JP2749537B2 - 短波長用光磁気記録媒体 - Google Patents
短波長用光磁気記録媒体Info
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- JP2749537B2 JP2749537B2 JP7176364A JP17636495A JP2749537B2 JP 2749537 B2 JP2749537 B2 JP 2749537B2 JP 7176364 A JP7176364 A JP 7176364A JP 17636495 A JP17636495 A JP 17636495A JP 2749537 B2 JP2749537 B2 JP 2749537B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は短波長用光磁気記録
媒体に関するもので、詳しくは、ＤＣマグネトロンスパ
ッタリング（magnetron sputtering ）により短波長で
も既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜より磁気光学特性に優れて
いる２層膜構造の記録膜を形成させることにより、従来
のものに比べて諸特性が優れている短波長用光磁気記録
媒体に関するものである。
媒体に関するもので、詳しくは、ＤＣマグネトロンスパ
ッタリング（magnetron sputtering ）により短波長で
も既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜より磁気光学特性に優れて
いる２層膜構造の記録膜を形成させることにより、従来
のものに比べて諸特性が優れている短波長用光磁気記録
媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】短波長用光磁気記録媒体は、高密度，大
容量の情報を処理するための短波長領域での光磁気ディ
スクである。このような記録媒体はＰＣ又は２Ｐガラス
基板に記録膜を有する多層膜構造の薄膜を形成して垂直
磁気異方性を持たせるようにして、レーザービーム照射
時にキュリー点以上で磁化を反転させて情報を記録す
る。又、再生時には偏光された光が磁化された薄膜から
反射されて出る偏光面の回転角（カー（Kerr）回転角、
θｋ）を用いることによりＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理
及びディジタル−ＶＤＲ等に応用できる。
容量の情報を処理するための短波長領域での光磁気ディ
スクである。このような記録媒体はＰＣ又は２Ｐガラス
基板に記録膜を有する多層膜構造の薄膜を形成して垂直
磁気異方性を持たせるようにして、レーザービーム照射
時にキュリー点以上で磁化を反転させて情報を記録す
る。又、再生時には偏光された光が磁化された薄膜から
反射されて出る偏光面の回転角（カー（Kerr）回転角、
θｋ）を用いることによりＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理
及びディジタル−ＶＤＲ等に応用できる。
【０００３】１世代光磁気ディスクは１２８ＭＢ、６５
０ＭＢの記録容量で、３．５インチは個人用コンピュー
ターに応用、５．２５インチは光記録（filing）システ
ムに導入使用している。又、前記光磁気ディスクはレー
ザー波長８３０ｎｍで記録膜としてＴｂＦｅＣｏを用い
るため、垂直磁化がよくなり磁気光学効果が高い（カー
回転角が高い）再生特性Ｃ／Ｎ（Carrier to Noise）
比４５ｄＢ以上の光磁気ディスクが実用化されている。
０ＭＢの記録容量で、３．５インチは個人用コンピュー
ターに応用、５．２５インチは光記録（filing）システ
ムに導入使用している。又、前記光磁気ディスクはレー
ザー波長８３０ｎｍで記録膜としてＴｂＦｅＣｏを用い
るため、垂直磁化がよくなり磁気光学効果が高い（カー
回転角が高い）再生特性Ｃ／Ｎ（Carrier to Noise）
比４５ｄＢ以上の光磁気ディスクが実用化されている。
【０００４】一方、高密度，大容量の情報物量を消化す
るためには、短波長領域で高密度化がなって６ＧＢ以上
のＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理用光磁気ディスクの開発
と超大容量コンピューター周辺機器である光記録システ
ム、ディジタル−ＶＤＲ等に応用される短波長用高密度
光磁気ディスクの開発が要求されている。
るためには、短波長領域で高密度化がなって６ＧＢ以上
のＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理用光磁気ディスクの開発
と超大容量コンピューター周辺機器である光記録システ
ム、ディジタル−ＶＤＲ等に応用される短波長用高密度
光磁気ディスクの開発が要求されている。
【０００５】図１１は従来の短波長用光磁気記録媒体の
概略断面図である。前記記録媒体は基板１上に誘電体膜
２が形成され、その上にＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜３
が形成され、さらにその上に保護膜４及び反射膜５が順
