JP2759963B2 - リード曲り検出方法 - Google Patents

リード曲り検出方法

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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はICの外観検出方法、特にリードのピッチ方向
曲りの検出方法に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の検査方法は第３図のように透過形セン
サ部FS（紙面の上部を投光器，紙面の下部を受光器の構
成とする）にICのリードを定速でDIR方向に通過させ、
リードP1〜P1の無から有に切換る時間（Lr1,Lr2,…Lri
…）、及びリードP1〜P1の有から無に切換る時間（Lf1,
Lf2,…Lfi…）を求め、リード間隔（Lr2−Lf1），（Lr3
−Lf2）…（Lr(i+1)−Lfi）…を求めていた。又エリア
センサを使用し、リード部を撮影し、リード部にウィン
ドウを設け、ウィンドウ内のリードデータにより処理を
行っていた。STHは測定ラインを示す。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の透過センサ検査方法は、リードの一点
のみしか検出していないため、第３図のリードP4のよう
にリードの途中で曲っているものに対しては検出できな
いという欠点がある。
又エリアセンサ検査方法に対しては、検出精度向上の
ため、ウィンドウを大きく取る必要があり、これは検査
時間の増加につながるという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決したリード曲り検出方
法を提供することにある。
〔発明の従来技術に対する相違点〕
上述した従来の検査方法に対し、本発明はリアルタイ
ムなデータの採取及び処理、さらにリード全体の特徴を
つかんだ検出方法を実現させるという相違点を有する。
〔課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため、本発明に係るリード曲り検
出方法は、定速で移動する集積回路をラインセンサカメ
ラにより１ライン分のデータを撮像し、 １ライン分のデータを得た時点でデータの２値化及び
加算を行う。
〔実施例〕
次に本発明について図を参照して説明する。
（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。図に
おいて、本発明は定速で移動する集積回路パッケージ
（以下、ICという）をリードP1〜Piを含めて撮像するラ
インセンサカメラLSと、ラインセンサカメラLSからの１
ライン分の出力を２値化する２値化回路COMPと、ライン
センサカメラLSの出力１ライン分の特定エリアを制御す
る制御回路CTRLと、制御回路CTRLの信号により特定エリ
ア内のデータを加算する加算回路ADDと、その出力を記
憶する記憶回路MEMOと、各ラインの加算結果に対し、任
意に設定した値と比較を行い、リードを有無の判定する
判定回路JGより構成される。
実施例において、今、ラインセンサカメラLSの真下を
ICがDIR方向に定速で移動するものとする。そしてライ
ンセンサカメラLSがICを検出した時から一定時間間隔で
ICが通過し終るまで連続的にデータを取るものとする。
さらにラインセンサカメラLSの１ライン分のうちの特定
のエリアの開始点STAから最終点STPを設定し、このエリ
ア内の加算データを記憶回路MEMOに蓄える。
今、ICがDIRの方向に定速に移動し、移動し終ると、
記憶回路MEMOにはリードP1に対しH1のヒストグラム、リ
ードP2に対しH2のヒストグラム，…リードPiに対しHiの
ヒストグラムが得られる。この様子が第１図のリードPi
に対するヒストグラムHiであり、Hiの縦軸一定時間間隔
に対する横軸度数分布を示している。Pr1,〜Priはリー
ドの無から有の点、Pf1〜Pfiはリードの有から無の点を
それぞれ示し、HTHは任意の設定値を示す。
ここで、加算結果に対し任意の値HTHを設定し、この
値を境にリードの有無を決定する。ここではリード幅は
Pr1〜Pf1,Pr2〜Pf2,…Pri〜Pfiであり、リード間隔はP
f1〜Pr2,Pf2〜Pr3,…Pf3〜Pr(i+1)となる。
そこで、リード幅及びリード間隔をあらかじめ設定し
てある判定基準と比較を行うことにより良否判定を行
う。
（実施例２） 第２図は本発明の実施例２を示す原理図である。
実施例１ではICの片方のリードに対して説明したが、
ICパッケージの大きさ、ラインセンサカメラ１ライン辺
りのビット数、及び精度を考慮すると、両リードのデー
タを同時に検出可能な場合がある。そこで、本実施例は
この場合ラインセンサカメラLSの特定エリアSTA1〜STP1
及びSTA1〜STP2を２種類設け、ICの左右のリードを独立
に管理するようにしたものである。本実施例によれば、
ICの左右のリードを一度に検査できる利点がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、リアルタイムにデータ
収集が行えることによる検査時間の短縮を実現できると
ともに、個々のリードの特徴的なリードの曲りを判定で
き、品質の向上が期待できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す原理図、第３図は従来例を示す原理
図である。 LS……ラインセンサカメラ COMP……２値化回路 CTRL……制御回路、ADD……加算回路 MEMO……記憶回路、JG……判定回路 STA,STA1,STA2……特定エリアの開始点 STP,STP1,STP2……特定エリアの最終点 IC……集積回路パッケージ DIR……ICの移動方向 P1,P2,P3,P4,Pi……ICのリード H1,H2,H3,H4,Hi……ヒストグラム Pr1,Pr2,Pr3,Pr4,Pri……リードの無から有の点 Pf1,Pf2,Pf3,Pf4,Pfi……リードの有から無の点 HTH……任意の設定値

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】定速で移動する集積回路をラインセンサカ
    メラにより１ライン分のデータを撮像し、 １ライン分のデータを得た時点でデータの２値化及び加
    算を行うことを特徴とするリード曲り検出方法。
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