JP2744065B2 - Ｘ線取出し窓付ゲートバルブ - Google Patents
Ｘ線取出し窓付ゲートバルブInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はシンクロトロンからＸ線を取外すビームライ
ンに関し、特に超高真空部のＸ線取出し窓に関する。
ンに関し、特に超高真空部のＸ線取出し窓に関する。
［従来の技術］ 第６図は、従来のＸ線取出し窓を用いたシンクロトロ
ン放射光取出し用ビームラインの斜視図、第７図は第６
図に示すＸ線取出し窓91の縦断面図である。
ン放射光取出し用ビームラインの斜視図、第７図は第６
図に示すＸ線取出し窓91の縦断面図である。
このシンクロトロン放射光取出し用ビームラインはミ
ラーチェンバー４、長直線部19、ヘリウムチェンバー10
を含むメインパイプ２と、Ｘ線反射ミラー３と、ミラー
駆動系５と、真空ポンプ6,13と、ゲートバルブ7,8,12,1
4と、シャッター11と、ヘリウム導入口17と、Ｘ線取出
し窓91,15からなり、シンクロトロンの蓄積リング１か
らＸ線がこのビームラインに放射され、Ｘ線取出し窓9
1,15を経て露光用アライナ16に到達し、ここでウエハと
マスクがアラインされて露光に供される。
ラーチェンバー４、長直線部19、ヘリウムチェンバー10
を含むメインパイプ２と、Ｘ線反射ミラー３と、ミラー
駆動系５と、真空ポンプ6,13と、ゲートバルブ7,8,12,1
4と、シャッター11と、ヘリウム導入口17と、Ｘ線取出
し窓91,15からなり、シンクロトロンの蓄積リング１か
らＸ線がこのビームラインに放射され、Ｘ線取出し窓9
1,15を経て露光用アライナ16に到達し、ここでウエハと
マスクがアラインされて露光に供される。
ここで、蓄積リング１、ミラーチェンバー４、長直線
部19は10-10Torrの超高真空となっており、Ｘ線取出し
窓91と15との間には１気圧のヘリウムが満たされ、露光
用アライナ16は一般に大気中露光方式が主に用いられて
いるため、超高真空と１気圧とを隔てるＸ線取出し窓91
が設けられている。Ｘ線取出し窓91はＸ線の透過率が高
いSiN,SiC等の無機膜やポリイミド、ポリプロピレン等
の有機膜が用いられ、高効率なＸ線取出しを行なうた
め、膜厚が10〜20μｍの薄い膜が使用されている。ま
た、これらＸ線取出し窓91,15は長時間放射光によって
照射されると劣化するのでときどき交換する必要があ
る。
部19は10-10Torrの超高真空となっており、Ｘ線取出し
窓91と15との間には１気圧のヘリウムが満たされ、露光
用アライナ16は一般に大気中露光方式が主に用いられて
いるため、超高真空と１気圧とを隔てるＸ線取出し窓91
が設けられている。Ｘ線取出し窓91はＸ線の透過率が高
いSiN,SiC等の無機膜やポリイミド、ポリプロピレン等
の有機膜が用いられ、高効率なＸ線取出しを行なうた
め、膜厚が10〜20μｍの薄い膜が使用されている。ま
た、これらＸ線取出し窓91,15は長時間放射光によって
照射されると劣化するのでときどき交換する必要があ
る。
［発明が解決しようとする課題］ 上述した従来のビームラインの超高真空の長直線部と
１気圧のヘリウムチェンバーとの間に固定して取付けら
れているＸ線取出し窓は、超高真空側を大気圧にしなけ
れば窓の取替えができず、また、Ｘ線取出し窓が直接ビ
ームラインに固定して取付けられているのでビームライ
ンを切離して取替えることになり、多数のボルトを外す
ため、作業時間がかかるとともに交換後のリークの発生
も考えられ、さらに超高真空側の真空工程にはベーキン
グを要し、最低２日が必要となり、長時間を要するとい
う欠点がある。
１気圧のヘリウムチェンバーとの間に固定して取付けら
れているＸ線取出し窓は、超高真空側を大気圧にしなけ
れば窓の取替えができず、また、Ｘ線取出し窓が直接ビ
ームラインに固定して取付けられているのでビームライ
ンを切離して取替えることになり、多数のボルトを外す
ため、作業時間がかかるとともに交換後のリークの発生
