JP2775529B2 - 太陽電池製造装置 - Google Patents
太陽電池製造装置Info
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- JP2775529B2 JP2775529B2 JP3059698A JP5969891A JP2775529B2 JP 2775529 B2 JP2775529 B2 JP 2775529B2 JP 3059698 A JP3059698 A JP 3059698A JP 5969891 A JP5969891 A JP 5969891A JP 2775529 B2 JP2775529 B2 JP 2775529B2
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- solar cell
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板上にアモルファス
膜を形成して太陽電池を製造する太陽電池製造装置に関
する。
膜を形成して太陽電池を製造する太陽電池製造装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】光エネルギを電気エネルギに変換する太
陽電池は、クリーンで無尽蔵のエネルギを得ることがで
きるものとして注目されており、特にアモルファスシリ
コンを主体としたアモルファス太陽電池は、大面積化が
容易で低コスト化が可能なこと、フレキシブル化できる
こと等の特徴を有しており、将来の電力用太陽電池とし
て非常に有望視されている。
陽電池は、クリーンで無尽蔵のエネルギを得ることがで
きるものとして注目されており、特にアモルファスシリ
コンを主体としたアモルファス太陽電池は、大面積化が
容易で低コスト化が可能なこと、フレキシブル化できる
こと等の特徴を有しており、将来の電力用太陽電池とし
て非常に有望視されている。
【０００３】このアモルファス太陽電池は、透光性絶縁
基板上に表面電極（透明電極），アモルファス膜及び裏
面電極を順次積層して構成され、現在、その製造には、
プラズマＣＶＤ法や光ＣＶＤ法等の種々の方法が試みら
れている。
基板上に表面電極（透明電極），アモルファス膜及び裏
面電極を順次積層して構成され、現在、その製造には、
プラズマＣＶＤ法や光ＣＶＤ法等の種々の方法が試みら
れている。
【０００４】ところで、アモルファス膜の成膜に際して
は、いずれも、真空に保持した反応室内に反応ガスを導
入し、電極間に供給した高周波電力等で反応ガスを分解
して基板上にアモルファス膜を堆積させる方法をとるた
め、成膜を長時間続けていくうちに電極にもアモルファ
ス膜が堆積してしまう。
は、いずれも、真空に保持した反応室内に反応ガスを導
入し、電極間に供給した高周波電力等で反応ガスを分解
して基板上にアモルファス膜を堆積させる方法をとるた
め、成膜を長時間続けていくうちに電極にもアモルファ
ス膜が堆積してしまう。
【０００５】特に、デポダウン方式の場合は、反応室内
の上側に電極，下側に基板をそれぞれ配設して上を向い
た基板の膜形成面上にアモルファス膜を堆積させるた
め、電極に堆積した膜が剥離すると、これが基板上に落
下し、基板上のアモルファス膜にピンホールをつくり、
太陽電池の表面電極と裏面電極とがショートして特性の
低下を招く結果となる。
の上側に電極，下側に基板をそれぞれ配設して上を向い
た基板の膜形成面上にアモルファス膜を堆積させるた
め、電極に堆積した膜が剥離すると、これが基板上に落
下し、基板上のアモルファス膜にピンホールをつくり、
太陽電池の表面電極と裏面電極とがショートして特性の
低下を招く結果となる。
【０００６】このため、電極に付着したアモルファス膜
のフレークやチップを除去する必要がある。
のフレークやチップを除去する必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のこの
種太陽電池製造装置にあっては、単一の反応室内に電極
を常設する構造であるため、電極に付着したフレークや
チップを除去するためにはこの反応室の真空を破って電
極を取り出さねばならず、反応室の真空を破ると、その
内壁面に窒素，酸素等の空気中の不純物が付着し、これ
がその後に形成するアモルファス膜中に取り込まれ、太
陽電池の特性を低下させる要因となる。
種太陽電池製造装置にあっては、単一の反応室内に電極
を常設する構造であるため、電極に付着したフレークや
チップを除去するためにはこの反応室の真空を破って電
極を取り出さねばならず、反応室の真空を破ると、その
内壁面に窒素，酸素等の空気中の不純物が付着し、これ
がその後に形成するアモルファス膜中に取り込まれ、太
陽電池の特性を低下させる要因となる。
【０００８】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に留意してなされたものであり、その目的とする
