JP2800528B2 - CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の製造方法 - Google Patents
CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の製造方法Info
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、CdS/CdTe系太
陽電池用CdS膜の製造方法に関し、特に室内で使用さ
れるCdS/CdTe系太陽電池に用いるCdS膜の製
造方法に関する。
陽電池用CdS膜の製造方法に関し、特に室内で使用さ
れるCdS/CdTe系太陽電池に用いるCdS膜の製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】室内で使用されるCdS/CdTe系太
陽電池についてはNationalTechnical
Report vol32 No5(Oct.198
6)のP.667〜P.675あるいは特開平1−16
8073号公報などに記載されている。前述の文献など
に記載のCdS/CdTe系太陽電池の製造工程につい
て説明する。
陽電池についてはNationalTechnical
Report vol32 No5(Oct.198
6)のP.667〜P.675あるいは特開平1−16
8073号公報などに記載されている。前述の文献など
に記載のCdS/CdTe系太陽電池の製造工程につい
て説明する。
【0003】それによれば、次のような工程で製造され
る。 (1) CdS膜成膜工程 図1において、無アルカリガラス基板(以下ガラス基板
という)1上に、プロピレングリコール中に硫化カドミ
ウム粉,硫化亜鉛粉,塩化カドミウム粉を分散させてな
るペースト(以下CdSペーストという)を印刷し、得
られたペースト膜を乾燥した後、窒素ガス雰囲気中で焼
成して、CdS膜2を形成する。
る。 (1) CdS膜成膜工程 図1において、無アルカリガラス基板(以下ガラス基板
という)1上に、プロピレングリコール中に硫化カドミ
ウム粉,硫化亜鉛粉,塩化カドミウム粉を分散させてな
るペースト(以下CdSペーストという)を印刷し、得
られたペースト膜を乾燥した後、窒素ガス雰囲気中で焼
成して、CdS膜2を形成する。
【0004】(2) CdTe膜成膜工程 CdS膜2の上に、ジエチレングリコールモノフェニル
エーテル中に、カドミウム粉とテルル粉との粉砕反応粉
と塩化カドミウム粉を分散させてなるペースト(以下C
dTeペーストという)を印刷し、得られたペースト膜
を乾燥した後、窒素ガス雰囲気中で焼成して、CdTe
膜3を形成する。
エーテル中に、カドミウム粉とテルル粉との粉砕反応粉
と塩化カドミウム粉を分散させてなるペースト(以下C
dTeペーストという)を印刷し、得られたペースト膜
を乾燥した後、窒素ガス雰囲気中で焼成して、CdTe
膜3を形成する。
【0005】(3) Ag−In膜成膜工程 ガラス基板1上に熱硬化性樹脂中に銀粉とインジウム粉
とを分散させてなるペースト(以下Ag−Inペースト
という)を印刷し、乾燥硬化しAg−In膜4a,4b
を形成する。CdS膜2と重なるAg−In膜4aはC
dS膜2とのオーミックコンタクト電極として作用す
る。また、Ag−In膜4a,4bはともに、外部取出
し電極として作用する。
とを分散させてなるペースト(以下Ag−Inペースト
という)を印刷し、乾燥硬化しAg−In膜4a,4b
を形成する。CdS膜2と重なるAg−In膜4aはC
dS膜2とのオーミックコンタクト電極として作用す
る。また、Ag−In膜4a,4bはともに、外部取出
し電極として作用する。
【0006】(4) Cu膜成膜工程 CdTe膜3の上に熱硬化性樹脂中に銅粉とカーボンブ
ラック粉を分散させてなるペースト(以下Cuペースト
という)を印刷し、乾燥硬化しCu膜5を形成する。C
u膜5はCdTe膜3のオーミックコンタクト電極とし
て作用する。
ラック粉を分散させてなるペースト(以下Cuペースト
という)を印刷し、乾燥硬化しCu膜5を形成する。C
u膜5はCdTe膜3のオーミックコンタクト電極とし