次積層された構造を有する。
概略断面図である。前記記録媒体は基板１上に誘電体膜
２が形成され、その上にＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜３
が形成され、さらにその上に保護膜４及び反射膜５が順
次積層された構造を有する。
【０００６】このような構造の短波長用光磁気記録媒体
はＴｂＦｅＣｏ成分の稀土類−遷移金属材質の１層記録
膜構造を有する。このような構造はレーザー波長８３０
ｎｍでは、記録時に垂直磁化及び記録がよくなり、再生
時にカー回転角の値も高くて再生がよくなる特性を保有
する。
はＴｂＦｅＣｏ成分の稀土類−遷移金属材質の１層記録
膜構造を有する。このような構造はレーザー波長８３０
ｎｍでは、記録時に垂直磁化及び記録がよくなり、再生
時にカー回転角の値も高くて再生がよくなる特性を保有
する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＴｂＦｅＣｏ成分よりなる１層記録膜を短波長領域（５
３２ｎｍ以下）で使用する場合には、８３０ｎｍで使用
する場合よりもカー回転角が６０％程度減少して、動特
性評価時に４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再
生が難しい問題点があった。
ＴｂＦｅＣｏ成分よりなる１層記録膜を短波長領域（５
３２ｎｍ以下）で使用する場合には、８３０ｎｍで使用
する場合よりもカー回転角が６０％程度減少して、動特
性評価時に４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再
生が難しい問題点があった。
【０００８】
【発明の目的】従って、本発明の目的は、前記問題点を
解決するだけでなく、短波長領域でも諸特性に優れてい
る短波長用光磁気記録媒体を提供することにある。
解決するだけでなく、短波長領域でも諸特性に優れてい
る短波長用光磁気記録媒体を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の短波長用光磁気記録媒体は、請求項１に記載
しているように、基板上に誘電体膜が形成され、その上
に保護膜及び反射膜が順次形成されている短波長用光磁
気記録媒体において、前記誘電体膜と保護膜との間に、
Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる再生膜
とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成され、前
記再生膜のＮｄ ｘ （ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ｘ のＮ
ｄ含量であるｘが５ａｔｍ．％〜３０ａｔｍ．％である
ことを特徴としている。
の本発明の短波長用光磁気記録媒体は、請求項１に記載
しているように、基板上に誘電体膜が形成され、その上
に保護膜及び反射膜が順次形成されている短波長用光磁
気記録媒体において、前記誘電体膜と保護膜との間に、
Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる再生膜
とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成され、前
記再生膜のＮｄ ｘ （ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ｘ のＮ
ｄ含量であるｘが５ａｔｍ．％〜３０ａｔｍ．％である
ことを特徴としている。
【００１０】また、請求項２に記載しているように、基
板上に誘電体膜が形成され、その上に保護膜及び反射膜
が順次形成されている短波長用光磁気記録媒体におい
て、前記誘電体膜と保護膜との間に、Ｎｄ ｘ （ＴｂＦｅ
ＣｏＣｒ） １００−ｘ よりなる再生膜とＴｂＦｅＣｏＣ
ｒよりなる記録膜が順次形成され、前記再生膜のＮｄ ｘ
（ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ｘ のＮｄ含量であるｘが
１０ａｔｍ．％〜２０ａｔｍ．％であることを特徴とし
ている。
板上に誘電体膜が形成され、その上に保護膜及び反射膜
が順次形成されている短波長用光磁気記録媒体におい
て、前記誘電体膜と保護膜との間に、Ｎｄ ｘ （ＴｂＦｅ
ＣｏＣｒ） １００−ｘ よりなる再生膜とＴｂＦｅＣｏＣ
ｒよりなる記録膜が順次形成され、前記再生膜のＮｄ ｘ
（ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ｘ のＮｄ含量であるｘが
１０ａｔｍ．％〜２０ａｔｍ．％であることを特徴とし
ている。
【００１１】さらに、請求項３に記載しているように、
基板上に誘電体膜が形成され、その上に保護膜及び反射
膜が順次形成されている短波長用光磁気記録媒体におい
て、前記誘電体膜と保護膜との間に、Ｎｄ ａ Ｇｄ ｂ （Ｔ
ｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ａ−ｂ よりなる再生膜とＴｂ
ＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成され、前記再生
膜のＮｄ ａ Ｇｄ ｂ （ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ａ−ｂ
のＮｄ及びＧｄの各々の含量はａが０ａｔｍ．％より大
きく２５ａｔｍ．％以下であり、ｂが０ａｔｍ．％より
大きく１５ａｔｍ．％以下であり、その総含量が５ａｔ
ｍ．％〜３０ａｔｍ．％であることを特徴としている。
基板上に誘電体膜が形成され、その上に保護膜及び反射
膜が順次形成されている短波長用光磁気記録媒体におい
て、前記誘電体膜と保護膜との間に、Ｎｄ ａ Ｇｄ ｂ （Ｔ
ｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ａ−ｂ よりなる再生膜とＴｂ
ＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成され、前記再生
膜のＮｄ ａ Ｇｄ ｂ （ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ａ−ｂ
のＮｄ及びＧｄの各々の含量はａが０ａｔｍ．％より大
きく２５ａｔｍ．％以下であり、ｂが０ａｔｍ．％より
大きく１５ａｔｍ．％以下であり、その総含量が５ａｔ
ｍ．％〜３０ａｔｍ．％であることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】既存の光磁気記録媒体は、前述し
たように、レーザー波長８３０ｎｍでは垂直磁化及び記
録がよくなり、再生時のカー回転角も大きくて再生がよ
くなる特性を保有する。反面、短波長領域（５３２ｎｍ
以下）で使用する場合には８３０ｎｍで使用する場合よ
りもカー回転角が６０％程度減少して、動特性評価時に
４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再生が難しい
問題点がある。
たように、レーザー波長８３０ｎｍでは垂直磁化及び記
録がよくなり、再生時のカー回転角も大きくて再生がよ
くなる特性を保有する。反面、短波長領域（５３２ｎｍ
以下）で使用する場合には８３０ｎｍで使用する場合よ
りもカー回転角が６０％程度減少して、動特性評価時に
４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再生が難しい
問題点がある。
【００１３】本発明者はこのような問題点を解決するた
めに研究を重ねた結果、従来の基板上に誘電体膜が形成
され、その上に保護膜及び反射膜が順次形成されている
短波長用光磁気媒体において、前記誘電体膜と保護膜と
の間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる
再生膜とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成さ
れているものとし、このような２層膜構造の再生膜／記
録膜が形成されているものとすることにより、短波長領
域でも磁気光学的特性の優れた本発明の短波長用光磁気
記録媒体を開発したのである。
めに研究を重ねた結果、従来の基板上に誘電体膜が形成
され、その上に保護膜及び反射膜が順次形成されている
短波長用光磁気媒体において、前記誘電体膜と保護膜と
の間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる
再生膜とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成さ
れているものとし、このような２層膜構造の再生膜／記
録膜が形成されているものとすることにより、短波長領
域でも磁気光学的特性の優れた本発明の短波長用光磁気
記録媒体を開発したのである。
【００１４】図１は本発明の短波長用光磁気記録媒体の
概略断面図で、符号１１は基板、１２は誘電体膜、１３
は記録膜、１４は保護膜、１５は反射膜、１６は再生膜
である。
概略断面図で、符号１１は基板、１２は誘電体膜、１３
は記録膜、１４は保護膜、１５は反射膜、１６は再生膜
である。
【００１５】図１によると、本発明の短波長用光磁気記
録媒体は２Ｐガラス基板１１上にＳｉＮ材質の誘電体膜
１２が形成され、その上にＳｉＮ材質の保護膜１４とＡ
ｌ又はＡｌ−Ｔｉ材質の反射膜１５が順次形成されてい
る短波長用光磁気記録媒体において、前記誘電体膜１２
と保護膜１４との間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１
００−ｘよりなる再生膜１６とＴｂＦｅＣｏＣｒよりな
る記録膜１３の２層膜が順次形成された構造である。こ
のような構造の短波長用光磁気記録媒体は相互交換結合
を用いたものである。
録媒体は２Ｐガラス基板１１上にＳｉＮ材質の誘電体膜
１２が形成され、その上にＳｉＮ材質の保護膜１４とＡ
ｌ又はＡｌ−Ｔｉ材質の反射膜１５が順次形成されてい
る短波長用光磁気記録媒体において、前記誘電体膜１２
と保護膜１４との間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１
００−ｘよりなる再生膜１６とＴｂＦｅＣｏＣｒよりな
る記録膜１３の２層膜が順次形成された構造である。こ
のような構造の短波長用光磁気記録媒体は相互交換結合
を用いたものである。
【００１６】そして、Ｔｂ元素の存在により短波長領域
でのカー回転角（θｋ）は小さいが高い保磁力（Ｈｃ）
と垂直磁化値（Ｋｕ）を有する利点を用いて保磁力（Ｈ
ｃ）と垂直磁化値（Ｋｕ）を上昇させることができる。
又、Ｃｒ元素の存在によりディスク寿命に関係する耐食
性（耐候性）の向上だけでなく、飽和磁化（Ｍｓ）値を
低めて、Ｃｏ元素の存在によるキュリー温度上昇による
磁区（domain）の不安定を安定にし、垂直磁気異方性常
数値の上昇をもたらすことができる。
でのカー回転角（θｋ）は小さいが高い保磁力（Ｈｃ）
と垂直磁化値（Ｋｕ）を有する利点を用いて保磁力（Ｈ
ｃ）と垂直磁化値（Ｋｕ）を上昇させることができる。
又、Ｃｒ元素の存在によりディスク寿命に関係する耐食
性（耐候性）の向上だけでなく、飽和磁化（Ｍｓ）値を
低めて、Ｃｏ元素の存在によるキュリー温度上昇による
磁区（domain）の不安定を安定にし、垂直磁気異方性常
数値の上昇をもたらすことができる。
【００１７】従って、本発明による２層記録膜構造は相
互交換結合によりカー回転角（θｋ）も大きく垂直磁化
（Ｋｕ）もよくなって記録再生特性（Ｃ／Ｎ）が優れて
おり耐食性も向上された短波長用光磁気ディスクである
ので、大容量の情報を圧縮して入れる動画像のＨＤ−Ｔ
Ｖ画質級メディアとして使用できる。
互交換結合によりカー回転角（θｋ）も大きく垂直磁化
（Ｋｕ）もよくなって記録再生特性（Ｃ／Ｎ）が優れて
おり耐食性も向上された短波長用光磁気ディスクである
ので、大容量の情報を圧縮して入れる動画像のＨＤ−Ｔ
Ｖ画質級メディアとして使用できる。
【００１８】前記再生膜のＮｄ成分は本発明の光磁気記
録媒体の全体特性にかなり重要な影響を及ぼす。このＮ
ｄ成分の含量は５atm.% 〜３０atm.% の範囲がより望ま
しいものであり、１０atm.% 〜２０atm.% が最も望まし
い。仮に、前記範囲を外れると、つまりｘが３０atm.%
より大きい時は垂直磁化値が急激に低下する傾向とな
り、それによりカー回転角も急激に低下する様相を呈す
る。又、ｘが５atm.% より小さい時は既存のＴｂＦｅＣ
ｏ記録膜のカー回転角に殆ど等しい特性を現すので、特
性向上を期待することが難しい傾向となる。
録媒体の全体特性にかなり重要な影響を及ぼす。このＮ
ｄ成分の含量は５atm.% 〜３０atm.% の範囲がより望ま
しいものであり、１０atm.% 〜２０atm.% が最も望まし
い。仮に、前記範囲を外れると、つまりｘが３０atm.%
より大きい時は垂直磁化値が急激に低下する傾向とな
り、それによりカー回転角も急激に低下する様相を呈す
る。又、ｘが５atm.% より小さい時は既存のＴｂＦｅＣ
ｏ記録膜のカー回転角に殆ど等しい特性を現すので、特
性向上を期待することが難しい傾向となる。
【００１９】一方、本発明による再生膜であるＮｄ
ｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘの厚さは１０Å〜１
０００Åの範囲がより望ましいものである。又、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１５００Åの
範囲がより望ましいものであり、１０Å〜１０００Åの
範囲がさらに望ましい。そして、前記再生膜及び記録膜
の全体厚さは２０Å〜２５００Åがより適切である。こ
の際、レーザービームが記録又は再生時に前記再生膜を
通過して記録膜に到達すべきであるので、再生膜の厚さ
が前記範囲を外れた場合にはレーザービームの透過が難
しくなる傾向となり、記録膜厚さの限定はレーザービー
ムのパワーによる記録感度に関連するので、記録膜の厚
さが前記範囲を外れた場合には記録感度が低下する傾向
となる。
ｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘの厚さは１０Å〜１
０００Åの範囲がより望ましいものである。又、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１５００Åの
範囲がより望ましいものであり、１０Å〜１０００Åの
範囲がさらに望ましい。そして、前記再生膜及び記録膜
の全体厚さは２０Å〜２５００Åがより適切である。こ
の際、レーザービームが記録又は再生時に前記再生膜を
通過して記録膜に到達すべきであるので、再生膜の厚さ
が前記範囲を外れた場合にはレーザービームの透過が難
しくなる傾向となり、記録膜厚さの限定はレーザービー
ムのパワーによる記録感度に関連するので、記録膜の厚
さが前記範囲を外れた場合には記録感度が低下する傾向
となる。
【００２０】前記のような構造を有する本発明の短波長
用光磁気記録媒体は、ＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜が形
成された既存の記録媒体が短波長領域で有する問題点を
改善するために、１層膜は再生膜としてＮｄｘ（ＴｂＦ
ｅＣｏＣｒ）１００−ｘで、２層膜は記録膜としてＴｂ
ＦｅＣｏＣｒで構成される。このような構造による交換
結合効果により磁気光学効果が大きくなり、Ｃ／Ｎ比が
大きくなり、垂直磁化もよくなるものである。即ち、レ
ーザー波長が短波長である場合、ＴｂＦｅＣｏよりなる
既存の記録膜である場合にはカー回転角値が０．２５に
も及ばない欠点を有する。しかし、本発明による軽稀土
類であるＮｄはそれ自体が短波長領域で大きいカー回転
角を有するので、既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜に比べて全
体的なカー回転角の上昇をもたらすものである。
用光磁気記録媒体は、ＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜が形
成された既存の記録媒体が短波長領域で有する問題点を
改善するために、１層膜は再生膜としてＮｄｘ（ＴｂＦ
ｅＣｏＣｒ）１００−ｘで、２層膜は記録膜としてＴｂ
ＦｅＣｏＣｒで構成される。このような構造による交換
結合効果により磁気光学効果が大きくなり、Ｃ／Ｎ比が
大きくなり、垂直磁化もよくなるものである。即ち、レ
ーザー波長が短波長である場合、ＴｂＦｅＣｏよりなる
既存の記録膜である場合にはカー回転角値が０．２５に
も及ばない欠点を有する。しかし、本発明による軽稀土
類であるＮｄはそれ自体が短波長領域で大きいカー回転
角を有するので、既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜に比べて全
体的なカー回転角の上昇をもたらすものである。
【００２１】前記結果によりカー回転角が約０．４°〜
０．４５°、Ｃ／Ｎ比がおよそ５０ｄＢ前後に達する優
れた再生特性を有する光磁気ディスクが提供できる。こ
れはＨＤ−ＴＶ画質級動画像のＭＯＤの場合に高いカー
回転角値を有するほどに高いＣ／Ｎ比を有することにな
るので、高い回転角が有利である。又、Ｃｒの添加によ
り空気中で酸化される欠点を有するＴｂＦｅＣｏよりな
る既存の記録膜より耐食性及び耐酸化性を向上させるこ
とができる。
０．４５°、Ｃ／Ｎ比がおよそ５０ｄＢ前後に達する優
れた再生特性を有する光磁気ディスクが提供できる。こ
れはＨＤ−ＴＶ画質級動画像のＭＯＤの場合に高いカー
回転角値を有するほどに高いＣ／Ｎ比を有することにな
るので、高い回転角が有利である。又、Ｃｒの添加によ
り空気中で酸化される欠点を有するＴｂＦｅＣｏよりな
る既存の記録膜より耐食性及び耐酸化性を向上させるこ
とができる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明による短波長用光磁気記録媒体
の実施例について説明するが、本発明はこのような実施
例にのみ限定されるものではない。
の実施例について説明するが、本発明はこのような実施
例にのみ限定されるものではない。
【００２３】下記表１は本発明の光磁気記録媒体におけ
る再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構造と既存の
光磁気記録媒体における１層記録膜（ＴｂＦｅＣｏ）構
造の磁気特性及び磁気光学特性を比較したものである。
る再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構造と既存の
光磁気記録媒体における１層記録膜（ＴｂＦｅＣｏ）構
造の磁気特性及び磁気光学特性を比較したものである。
【００２４】本発明による２層膜構造は０．４°〜０．
４５°のカー回転角（θｋ）を有する。又、再生時には
Ｃ／Ｎ比が約５０ｄＢ前後であるので短波長であるレー
ザー波長５３２ｎｍ以下でも優れた動特性値を現す。
又、本発明は記録膜としてＴｂＦｅＣｏＣｒを使用する
ことにより保磁力（Ｈｃ）も比較的大きく、垂直磁化
（Ｋｕ）も容易であって角形比（Loop Squareness 、
ＭＲ（残留磁化値）／Ｍｓ（飽和磁化値））がおよそ１
に近い優れた磁気特性を有する。
４５°のカー回転角（θｋ）を有する。又、再生時には
Ｃ／Ｎ比が約５０ｄＢ前後であるので短波長であるレー
ザー波長５３２ｎｍ以下でも優れた動特性値を現す。
又、本発明は記録膜としてＴｂＦｅＣｏＣｒを使用する
ことにより保磁力（Ｈｃ）も比較的大きく、垂直磁化
（Ｋｕ）も容易であって角形比（Loop Squareness 、
ＭＲ（残留磁化値）／Ｍｓ（飽和磁化値））がおよそ１
に近い優れた磁気特性を有する。
【００２５】
【表１】
【００２６】下記表２はＮｄ組成の含量による本発明の
光磁気記録媒体における再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層
膜構造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示すもので
ある。ここで、Ｎｄ組成含量はatm.% で示した。又、備
考欄の組成はＩＣＰ（Inductively Coupled Plasmasp
ectrometer ）によりＮｄ組成を定量分析したもので、
例えば５atm.% が実際には４．２ａｔｍ％であることを
意味する。
光磁気記録媒体における再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層
膜構造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示すもので
ある。ここで、Ｎｄ組成含量はatm.% で示した。又、備
考欄の組成はＩＣＰ（Inductively Coupled Plasmasp
ectrometer ）によりＮｄ組成を定量分析したもので、
例えば５atm.% が実際には４．２ａｔｍ％であることを
意味する。
【００２７】一方、短波長用レーザー波長は５３２ｎｍ
のＳＨＧを使用し、保磁力（Ｈｃ）の測定は米国ＤＭＳ
社のＶＳＭ（Vibrating Sample Magnetometer ）を使
用した。又、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の測定は米国
ＤＭＳ社のトルクマグネトメーター（Torque magnetom
eter ）を使用した。さらに又、カー回転角（θｋ）は
５３２ｎｍ波長のＳＨＧ緑色レーザーを光源として使用
する自社製作したカーループトレーサー（Kerr Loop
Tracer）を使用して測定した。さらに又、Ｃ／Ｎ比は自
社開発された５３２ｎｍの動特性装備（Dynamic teste
r ）で測定した。
のＳＨＧを使用し、保磁力（Ｈｃ）の測定は米国ＤＭＳ
社のＶＳＭ（Vibrating Sample Magnetometer ）を使
用した。又、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の測定は米国
ＤＭＳ社のトルクマグネトメーター（Torque magnetom
eter ）を使用した。さらに又、カー回転角（θｋ）は
５３２ｎｍ波長のＳＨＧ緑色レーザーを光源として使用
する自社製作したカーループトレーサー（Kerr Loop
Tracer）を使用して測定した。さらに又、Ｃ／Ｎ比は自
社開発された５３２ｎｍの動特性装備（Dynamic teste
r ）で測定した。
【００２８】前記方法で測定した測定値を下記表２に記
載し、図２〜図５のグラフで示した。
載し、図２〜図５のグラフで示した。
【００２９】
【表２】
【００３０】図２〜図５はそれぞれ本発明の光磁気記録
媒体における再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ組成
含量による保磁力（Ｈｃ）の変化、垂直磁気異方性常数
（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及びＣ／Ｎ比
（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
媒体における再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ組成
含量による保磁力（Ｈｃ）の変化、垂直磁気異方性常数
（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及びＣ／Ｎ比
（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
【００３１】図２〜図５によると、Ｎｄ組成の含量を変
化させた時、Ｎｄ組成が１０atm.%〜２０atm.% で、保
磁力（Ｈc ）、カー回転角（θk ）、Ｃ／Ｎ比が高い値
を表わした。そして、本発明によるＮｄ組成の含量範囲
ではおよそ満足な特性を呈した。
化させた時、Ｎｄ組成が１０atm.%〜２０atm.% で、保
磁力（Ｈc ）、カー回転角（θk ）、Ｃ／Ｎ比が高い値
を表わした。そして、本発明によるＮｄ組成の含量範囲
ではおよそ満足な特性を呈した。
【００３２】一方、本発明者はさらに本発明による短波
長用光磁気記録媒体の再生膜を改良させるために、前述
した再生膜の物質に重希土類のＧｄを添加してその特性
を改善した。従って、本発明による光磁気記録媒体は再
生膜の物質がさらにＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂよりなるものである。
長用光磁気記録媒体の再生膜を改良させるために、前述
した再生膜の物質に重希土類のＧｄを添加してその特性
を改善した。従って、本発明による光磁気記録媒体は再
生膜の物質がさらにＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂよりなるものである。
【００３３】本発明に使用される軽稀土類のＮｄと重稀
土類のＧｄは短波長領域で磁気光学効果（カー回転角）
が大きい利点を用いてＮｄ，Ｇｄ元素間の相互上昇作用
によりカー回転角を増大し得る。
土類のＧｄは短波長領域で磁気光学効果（カー回転角）
が大きい利点を用いてＮｄ，Ｇｄ元素間の相互上昇作用
によりカー回転角を増大し得る。
【００３４】本発明による再生膜のＮｄ及びＧｄ元素は
本発明の光磁気記録媒体の全体特性にかなり重要な影響
を及ぼす。そして、前記Ｎｄ元素含量ａは０atm.% より
大きく２５atm.% 以下であり、Ｇｄ元素含量ｂは０atm.
% より大きく１５atm.% より小さく、これの総量（ａ＋
ｂ）は５atm.% 〜３０atm.% が望ましい。仮に、Ｎｄと
Ｇｄ元素の含量が前記範囲を外れる場合には垂直磁化値
が急激に低下する傾向となって磁区安定性に不利に作用
し、これによりカー回転角も減少する傾向となる。
本発明の光磁気記録媒体の全体特性にかなり重要な影響
を及ぼす。そして、前記Ｎｄ元素含量ａは０atm.% より
大きく２５atm.% 以下であり、Ｇｄ元素含量ｂは０atm.
% より大きく１５atm.% より小さく、これの総量（ａ＋
ｂ）は５atm.% 〜３０atm.% が望ましい。仮に、Ｎｄと
Ｇｄ元素の含量が前記範囲を外れる場合には垂直磁化値
が急激に低下する傾向となって磁区安定性に不利に作用
し、これによりカー回転角も減少する傾向となる。
【００３５】一方、本発明による再生膜であるＮｄａＧ
ｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００− ａ−ｂの厚さは１０
Å〜５００Åの範囲がより望ましいものであり、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１０００Åの
範囲がより望ましいものである。ここで、レーザービー
ムは前記再生膜を通過して記録膜に到達すべきであるの
で、再生膜の厚さが前記範囲を外れた場合にはレーザー
ビームの透過が難しくなる傾向となり、記録膜厚さの限
定はレーザービームのパワーによる記録感度に関連する
ので、記録膜の厚さが前記範囲を外れた場合には記録感
度が低下する傾向となる。
ｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００− ａ−ｂの厚さは１０
Å〜５００Åの範囲がより望ましいものであり、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１０００Åの
範囲がより望ましいものである。ここで、レーザービー
ムは前記再生膜を通過して記録膜に到達すべきであるの
で、再生膜の厚さが前記範囲を外れた場合にはレーザー
ビームの透過が難しくなる傾向となり、記録膜厚さの限
定はレーザービームのパワーによる記録感度に関連する
ので、記録膜の厚さが前記範囲を外れた場合には記録感
度が低下する傾向となる。
【００３６】下記表３はＮｄ及びＧｄ組成の含量による
本発明の再生膜／記録膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏ
Ｃｒ）１００−ａ−ｂ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構
造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示したものであ
る。ここで、Ｎｄ及びＧｄ組成含量はatm.% で示した。
本発明の再生膜／記録膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏ
Ｃｒ）１００−ａ−ｂ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構
造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示したものであ
る。ここで、Ｎｄ及びＧｄ組成含量はatm.% で示した。
【００３７】一方、保磁力（Ｈｃ）及び飽和磁化値（Ｍ
ｓ）、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）、カー回転角
（θｋ）及びＣ／Ｎ比の測定は前述した各々の測定装備
と同じ装備で測定した。
ｓ）、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）、カー回転角
（θｋ）及びＣ／Ｎ比の測定は前述した各々の測定装備
と同じ装備で測定した。
【００３８】前記方法で測定した測定値を下記表３に記
載し、これを図６〜図１０にグラフで示した。
載し、これを図６〜図１０にグラフで示した。
【００３９】
【表３】
【００４０】図６〜図１０はそれぞれ再生膜ＮｄａＧｄ
ｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ −ｂ／記録膜（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ及びＧｄ組成含量による保磁力
（Ｈｃ）の変化、飽和磁化値（Ｍｓ）の変化、垂直磁気
異方性常数（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及
びＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
ｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ −ｂ／記録膜（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ及びＧｄ組成含量による保磁力
（Ｈｃ）の変化、飽和磁化値（Ｍｓ）の変化、垂直磁気
異方性常数（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及
びＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
【００４１】前記表３及び図６〜図１０によると、Ｎｄ
及びＧｄ組成の含量を変化させた時、Ｎｄ組成が１０at
m.% 〜２０atm.% 、Ｇｄ組成が５atm.% 〜１０atm.%
で、カー回転角（θｋ）、Ｃ／Ｎ比が高い値を表わして
いる。そして、前記最適範囲を外れた本発明によるＮｄ
及びＧｄ組成の含量範囲でもおよそ満足な特性を呈し
た。しかし、本発明によるＮｄ、Ｇｄ組成の含量範囲を
外れた場合には垂直磁化値及びカー回転角が急激に減少
することがわかる。
及びＧｄ組成の含量を変化させた時、Ｎｄ組成が１０at
m.% 〜２０atm.% 、Ｇｄ組成が５atm.% 〜１０atm.%
で、カー回転角（θｋ）、Ｃ／Ｎ比が高い値を表わして
いる。そして、前記最適範囲を外れた本発明によるＮｄ
及びＧｄ組成の含量範囲でもおよそ満足な特性を呈し
た。しかし、本発明によるＮｄ、Ｇｄ組成の含量範囲を
外れた場合には垂直磁化値及びカー回転角が急激に減少
することがわかる。
【００４２】
【発明の効果】従って、本発明の短波長用光磁気記録媒
体を使用する場合、Ｎｄ，Ｇｄ元素の存在による短波長
領域で相互上昇作用によりカー回転角が約０．５°前後
に達する優れた磁気光学効果を奏する。そして、Ｃｒ元
素の存在による耐食，耐候性の向上と飽和磁化値
（Ｍｓ）の減少による磁区の安定性及び垂直磁気異方性
常数の増加により寿命及び信頼性が向上できる。また、
再生膜を形成するＮｄの含量を５ａｔｍ．％〜３０ａｔ
ｍ．％、さらには、１０ａｔｍ．％〜２０ａｔｍ．％と
することにより、さらに、再生膜を形成するＮｄ及びＧ
ｄの含量をそれぞれ０ａｔｍ．％〜２５ａｔｍ．％、０
ａｔｍ．％〜１５ａｔｍ．％、かつその総合量を５ａｔ
ｍ．％〜３０ａｔｍ．％とすることにより、再生膜と記
録膜との交換結合で著しく高いカー回転角及び垂直磁化
値が得られ、再生時にはＣ／Ｎ値も約５０ｄＢ付近に達
するという著しく優れた記録再生特性が得られる。
体を使用する場合、Ｎｄ，Ｇｄ元素の存在による短波長
領域で相互上昇作用によりカー回転角が約０．５°前後
に達する優れた磁気光学効果を奏する。そして、Ｃｒ元
素の存在による耐食，耐候性の向上と飽和磁化値
（Ｍｓ）の減少による磁区の安定性及び垂直磁気異方性
常数の増加により寿命及び信頼性が向上できる。また、
再生膜を形成するＮｄの含量を５ａｔｍ．％〜３０ａｔ
ｍ．％、さらには、１０ａｔｍ．％〜２０ａｔｍ．％と
することにより、さらに、再生膜を形成するＮｄ及びＧ
ｄの含量をそれぞれ０ａｔｍ．％〜２５ａｔｍ．％、０
ａｔｍ．％〜１５ａｔｍ．％、かつその総合量を５ａｔ
ｍ．％〜３０ａｔｍ．％とすることにより、再生膜と記
録膜との交換結合で著しく高いカー回転角及び垂直磁化
値が得られ、再生時にはＣ／Ｎ値も約５０ｄＢ付近に達
するという著しく優れた記録再生特性が得られる。
【図１】本発明の短波長用光磁気記録媒体の概略断面図
である。
である。
【図２】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグラフであ
る。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグラフであ
る。
【図３】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の変化を示
すグラフである。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の変化を示
すグラフである。
【図４】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるカー（Kerr）回転角（°）の変化を示す
グラフである。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるカー（Kerr）回転角（°）の変化を示す
グラフである。
【図５】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフで
ある。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフで
ある。
【図６】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグ
ラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグ
ラフである。
【図７】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による飽和磁化値（Ｍｓ）の変化を示
すグラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による飽和磁化値（Ｍｓ）の変化を示
すグラフである。
【図８】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の
変化を示すグラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の
変化を示すグラフである。
【図９】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるカー回転角（°）の変化を示す
グラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるカー回転角（°）の変化を示す
グラフである。
【図１０】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示す
グラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示す
グラフである。
【図１１】従来の短波長用光磁気記録媒体の概略断面図
である。
である。
１１ 基板（２Ｐガラス） １２ 誘電体膜（ＳｉＮ） ３ 記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １４ 保護膜（ＳｉＮ） １５ 反射膜（Ａｌ又はＡｌ−Ｔｉ） １６ 再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ，ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）
ｒ）１００−ｘ，ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）
Claims (3)
- 【請求項１】基板（１１）上に誘電体膜（１２）が形成
され、その上に保護膜（１４）及び反射膜（１５）が順
次形成されている短波長用光磁気記録媒体において、前
記誘電体膜（１２）と保護膜（１４）との間に、Ｎｄｘ
（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる再生膜（１
６）とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜（１３）が順次
形成され、前記再生膜（１６）のＮｄ ｘ （ＴｂＦｅＣｏ
Ｃｒ） １００−ｘ のＮｄ含量であるｘが５ａｔｍ．％〜
３０ａｔｍ．％であることを特徴とする短波長用光磁気
記録媒体。 - 【請求項２】基板（１１）上に誘電体膜（１２）が形成
され、その上に保護膜（１４）及び反射膜（１５）が順
次形成されている短波長用光磁気記録媒体において、前
記誘電体膜（１２）と保護膜（１４）との間に、Ｎｄ ｘ
（ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ｘ よりなる再生膜（１
６）とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜（１３）が順次
形成され、前記再生膜（１６）のＮｄ ｘ （ＴｂＦｅＣｏ
Ｃｒ） １００−ｘ のＮｄ含量であるｘが１０ａｔｍ．％
〜２０ａｔｍ．％であることを特徴とする短波長用光磁
気記録媒体。 - 【請求項３】基板（１１）上に誘電体膜（１２）が形成
され、その上に保護膜（１４）及び反射膜（１５）が順
次形成されている短波長用光磁気記録媒体において、前
記誘電体膜（１２）と保護膜（１４）との間に、Ｎｄ ａ
Ｇｄ ｂ （ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ａ−ｂ よりなる再
生膜（１６）とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜（１
３）が順次形成され、前記再生膜（１６）のＮｄ ａ Ｇｄ
ｂ （ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １００−ａ−ｂ のＮｄ及びＧｄ
の各々の含量はａが０ａｔｍ．％より大きく２５ａｔ
ｍ．％以下であり、ｂが０ａｔｍ．％より大きく１５ａ
ｔｍ．％以下であり、その総含量が５ａｔｍ．％〜３０
ａｔｍ．％であることを特徴とする短波長用光磁気記録
媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7176364A JP2749537B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 短波長用光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7176364A JP2749537B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 短波長用光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935345A JPH0935345A (ja) | 1997-02-07 |
| JP2749537B2 true JP2749537B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=16012332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7176364A Expired - Fee Related JP2749537B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 短波長用光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2749537B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124131A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1995
- 1995-07-12 JP JP7176364A patent/JP2749537B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0935345A (ja) | 1997-02-07 |
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