ところは、反応室に配置された電極を、反応室を開放す
ることなく真空に保ちながら、専用の治具等を用いるこ
となく、反応室から取り出してその後元に戻すことが可
能な太陽電池製造装置を提供することにある。
問題点に留意してなされたものであり、その目的とする
ところは、反応室に配置された電極を、反応室を開放す
ることなく真空に保ちながら、専用の治具等を用いるこ
となく、反応室から取り出してその後元に戻すことが可
能な太陽電池製造装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の太陽電池製造装置は、反応室内に、電極を
上側に，基板を下側にそれぞれ配置し、反応室内に反応
ガスを導入し、基板上にアモルファスシリコン膜を形成
して太陽電池を製造する太陽電池製造装置において、反
応室の上方に、連通口を介して該反応室と連通し、且つ
独自の排気口が形成された電極収納室を形成すると共
に、該電極収納室の上壁に前記連通口と対応する開口を
形成し、該開口を閉塞する蓋体に気密にかつ摺動自在に
貫通した反応ガス導入用パイプの下端に前記電極を一体
に設けると共に、前記電極の前記電極収納室への移動時
に前記両室間を気密に閉塞するシャッタを設ける。
に、本発明の太陽電池製造装置は、反応室内に、電極を
上側に，基板を下側にそれぞれ配置し、反応室内に反応
ガスを導入し、基板上にアモルファスシリコン膜を形成
して太陽電池を製造する太陽電池製造装置において、反
応室の上方に、連通口を介して該反応室と連通し、且つ
独自の排気口が形成された電極収納室を形成すると共
に、該電極収納室の上壁に前記連通口と対応する開口を
形成し、該開口を閉塞する蓋体に気密にかつ摺動自在に
貫通した反応ガス導入用パイプの下端に前記電極を一体
に設けると共に、前記電極の前記電極収納室への移動時
に前記両室間を気密に閉塞するシャッタを設ける。
【００１０】
【作用】前記した構成の本発明の太陽電池製造装置の場
合、反応ガス導入用パイプの下端に電極が一体に設けら
れていることから、反応ガス導入用パイプを上下させる
だけで、専用の治具等を用いることなく、電極を反応室
から電極収納室，その逆に自在に移動させることができ
る。 そして、反応室内の上側に配置された電極の反応室
からの取り出しは、反応ガス導入用パイプを上動し、電
極を上方へ移動して反応室から電極収納室へ移動した
後、シャッタにより両室間の連通口を気密に閉塞して両
室を分離し、その後、電極収納室のみを開放し、その開
口より電極を取り出して行われる。
合、反応ガス導入用パイプの下端に電極が一体に設けら
れていることから、反応ガス導入用パイプを上下させる
だけで、専用の治具等を用いることなく、電極を反応室
から電極収納室，その逆に自在に移動させることができ
る。 そして、反応室内の上側に配置された電極の反応室
からの取り出しは、反応ガス導入用パイプを上動し、電
極を上方へ移動して反応室から電極収納室へ移動した
後、シャッタにより両室間の連通口を気密に閉塞して両
室を分離し、その後、電極収納室のみを開放し、その開
口より電極を取り出して行われる。
【００１１】また、取り出して交換等が施された電極の
反応室内への再配置は、電極を電極収納室内に収納した
状態でその開口を蓋体により気密に閉塞して電極収納室
内をその排気口より真空排気し、その後、シャッタを開
放して前記連通口を開き、反応ガス導入用パイプを下動
し、電極を下方へ移動し、反応室内に戻して行われる。
したがって、反応室を真空に保ちながら、専用の治具等
を用いることなく、反応室に配置された電極を反応室か
ら取り出してその後元に戻すことができる。 このとき、
反応ガス導入用パイプの上下動により、その下端の電極
が上下方向に移動して反応室内から室外，その逆に移動
する構成であるため、電極がステンレス等の重い材料で
形成されていても、その重量によるパイプのたわみ等が
発生することもなく、取り出した電極が再現性良く、元
の位置に戻される。
反応室内への再配置は、電極を電極収納室内に収納した
状態でその開口を蓋体により気密に閉塞して電極収納室
内をその排気口より真空排気し、その後、シャッタを開
放して前記連通口を開き、反応ガス導入用パイプを下動
し、電極を下方へ移動し、反応室内に戻して行われる。
したがって、反応室を真空に保ちながら、専用の治具等
を用いることなく、反応室に配置された電極を反応室か
ら取り出してその後元に戻すことができる。 このとき、
反応ガス導入用パイプの上下動により、その下端の電極
が上下方向に移動して反応室内から室外，その逆に移動
する構成であるため、電極がステンレス等の重い材料で
形成されていても、その重量によるパイプのたわみ等が
発生することもなく、取り出した電極が再現性良く、元
の位置に戻される。
【００１２】
【実施例】実施例につき、図面を用いて説明する。図面