て作用する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上のような工程で室
内で使用されるCdS/CdTe系太陽電池を種々作成
したところ、ガラス基板1の受光面側から見た外観が均
一なものと濃淡むらの発生したものができ、外観に著し
いばらつきが発生した。この問題について調査検討した
ところ、上記工程のうちのCdS膜成膜工程に起因して
外観のばらつきが発生するものと判明した。
内で使用されるCdS/CdTe系太陽電池を種々作成
したところ、ガラス基板1の受光面側から見た外観が均
一なものと濃淡むらの発生したものができ、外観に著し
いばらつきが発生した。この問題について調査検討した
ところ、上記工程のうちのCdS膜成膜工程に起因して
外観のばらつきが発生するものと判明した。
【0008】CdSペーストの印刷乾燥後の膜は、硫化
カドミウム粉,硫化亜鉛粉,硫化カドミウム粉が均一に
分散されており、690℃の窒素ガス雰囲気中で焼成す
ることにより、主成分の硫化カドミウム粉が硫化亜鉛粉
と塩化カドミウム粉の存在のもとに結晶成長していく。
この結晶成長のしかたによって、多孔性に富むCdS膜
が形成したり緻密なCdS膜が形成したりする。このよ
うな膜質の異なるCdS膜2の上に、CdTe膜3,A
g−In膜4a,4b、Cu5膜と順次成膜していく過
程においてCu膜5を成膜する際に、Cuペーストに含
まれる樹脂成分がCdTe膜3中へ、さらにCdS膜2
中へと浸透していき、多孔性に富むCdS膜の部分では
Cuペースト中の樹脂成分の浸透性が良く、緻密なCd
S膜の部分ではCuペースト中の樹脂成分の浸透性が悪
い。このため、多孔性に富むCdS膜の部分では均一な
外観になるのに対し、緻密なCdS膜の部分では局部的
に浸透性の良い部分と悪い部分が存在しこれが外観上の
濃淡むらになることがわかった。
カドミウム粉,硫化亜鉛粉,硫化カドミウム粉が均一に
分散されており、690℃の窒素ガス雰囲気中で焼成す
ることにより、主成分の硫化カドミウム粉が硫化亜鉛粉
と塩化カドミウム粉の存在のもとに結晶成長していく。
この結晶成長のしかたによって、多孔性に富むCdS膜
が形成したり緻密なCdS膜が形成したりする。このよ
うな膜質の異なるCdS膜2の上に、CdTe膜3,A
g−In膜4a,4b、Cu5膜と順次成膜していく過
程においてCu膜5を成膜する際に、Cuペーストに含
まれる樹脂成分がCdTe膜3中へ、さらにCdS膜2
中へと浸透していき、多孔性に富むCdS膜の部分では
Cuペースト中の樹脂成分の浸透性が良く、緻密なCd
S膜の部分ではCuペースト中の樹脂成分の浸透性が悪
い。このため、多孔性に富むCdS膜の部分では均一な
外観になるのに対し、緻密なCdS膜の部分では局部的
に浸透性の良い部分と悪い部分が存在しこれが外観上の
濃淡むらになることがわかった。
【0009】本発明は、上記の課題を解決するもので、
CdS膜を多孔性に富む膜質とすることにより均一な外
観の室内用のCdS/CdTe系太陽電池を提供するこ
とを目的とする。
CdS膜を多孔性に富む膜質とすることにより均一な外
観の室内用のCdS/CdTe系太陽電池を提供するこ
とを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のCdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の
製造方法は、プロピレングリコール中に硫化カドミウム
粉,硫化亜鉛粉,および塩化カドミウム粉を分散してな
るペーストを絶縁性ガラス基板上に印刷して形成したペ
ースト膜を乾燥した後、窒素ガス雰囲気で焼成してCd
S膜を得る際に、前記硫化亜鉛粉として、酸化亜鉛を硫
酸水溶液中に溶解させ、硫化水素ガスの吹き込みにより
置換反応で合成した硫化亜鉛の反応生成物を沈殿分離し
て得られる粉末で、前記粉末中の不純物として硫酸根を
1〜10%含有する硫化亜鉛粉末を用いるものである。
に、本発明のCdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の
製造方法は、プロピレングリコール中に硫化カドミウム
粉,硫化亜鉛粉,および塩化カドミウム粉を分散してな
るペーストを絶縁性ガラス基板上に印刷して形成したペ
ースト膜を乾燥した後、窒素ガス雰囲気で焼成してCd
