JP2757494B2 - 走査露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、走査露光装置に関し、更に詳細には、露光
ビームに対し変調用信号に基づき強度変調を行なう際
に、変調用信号パターンと露光パターンを近似させ得る
走査露光装置に関するものである。

［従来技術］ 従来、出力強度変調を行なう走査露光装置において
は、露光ビームの強度分布型状が線状でないために、出
力強度変調を行なう変調用信号のパターンと露光ビーム
による露光量のパターンを近似させるには、露光ビーム
の強度分布型状の影響を低減する必要があり、この手段
として、露光ビームの走査方向に対して短径となる超楕
円の露光ビームを用いたり、出力強度変調を行なうため
の変調用信号に対して、前もって露光ビームの強度分布
型状の影響を除去するために、変調信号発生手段を駆動
するためのクロック信号を高周波化し、変調信号発生手
段にて処理していた。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、超楕円型状をした露光ビームを用いる
ことは、走査露光装置の光学系の高精度化を要し、コス
ト高になる欠点があり、かつ露光ビームの強度分布の影
響を低減しきれない。また、変調用信号に対して前もっ
て露光ビームの強度分布の影響を除去する処理を施すこ
とは、変調信号発生手段の高精度化および高精度化に伴
い、変調信号発生手段を駆動するためのクロックを高周
波化する必要があり、変調信号発生手段を構成する半導
体素子の高速化が必要となり、実現の困難化およびコス
ト高となる欠点がある。

本発明は、上述した問題点を解決するためになされた
ものであり、露光の時間補正手段を使用することによ
り、変調用信号パターンと、露光ビームによる露光量の
パターンとを安価で且つ簡易な構成により近似させるこ
とのできる走査露光装置を提供することを目的としてい
る。

［課題を解決するための手段］ この目的を達成するために本発明の走査露光装置は、
ディジタル型式の変調用信号の時系列の隣接した信号の
値の大きさ及び差を検出する検出手段と変調用信号の時
間幅を調整する手段を備えている。

［作用］ 上記の構成を有する本発明の走査露光装置では、前記
検出手段により、ディジタル型式の変調用信号の時系列
の隣接した信号の値の大きさ及び差を検出し、上記結果
を基に露光時間補正手段によりディジタル型式の変調用
信号の時系列の各々の時間幅の調整を行なうことによ
り、変調用信号のパターンと露光ビームによる露光量の
パターンとを近似することができる。

［実施例］ 以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して
説明する。

第１図は、本発明の一実施例の回路構成図である。第
１図を参照して構成を説明する。クロック発生手段１
は、変調信号発生手段２を駆動するためのクロック信号
９を発生し出力する。変調信号発生手段２は、光源手段
６より出力される露光ビーム16に対して強度変調を施す
ためのディジタル系式の変調用信号10を発生し出力す
る。かつ変調用信号10の有効を示すストローブ信号11を
発生し出力する。検出手段３は、入力される変調用信号
10の時系列の隣接した信号の値の大きさ及び差に対応し
た補正量選択信号12を出力する。また、検出手段３は、
時系列の一単位時間つまりストローブ信号11の一周期分
遅らせた補正変調用信号12を出力する。時間補正手段４
は、ストローブ信号11を入力し、この信号を補正量選択
信号12により補正時間幅を選択し、補正ストローブ信号
14を出力する。変調駆動手段５は、補正変調用信号13と
補正ストローブ信号14とを入力し光源手段６の出力に強
度変調を施し、露光ビーム16を発生する。走査手段７
は、光源手段６より出力される露光ビーム16を感光材８
に対して走査露光を行なうように、走査ビーム17へ変換
する。

次に第１図と第２図を参照して本実施例の作用動作を
説明する。

変調信号発生手段２より出力される第２図（ａ）に示
す変調用信号10と第２図（ｂ）に示すストローブ信号11
を検出手段３へ入力する。検出手段３にて変調用信号10
を時系列の一単位時間つまりストローブ信号11の一周期
分を遅らせた第２図（ｃ）に示す補正変調用信号13を出
力し、変調駆動手段５へ入力させる。且つ、検出手段３
内部にて、変調用信号13の時系列の隣接した信号の値の
大きさ及び差より時間補正量を求め、補正量選択信号12
を時間補正手段４へ出力する。詳細には、上記補正量選
択信号12は、補正変調用信号13の値と検出手段３内部で
一時記憶されている時系列の一単位時間前の補正変調用
信号の値とを比較し、前者が大きい場合には、正の時間
値を出力し、後者が大きい場合には、負の時間値を出力
する。これらの時間値は、補正変調用信号13と一単位時
間前の補正変調用信号の値の差分と補正変調用信号13の
値の大きさとにより検出手段３内にある記憶装置から出
力される。時間補正手段４は、変調信号発生手段２より
出力されるストローブ信号11を入力され、かつ同じく入
力される上記補正量選択信号12に基づき時間補正手段４
内にある遅延線と遅延量切換器によりクロック発生手段
１より出力されるクロック信号９より短い周期にてスト
ローブ信号11の時間間隔の調整を行ない第２図（ｅ）で
示す補正ストローブ信号を出力する。

変調駆動手段５は、補正変調用信号13と補正ストロー
ブ信号14が入力され、光源手段６を強度変調駆動するた
めの駆動信号15を出力する。光源手段６より出力された
露光ビーム16が走査手段７により走査ビーム17へ変換さ
れ感光材８を露光する。この時の走査ビーム17が感光材
８へ露光する露光量は、第２図（ｆ）となる。本発明を
用いると第２図（ａ）に示す変調用信号パターンと第２
図（ｆ）に示す露光量パターンは、極めて近似してい
る。しかしながら、従来方式では、変調信号発生手段２
より出力される変調用信号10とストローブ信号11を直接
変調駆動手段５へ入力しているため、感光材８へ露光す
る露光量は第３図（ｉ）のようになり、第３図（ｇ）に
示す変調用信号パターンと異なった型状となる。

本発明は、以上詳述した実施例に限定されるものでな
く、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加
えることができる。

例えば、補正量選択信号12を出力する要因を補正変調
用信号13の値の大きさと差だけでなく、感光材８の特性
およびトナー特性を加味し補正時間値を検出手段３内に
ある記憶素子へ記憶させておくことも可能である。ま
た、補正用の時間値の選択が容易な場合は、検出手段３
内の記憶手段でなく演算回路への置き換えも可能であ
る。

［発明の効果］ 以上詳述したことから明らかなように、本発明によれ
ば、露光ビームに強度変調を施すために光源手段へ入力
させる変調用信号とストローブ信号とを時系列の隣接し
た変調用信号の値の大きさと差を検出する検出手段と、
変調用信号の時間幅を調整する時間補正手段とへ入力
し、露光ビームの強度分布型状の影響を低減させ、変調
用信号の値のパターンと露光量パターンを近似させるこ
とが可能となり、またコストを低く抑えることができる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図から第２図までは本発明を具体化した実施例を示
すもので、第１図は本発明の走査露光装置の実施例を示
す回路構成図であり、第２図は本発明の走査露光装置に
よる作用を示す説明図あり、第３図は従来の走査露光装
置による露光量の説明図である。 １…クロック発生手段、２…変調信号発生手段、３…検
出手段、４…時間補正手段、５…変調駆動手段、６…光
源手段、７…走査手段。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】露光ビームを発生する光源手段と、上記光
   源の出力を外部より入力されるディジタル型式の変調用
   信号により強度変調を行う変調駆動手段と、ディジタル
   型式の変調用信号を発生する変調信号発生手段と、変調
   信号発生手段を駆動するためのクロックを発生するクロ
   ック発生手段と、上記露光ビームを走査するための走査
   手段を備えた走査露光装置において、 上記変調駆動手段へ入力されるディジタル型式の変調用
   信号の時系列の隣接した信号の値の大きさおよび差を検
   出する検出手段と、上記検出手段より検出された結果に
   より変調用信号の時間幅を上記クロック発生手段より発
   生するクロックの周期より短かい時間幅で調整を行なう
   時間補正手段を備えることを特徴とする走査露光装置。