に示すものは、プラズマＣＶＤ法を用いた連続形成可能
なデポダウン方式の太陽電池製造装置であり、真空容器
１内の下部に反応室２，上部に電極収納室３がそれぞれ
形成され、両室２，３間を連通する連通口４がシャッタ
５により開閉自在かつ気密に閉塞されると共に、両室
２，３にそれぞれその内部を独自に真空排気する排気口
６，７が形成されている。
に示すものは、プラズマＣＶＤ法を用いた連続形成可能
なデポダウン方式の太陽電池製造装置であり、真空容器
１内の下部に反応室２，上部に電極収納室３がそれぞれ
形成され、両室２，３間を連通する連通口４がシャッタ
５により開閉自在かつ気密に閉塞されると共に、両室
２，３にそれぞれその内部を独自に真空排気する排気口
６，７が形成されている。
【００１３】このような真空容器１は、図３に示すよう
に、必要数だけ左右方向に隣接して並設され、それぞれ
の側壁に透設されたスリット状の基板案内口８を介して
各真空容器１のそれぞれの反応室２間が連通し、シャッ
タ９により隣合う反応室２間を気密に閉塞するようにな
っている。
に、必要数だけ左右方向に隣接して並設され、それぞれ
の側壁に透設されたスリット状の基板案内口８を介して
各真空容器１のそれぞれの反応室２間が連通し、シャッ
タ９により隣合う反応室２間を気密に閉塞するようにな
っている。
【００１４】各反応室２内の下側には、１対の搬送ロー
ラ１０間に巻装された左右方向の基板搬送ベルト１１が
配設され、基板１２をこの基板搬送ベルト１１上に配置
して各反応室２に順次基板１２を搬送できるようになっ
ており、成膜時には基板１２を反応室２の中央に位置さ
せて停止し、この基板１２の下方に基板加熱ヒータ１３
が配設されている。
ラ１０間に巻装された左右方向の基板搬送ベルト１１が
配設され、基板１２をこの基板搬送ベルト１１上に配置
して各反応室２に順次基板１２を搬送できるようになっ
ており、成膜時には基板１２を反応室２の中央に位置さ
せて停止し、この基板１２の下方に基板加熱ヒータ１３
が配設されている。
【００１５】一方、電極収納室３においては、その上壁
に連通口４に対応させて開口１４が形成され、これが蓋
体１５により開閉自在かつ気密に閉塞されており、この
蓋体１５に気密かつ摺動自在に貫通した反応ガス導入用
パイプ１６の下端に電極１７が一体に設けられ、パイプ
１６を介して電極１７が連通口４を通り両室２，３に上
下に移動自在とされている。
に連通口４に対応させて開口１４が形成され、これが蓋
体１５により開閉自在かつ気密に閉塞されており、この
蓋体１５に気密かつ摺動自在に貫通した反応ガス導入用
パイプ１６の下端に電極１７が一体に設けられ、パイプ
１６を介して電極１７が連通口４を通り両室２，３に上
下に移動自在とされている。
【００１６】この電極１７は、下面が開口された箱状の
カバー１８とこの下面開口に配置され多数の透孔を有す
る電極天板１９とにより構成され、パイプ１６より導入
された反応ガスはカバー１８内に供給され、電極天板１
９の透孔よりプラズマ中に吹き出すようになっており、
電極天板１９が例えば高周波電源に接続されている。
カバー１８とこの下面開口に配置され多数の透孔を有す
る電極天板１９とにより構成され、パイプ１６より導入
された反応ガスはカバー１８内に供給され、電極天板１
９の透孔よりプラズマ中に吹き出すようになっており、
電極天板１９が例えば高周波電源に接続されている。
【００１７】このような構成の太陽電池製造装置にあっ
ては、図１に示すように、電極１７を反応室２の上側に
配置した状態で成膜が行われ、パイプ１６を通して電極
１７から反応ガスを吹き出し、電極天板１９に高周波電
力を供給することにより反応ガスを分解し、搬送ベルト
１１上の基板１２にアモルファス膜を堆積する。
ては、図１に示すように、電極１７を反応室２の上側に
配置した状態で成膜が行われ、パイプ１６を通して電極
１７から反応ガスを吹き出し、電極天板１９に高周波電
力を供給することにより反応ガスを分解し、搬送ベルト
１１上の基板１２にアモルファス膜を堆積する。
【００１８】この成膜を長時間続けていくと、電極天板
１９に堆積した膜が剥離して基板１２上に落下し、ピン
ホールを発生する原因となるため、ピンホールが発生す
る前に電極天板１９の交換を行う。
１９に堆積した膜が剥離して基板１２上に落下し、ピン
ホールを発生する原因となるため、ピンホールが発生す
る前に電極天板１９の交換を行う。
【００１９】すなわち、パイプ１６を上動して電極１７
を反応室２から電極収納室３に移動し、シャッタ５によ
り連通口４を気密に閉塞して両室２，３を分離した後、
電極収納室３を常圧に戻して、図２に示すように、蓋体
１５を開け、開口１４より電極１７を取り出す。
を反応室２から電極収納室３に移動し、シャッタ５によ
り連通口４を気密に閉塞して両室２，３を分離した後、
電極収納室３を常圧に戻して、図２に示すように、蓋体
１５を開け、開口１４より電極１７を取り出す。