も考えられ、さらに超高真空側の真空工程にはベーキン
グを要し、最低２日が必要となり、長時間を要するとい
う欠点がある。
本発明の目的は、長時間をかけず、容易にＸ線取出し
窓の取替えができるＸ線取出し窓付ゲートバルブを提供
することである。
窓の取替えができるＸ線取出し窓付ゲートバルブを提供
することである。
［課題を解決するための手段］ 本発明のＸ線取出し窓付ゲートバルブは長直線部の軸
線に交わり、互いに対向し、対向する面が互いに平行な
側壁で囲まれた空間を有し、両側壁にはそれぞれ長直線
部、ヘリウムチェンバーに連なる第１、第２のＸ線通過
孔が設けられ、ヘリウムチェンバー側の側壁の、ヘリウ
ムチェンバーとのフランジ面を除く部分に開口が設けら
れているボディと、 一方の側面は第１のＸ線通過孔を閉塞するだけの大き
さがあり、該側面の中央部から他方の側面に貫通するＸ
線通過孔が設けられ、該Ｘ線通過孔を取囲むシールリン
グを保持し、他方の側面にはＸ線取出し窓がシールリン
グを介して取外し可能に取付けられている第１の隔壁
と、 一方の側面がシールリングを保持し、第１のＸ線通過
孔を該シールリングを介して閉塞するだけの大きさを有
する第２の隔壁と、 ボディの前記開口を外側から閉塞する、取外し可能な
閉塞板と、 第１、第２の隔壁とともにボディ内に収容され、第２
の隔壁がボディの第１のＸ線通過孔にあるとき第１の隔
壁がボディの前記開口と対向可能な位置関係に第１、第
２の隔壁を保持し、ボディの第１のＸ線通過孔と対峙す
る位置にある隔壁の側面をボディの内面に押当てる作用
をする隔壁押し当て部材と、 第１の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する位置にある
とき、第２の隔壁がボディの前記開口と反対側に位置
し、第２の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する位置にあ
るとき第１の隔壁がボディの前記開口と対峙するよう
に、隔壁押し当て部材を移動させる駆動機構とを有し、 前記開口は第１の隔壁のＸ線取出し窓をボディの外か
ら取外せるだけの大きさである。
線に交わり、互いに対向し、対向する面が互いに平行な
側壁で囲まれた空間を有し、両側壁にはそれぞれ長直線
部、ヘリウムチェンバーに連なる第１、第２のＸ線通過
孔が設けられ、ヘリウムチェンバー側の側壁の、ヘリウ
ムチェンバーとのフランジ面を除く部分に開口が設けら
れているボディと、 一方の側面は第１のＸ線通過孔を閉塞するだけの大き
さがあり、該側面の中央部から他方の側面に貫通するＸ
線通過孔が設けられ、該Ｘ線通過孔を取囲むシールリン
グを保持し、他方の側面にはＸ線取出し窓がシールリン
グを介して取外し可能に取付けられている第１の隔壁
と、 一方の側面がシールリングを保持し、第１のＸ線通過
孔を該シールリングを介して閉塞するだけの大きさを有
する第２の隔壁と、 ボディの前記開口を外側から閉塞する、取外し可能な
閉塞板と、 第１、第２の隔壁とともにボディ内に収容され、第２
の隔壁がボディの第１のＸ線通過孔にあるとき第１の隔
壁がボディの前記開口と対向可能な位置関係に第１、第
２の隔壁を保持し、ボディの第１のＸ線通過孔と対峙す
る位置にある隔壁の側面をボディの内面に押当てる作用
をする隔壁押し当て部材と、 第１の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する位置にある
とき、第２の隔壁がボディの前記開口と反対側に位置
し、第２の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する位置にあ
るとき第１の隔壁がボディの前記開口と対峙するよう
に、隔壁押し当て部材を移動させる駆動機構とを有し、 前記開口は第１の隔壁のＸ線取出し窓をボディの外か
ら取外せるだけの大きさである。
［作用］ Ｘ線取出し窓を取替える場合、ヘリウムチェンバーを
10-6Torr台の高真空にし、本Ｘ線取出し窓付ゲートバル
ブの第１の隔壁をボディの開口部へ移動させ、連動して