S膜を得る際に、前記硫化亜鉛粉として、酸化亜鉛を硫
酸水溶液中に溶解させ、硫化水素ガスの吹き込みにより
置換反応で合成した硫化亜鉛の反応生成物を沈殿分離し
て得られる粉末で、前記粉末中の不純物として硫酸根を
1〜10%含有する硫化亜鉛粉末を用いるものである。
【0011】
【作用】上記した方法により、絶縁性ガラス基板上に形
成したCdSペーストの印刷乾燥後の膜を690℃の窒
素ガス雰囲気中で焼成する過程で、そのメカニズムは定
かでないが、硫化亜鉛粉中に含まれる硫酸根が硫化カド
ミウム粉の結晶成長を阻害することにより、多孔性に富
んだ膜質のCdS膜が得られるものと推測される。
成したCdSペーストの印刷乾燥後の膜を690℃の窒
素ガス雰囲気中で焼成する過程で、そのメカニズムは定
かでないが、硫化亜鉛粉中に含まれる硫酸根が硫化カド
ミウム粉の結晶成長を阻害することにより、多孔性に富
んだ膜質のCdS膜が得られるものと推測される。
【0012】
【実施例】以下、本発明の一実施例のCdS/CdTe
系太陽電池用CdS膜の製造方法について説明する。
系太陽電池用CdS膜の製造方法について説明する。
【0013】硫化亜鉛粉は、硫化亜鉛(純度5N)粉を
硫化水溶中に溶解した後、この溶液に硫化水素ガスを吹
き込み置換反応により合成した反応生成物の沈殿を分離
して得られた粉末で、反応生成物の沈殿を分離する際の
洗浄の程度により硫酸根の残存量の異なるものを作製し
た。硫酸根の残存量は、粉末を塩酸水溶液に溶解した
後、バリウムイオンを滴加して硫酸バリウムとして沈殿
させ、硫酸バリウム(BaSo4)の沈殿量から硫酸根
(So4 2)量として定量した。
硫化水溶中に溶解した後、この溶液に硫化水素ガスを吹
き込み置換反応により合成した反応生成物の沈殿を分離
して得られた粉末で、反応生成物の沈殿を分離する際の
洗浄の程度により硫酸根の残存量の異なるものを作製し
た。硫酸根の残存量は、粉末を塩酸水溶液に溶解した
後、バリウムイオンを滴加して硫酸バリウムとして沈殿
させ、硫酸バリウム(BaSo4)の沈殿量から硫酸根
(So4 2)量として定量した。
【0014】作成した硫化亜鉛粉を用いてCdSペース
トを作製した。プロピレングリコール50部、硫化カド
ミウム粉(三菱マテリアル製)100部、塩化カドミウ
ム粉(東京化精製)20部、硫化亜鉛粉7.5部で、ら
いかい式混練機で混練しCdSペーストとした。
トを作製した。プロピレングリコール50部、硫化カド
ミウム粉(三菱マテリアル製)100部、塩化カドミウ
ム粉(東京化精製)20部、硫化亜鉛粉7.5部で、ら
いかい式混練機で混練しCdSペーストとした。
【0015】上記の手順で作成したCdSペーストを図
1に示すように、絶縁性の無アルカリガラス(コーニン
グ社7059ガラス)基板1上に250メッシュのステ
ンレススクリーンによりスクリーン印刷し、印刷後ピー
ク温度200℃の遠赤外線加熱式ベルト炉を通過させて
乾燥を行なった。この後、ガラス基板1を温度690
℃、酸素濃度100ppm以下の窒素ガス雰囲気のマッ
フル式ベルト炉に投入通過させてCdS膜2を形成し
た。
1に示すように、絶縁性の無アルカリガラス(コーニン
グ社7059ガラス)基板1上に250メッシュのステ
ンレススクリーンによりスクリーン印刷し、印刷後ピー
ク温度200℃の遠赤外線加熱式ベルト炉を通過させて
乾燥を行なった。この後、ガラス基板1を温度690
℃、酸素濃度100ppm以下の窒素ガス雰囲気のマッ
フル式ベルト炉に投入通過させてCdS膜2を形成し
た。
【0016】次に、CdS膜2の上にCdTeペースト
を325メッシュのステンレススクリーンによりスクリ
ーン印刷し、得られた膜を乾燥したのち、温度580
℃、酸素濃度100ppm以下の窒素ガス雰囲気のマッ
フル式ベルト炉に投入通過させてCdTe膜3を形成し
た。
を325メッシュのステンレススクリーンによりスクリ
ーン印刷し、得られた膜を乾燥したのち、温度580
℃、酸素濃度100ppm以下の窒素ガス雰囲気のマッ
フル式ベルト炉に投入通過させてCdTe膜3を形成し
た。
【0017】次に、Ag−Inペーストをスクリーン印
刷し、乾燥硬化してAg−In膜4a,4bを形成し
た。
刷し、乾燥硬化してAg−In膜4a,4bを形成し
