】本発明による真空用フランジの締め付け
クランプは、以上のように構成されているため、次のよ
うな効果を得ることができる。すなわち、各１個のクラ
ンプ駒に各連結板の連結部を重合して軸支するように構
成しているため、同一径のクランプでも従来よりもクラ
ンプ駒の数を増設することができ、真空フランジの外周
を締付ける個所を増やすことにより従来よりも大きい安
定した締付け力を得ることができる。従って、従来、発
生していたようなリーク等を防止することができる。ま
た、クランプの径を小径化又は大径化する場合、従来は
その連結板の寸法を変えていたが、本発明では連結板及
びクランプ駒の寸法を同一とすることができ、径サイズ
を種々作製する場合の部品製造の手間を大幅に省力化す
ることができる。
クランプは、以上のように構成されているため、次のよ
うな効果を得ることができる。すなわち、各１個のクラ
ンプ駒に各連結板の連結部を重合して軸支するように構
成しているため、同一径のクランプでも従来よりもクラ
ンプ駒の数を増設することができ、真空フランジの外周
を締付ける個所を増やすことにより従来よりも大きい安
定した締付け力を得ることができる。従って、従来、発
生していたようなリーク等を防止することができる。ま
た、クランプの径を小径化又は大径化する場合、従来は
その連結板の寸法を変えていたが、本発明では連結板及
びクランプ駒の寸法を同一とすることができ、径サイズ
を種々作製する場合の部品製造の手間を大幅に省力化す
ることができる。
【図１】本発明による真空用フランジの締め付けクラン
プを示す正面図である。
プを示す正面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の下面図である。
【図４】図１の右側面図である。
【図５】図１の左側面図である。
【図６】図１の背面図である。
【図７】クランプ駒の断面図である。
【図８】図１の他の実施例を示す正面図である。
【図９】クランプ試験におけるフリー時を示す構成図で
ある。
ある。
【図１０】クランプ試験における締付時を示す構成図で
ある。
ある。
【図１１】従来の真空用フランジの締め付けクランプを
示す正面図である。
示す正面図である。
【図１２】図１１の他の従来例を示す正面図である。
１ 連結板 １ａ 連結部 ２ クランプ駒 ２ａ テーパ凹部 ２ａＡ 縁部 ２ａＢ 突部 ４ チェーン
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−120906（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−37553（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−118（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−98966（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−109152（ＪＰ，Ｕ) 実公 平４−5807（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16J 12/00 - 13/24 F16B 2/00,2/26
Claims (2)
- 【請求項１】 テーパ凹部(2a)を有する複数のクランプ
駒(2)を複数の連結板(1)で曲折自在に接続してチェーン
(4)を形成し、前記チェーン(4)の両端に設けた１対のね
じ付クランプ駒(2)をねじ棒(8)で締結するようにした真
空用フランジの締め付けクランプにおいて、前記各連結
板(1)の各連結部(1a)は互いに重合して各１個の前記ク
ランプ駒(2)に軸支され、前記各クランプ駒(2)の前記テ
ーパ凹部(2a)の縁部(2aA)には突部(2aB)が形成されてい
ると共に、前記突部(2aB)が前記連結板(1)と係合する構
成としたことを特徴とする真空用フランジの締め付けク
ランプ。 - 【請求項２】 前記クランプ駒(2)及び連結板(1)の数を
変えることにより異なる長さの複数の前記チェーン(4)
を形成すると共に、前記各チェーン(4)の各クランプ駒
(2)及び連結板(1)の寸法は同一である構成よりなること
を特徴とする請求項１記載の真空用フランジの締め付け
クランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14804894A JP2804230B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 真空用フランジの締め付けクランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14804894A JP2804230B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 真空用フランジの締め付けクランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814391A JPH0814391A (ja) | 1996-01-16 |
| JP2804230B2 true JP2804230B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=15443984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14804894A Expired - Fee Related JP2804230B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 真空用フランジの締め付けクランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804230B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4286974B2 (ja) * | 1999-06-21 | 2009-07-01 | 株式会社ミラプロ | 真空配管のフランジ用クランプ |
| GB2541980B (en) | 2015-09-02 | 2018-02-07 | Romax Tech Limited | Bearing compression strap |
| CN108105221A (zh) * | 2018-01-19 | 2018-06-01 | 北京罗斯德尔过滤器有限公司 | 快开式环形卡带 |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP14804894A patent/JP2804230B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814391A (ja) | 1996-01-16 |
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Legal Events
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