第１のＸ線通過孔に対峙した第２の隔壁をボディの内壁
に押当て、ヘリウムチェンバーを大気圧にし、開口の閉
塞板を取外してＸ線取出し窓を取替える。その後、開口
の閉塞板を取付け、ヘリウムチェンバーを再び10-6Torr
台の高真空にし、第１の隔壁を第１のＸ線通過孔の位置
に移動させてボディの内壁に押当て、ヘリウムチェンバ
ーをヘリウム１気圧に戻すことにより、容易にＸ線取出
し窓の取替えが行なわれる。
10-6Torr台の高真空にし、本Ｘ線取出し窓付ゲートバル
ブの第１の隔壁をボディの開口部へ移動させ、連動して
第１のＸ線通過孔に対峙した第２の隔壁をボディの内壁
に押当て、ヘリウムチェンバーを大気圧にし、開口の閉
塞板を取外してＸ線取出し窓を取替える。その後、開口
の閉塞板を取付け、ヘリウムチェンバーを再び10-6Torr
台の高真空にし、第１の隔壁を第１のＸ線通過孔の位置
に移動させてボディの内壁に押当て、ヘリウムチェンバ
ーをヘリウム１気圧に戻すことにより、容易にＸ線取出
し窓の取替えが行なわれる。
［実施例］ 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明のＸ線取出し窓付ゲートバルブの一実
施例が取付けられたシンクロトロン放射光取出し用ビー
ムラインの斜視図、第２図は第１図に示すベリウム窓23
と可視光線透過窓41とが取付けられたゲートバルブ181
の縦断面図、第３図は第２図の隔壁32がフランジ27の位
置に対峙した状態のゲートバルブ181の縦断面図、第４
図は第３図の隔壁371の近傍の拡大縦断面図である。
施例が取付けられたシンクロトロン放射光取出し用ビー
ムラインの斜視図、第２図は第１図に示すベリウム窓23
と可視光線透過窓41とが取付けられたゲートバルブ181
の縦断面図、第３図は第２図の隔壁32がフランジ27の位
置に対峙した状態のゲートバルブ181の縦断面図、第４
図は第３図の隔壁371の近傍の拡大縦断面図である。
このシンクロトロン放射光取出し用ビームラインは第
６図に示す従来のシンクロトロン放射光取出し用ビーム
ラインのＸ線取出し窓91の代りにベリリウム窓23が取付
けられた隔壁32と可視光線透過窓41が取付けられた隔壁
371を含むゲートバルブ181が取付けられたものである。
ゲートバルブ181は、ボディ40と、バルブ駆動ノッブ30
と、隔壁駆動棒26と、隔壁32,371と、隔壁カム押板24か
らなる。ボディ40は、メインパイプ２の長直線部19の下
流側端部のフランジと、ヘリウムチェンバー10の上流側
端部のフランジにそれぞれ接続される接続フランジ2
51，252と、ビームラインの上流側と下流側とに設けら
れ、長直線部19の軸線に垂直な内壁面を有し、接続フラ
ンジ251、252をそれぞれ含む側壁481，482と、側壁482
上の接続フランジ面252の上部と下部に設けられ、それ
ぞれに閉塞板28と42が止ねじ291，292で取外し可能に取
付けられたフランジ面27と46と、上端中央部に真空ベロ
ーズ49が設けられた筒状の連絡孔を有し、Ｏリング50を
介して取外し可能に取付けられた頭部と、側壁481の内
壁の上端部と下端部近傍にストッパ34,33を有してい
る。隔壁32はボディ40内に上昇・下降可能に設けられ、
ボディ40のＸ線通過孔43を完全に覆う大きさの外径を有
し、中央にＸ線通過孔43の直径より小さい直径のＸ線通
過孔44が設けられ、上流側の面にＸ線通過孔44と同心円
の溝に保持されたＯリング39を有し、他方の面にＸ線通
過孔44を覆うベリリウム窓23がＯリング211を介してベ
リリウム窓保持板20と止ねじ221により取外し可能に取
付けられている。隔壁371は、隔壁32と同様の構造を有
し、ベリリウム窓23の代りに可視光線透過窓41が設けら
れ、隔壁32と接続され、そのベリリウム窓23の中心点と
可視光線透過窓41の中心点との距離はボディ40の接続フ
ランジ252の中心点とフランジ27の中心点との距離と等
しい。
６図に示す従来のシンクロトロン放射光取出し用ビーム