た。
【0018】最後に、CdTe膜3の上にフェノール樹
脂中に銅粉とカーボンブラック粉を分散させてなるCu
ペーストをスクリーン印刷し、乾燥硬化してCu膜5を
形成した。
脂中に銅粉とカーボンブラック粉を分散させてなるCu
ペーストをスクリーン印刷し、乾燥硬化してCu膜5を
形成した。
【0019】以上のようにしてA〜Eの5種類の硫化亜
鉛粉についてCdS/CdTe太陽電池を作成した時の
ガラス基板1の受光面側から見た外観を(表1)に示
す。
鉛粉についてCdS/CdTe太陽電池を作成した時の
ガラス基板1の受光面側から見た外観を(表1)に示
す。
【0020】
【表1】
【0021】硫化亜鉛粉Aによるものはガラス基板1全
体にわたって濃淡むらが発生した。硫化亜鉛粉D,Eに
よるものは濃淡むらのない良好な外観であった。硫化亜
鉛粉B,Cによるものは、硫化亜鉛粉D,Eによるもの
と較べるとやや劣り、太陽電池作成条件のばらつきによ
り部分的に濃淡むらが発生したものがあった。
体にわたって濃淡むらが発生した。硫化亜鉛粉D,Eに
よるものは濃淡むらのない良好な外観であった。硫化亜
鉛粉B,Cによるものは、硫化亜鉛粉D,Eによるもの
と較べるとやや劣り、太陽電池作成条件のばらつきによ
り部分的に濃淡むらが発生したものがあった。
【0022】また、CdS膜形成後のガラス基板1上の
CdS膜2の一部を走査型電子顕微鏡で観察した。硫化
亜鉛粉B〜EによるCdS膜はいずれも比較的多孔性に
富む膜質であったのに対し、硫化亜鉛粉AによるCdS
膜はあなの少ない緻密な膜質であった。
CdS膜2の一部を走査型電子顕微鏡で観察した。硫化
亜鉛粉B〜EによるCdS膜はいずれも比較的多孔性に
富む膜質であったのに対し、硫化亜鉛粉AによるCdS
膜はあなの少ない緻密な膜質であった。
【0023】また残存の硫酸根量が10%を越える硫化
亜鉛粉は合成が困難であった。なお、上述の実施例にお
けるCdSペースト作成時の配合量,印刷条件,ペース
ト膜の乾燥条件などはこれに限定されるものでない。
亜鉛粉は合成が困難であった。なお、上述の実施例にお
けるCdSペースト作成時の配合量,印刷条件,ペース
ト膜の乾燥条件などはこれに限定されるものでない。
【0024】
【発明の効果】以上の実施例の説明から明らかなよう
に、本発明のCdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の
製造方法によれば、プロピレングリコール中に硫化カド
ミウム粉,硫化亜鉛粉および塩化カドミウム粉を分散し
てなるペーストを絶縁性ガラス基板上に印刷して形成し
たペースト膜を乾燥した後、窒素ガス雰囲気で焼成して
CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜を得る際に、前
記硫化亜鉛粉として、酸化亜鉛を硫酸水溶液中に溶解さ
せ、硫化水素ガスの吹き込みにより置換反応で合成した
硫化亜鉛の反応生成物を沈殿分離して得られる粉末で、
前記粉末中不純物として硫酸根を1〜10%含有する粉
末を用いることにより、多孔性に富むCdS膜が得ら
れ、ガラス基板面の受光面側から見た外観が濃淡のむら
のない均一な外観のCdS/CdTe系太陽電池を提供
できる。
に、本発明のCdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の
製造方法によれば、プロピレングリコール中に硫化カド
ミウム粉,硫化亜鉛粉および塩化カドミウム粉を分散し
てなるペーストを絶縁性ガラス基板上に印刷して形成し
たペースト膜を乾燥した後、窒素ガス雰囲気で焼成して
CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜を得る際に、前
記硫化亜鉛粉として、酸化亜鉛を硫酸水溶液中に溶解さ
せ、硫化水素ガスの吹き込みにより置換反応で合成した
硫化亜鉛の反応生成物を沈殿分離して得られる粉末で、
前記粉末中不純物として硫酸根を1〜10%含有する粉
末を用いることにより、多孔性に富むCdS膜が得ら
れ、ガラス基板面の受光面側から見た外観が濃淡のむら
のない均一な外観のCdS/CdTe系太陽電池を提供
できる。
【図1】本発明の一実施例および従来のCdS/CdT