【００２０】電極天板１９の交換後は、前述とは反対
に、開口１４より電極収納室３内に電極１７を収納し、
蓋体１５を閉じて電極収納室３の気密を保持した状態で
排気口７より真空排気し、その後、シャッタ５を開いて
電極１７を反応室２内に移動して戻す。この場合、反応
室２を開放することなく真空に保ちながら、専用の治具
等を用いることなく電極１７を上下方向に移動し、電極
１７を反応室２から取り出してその後元に戻すことがで
きる。 しかも、パイプ１６の上下動により、その下端の
電極１７が上下方向に移動して反応室２内から室外，そ
の逆に移動する構成であるため、電極１７がステンレス
等の重い材料で形成されていても、その重量によるパイ
プ１６のたわみ等が発生することもなく、取り出した電
極１７を再現性良く、反応室２内の元の位置に戻して再
配置することができる。
に、開口１４より電極収納室３内に電極１７を収納し、
蓋体１５を閉じて電極収納室３の気密を保持した状態で
排気口７より真空排気し、その後、シャッタ５を開いて
電極１７を反応室２内に移動して戻す。この場合、反応
室２を開放することなく真空に保ちながら、専用の治具
等を用いることなく電極１７を上下方向に移動し、電極
１７を反応室２から取り出してその後元に戻すことがで
きる。 しかも、パイプ１６の上下動により、その下端の
電極１７が上下方向に移動して反応室２内から室外，そ
の逆に移動する構成であるため、電極１７がステンレス
等の重い材料で形成されていても、その重量によるパイ
プ１６のたわみ等が発生することもなく、取り出した電
極１７を再現性良く、反応室２内の元の位置に戻して再
配置することができる。
【００２１】この結果、電極１７の交換に際し、反応室
２の真空を破る必要がなくなるため、反応室２の壁面に
不純物が付着しなく、電極１７の交換後すぐに高品質な
膜を得ることが可能となり、したがって、常に高効率な
太陽電池を製造することができることになる。
２の真空を破る必要がなくなるため、反応室２の壁面に
不純物が付着しなく、電極１７の交換後すぐに高品質な
膜を得ることが可能となり、したがって、常に高効率な
太陽電池を製造することができることになる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、つぎに記載する効果を奏する。反応ガス導
入用パイプの下端に電極を一体に設けたため、反応ガス
導入用パイプを上下させるだけで、専用の移動用治具等
を用いることなく、電極を反応室から電極収納室，その
逆に自在に移動させることができる。 そして、反応室内
の上側に配置された電極の反応室からの取り出しは、反
応ガス導入用パイプを上動し、電極を上方へ移動して反
応室から電極収納室へ移動した後、シャッタにより両室
間の連通口を気密に閉塞し両室を分離し、その後、電極
収納室のみを開放し、その開口より電極を取り出して行
うことができ、取り出して交換等が施された電極の反応
室内への再配置は、電極を電極収納室内に収納した状態
でその開口を蓋体により気密に閉塞して電極収納室内を
独自の排気口より真空排気し、その後、シャッタを開放
して前記連通口を開き、反応ガス導入用パイプを下動
し、電極を下方へ移動し、反応室内に戻して行うことが
できる。 したがって、反応室を真空に保ちながら、専用
の治具等を用いることなく、反応室に配置された電極を
反応室から取り出してその後元に戻すことができる。 こ
のとき、反応ガス導入用パイプの上下動により、その下
端の電極が上下方向に移動して反応室内から室外その逆
に移動する構成であるため、電極がステンレス等の重い
材料で形成されていても、その重量によるパイプのたわ
み等が発生することもなく、取り出した電極が再現性良
く、元の位置に戻される利点もある。 そして、電極収納
室のみの真空を破って電極の交換等が行えるようにした
ので、反応室を空気にさらす必要がなくなり、短時間で
不純物の少ないアモルファス膜を形成することが可能と
なり、高効率に太陽電池を製造することができるもので
ある。
ているため、つぎに記載する効果を奏する。反応ガス導
入用パイプの下端に電極を一体に設けたため、反応ガス
導入用パイプを上下させるだけで、専用の移動用治具等
を用いることなく、電極を反応室から電極収納室，その
逆に自在に移動させることができる。 そして、反応室内
の上側に配置された電極の反応室からの取り出しは、反
応ガス導入用パイプを上動し、電極を上方へ移動して反
応室から電極収納室へ移動した後、シャッタにより両室
間の連通口を気密に閉塞し両室を分離し、その後、電極
収納室のみを開放し、その開口より電極を取り出して行
うことができ、取り出して交換等が施された電極の反応
室内への再配置は、電極を電極収納室内に収納した状態
でその開口を蓋体により気密に閉塞して電極収納室内を
独自の排気口より真空排気し、その後、シャッタを開放
して前記連通口を開き、反応ガス導入用パイプを下動