ラインのＸ線取出し窓91の代りにベリリウム窓23が取付
けられた隔壁32と可視光線透過窓41が取付けられた隔壁
371を含むゲートバルブ181が取付けられたものである。
ゲートバルブ181は、ボディ40と、バルブ駆動ノッブ30
と、隔壁駆動棒26と、隔壁32,371と、隔壁カム押板24か
らなる。ボディ40は、メインパイプ２の長直線部19の下
流側端部のフランジと、ヘリウムチェンバー10の上流側
端部のフランジにそれぞれ接続される接続フランジ2
51，252と、ビームラインの上流側と下流側とに設けら
れ、長直線部19の軸線に垂直な内壁面を有し、接続フラ
ンジ251、252をそれぞれ含む側壁481，482と、側壁482
上の接続フランジ面252の上部と下部に設けられ、それ
ぞれに閉塞板28と42が止ねじ291，292で取外し可能に取
付けられたフランジ面27と46と、上端中央部に真空ベロ
ーズ49が設けられた筒状の連絡孔を有し、Ｏリング50を
介して取外し可能に取付けられた頭部と、側壁481の内
壁の上端部と下端部近傍にストッパ34,33を有してい
る。隔壁32はボディ40内に上昇・下降可能に設けられ、
ボディ40のＸ線通過孔43を完全に覆う大きさの外径を有
し、中央にＸ線通過孔43の直径より小さい直径のＸ線通
過孔44が設けられ、上流側の面にＸ線通過孔44と同心円
の溝に保持されたＯリング39を有し、他方の面にＸ線通
過孔44を覆うベリリウム窓23がＯリング211を介してベ
リリウム窓保持板20と止ねじ221により取外し可能に取
付けられている。隔壁371は、隔壁32と同様の構造を有
し、ベリリウム窓23の代りに可視光線透過窓41が設けら
れ、隔壁32と接続され、そのベリリウム窓23の中心点と
可視光線透過窓41の中心点との距離はボディ40の接続フ
ランジ252の中心点とフランジ27の中心点との距離と等
しい。
隔壁駆動棒26は、上端部がバルブ駆動ノッブ30に接続
され雌ねじ45を有する心棒で、ボディ40の筒状の連絡孔
にベアリングを介して保持される上部と、雌ねじ45に螺
合するねじを有する下部とからなっている。隔壁カム押
板24は上端に隔壁駆動棒26の下端が回動可能に取付けら
れ、隔壁32,371と隔壁押当用カム311，312，361，362を
介して接続され、隔壁駆動棒26の駆動により隔壁32,371
を上昇および下降させ、隔壁32,371のいずれかのＸ線通
過孔44の中心線がＸ線通過孔43の中心線に一致したとき
該隔壁をボディ40の側壁481に押当てる。
され雌ねじ45を有する心棒で、ボディ40の筒状の連絡孔
にベアリングを介して保持される上部と、雌ねじ45に螺
合するねじを有する下部とからなっている。隔壁カム押
板24は上端に隔壁駆動棒26の下端が回動可能に取付けら
れ、隔壁32,371と隔壁押当用カム311，312，361，362を
介して接続され、隔壁駆動棒26の駆動により隔壁32,371
を上昇および下降させ、隔壁32,371のいずれかのＸ線通
過孔44の中心線がＸ線通過孔43の中心線に一致したとき
該隔壁をボディ40の側壁481に押当てる。
次に、このゲートバルブ181のＸ線取出し窓の交換操
作について説明する。
作について説明する。
いま、隔壁32のＸ線取出し窓であるベリリウム窓23を
取替えるものとすると、まず、ゲートバルブ7,8,12を閉
じ、ゲートバルブ14を開いて真空ポンプ13によってヘリ
ウムチェンバー10を10-6Torr台の高真空にする。次に、
ゲートバルブ14を閉じ、ゲートバルブ181のバルブ駆動
ノッブ30を回して隔壁カム押板24を引上げる。隔壁カム
押板24が上方に引上げられると、隔壁押当用カム311、3
12の長軸側が立上げられ側面481に対する圧力が緩めら
れて隔壁32,371が引上げられ、隔壁32の頂部がストッパ
34に突当ると、隔壁32,371が停止し、さらに隔壁カム押
板24が引上げられると隔壁押当用カム361、362の長軸側
が横に押倒されて隔壁371をボディ40の側壁481に押付
け、可視光線透過窓41でＸ線通過孔43を密閉する。その
後、ヘリウム導入口17を開いてヘリウムチェンバー10内
を大気圧とし、止ねじ29を全部抜取って閉塞板28を取外
し、止ねじ22を抜いてベリリウム窓23を取外し、新しい
ベリリウム窓を止ねじ22で取付け、閉塞板28を止ねじ29
1により取付ける。次に、シャッター11を閉じ、ゲート
バルブ14を開き、真空ポンプ13を動作させてヘリウムチ
ェンバー10を10-6Torr台の高真空にし、ゲートバルブ14
を閉じ、バルブ駆動ノッブ30を下降方向に回転する。こ
の回転により隔壁カム押板24が下方に動くと、隔壁押当
用カム361、362の長軸側が立上げられ、隔壁371の側壁4
81に対する圧力が緩み、隔壁32,371が下降する。この下
降が進んで隔壁371の下端部がストッパー33に突当る
と、隔壁32,371が停止し、さらに隔壁カム押板24が下へ
押下げられると、隔壁押当用カム311、312の長軸側が横
に押倒されて作動し、隔壁32が胴体40のＸ線通過孔43を
覆う位置に来ているので側壁481の内壁にＯリング39を
介して押当てられる。次に、ヘリウム導入口17を開いて
ヘリウムチェンバー10をヘリウムの１気圧にし、また、
ゲートバルブ8,12を開き、ゲートバルブ７を開いてＸ線
の取出しを行なう。
取替えるものとすると、まず、ゲートバルブ7,8,12を閉
じ、ゲートバルブ14を開いて真空ポンプ13によってヘリ
ウムチェンバー10を10-6Torr台の高真空にする。次に、
ゲートバルブ14を閉じ、ゲートバルブ181のバルブ駆動
ノッブ30を回して隔壁カム押板24を引上げる。隔壁カム
押板24が上方に引上げられると、隔壁押当用カム311、3
12の長軸側が立上げられ側面481に対する圧力が緩めら
れて隔壁32,371が引上げられ、隔壁32の頂部がストッパ
34に突当ると、隔壁32,371が停止し、さらに隔壁カム押
板24が引上げられると隔壁押当用カム361、362の長軸側
が横に押倒されて隔壁371をボディ40の側壁481に押付
け、可視光線透過窓41でＸ線通過孔43を密閉する。その
後、ヘリウム導入口17を開いてヘリウムチェンバー10内
を大気圧とし、止ねじ29を全部抜取って閉塞板28を取外
し、止ねじ22を抜いてベリリウム窓23を取外し、新しい
ベリリウム窓を止ねじ22で取付け、閉塞板28を止ねじ29
1により取付ける。次に、シャッター11を閉じ、ゲート
バルブ14を開き、真空ポンプ13を動作させてヘリウムチ
ェンバー10を10-6Torr台の高真空にし、ゲートバルブ14
を閉じ、バルブ駆動ノッブ30を下降方向に回転する。こ
の回転により隔壁カム押板24が下方に動くと、隔壁押当
用カム361、362の長軸側が立上げられ、隔壁371の側壁4
81に対する圧力が緩み、隔壁32,371が下降する。この下
降が進んで隔壁371の下端部がストッパー33に突当る
と、隔壁32,371が停止し、さらに隔壁カム押板24が下へ
押下げられると、隔壁押当用カム311、312の長軸側が横
に押倒されて作動し、隔壁32が胴体40のＸ線通過孔43を
覆う位置に来ているので側壁481の内壁にＯリング39を
介して押当てられる。次に、ヘリウム導入口17を開いて
ヘリウムチェンバー10をヘリウムの１気圧にし、また、
ゲートバルブ8,12を開き、ゲートバルブ７を開いてＸ線
の取出しを行なう。
また、ビームライン立上げ時やミラー交換時にビーム
ラインの光軸調整が必要な場合、隔壁371にあらかじめ
取付けられている石英、サファイヤ等の可視光透過窓41
を第３図に示すように、隔壁32を上昇させたときと同様
の操作によって隔壁371を胴体部40のＸ線通過孔43に対
峙させ、露光用アライナ16の位置で放射線の可視光領域
の可視光線を観察しながら光軸調整を行なうことができ
る。この隔壁371の窓の取替え手順は隔壁32の場合と同
様で、隔壁371がフランジ46と対峙する位置にセットさ
れたときヘリウムチェンバー10を大気圧にして閉塞板42
を止ねじ292を外して取除き、窓41を取替え、閉塞板42
を取付け、ヘリウムチェンバー10を真空にしその後ヘリ