e系太陽電池用CdS膜の製造方法におけるCdS/C
dTe系太陽電池の断面図
e系太陽電池用CdS膜の製造方法におけるCdS/C
dTe系太陽電池の断面図
1 ガラス基板 2 CdS膜 3 CdTe膜 4a,4b Ag−In膜 5 Cu膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 室園 幹夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−39078(JP,A) 特開 昭63−213973(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 31/04
Claims (1)
- 【請求項1】 プロピレングリコール中に硫化カドミウ
ム粉,硫化亜鉛粉,および塩化カドミウム粉を分散して
なるペーストを絶縁性ガラス基板上に印刷して形成した
ペースト膜を、乾燥した後、窒素ガス雰囲気中で焼成し
てCdS膜を得る際に、前記硫化亜鉛粉として、硫化亜
鉛を硫酸水溶液中に溶解させ、硫化水素ガスの吹き込み
により置換反応で合成した硫化亜鉛の反応生成物を沈殿
分離して得られる粉末で、前記粉末中の不純物として硫
酸根を1〜10%含有する硫化亜鉛粉末を用いるCdS
/CdTe系太陽電池用CdS膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4039073A JP2800528B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4039073A JP2800528B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05235392A JPH05235392A (ja) | 1993-09-10 |
JP2800528B2 true JP2800528B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=12542949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4039073A Expired - Fee Related JP2800528B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | CdS/CdTe系太陽電池用CdS膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2800528B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009043817A2 (en) | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Saes Getters S.P.A. | Method for manufacturing photovoltaic panels by the use of a polymeric tri-layer comprising a composite getter system |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP4039073A patent/JP2800528B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009043817A2 (en) | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Saes Getters S.P.A. | Method for manufacturing photovoltaic panels by the use of a polymeric tri-layer comprising a composite getter system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05235392A (ja) | 1993-09-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |