JPH0935345A - 短波長用光磁気記録媒体 - Google Patents
短波長用光磁気記録媒体Info
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- JPH0935345A JPH0935345A JP17636495A JP17636495A JPH0935345A JP H0935345 A JPH0935345 A JP H0935345A JP 17636495 A JP17636495 A JP 17636495A JP 17636495 A JP17636495 A JP 17636495A JP H0935345 A JPH0935345 A JP H0935345A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 短波長領域でも動画像処理ができ、再生膜と
記録膜の交換結合により高いカー回転角と垂直磁化値を
有し、再生時のＣ／Ｎ比が５０ｄＢに達し、その上耐食
性及び耐酸化性が向上できる短波長用光磁気記録媒体を
提供することである。 【解決手段】 基板（１１）上に誘電体膜（１２）が形
成され、その上に保護膜（１４）及び反射膜（１５）が
順次形成されている短波長用光磁気記録媒体において、
前記誘電体膜（１２）と保護膜（１４）との間にＮｄｘ
（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘ又はＮｄａＧｄｂ（Ｔ
ｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ−ｂよりなる再生膜（１
６）とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜（１３）の２層
膜が順次形成されているものとする。
記録膜の交換結合により高いカー回転角と垂直磁化値を
有し、再生時のＣ／Ｎ比が５０ｄＢに達し、その上耐食
性及び耐酸化性が向上できる短波長用光磁気記録媒体を
提供することである。 【解決手段】 基板（１１）上に誘電体膜（１２）が形
成され、その上に保護膜（１４）及び反射膜（１５）が
順次形成されている短波長用光磁気記録媒体において、
前記誘電体膜（１２）と保護膜（１４）との間にＮｄｘ
（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘ又はＮｄａＧｄｂ（Ｔ
ｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ−ｂよりなる再生膜（１
６）とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜（１３）の２層
膜が順次形成されているものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は短波長用光磁気記録
媒体に関するもので、詳しくは、ＤＣマグネトロンスパ
ッタリング（magnetron sputtering ）により短波長で
も既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜より磁気光学特性に優れて
いる２層膜構造の記録膜を形成させることにより、従来
のものに比べて諸特性が優れている短波長用光磁気記録
媒体に関するものである。
媒体に関するもので、詳しくは、ＤＣマグネトロンスパ
ッタリング（magnetron sputtering ）により短波長で
も既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜より磁気光学特性に優れて
いる２層膜構造の記録膜を形成させることにより、従来
のものに比べて諸特性が優れている短波長用光磁気記録
媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】短波長用光磁気記録媒体は、高密度，大
容量の情報を処理するための短波長領域での光磁気ディ
スクである。このような記録媒体はＰＣ又は２Ｐガラス
基板に記録膜を有する多層膜構造の薄膜を形成して垂直
磁気異方性を持たせるようにして、レーザービーム照射
時にキュリー点以上で磁化を反転させて情報を記録す
る。又、再生時には偏光された光が磁化された薄膜から
反射されて出る偏光面の回転角（カー（Kerr）回転角、
θｋ）を用いることによりＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理
及びディジタル−ＶＤＲ等に応用できる。
容量の情報を処理するための短波長領域での光磁気ディ
スクである。このような記録媒体はＰＣ又は２Ｐガラス
基板に記録膜を有する多層膜構造の薄膜を形成して垂直
磁気異方性を持たせるようにして、レーザービーム照射
時にキュリー点以上で磁化を反転させて情報を記録す
る。又、再生時には偏光された光が磁化された薄膜から
反射されて出る偏光面の回転角（カー（Kerr）回転角、
θｋ）を用いることによりＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理
及びディジタル−ＶＤＲ等に応用できる。
【０００３】１世代光磁気ディスクは１２８ＭＢ、６５
０ＭＢの記録容量で、３．５インチは個人用コンピュー
ターに応用、５．２５インチは光記録（filing）システ
ムに導入使用している。又、前記光磁気ディスクはレー
ザー波長８３０ｎｍで記録膜としてＴｂＦｅＣｏを用い
るため、垂直磁化がよくなり磁気光学効果が高い（カー
回転角が高い）再生特性Ｃ／Ｎ（Carrier to Noise）
比４５ｄＢ以上の光磁気ディスクが実用化されている。
０ＭＢの記録容量で、３．５インチは個人用コンピュー
ターに応用、５．２５インチは光記録（filing）システ
ムに導入使用している。又、前記光磁気ディスクはレー
ザー波長８３０ｎｍで記録膜としてＴｂＦｅＣｏを用い
るため、垂直磁化がよくなり磁気光学効果が高い（カー
回転角が高い）再生特性Ｃ／Ｎ（Carrier to Noise）
比４５ｄＢ以上の光磁気ディスクが実用化されている。
【０００４】一方、高密度，大容量の情報物量を消化す
るためには、短波長領域で高密度化がなって６ＧＢ以上
のＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理用光磁気ディスクの開発
と超大容量コンピューター周辺機器である光記録システ
ム、ディジタル−ＶＤＲ等に応用される短波長用高密度
光磁気ディスクの開発が要求されている。
るためには、短波長領域で高密度化がなって６ＧＢ以上
のＨＤ−ＴＶ画質級動画像処理用光磁気ディスクの開発
と超大容量コンピューター周辺機器である光記録システ
ム、ディジタル−ＶＤＲ等に応用される短波長用高密度
光磁気ディスクの開発が要求されている。
【０００５】図１１は従来の短波長用光磁気記録媒体の
概略断面図である。前記記録媒体は基板１上に誘電体膜
２が形成され、その上にＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜３
が形成され、さらにその上に保護膜４及び反射膜５が順
次積層された構造を有する。
概略断面図である。前記記録媒体は基板１上に誘電体膜
２が形成され、その上にＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜３
が形成され、さらにその上に保護膜４及び反射膜５が順
次積層された構造を有する。
【０００６】このような構造の短波長用光磁気記録媒体
はＴｂＦｅＣｏ成分の稀土類−遷移金属材質の１層記録
膜構造を有する。このような構造はレーザー波長８３０
ｎｍでは、記録時に垂直磁化及び記録がよくなり、再生
時にカー回転角の値も高くて再生がよくなる特性を保有
する。
はＴｂＦｅＣｏ成分の稀土類−遷移金属材質の１層記録
膜構造を有する。このような構造はレーザー波長８３０
ｎｍでは、記録時に垂直磁化及び記録がよくなり、再生
時にカー回転角の値も高くて再生がよくなる特性を保有
する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＴｂＦｅＣｏ成分よりなる１層記録膜を短波長領域（５
３２ｎｍ以下）で使用する場合には、８３０ｎｍで使用
する場合よりもカー回転角が６０％程度減少して、動特
性評価時に４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再
生が難しい問題点があった。
ＴｂＦｅＣｏ成分よりなる１層記録膜を短波長領域（５
３２ｎｍ以下）で使用する場合には、８３０ｎｍで使用
する場合よりもカー回転角が６０％程度減少して、動特
性評価時に４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再
生が難しい問題点があった。
【０００８】
【発明の目的】従って、本発明の目的は、前記問題点を
解決するだけでなく、短波長領域でも諸特性に優れてい
る短波長用光磁気記録媒体を提供することにある。
解決するだけでなく、短波長領域でも諸特性に優れてい
る短波長用光磁気記録媒体を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の短波長用光磁気記録媒体は、請求項１に記載
しているように、基板上に誘電体膜が形成され、その上
に保護膜及び反射膜が順次形成されている短波長用光磁
気記録媒体において、前記誘電体膜と保護膜との間にＮ
ｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる再生膜と
ＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成されている
ものであることを特徴としている。
の本発明の短波長用光磁気記録媒体は、請求項１に記載
しているように、基板上に誘電体膜が形成され、その上
に保護膜及び反射膜が順次形成されている短波長用光磁
気記録媒体において、前記誘電体膜と保護膜との間にＮ
ｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる再生膜と
ＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成されている
ものであることを特徴としている。
【００１０】そして、本発明の短波長用光磁気記録媒体
の実施態様においては、請求項２に記載しているよう
に、前記再生膜のＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘのＮｄ含量であるｘが５atm.% 〜３０atm.%
であるものとすることができ、また、請求項３に記載し
ているように、前記再生膜のＮｄ含量が１０atm.% 〜２
０atm.%であるものとすることができ、請求項４に記載
しているように、前記再生膜の厚さが１０Å〜１０００
Åの範囲であるものとすることができ、請求項５に記載
しているように、前記記録膜の厚さが１０Å〜１５００
Åの範囲であるものとすることができ、請求項６に記載
しているように、前記再生膜と記録膜の総厚さが２０Å
〜２５００Åであるものとすることができる。
の実施態様においては、請求項２に記載しているよう
に、前記再生膜のＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘのＮｄ含量であるｘが５atm.% 〜３０atm.%
であるものとすることができ、また、請求項３に記載し
ているように、前記再生膜のＮｄ含量が１０atm.% 〜２
０atm.%であるものとすることができ、請求項４に記載
しているように、前記再生膜の厚さが１０Å〜１０００
Åの範囲であるものとすることができ、請求項５に記載
しているように、前記記録膜の厚さが１０Å〜１５００
Åの範囲であるものとすることができ、請求項６に記載
しているように、前記再生膜と記録膜の総厚さが２０Å
〜２５００Åであるものとすることができる。
【００１１】同じく、本発明の短波長用光磁気記録媒体
の実施態様においては、請求項７に記載しているよう
に、前記再生膜の物質がこれにＧｄ元素がさらに添加さ
れてＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ−ｂ
であるものとすることができ、請求項８に記載している
ように、前記再生膜のＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ａ−ｂのＮｄ及びＧｄの各々の含量はａが
０atm.% より大きく２５atm.% 以下であり、ｂが０atm.
% より大きく１５atm.% 以下であり、その総含量が５at
m.% 〜３０atm.% であるものとすることができ、請求項
９に記載しているように、前記再生膜の厚さが１０Å〜
５００Åの範囲であるものとすることができ、請求項１
０に記載しているように、前記記録膜（１３）の厚さが
１０Å〜１０００Åの範囲であるものとすることができ
る。
の実施態様においては、請求項７に記載しているよう
に、前記再生膜の物質がこれにＧｄ元素がさらに添加さ
れてＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ−ｂ
であるものとすることができ、請求項８に記載している
ように、前記再生膜のＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ａ−ｂのＮｄ及びＧｄの各々の含量はａが
０atm.% より大きく２５atm.% 以下であり、ｂが０atm.
% より大きく１５atm.% 以下であり、その総含量が５at
m.% 〜３０atm.% であるものとすることができ、請求項
９に記載しているように、前記再生膜の厚さが１０Å〜
５００Åの範囲であるものとすることができ、請求項１
０に記載しているように、前記記録膜（１３）の厚さが
１０Å〜１０００Åの範囲であるものとすることができ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】既存の光磁気記録媒体は、前述し
たように、レーザー波長８３０ｎｍでは垂直磁化及び記
録がよくなり、再生時のカー回転角も大きくて再生がよ
くなる特性を保有する。反面、短波長領域（５３２ｎｍ
以下）で使用する場合には８３０ｎｍで使用する場合よ
りもカー回転角が６０％程度減少して、動特性評価時に
４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再生が難しい
問題点がある。
たように、レーザー波長８３０ｎｍでは垂直磁化及び記
録がよくなり、再生時のカー回転角も大きくて再生がよ
くなる特性を保有する。反面、短波長領域（５３２ｎｍ
以下）で使用する場合には８３０ｎｍで使用する場合よ
りもカー回転角が６０％程度減少して、動特性評価時に
４５ｄＢ以下の低いＣ／Ｎ比を有するので再生が難しい
問題点がある。
【００１３】本発明者はこのような問題点を解決するた
めに研究を重ねた結果、従来の基板上に誘電体膜が形成
され、その上に保護膜及び反射膜が順次形成されている
短波長用光磁気媒体において、前記誘電体膜と保護膜と
の間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる
再生膜とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成さ
れているものとし、このような２層膜構造の再生膜／記
録膜が形成されているものとすることにより、短波長領
域でも磁気光学的特性の優れた本発明の短波長用光磁気
記録媒体を開発したのである。
めに研究を重ねた結果、従来の基板上に誘電体膜が形成
され、その上に保護膜及び反射膜が順次形成されている
短波長用光磁気媒体において、前記誘電体膜と保護膜と
の間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘよりなる
再生膜とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜が順次形成さ
れているものとし、このような２層膜構造の再生膜／記
録膜が形成されているものとすることにより、短波長領
域でも磁気光学的特性の優れた本発明の短波長用光磁気
記録媒体を開発したのである。
【００１４】図１は本発明の短波長用光磁気記録媒体の
概略断面図で、符号１１は基板、１２は誘電体膜、１３
は記録膜、１４は保護膜、１５は反射膜、１６は再生膜
である。
概略断面図で、符号１１は基板、１２は誘電体膜、１３
は記録膜、１４は保護膜、１５は反射膜、１６は再生膜
である。
【００１５】図１によると、本発明の短波長用光磁気記
録媒体は２Ｐガラス基板１１上にＳｉＮ材質の誘電体膜
１２が形成され、その上にＳｉＮ材質の保護膜１４とＡ
ｌ又はＡｌ−Ｔｉ材質の反射膜１５が順次形成されてい
る短波長用光磁気記録媒体において、前記誘電体膜１２
と保護膜１４との間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１
００−ｘよりなる再生膜１６とＴｂＦｅＣｏＣｒよりな
る記録膜１３の２層膜が順次形成された構造である。こ
のような構造の短波長用光磁気記録媒体は相互交換結合
を用いたものである。
録媒体は２Ｐガラス基板１１上にＳｉＮ材質の誘電体膜
１２が形成され、その上にＳｉＮ材質の保護膜１４とＡ
ｌ又はＡｌ−Ｔｉ材質の反射膜１５が順次形成されてい
る短波長用光磁気記録媒体において、前記誘電体膜１２
と保護膜１４との間にＮｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１
００−ｘよりなる再生膜１６とＴｂＦｅＣｏＣｒよりな
る記録膜１３の２層膜が順次形成された構造である。こ
のような構造の短波長用光磁気記録媒体は相互交換結合
を用いたものである。
【００１６】そして、Ｔｂ元素の存在により短波長領域
でのカー回転角（θｋ）は小さいが高い保磁力（Ｈｃ）
と垂直磁化値（Ｋｕ）を有する利点を用いて保磁力（Ｈ
ｃ）と垂直磁化値（Ｋｕ）を上昇させることができる。
又、Ｃｒ元素の存在によりディスク寿命に関係する耐食
性（耐候性）の向上だけでなく、飽和磁化（Ｍｓ）値を
低めて、Ｃｏ元素の存在によるキュリー温度上昇による
磁区（domain）の不安定を安定にし、垂直磁気異方性常
数値の上昇をもたらすことができる。
でのカー回転角（θｋ）は小さいが高い保磁力（Ｈｃ）
と垂直磁化値（Ｋｕ）を有する利点を用いて保磁力（Ｈ
ｃ）と垂直磁化値（Ｋｕ）を上昇させることができる。
又、Ｃｒ元素の存在によりディスク寿命に関係する耐食
性（耐候性）の向上だけでなく、飽和磁化（Ｍｓ）値を
低めて、Ｃｏ元素の存在によるキュリー温度上昇による
磁区（domain）の不安定を安定にし、垂直磁気異方性常
数値の上昇をもたらすことができる。
【００１７】従って、本発明による２層記録膜構造は相
互交換結合によりカー回転角（θｋ）も大きく垂直磁化
（Ｋｕ）もよくなって記録再生特性（Ｃ／Ｎ）が優れて
おり耐食性も向上された短波長用光磁気ディスクである
ので、大容量の情報を圧縮して入れる動画像のＨＤ−Ｔ
Ｖ画質級メディアとして使用できる。
互交換結合によりカー回転角（θｋ）も大きく垂直磁化
（Ｋｕ）もよくなって記録再生特性（Ｃ／Ｎ）が優れて
おり耐食性も向上された短波長用光磁気ディスクである
ので、大容量の情報を圧縮して入れる動画像のＨＤ−Ｔ
Ｖ画質級メディアとして使用できる。
【００１８】前記再生膜のＮｄ成分は本発明の光磁気記
録媒体の全体特性にかなり重要な影響を及ぼす。このＮ
ｄ成分の含量は５atm.% 〜３０atm.% の範囲がより望ま
しいものであり、１０atm.% 〜２０atm.% が最も望まし
い。仮に、前記範囲を外れると、つまりｘが３０atm.%
より大きい時は垂直磁化値が急激に低下する傾向とな
り、それによりカー回転角も急激に低下する様相を呈す
る。又、ｘが５atm.% より小さい時は既存のＴｂＦｅＣ
ｏ記録膜のカー回転角に殆ど等しい特性を現すので、特
性向上を期待することが難しい傾向となる。
録媒体の全体特性にかなり重要な影響を及ぼす。このＮ
ｄ成分の含量は５atm.% 〜３０atm.% の範囲がより望ま
しいものであり、１０atm.% 〜２０atm.% が最も望まし
い。仮に、前記範囲を外れると、つまりｘが３０atm.%
より大きい時は垂直磁化値が急激に低下する傾向とな
り、それによりカー回転角も急激に低下する様相を呈す
る。又、ｘが５atm.% より小さい時は既存のＴｂＦｅＣ
ｏ記録膜のカー回転角に殆ど等しい特性を現すので、特
性向上を期待することが難しい傾向となる。
【００１９】一方、本発明による再生膜であるＮｄ
ｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘの厚さは１０Å〜１
０００Åの範囲がより望ましいものである。又、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１５００Åの
範囲がより望ましいものであり、１０Å〜１０００Åの
範囲がさらに望ましい。そして、前記再生膜及び記録膜
の全体厚さは２０Å〜２５００Åがより適切である。こ
の際、レーザービームが記録又は再生時に前記再生膜を
通過して記録膜に到達すべきであるので、再生膜の厚さ
が前記範囲を外れた場合にはレーザービームの透過が難
しくなる傾向となり、記録膜厚さの限定はレーザービー
ムのパワーによる記録感度に関連するので、記録膜の厚
さが前記範囲を外れた場合には記録感度が低下する傾向
となる。
ｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘの厚さは１０Å〜１
０００Åの範囲がより望ましいものである。又、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１５００Åの
範囲がより望ましいものであり、１０Å〜１０００Åの
範囲がさらに望ましい。そして、前記再生膜及び記録膜
の全体厚さは２０Å〜２５００Åがより適切である。こ
の際、レーザービームが記録又は再生時に前記再生膜を
通過して記録膜に到達すべきであるので、再生膜の厚さ
が前記範囲を外れた場合にはレーザービームの透過が難
しくなる傾向となり、記録膜厚さの限定はレーザービー
ムのパワーによる記録感度に関連するので、記録膜の厚
さが前記範囲を外れた場合には記録感度が低下する傾向
となる。
【００２０】前記のような構造を有する本発明の短波長
用光磁気記録媒体は、ＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜が形
成された既存の記録媒体が短波長領域で有する問題点を
改善するために、１層膜は再生膜としてＮｄｘ（ＴｂＦ
ｅＣｏＣｒ）１００−ｘで、２層膜は記録膜としてＴｂ
ＦｅＣｏＣｒで構成される。このような構造による交換
結合効果により磁気光学効果が大きくなり、Ｃ／Ｎ比が
大きくなり、垂直磁化もよくなるものである。即ち、レ
ーザー波長が短波長である場合、ＴｂＦｅＣｏよりなる
既存の記録膜である場合にはカー回転角値が０．２５に
も及ばない欠点を有する。しかし、本発明による軽稀土
類であるＮｄはそれ自体が短波長領域で大きいカー回転
角を有するので、既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜に比べて全
体的なカー回転角の上昇をもたらすものである。
用光磁気記録媒体は、ＴｂＦｅＣｏよりなる記録膜が形
成された既存の記録媒体が短波長領域で有する問題点を
改善するために、１層膜は再生膜としてＮｄｘ（ＴｂＦ
ｅＣｏＣｒ）１００−ｘで、２層膜は記録膜としてＴｂ
ＦｅＣｏＣｒで構成される。このような構造による交換
結合効果により磁気光学効果が大きくなり、Ｃ／Ｎ比が
大きくなり、垂直磁化もよくなるものである。即ち、レ
ーザー波長が短波長である場合、ＴｂＦｅＣｏよりなる
既存の記録膜である場合にはカー回転角値が０．２５に
も及ばない欠点を有する。しかし、本発明による軽稀土
類であるＮｄはそれ自体が短波長領域で大きいカー回転
角を有するので、既存のＴｂＦｅＣｏ記録膜に比べて全
体的なカー回転角の上昇をもたらすものである。
【００２１】前記結果によりカー回転角が約０．４°〜
０．４５°、Ｃ／Ｎ比がおよそ５０ｄＢ前後に達する優
れた再生特性を有する光磁気ディスクが提供できる。こ
れはＨＤ−ＴＶ画質級動画像のＭＯＤの場合に高いカー
回転角値を有するほどに高いＣ／Ｎ比を有することにな
るので、高い回転角が有利である。又、Ｃｒの添加によ
り空気中で酸化される欠点を有するＴｂＦｅＣｏよりな
る既存の記録膜より耐食性及び耐酸化性を向上させるこ
とができる。
０．４５°、Ｃ／Ｎ比がおよそ５０ｄＢ前後に達する優
れた再生特性を有する光磁気ディスクが提供できる。こ
れはＨＤ−ＴＶ画質級動画像のＭＯＤの場合に高いカー
回転角値を有するほどに高いＣ／Ｎ比を有することにな
るので、高い回転角が有利である。又、Ｃｒの添加によ
り空気中で酸化される欠点を有するＴｂＦｅＣｏよりな
る既存の記録膜より耐食性及び耐酸化性を向上させるこ
とができる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明による短波長用光磁気記録媒体
の実施例について説明するが、本発明はこのような実施
例にのみ限定されるものではない。
の実施例について説明するが、本発明はこのような実施
例にのみ限定されるものではない。
【００２３】下記表１は本発明の光磁気記録媒体におけ
る再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構造と既存の
光磁気記録媒体における１層記録膜（ＴｂＦｅＣｏ）構
造の磁気特性及び磁気光学特性を比較したものである。
る再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構造と既存の
光磁気記録媒体における１層記録膜（ＴｂＦｅＣｏ）構
造の磁気特性及び磁気光学特性を比較したものである。
【００２４】本発明による２層膜構造は０．４°〜０．
４５°のカー回転角（θｋ）を有する。又、再生時には
Ｃ／Ｎ比が約５０ｄＢ前後であるので短波長であるレー
ザー波長５３２ｎｍ以下でも優れた動特性値を現す。
又、本発明は記録膜としてＴｂＦｅＣｏＣｒを使用する
ことにより保磁力（Ｈｃ）も比較的大きく、垂直磁化
（Ｋｕ）も容易であって角形比（Loop Squareness 、
ＭＲ（残留磁化値）／Ｍｓ（飽和磁化値））がおよそ１
に近い優れた磁気特性を有する。
４５°のカー回転角（θｋ）を有する。又、再生時には
Ｃ／Ｎ比が約５０ｄＢ前後であるので短波長であるレー
ザー波長５３２ｎｍ以下でも優れた動特性値を現す。
又、本発明は記録膜としてＴｂＦｅＣｏＣｒを使用する
ことにより保磁力（Ｈｃ）も比較的大きく、垂直磁化
（Ｋｕ）も容易であって角形比（Loop Squareness 、
ＭＲ（残留磁化値）／Ｍｓ（飽和磁化値））がおよそ１
に近い優れた磁気特性を有する。
【００２５】
【表１】
【００２６】下記表２はＮｄ組成の含量による本発明の
光磁気記録媒体における再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層
膜構造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示すもので
ある。ここで、Ｎｄ組成含量はatm.% で示した。又、備
考欄の組成はＩＣＰ（Inductively Coupled Plasmasp
ectrometer ）によりＮｄ組成を定量分析したもので、
例えば５atm.% が実際には４．２ａｔｍ％であることを
意味する。
光磁気記録媒体における再生膜／記録膜（Ｎｄｘ（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）１００−ｘ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層
膜構造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示すもので
ある。ここで、Ｎｄ組成含量はatm.% で示した。又、備
考欄の組成はＩＣＰ（Inductively Coupled Plasmasp
ectrometer ）によりＮｄ組成を定量分析したもので、
例えば５atm.% が実際には４．２ａｔｍ％であることを
意味する。
【００２７】一方、短波長用レーザー波長は５３２ｎｍ
のＳＨＧを使用し、保磁力（Ｈｃ）の測定は米国ＤＭＳ
社のＶＳＭ（Vibrating Sample Magnetometer ）を使
用した。又、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の測定は米国
ＤＭＳ社のトルクマグネトメーター（Torque magnetom
eter ）を使用した。さらに又、カー回転角（θｋ）は
５３２ｎｍ波長のＳＨＧ緑色レーザーを光源として使用
する自社製作したカーループトレーサー（Kerr Loop
Tracer）を使用して測定した。さらに又、Ｃ／Ｎ比は自
社開発された５３２ｎｍの動特性装備（Dynamic teste
r ）で測定した。
のＳＨＧを使用し、保磁力（Ｈｃ）の測定は米国ＤＭＳ
社のＶＳＭ（Vibrating Sample Magnetometer ）を使
用した。又、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の測定は米国
ＤＭＳ社のトルクマグネトメーター（Torque magnetom
eter ）を使用した。さらに又、カー回転角（θｋ）は
５３２ｎｍ波長のＳＨＧ緑色レーザーを光源として使用
する自社製作したカーループトレーサー（Kerr Loop
Tracer）を使用して測定した。さらに又、Ｃ／Ｎ比は自
社開発された５３２ｎｍの動特性装備（Dynamic teste
r ）で測定した。
【００２８】前記方法で測定した測定値を下記表２に記
載し、図２〜図５のグラフで示した。
載し、図２〜図５のグラフで示した。
【００２９】
【表２】
【００３０】図２〜図５はそれぞれ本発明の光磁気記録
媒体における再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ組成
含量による保磁力（Ｈｃ）の変化、垂直磁気異方性常数
（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及びＣ／Ｎ比
（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
媒体における再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ組成
含量による保磁力（Ｈｃ）の変化、垂直磁気異方性常数
（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及びＣ／Ｎ比
（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
【００３１】図２〜図５によると、Ｎｄ組成の含量を変
化させた時、Ｎｄ組成が１０atm.%〜２０atm.% で、保
磁力（Ｈc ）、カー回転角（θk ）、Ｃ／Ｎ比が高い値
を表わした。そして、本発明によるＮｄ組成の含量範囲
ではおよそ満足な特性を呈した。
化させた時、Ｎｄ組成が１０atm.%〜２０atm.% で、保
磁力（Ｈc ）、カー回転角（θk ）、Ｃ／Ｎ比が高い値
を表わした。そして、本発明によるＮｄ組成の含量範囲
ではおよそ満足な特性を呈した。
【００３２】一方、本発明者はさらに本発明による短波
長用光磁気記録媒体の再生膜を改良させるために、前述
した再生膜の物質に重希土類のＧｄを添加してその特性
を改善した。従って、本発明による光磁気記録媒体は再
生膜の物質がさらにＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂよりなるものである。
長用光磁気記録媒体の再生膜を改良させるために、前述
した再生膜の物質に重希土類のＧｄを添加してその特性
を改善した。従って、本発明による光磁気記録媒体は再
生膜の物質がさらにＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂよりなるものである。
【００３３】本発明に使用される軽稀土類のＮｄと重稀
土類のＧｄは短波長領域で磁気光学効果（カー回転角）
が大きい利点を用いてＮｄ，Ｇｄ元素間の相互上昇作用
によりカー回転角を増大し得る。
土類のＧｄは短波長領域で磁気光学効果（カー回転角）
が大きい利点を用いてＮｄ，Ｇｄ元素間の相互上昇作用
によりカー回転角を増大し得る。
【００３４】本発明による再生膜のＮｄ及びＧｄ元素は
本発明の光磁気記録媒体の全体特性にかなり重要な影響
を及ぼす。そして、前記Ｎｄ元素含量ａは０atm.% より
大きく２５atm.% 以下であり、Ｇｄ元素含量ｂは０atm.
% より大きく１５atm.% より小さく、これの総量（ａ＋
ｂ）は５atm.% 〜３０atm.% が望ましい。仮に、Ｎｄと
Ｇｄ元素の含量が前記範囲を外れる場合には垂直磁化値
が急激に低下する傾向となって磁区安定性に不利に作用
し、これによりカー回転角も減少する傾向となる。
本発明の光磁気記録媒体の全体特性にかなり重要な影響
を及ぼす。そして、前記Ｎｄ元素含量ａは０atm.% より
大きく２５atm.% 以下であり、Ｇｄ元素含量ｂは０atm.
% より大きく１５atm.% より小さく、これの総量（ａ＋
ｂ）は５atm.% 〜３０atm.% が望ましい。仮に、Ｎｄと
Ｇｄ元素の含量が前記範囲を外れる場合には垂直磁化値
が急激に低下する傾向となって磁区安定性に不利に作用
し、これによりカー回転角も減少する傾向となる。
【００３５】一方、本発明による再生膜であるＮｄａＧ
ｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００− ａ−ｂの厚さは１０
Å〜５００Åの範囲がより望ましいものであり、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１０００Åの
範囲がより望ましいものである。ここで、レーザービー
ムは前記再生膜を通過して記録膜に到達すべきであるの
で、再生膜の厚さが前記範囲を外れた場合にはレーザー
ビームの透過が難しくなる傾向となり、記録膜厚さの限
定はレーザービームのパワーによる記録感度に関連する
ので、記録膜の厚さが前記範囲を外れた場合には記録感
度が低下する傾向となる。
ｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００− ａ−ｂの厚さは１０
Å〜５００Åの範囲がより望ましいものであり、記録膜
であるＴｂＦｅＣｏＣｒの厚さは１０Å〜１０００Åの
範囲がより望ましいものである。ここで、レーザービー
ムは前記再生膜を通過して記録膜に到達すべきであるの
で、再生膜の厚さが前記範囲を外れた場合にはレーザー
ビームの透過が難しくなる傾向となり、記録膜厚さの限
定はレーザービームのパワーによる記録感度に関連する
ので、記録膜の厚さが前記範囲を外れた場合には記録感
度が低下する傾向となる。
【００３６】下記表３はＮｄ及びＧｄ組成の含量による
本発明の再生膜／記録膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏ
Ｃｒ）１００−ａ−ｂ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構
造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示したものであ
る。ここで、Ｎｄ及びＧｄ組成含量はatm.% で示した。
本発明の再生膜／記録膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏ
Ｃｒ）１００−ａ−ｂ／ＴｂＦｅＣｏＣｒ）の２層膜構
造の磁気特性及び磁気光学特性の変化を示したものであ
る。ここで、Ｎｄ及びＧｄ組成含量はatm.% で示した。
【００３７】一方、保磁力（Ｈｃ）及び飽和磁化値（Ｍ
ｓ）、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）、カー回転角
（θｋ）及びＣ／Ｎ比の測定は前述した各々の測定装備
と同じ装備で測定した。
ｓ）、垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）、カー回転角
（θｋ）及びＣ／Ｎ比の測定は前述した各々の測定装備
と同じ装備で測定した。
【００３８】前記方法で測定した測定値を下記表３に記
載し、これを図６〜図１０にグラフで示した。
載し、これを図６〜図１０にグラフで示した。
【００３９】
【表３】
【００４０】図６〜図１０はそれぞれ再生膜ＮｄａＧｄ
ｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ −ｂ／記録膜（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ及びＧｄ組成含量による保磁力
（Ｈｃ）の変化、飽和磁化値（Ｍｓ）の変化、垂直磁気
異方性常数（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及
びＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
ｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ −ｂ／記録膜（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ及びＧｄ組成含量による保磁力
（Ｈｃ）の変化、飽和磁化値（Ｍｓ）の変化、垂直磁気
異方性常数（Ｋｕ）の変化、カー回転角（°）の変化及
びＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフである。
【００４１】前記表３及び図６〜図１０によると、Ｎｄ
及びＧｄ組成の含量を変化させた時、Ｎｄ組成が１０at
m.% 〜２０atm.% 、Ｇｄ組成が５atm.% 〜１０atm.%
で、カー回転角（θｋ）、Ｃ／Ｎ比が高い値を表わして
いる。そして、前記最適範囲を外れた本発明によるＮｄ
及びＧｄ組成の含量範囲でもおよそ満足な特性を呈し
た。しかし、本発明によるＮｄ、Ｇｄ組成の含量範囲を
外れた場合には垂直磁化値及びカー回転角が急激に減少
することがわかる。
及びＧｄ組成の含量を変化させた時、Ｎｄ組成が１０at
m.% 〜２０atm.% 、Ｇｄ組成が５atm.% 〜１０atm.%
で、カー回転角（θｋ）、Ｃ／Ｎ比が高い値を表わして
いる。そして、前記最適範囲を外れた本発明によるＮｄ
及びＧｄ組成の含量範囲でもおよそ満足な特性を呈し
た。しかし、本発明によるＮｄ、Ｇｄ組成の含量範囲を
外れた場合には垂直磁化値及びカー回転角が急激に減少
することがわかる。
【００４２】
【発明の効果】従って、本発明の短波長用光磁気記録媒
体を使用する場合、Ｎｄ，Ｇｄ元素の存在による短波長
領域で相互上昇作用によりカー回転角が約０．５°前後
に達する優れた磁気光学効果を奏する。そして、Ｃｒ元
素の存在による耐食，耐候性の向上と飽和磁化値
（Ｍｓ）の減少による磁区の安定性及び垂直磁気異方性
常数の増加により寿命及び信頼性が向上できる。又、再
生膜と記録膜の交換結合により高いカー回転角と垂直磁
化値を有し、再生時にはＣ／Ｎ比が約５０ｄＢ付近に達
する記録再生特性が得られる著しく優れた利点がある。
体を使用する場合、Ｎｄ，Ｇｄ元素の存在による短波長
領域で相互上昇作用によりカー回転角が約０．５°前後
に達する優れた磁気光学効果を奏する。そして、Ｃｒ元
素の存在による耐食，耐候性の向上と飽和磁化値
（Ｍｓ）の減少による磁区の安定性及び垂直磁気異方性
常数の増加により寿命及び信頼性が向上できる。又、再
生膜と記録膜の交換結合により高いカー回転角と垂直磁
化値を有し、再生時にはＣ／Ｎ比が約５０ｄＢ付近に達
する記録再生特性が得られる著しく優れた利点がある。
【図１】本発明の短波長用光磁気記録媒体の概略断面図
である。
である。
【図２】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグラフであ
る。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグラフであ
る。
【図３】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の変化を示
すグラフである。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の変化を示
すグラフである。
【図４】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるカー（Kerr）回転角（°）の変化を示す
グラフである。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるカー（Kerr）回転角（°）の変化を示す
グラフである。
【図５】本発明による再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフで
ある。
ｒ）１００−ｘ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示すグラフで
ある。
【図６】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグ
ラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による保磁力（Ｈｃ）の変化を示すグ
ラフである。
【図７】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による飽和磁化値（Ｍｓ）の変化を示
すグラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による飽和磁化値（Ｍｓ）の変化を示
すグラフである。
【図８】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の
変化を示すグラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量による垂直磁気異方性常数（Ｋｕ）の
変化を示すグラフである。
【図９】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるカー回転角（°）の変化を示す
グラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるカー回転角（°）の変化を示す
グラフである。
【図１０】再生膜（ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示す
グラフである。
１００−ａ−ｂ）／記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）のＮｄ
及びＧｄ組成含量によるＣ／Ｎ比（ｄＢ）の変化を示す
グラフである。
【図１１】従来の短波長用光磁気記録媒体の概略断面図
である。
である。
【符号の説明】 １１ 基板（２Ｐガラス） １２ 誘電体膜（ＳｉＮ） ３ 記録膜（ＴｂＦｅＣｏＣｒ） １４ 保護膜（ＳｉＮ） １５ 反射膜（Ａｌ又はＡｌ−Ｔｉ） １６ 再生膜（Ｎｄｘ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ｘ，ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）
ｒ）１００−ｘ，ＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）
１００−ａ−ｂ）
Claims (10)
- 【請求項１】基板（１１）上に誘電体膜（１２）が形成
され、その上に保護膜（１４）及び反射膜（１５）が順
次形成されている短波長用光磁気記録媒体において、前
記誘電体膜（１２）と保護膜（１４）との間にＮｄ
ｘ（ＴｂＦｅＣｏＣｒ）１００− ｘよりなる再生膜（１
６）とＴｂＦｅＣｏＣｒよりなる記録膜（１３）が順次
形成されていることを特徴とする短波長用光磁気記録媒
体。 - 【請求項２】前記再生膜（１６）のＮｄｘ（ＴｂＦｅＣ
ｏＣｒ）１００−ｘのＮｄ含量であるｘが５atm.% 〜３
０atm.% であることを特徴とする請求項１記載の短波長
用光磁気記録媒体。 - 【請求項３】前記再生膜（１６）のＮｄ含量が１０atm.
% 〜２０atm.% であることを特徴とする請求項２記載の
短波長用光磁気記録媒体。 - 【請求項４】前記再生膜（１６）の厚さが１０Å〜１０
００Åの範囲であることを特徴とする請求項１記載の短
波長用光磁気記録媒体。 - 【請求項５】前記記録膜（１３）の厚さが１０Å〜１５
００Åの範囲であることを特徴とする請求項１記載の短
波長用光磁気記録媒体。 - 【請求項６】前記再生膜（１６）と記録膜（１３）の総
厚さが２０Å〜２５００Åであることを特徴とする請求
項１記載の短波長用光磁気記録媒体。 - 【請求項７】前記再生膜（１６）の物質がこれにＧｄ元
素がさらに添加されてＮｄａＧｄｂ（ＴｂＦｅＣｏＣ
ｒ）１００−ａ−ｂであることを特徴とする請求項１記
載の短波長用光磁気記録媒体。 - 【請求項８】前記再生膜（１６）のＮｄａＧｄｂ（Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ）１００−ａ−ｂのＮｄ及びＧｄの各々の
含量はａが０atm.% より大きく２５atm.% 以下であり、
ｂが０atm.% より大きく１５atm.% 以下であり、その総
含量が５atm.% 〜３０atm.%であることを特徴とする請
求項７記載の短波長用光磁気記録媒体。 - 【請求項９】前記再生膜（１６）の厚さが１０Å〜５０
０Åの範囲であることを特徴とする請求項７記載の短波
長用光磁気記録媒体。 - 【請求項１０】前記記録膜（１３）の厚さが１０Å〜１
０００Åの範囲であることを特徴とする請求項５記載の
短波長用光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7176364A JP2749537B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 短波長用光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7176364A JP2749537B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 短波長用光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935345A true JPH0935345A (ja) | 1997-02-07 |
| JP2749537B2 JP2749537B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=16012332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7176364A Expired - Fee Related JP2749537B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 短波長用光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2749537B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124131A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1995
- 1995-07-12 JP JP7176364A patent/JP2749537B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124131A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2749537B2 (ja) | 1998-05-13 |
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