し、電極を下方へ移動し、反応室内に戻して行うことが
できる。 したがって、反応室を真空に保ちながら、専用
の治具等を用いることなく、反応室に配置された電極を
反応室から取り出してその後元に戻すことができる。 こ
のとき、反応ガス導入用パイプの上下動により、その下
端の電極が上下方向に移動して反応室内から室外その逆
に移動する構成であるため、電極がステンレス等の重い
材料で形成されていても、その重量によるパイプのたわ
み等が発生することもなく、取り出した電極が再現性良
く、元の位置に戻される利点もある。 そして、電極収納
室のみの真空を破って電極の交換等が行えるようにした
ので、反応室を空気にさらす必要がなくなり、短時間で
不純物の少ないアモルファス膜を形成することが可能と
なり、高効率に太陽電池を製造することができるもので
ある。
【図１】本発明による太陽電池製造装置の１実施例を示
す成膜時の切断側面図である。
す成膜時の切断側面図である。
【図２】図１の電極交換時の切断側面図である。
【図３】図１の切断正面図である。
２ 反応室 ３ 電極収納室 ５ シャッタ ７ 排気口 １２ 基板 １４ 開口 １５ 蓋体 １７ 電極 １９ 電極天板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西脇 秀則 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 大西 三千年 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三 洋電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−169919（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/205 H01L 31/04
Claims (1)
- 【請求項１】 反応室内に、電極を上側に，基板を下側
にそれぞれ配置し、前記反応室内に反応ガスを導入し、
前記基板上にアモルファス膜を形成して太陽電池を製造
する太陽電池製造装置において、 前記反応室の上方に、連通口を介して該反応室と連通
し、且つ独自の排気口が形成された電極収納室を形成す
ると共に、該電極収納室の上壁に前記連通口と対応する
開口を形成し、該開口を閉塞する蓋体に気密にかつ摺動
自在に貫通した反応ガス導入用パイプの下端に前記電極
を一体に設けると共に、前記電極の前記電極収納室への
移動時に前記両室間を気密に閉塞するシャッタを設けた
ことを特徴とする太陽電池製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3059698A JP2775529B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 太陽電池製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3059698A JP2775529B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 太陽電池製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04274318A JPH04274318A (ja) | 1992-09-30 |
| JP2775529B2 true JP2775529B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=13120690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3059698A Expired - Fee Related JP2775529B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 太陽電池製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775529B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01169919A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-05 | Hitachi Ltd | 成膜装置 |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3059698A patent/JP2775529B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04274318A (ja) | 1992-09-30 |
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