ウム導入口17からヘリウムを１気圧に満たす。また、隔
壁371にもベリリウム等のＸ線取出し窓を設置すればヘ
リウムチェンバー10を一度高真空とするだけでＸ線取出
し窓の交換ができる。さらに、ベリリウム等の厚さを違
えておけば異なる波長のＸ線を取出せ、フィルターの効
果も持たせることが可能である。
ラインの光軸調整が必要な場合、隔壁371にあらかじめ
取付けられている石英、サファイヤ等の可視光透過窓41
を第３図に示すように、隔壁32を上昇させたときと同様
の操作によって隔壁371を胴体部40のＸ線通過孔43に対
峙させ、露光用アライナ16の位置で放射線の可視光領域
の可視光線を観察しながら光軸調整を行なうことができ
る。この隔壁371の窓の取替え手順は隔壁32の場合と同
様で、隔壁371がフランジ46と対峙する位置にセットさ
れたときヘリウムチェンバー10を大気圧にして閉塞板42
を止ねじ292を外して取除き、窓41を取替え、閉塞板42
を取付け、ヘリウムチェンバー10を真空にしその後ヘリ
ウム導入口17からヘリウムを１気圧に満たす。また、隔
壁371にもベリリウム等のＸ線取出し窓を設置すればヘ
リウムチェンバー10を一度高真空とするだけでＸ線取出
し窓の交換ができる。さらに、ベリリウム等の厚さを違
えておけば異なる波長のＸ線を取出せ、フィルターの効
果も持たせることが可能である。
これまで、Ｘ線取出し窓の材料にベリリウムを中心に
述べてきたが、当然アルミニウム等の軽金属、SiN、Si
C、BN等の無機膜、ポリイミド、ポリエステルフィルム
等の有機膜でも放射光により劣化するため、ベリリウム
窓23と同様に交換が行なわれる。
述べてきたが、当然アルミニウム等の軽金属、SiN、Si
C、BN等の無機膜、ポリイミド、ポリエステルフィルム
等の有機膜でも放射光により劣化するため、ベリリウム
窓23と同様に交換が行なわれる。
第５図はＸ線取出し窓付ゲートバルブの他の実施例の
縦断面図である。
縦断面図である。
このゲートバルブ181はＸ線通過孔が閉じられた隔壁3
72を有し、隔壁372がＸ線通過孔43に対峙して押当てら
れるとＸ線通過孔43をＯリング382を介して閉塞する最
も簡単な構造で、隔壁32のベリリウム窓23の取替えのみ
を目的としたものである。
72を有し、隔壁372がＸ線通過孔43に対峙して押当てら
れるとＸ線通過孔43をＯリング382を介して閉塞する最
も簡単な構造で、隔壁32のベリリウム窓23の取替えのみ
を目的としたものである。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明はＸ線取出し窓が取外し可
能に取付られた第１の隔壁と、Ｘ線取出し窓、可視光線
透過窓、メクラ窓等が取外し可能に取付けられた第２の
隔壁とが相互に長直線部の超高真空の漏洩を防ぐように
設けられ、かつ、該隔壁の窓の取替用に閉塞板が取外し
可能に取付けられているフランジが設けられたゲートバ
ルブをビームラインの長直線部とヘリウムチェンバーの
境界部に設置することにより、下記の効果がある。
能に取付られた第１の隔壁と、Ｘ線取出し窓、可視光線
透過窓、メクラ窓等が取外し可能に取付けられた第２の
隔壁とが相互に長直線部の超高真空の漏洩を防ぐように
設けられ、かつ、該隔壁の窓の取替用に閉塞板が取外し
可能に取付けられているフランジが設けられたゲートバ
ルブをビームラインの長直線部とヘリウムチェンバーの
境界部に設置することにより、下記の効果がある。
（１）超高真空を維持できるので、Ｘ線取出し窓の交換
を短時間で行なうことができる。
を短時間で行なうことができる。
（２）可視光線透過窓を予め第２の隔壁に取付けておく
と、何時でも容易に光軸の調整を行なうことができる。
と、何時でも容易に光軸の調整を行なうことができる。
（３）ビームラインの接続を切離すことがないので光軸
の変化や真空系の異常を発生する機会が減ずる。
の変化や真空系の異常を発生する機会が減ずる。
（４）Ｘ線取出し窓を第２の隔壁に取付けると、Ｘ線取
出し窓の交換のための所要時間が更に短縮できる。
出し窓の交換のための所要時間が更に短縮できる。
（５）第２の隔壁に第１の隔壁のベリリウムと厚さの異
なるベリリウムを用いたベリリウム窓を取付けることに
より、波長の異なるＸ線を取出すことも可能となる。
なるベリリウムを用いたベリリウム窓を取付けることに
より、波長の異なるＸ線を取出すことも可能となる。
第１図は本発明のＸ線取出し窓付ゲートバルブの一実施
例が取付けられたシンクロトロン放射光取出し用ビーム
ラインの斜視図、第２図は第１図に示すベリリウム窓23
と可視光線透過窓41とが取付けられたゲートバルブ181
の縦断面図、第３図は第２図の隔壁32がフランジ27の位
置に対峙した状態のゲートバルブ181の縦断面図、第４
図は第３図の隔壁371の近傍の拡大縦断面図、第５図は
Ｘ線取出し窓付ゲートバルブの他の実施例の縦断面図、
第６図はシンクロトロン放射光取出し用ビームラインの
従来例の斜視図、第７図は第６図のＸ線取出し窓91の拡
大縦断面図である。 １…シンクロトロン放射光蓄積リング、２…メインパイ
プ、３…Ｘ線反射ミラー、４…ミラーチェンバー、５…
ミラー駆動系、6,13…真空ポンプ、7,8,12,14,181，182
…ゲートバルブ、10…ヘリウムチェンバー、11…シャッ
ター、15…Ｘ線取出し窓、16…露光用アライナ、17…ヘ
リウム導入孔、19…長直線部、20…ベリリウム導入孔、
211，212，381，382,39,50…Ｏリング、22…止めネジ、
23…ベリリウム窓、24…隔壁カム押板、251，252…接続
フランジ、26…隔壁駆動棒、27,46…フランジ、28,42…
閉塞板、291，292…止めネジ、30…バルブ駆動ノッブ、
311，312，361，362…隔壁押当用カム、32,371，372…
隔壁、33,34…ストッパー、43,44…Ｘ線通過孔、45…雌
ねじ、481，482…側壁、49…真空ベローズ。
例が取付けられたシンクロトロン放射光取出し用ビーム
ラインの斜視図、第２図は第１図に示すベリリウム窓23
と可視光線透過窓41とが取付けられたゲートバルブ181
の縦断面図、第３図は第２図の隔壁32がフランジ27の位
置に対峙した状態のゲートバルブ181の縦断面図、第４
図は第３図の隔壁371の近傍の拡大縦断面図、第５図は
Ｘ線取出し窓付ゲートバルブの他の実施例の縦断面図、
第６図はシンクロトロン放射光取出し用ビームラインの
従来例の斜視図、第７図は第６図のＸ線取出し窓91の拡
大縦断面図である。 １…シンクロトロン放射光蓄積リング、２…メインパイ
プ、３…Ｘ線反射ミラー、４…ミラーチェンバー、５…
ミラー駆動系、6,13…真空ポンプ、7,8,12,14,181，182
…ゲートバルブ、10…ヘリウムチェンバー、11…シャッ
ター、15…Ｘ線取出し窓、16…露光用アライナ、17…ヘ
リウム導入孔、19…長直線部、20…ベリリウム導入孔、
211，212，381，382,39,50…Ｏリング、22…止めネジ、
23…ベリリウム窓、24…隔壁カム押板、251，252…接続
フランジ、26…隔壁駆動棒、27,46…フランジ、28,42…
閉塞板、291，292…止めネジ、30…バルブ駆動ノッブ、
311，312，361，362…隔壁押当用カム、32,371，372…
隔壁、33,34…ストッパー、43,44…Ｘ線通過孔、45…雌
ねじ、481，482…側壁、49…真空ベローズ。
Claims (2)
- 【請求項１】シンクロトロン放射光からＸ線を取出すシ
ンクロトロン放射光取出しビームラインの長直線部とヘ
リウムチェンバーの境界部に設けられるＸ線取出し窓付
ゲートバルブであって、 長直線部の軸線に交わり、互いに対向し、対向する面が
互いに平行な側壁で囲まれた空間を有し、両側壁にはそ
れぞれ長直線部、ヘリウムチェンバーに連なる第１、第
２のＸ線通過孔が設けられ、ヘリウムチェンバー側の側
壁の、ヘリウムチェンバーとのフランジ面を除く部分に
開口が設けられているボディと、 一方の側面は第１のＸ線通過孔を閉塞するだけの大きさ
があり、該側面の中央部から他方の側面に貫通するＸ線
通過孔が設けられ、該Ｘ線通過孔を取囲むシールリング
を保持し、他方の側面にはＸ線取出し窓がシールリング
を介して取外し可能に取付けられている第１の隔壁と、 一方の側面がシールリングを保持し、第１のＸ線通過孔
を該シールリングを介して閉塞するだけの大きさを有す
る第２の隔壁と、 前記開口をボディの外側から閉塞する、取外し可能な閉
塞板と、 第１、第２の隔壁とともにボディ内に収容され、第２の
隔壁がボディの第１のＸ線通過孔にあるとき第１の隔壁
がボディの前記開口と対向可能な位置関係に第１、第２
の隔壁を保持し、ボディの第１のＸ線通過孔と対峙する
位置にある隔壁の一方の側面をボディの内面に押当てる
作用をする隔壁押し当て部材と、 第１の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する位置にあると
き、第２の隔壁がボディの前記開口と反対側に位置し、
第２の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する位置にあると
き第１の隔壁がボディの前記開口と対峙するように、隔
壁押し当て部材を移動させる駆動機構とを有し、 前記開口は第１の隔壁のＸ線取出し窓をボディの外から
取外せるだけの大きさであるＸ線取出し窓付ゲートバル
ブ。 - 【請求項２】第２の隔壁には、シールリングを保持する
側面の中央部から他方の面に貫通するＸ線通過孔が設け
られ、他方の面には可視光線透過窓あるいはＸ線取出し
窓がシールリングを介して取外し可能に取付けられてお
り、 ボディには、第１の隔壁が第１のＸ線通過孔と対峙する
位置にあるとき、第２の隔壁が対峙する、ボディのヘリ
ウムチェンバー側の側壁に前記可視光線透過窓あるいは
Ｘ線取出し窓をボディの外から取外せるだけの大きさの
開口が設けられ、 該開口をボディの外側から閉塞する、取外し可能な閉塞
板を有する請求項１記載のＸ線取出し窓付ゲートバル
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11967489A JP2744065B2 (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | Ｘ線取出し窓付ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11967489A JP2744065B2 (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | Ｘ線取出し窓付ゲートバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02297100A JPH02297100A (ja) | 1990-12-07 |
| JP2744065B2 true JP2744065B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=14767246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11967489A Expired - Fee Related JP2744065B2 (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | Ｘ線取出し窓付ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2744065B2 (ja) |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP11967489A patent/JP2744065B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02297100A (ja) | 1990-12-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |