JP2743268B2 - 自己試験機能を有するdram - Google Patents

自己試験機能を有するdram

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JP2743268B2 JP8100536A JP10053696A JP2743268B2 JP 2743268 B2 JP2743268 B2 JP 2743268B2 JP 8100536 A JP8100536 A JP 8100536A JP 10053696 A JP10053696 A JP 10053696A JP 2743268 B2 JP2743268 B2 JP 2743268B2
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自己試験機能を有
するDRAMに係るもので、詳しくは、DRAMチップ
の内部で自己試験を行い、メモリセルの試験時間を短縮
し得る自己試験機能を有するDRAMに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、自己試験機能を有するDRAM1
00においては、例えば、図4に示したように、外部か
ら印加したローアドレスストローブ(row address stro
be)信号RASB、カラムアドレスストローブ(column
address strobe )信号CASB、ライトイネーブル
(write enable)信号WEB、及び特定のアドレス信号
A0、A1により、メモリセルを試験するための内蔵自
己試験(built-in self test:以下、BISTと称す
る)モードへの進入又は脱出を制御する進入/脱出(en
try/exit)制御部10と、ローアドレスストローブ信号
RASB及びカラムアドレスストローブ信号CASBを
受けて所定の内部クロック信号を発生するクロック発生
部12と、該クロック発生部12から出力された内部ク
ロック信号を進入/脱出制御部10の制御によりカウン
トして、ローアドレスカウント信号R0〜R9、カラム
アドレスカウント信号C0〜C9、リード/ライト(re
ad/write)信号R/W、及びパターン信号CB0を夫々
出力するアドレスカウンター部14と、該アドレスカウ
ンター部14から出力されたローアドレスカウント信号
R0〜R9及びリード/ライト信号R/Wを進入/脱出
制御部10の制御により入力し外部から印加されたアド
レス信号A0 〜An をバッファーリングするローアドレ
スバッファー16と、該ローアドレスバッファー16の
出力信号をディコーディングするローディコーダー18
と、アドレスカウンター部14から出力されたカラムア
ドレスカウント信号C0〜C9及びリード/ライト信号
R/Wを進入/脱出制御部10の制御により入力し外部
から印加されたアドレス信号A0 〜A n をバッファーリ
ングするカラムアドレスバッファー20と、該カラムア
ドレスバッファー20の出力信号をディコーディングす
るカラムディコーダー22と、該カラムディコーダー2
2及びローディコーダー18により選択される複数個の
メモリセルを有したメモリセルアレイ24と、該メモリ
セルアレイ24からリード/ライトされるデータの入出
力を制御する複数個のゲートを有したゲート部26と、
アドレスカウンター部14から出力されたリード/ライ
ト信号R/W及び試験パターン信号CB0によりチェッ
クボード(checkboard)パターンを有する試験データを
ゲート部26を経てメモリセルアレイ24に印加するデ
ータ発生部28と、該データ発生部28から出力された
試験データとメモリセルアレイ24に記録された後ゲー
ト部26から出力された前記試験データとを比較してエ
ラーフラグ(error flag)を発生するデータ比較部30
と、から構成されていた。
【0003】アドレスカウンター部14は、図5に示し
たように、クロック発生部12から出力された内部クロ
ック信号をカウントしてローアドレスカウント信号R0
〜R9を発生するローアドレスカウンター14Aと、該
ローアドレスカウンター14Aの最上位ビット信号R9
をカウントしてカラムアドレスカウント信号C0〜C9
を発生するカラムアドレスカウンター14Bと、該カラ
ムアドレスカウンター14Bの最上位ビットC9をカウ
ントしてリード/ライト信号R/Wを発生するリード/
ライトカウンター14Cと、該リード/ライトカウンタ
ー14Cから出力されたリード/ライト信号R/Wをカ
ウントして試験パターン信号CB0を発生するチェック
ボード(checkboard)カウンター14Dと、を備えてい
た。
【0004】このように構成された従来の自己試験機能
を有するDRAMの動作について説明する。先ず、図6
(A)(B)(C)に示したように、WCBR(WEB &
CASB Before RASB)モードにより、ローアドレスストロ
ーブ信号RASBがイネーブルされる(ローレベルとな
る)以前に、カラムアドレスストローブ信号CASB及
びライトイネーブル信号WEBがイネーブルされ、図6
(D)(E)に示したように、ハイレベルのアドレス信
号A0及びローレベルのアドレス信号A1がDRAM1
00に印加されると、該DRAM100はBISTモー
ドに進入し、進入/脱出制御部10は進入信号を発生す
る。
【0005】このように、DRAM100が、BIST
モードに進入すると、該DRAM100は、CBR(CA
SB Before RASB)モードのみで制御される。図6(C)
(D)(E)に示したように、ライトイネーブル信号W
EBがハイレベルになると、アドレス信号A0、A1は
無関条件信号(DON'T CARE)の状態を維持し、図6
(F)(G)(H)に示したように、アドレス信号A
0、A1がハイレベルになると、ライトイネーブル信号
WEBは無関条件信号(DON'T CARE)の状態を維持す
る。このとき、BISTモードは一般のデータ出力ドラ
イバーは動作されない。
【0006】且つ、クロック発生部12は、ローアドレ
スストローブ信号RASB及びカラムアドレスストロー
ブ信号CASBを受けて所定の内部クロック信号をアド
レスカウンター部14に出力し、該アドレスカウンター
部14は、リード/ライト信号R/W、テストパターン
信号CB0、ローアドレスカウント信号R0〜R9、及
びカラムアドレスカウント信号C0〜C9を発生する。
【0007】又、データ発生部28は、自己試験サイク
ルのライトサイクルで、試験データをローディコーダー
18及びカラムディコーダー22の制御によりメモリセ
ルアレイ24の全てのセルに書き込む。次いで、データ
比較部30は、自己試験サイクルのリードサイクルでメ
モリセルアレイ24に記録された試験データを読み取
り、該読み取った試験データと前記データ発生部28か
ら印加された試験データとを比較してエラーを感知し、
エラーが発生すると、データ発生部28は、エラーフラ
グを外部に出力し、該出力されたエラーフラグは、BI
STモードの終わるまで維持される。且つ、データ発生
部28は、前記試験データと反対パターンの試験データ
を発生し、前述のような書き込み、読み取り、及び比較
の過程が行なわれる。
【0008】このような動作は、4メガのDRAMにお
いて16ビットの並列試験の場合、試験データは256
Kサイクルによりライト又はリードされ、BISTモー
ドの4度の256Kサイクルにより完了される。そし
て、カラムアドレスカウンター14Bは、図5に示した
ように、CBRモード又はヒドンリフレッシュ(hidden
refresh)モードに用いられるローアドレスカウンター
14Aに連結されてローファストスキャン(row fast s
can )方法により自己試験が行なわれ、カラムアドレス
カウンター14Bにリード/ライトカウンター14C及
びチェックボードカウンター14Dが順次連結される。
【0009】又、図6(D)(E)(G)(H)に示し
たように、ローレベルのアドレス信号A0、A1がDR
AM100に印加されると、該DRAM100は、BI
STモードから脱出し、進入/脱出制御部10が脱出信
号を発生してBISTモードが終了される。更に、図7
に示したように、DRAM100が4ビットであると、
チェックボード200は32メガバイトを試験すること
ができるし、各DRAM100から発生したエラーフラ
グはチェックボード200の出力フィンDout1〜Dout8
のいずれかを通って外部に出力される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の自己試験機能を有するDRAMにおいては、
システムの維持補修及びスタートアップ(start up)機
能試験には非常に効率的であるが、試験機能を行なうC
BRモードが必要になるため、ロー及びカラムアドレス
ストローブ信号のトグル(toggle)信号が必要になると
いう不都合な点があった。
【0011】且つ、試験データをDRAMの全てのメモ
リセルに書き込んだ後、その書き込まれた試験データを
所定のデータと比較して自己試験を行なうため、自己試
験の途中にメモリセルをリフレッシュしなければなら
ず、従って、ローファストスキャン方式のCBRモード
により自己試験をおこなうと、ファストページ(fast p
age )モードにより自己試験を行なうときよりも一層長
時間が所要されるという不都合な点があった。
【0012】又、BISTモードの完了後にエンドフラ
グ(end flag)を発生させないため、DRAM外部のカ
ウンターでBISTモードの完了したことを認識しなく
てはならないという不都合な点があった。本発明は上記
の点に着目してなされたもので、外部信号の組合せによ
り自己試験進入信号が印加されると、内部ロー制御信号
が発生し、カラムアドレスストローブ信号のトグルなし
に内部クロック信号に同期されたカラムアドレスの遷移
によりファーストページモードの方式を用いて自己試験
を有するDRAMを提供しようとするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】このため本発明の請求項
1に記載の発明では、特定アドレス信号と外部同期信号
との組合せにより自己試験進入信号を発生する進入/脱
出制御部と、該進入/脱出制御部の自己試験進入信号に
より所定周期の内部クロック信号を発生するクロック発
生部と、前記自己試験進入信号及びワードラインイネー
ブル信号の遷移を検出して遷移検出信号を出力する信号
遷移検出部と、該信号遷移検出部から出力される遷移検
出信号に応じて前記クロック発生部から入力された内部
クロック信号をカウントしてローアドレス信号、カラム
アドレス信号、及び試験完了信号を出力すると共に、前
記ワードラインイネーブル信号、試験パターン信号、及
びリード/ライト信号を出力するカウンター部と、前記
外部同期信号のトグルなしに前記カウンター部から出力
された試験パターン信号を基に試験データを発生し、該
試験データをメモリセルアレイに書き込むか又はメモリ
セルアレイに記録された試験データを読み取るデータ発
生部と、該データ発生部で発生した試験データと読み取
った試験データとを比較してエラー信号を発生するデー
タ比較部と、該データ比較部から出力されたエラー信号
及び前記カウンター部から出力された試験完了信号に応
じてエラーフラグ及びエンドフラグを発生して維持する
エラー及び終了検出部と、を備えて構成されたことを特
徴とする。
【0014】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の発明において、前記カウンター部が、入力された前
記内部クロック信号をカウントして前記カラムアドレス
信号、前記ローアドレス信号、及び前記試験完了信号を
出力する順次連結された複数個のビットブロックを含ん
で構成され、前記カラムアドレス信号の最下位ビット信
号が前記試験パターン信号であり、前記ローアドレス信
号の最下位ビット信号が前記ワードラインイネーブル信
号であることを特徴とする。
【0015】請求項3に記載の発明では、請求項1又は
2に記載の発明において、前記進入/脱出制御部から自
己試験進入信号を受けて前記カウンター部から出力され
る全てのビット信号を特定レベルに初期化し、前記信号
遷移検出部から遷移検出信号を受けると、前記クロック
発生部から印加された内部クロック信号が前記カウンタ
ー部に伝達されることを所定時間の間遮断するカウンタ
ー制御部を備えて構成されたことを特徴とする。
【0016】請求項4に記載の発明では、請求項1〜3
のいずれか1つに記載の発明において、前記カウンター
部は、前記ローアドレス信号中の特定ビット信号を前記
リード/ライト信号としてカラム制御部に出力すること
を特徴とする。請求項5に記載の発明では、請求項4に
記載の発明において、前記カウンター部が、前記メモリ
セルアレイのリフレッシュ時間以内に所定個数のワード
ラインが具現されるように前記リード/ライト信号を発
生することを特徴とする。
【0017】請求項6に記載の発明では、請求項1〜5
のいずれか1つに記載の発明において、前記カウンター
部が、前記全てのビット信号がハイレベルであるとき、
前記試験完了信号を前記エラー及び終了検出部に出力す
ることを特徴とする。請求項7に記載の発明では、請求
項1〜6のいずれか1つに記載の発明において、前記デ
ータ発生部が、前記信号遷移検出部の遷移検出信号によ
りロー制御部から発生される内部ロー制御信号は遷移さ
れず、前記カラムアドレス信号の遷移により、前記試験
データの読み取り動作又は書き込み動作を行なうことを
特徴とする。
【0018】請求項8に記載の発明では、請求項1〜7
のいずれか1つに記載の発明において、前記進入/脱出
制御部から出力された自己試験進入信号は、前記外部同
期信号のWCBRモードと前記特定アドレス信号との組
合せにより発生されることを特徴とする。請求項9に記
載の発明では、請求項1〜8のいずれか1つに記載の発
明において、前記カウンター部の最上位の特定ビット信
号を前記試験データのパターンを決定するために用いる
ことを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて詳細に説明する。図1は、本実施の形態
に係る自己試験機能を有するDRAMの構成を示すブロ
ック図である。図1において、本実施形態は、従来と同
様のローアドレスバッファー52、ローディコーダー5
4、カラムアドレスバッファー58、カラムディコーダ
ー60、及びメモリセルアレイ62が包含された一般の
DRAMと、外部から印加されたロー及びカラムアドレ
スストローブ信号RASB、CASB、ライトイネーブ
ル信号WEB、及び特定アドレス信号A0、A1、A2
の組合せによりBISTモードへの進入及び脱出を制御
する進入/脱出制御部40と、該進入/脱出制御部40
から出力された自己試験進入信号S1により所定周期の
内部クロック信号S2を発生するクロック発生部42
と、試験データがモメリセルアレイ62の特定セルに書
き込まれた後又は読み取られた後に、所定時間の間、ク
ロック発生部42から出力された内部クロック信号S2
を遮断して内部クロック信号S3を出力するカウンター
制御部44と、該カウンター制御部44から出力された
内部クロック信号S3をカウントし、カラムアドレス信
号S4をカラムアドレスバッファー58に出力し、ロー
アドレス信号S6をローアドレスバッファー52に出力
し、試験完了信号S9をクロック発生部42に出力し、
所定パターンを有する試験パターン信号S10、ワード
ラインイネーブル信号S5、及びリード/ライト信号S
7を発生するカウンター部46と、該カウンター部46
から出力されたワードラインイネーブル信号S5又は進
入/脱出制御部40から出力された自己試験進入信号S
1の遷移を検出し遷移検出信号S8をカウンター制御部
44に出力する信号遷移検出部48と、該信号遷移検出
部48から印加された遷移検出信号S8、進入/脱出制
御部40から出力された自己試験進入信号S1、及びロ
ーアドレスストローブ信号RASBにより内部ロー制御
信号をローアドレスバッファー52に印加するロー制御
部50と、該ロー制御部50から出力された内部ロー制
御信号、カウンター部46から出力されたリード/ライ
ト信号S7、及びカラムアドレスストローブ信号CAS
Bにより、カラムアドレスバッファー58及びカラムデ
ィコーダー60を制御するカラム制御部56と、カウン
ター部46から印加された試験パターン信号S10によ
り試験データを発生し、該発生された試験データをカラ
ム制御部56の制御によりメモリセルアレイ62に書き
込むか又は読み取るデータ発生部64と、試験パターン
信号により発生された試験データとデータ発生部64に
より読み取った試験データとを比較してエラー信号を発
生するデータ比較部66と、該データ比較部66から印
加されたエラー信号とカウンター部46から印加された
試験完了信号S9とによりエラーフラグ又はエンドフラ
グを外部に出力するエラー及び終了検出部68と、から
構成される。
【0020】カウンター部46は、図2に示したよう
に、カウンター制御部44から印加された内部クロック
信号S3をカウントしてカラムアドレス信号S4、ロー
アドレス信号S6、及び試験完了信号S9を出力する複
数個のビットブロックが順次連結され、それらビットブ
ロックには、例えばフリップフロップを用いることがで
きる。ここでは、カラムアドレス信号S4を出力するビ
ットブロックはN個からなり、ローアドレス信号S6を
出力するビットブロックはM個からなるとする。
【0021】又、図2の斜線部に示したように、試験パ
ターン信号S10はカラムアドレス信号S4の最下位ビ
ット信号で、ワードラインイネーブル信号S5はローア
ドレス信号S6の最下位ビット信号で、リード/ライト
信号S7は、ローアドレス信号S6の特定ビット信号で
ある(ここでは、後述するようにローアドレス信号S6
の最下位ビットブロックからM−K個目のビットブロッ
クとする)。更に、ローアドレス信号S6の最上位ビッ
ト信号は試験データのパターンを決定するため付加的に
使用することもできる。
【0022】このように構成された本発明に係る自己試
験機能を有するDRAMの動作に対し説明する。先ず、
上述したWCBRモードのローアドレスストローブ信号
RASB及びカラムアドレスストローブ信号CASB、
ハイレベルの特定アドレス信号A0、A2、及びローレ
ベルの特定アドレス信号A1の組合せが、進入/脱出制
御部40に印加されると、該進入/脱出制御部40は、
図3(D)に示したように、ハイレベルの自己試験進入
信号S1をクロック発生部42及び信号遷移検出部48
にそれぞれ出力する。これにより、BISTモードが始
まり、自己試験進入信号S1がハイレベルに遷移したこ
とで、カウンター制御部44の制御によりカウンター部
46の全てのビット信号はローレベルになる。
【0023】且つ、自己試験進入信号S1がハイレベル
である間クロック発生部42は図3(E)に示したよう
に、所定周期の内部クロック信号S2を発生してカウン
ター制御部44に印加する。又、信号遷移検出部48
は、自己試験進入信号S1又は図3(H)に示したよう
なワードラインイネーブル信号S5の遷移を検出し、図
3(J)に示したような遷移検出信号S8をカウンター
制御部44及びロー制御部50にそれぞれ出力する。
【0024】次いで、カウンター制御部44は、前記遷
移検出信号S8が入力されると、クロック発生部42か
ら印加された内部クロック信号S2がカウンター部46
に伝達されることを所定時間の間遮断した後、図3
(F)に示したような内部クロック信号S3をカウンタ
ー部46に印加する。即ち、遷移検出信号S8に応じて
ロー制御部50から発生された内部ロー制御信号により
特定ワードラインがイネーブルされ、カウンター部46
から出力されたカラムアドレス信号S4により選択され
たメモリセルのデータが一度読み取られるか又は選択さ
れたメモリセルにデータが書き込まれる所定時間の間、
カウンター制御部44は、クロック発生部42から印加
された内部クロック信号S2がカウンター部46に伝達
されることを遮断する。
【0025】次いで、カウンター部46は、カウンター
制御部44から印加された内部クロック信号をカウント
し、カラムアドレス信号S4を増加させてカラムアドレ
スバッファー58に印加し、データ発生部64は、カラ
ムアドレス信号S4の最下位ビット信号の試験パターン
信号S10により所定パターンを有する試験データを発
生する。該発生された試験データは、カラムアドレス信
号S4により選択されたメモリセルに書き込まれる。
【0026】この場合、試験データは、ロー制御部50
から出力された内部ロー制御信号の変化に関係なく、た
だカラムアドレス信号S4の遷移によりメモリセルに書
き込まれる。このように、外部から印加されるロー及び
カラムアドレスストローブ信号RASB、CASBのト
グルなしにデータが書き込まれるため、データの書き込
み時間は一般のファストページモードによる書き込み時
間よりも短くなる。
【0027】一方、イネーブルされた一つのワードライ
ンに割当られた全てのメモリセルに試験データが書き込
まれると、ローアドレス信号S6の最下位ビット信号の
ワードラインイネーブル信号S5が遷移され、新しいワ
ードラインに割当られたメモリセルに試験データが書き
込まれる。即ち、試験データが2(M-K) 個のワードライ
ンに割当られたメモリセルに書き込まれるが、このよう
な2(M-K) 個のワードラインの動作がメモリセルのリフ
レッシュの時間内に行なわれるように、その(M−K)
の値が決められる。
【0028】その後、ローアドレス信号S6の特定ビッ
ト信号のリード/ライト信号S7が、図3(I)に示し
たように、ハイレベルに遷移してカラム制御部56に印
加され、リードモードがライトモードに転換される。こ
のようにメモリセルに記録された試験データが読み取ら
れ、該読み取られた試験データとデータ発生部64から
発生された試験データとがデータ比較部66で比較され
る。その比較したデータが異なると、データ比較部66
はエラー信号をエラー及び終了検出部68に印加する。
【0029】次いで、2K 個のワードラインは順次イネ
ーブルされ、前記の過程を経てメモリセルに試験データ
が書き込まれ、試験データの読み取り及び比較が行なわ
れる。このように、2K 個のワードラインに割当られた
メモリセルが試験された後、別のパターンの試験データ
によりBISTモードが行なわれる。該試験データのパ
ターンは、カウンター部46の最下位ビット信号S10
のみならずカウンター部46の最上位二つのビット信号
によっても決定され、この場合、ロー、ハイ、チェック
ボード、及び逆チェックボードにて具現される。
【0030】そして、カウンター部46の全てのビット
信号がハイレベルになると、該カウンター部46は、図
3(K)に示したように、試験完了信号S9をクロック
発生部42、データ発生部64、及びエラー/終了検出
部68に印加して、BISTモードを中断させる。且
つ、CBRモード又はROR(RASB Only Refresh )モ
ードに従い進入/脱出制御部40が脱出信号を発生して
BISTモードからの脱出を制御することもできる。
【0031】又、エラー及び終了検出部68は、データ
比較部66からエラー信号を受けるとエラーフラグを発
生し、カウンター部46から試験完了信号S9を受ける
とエンドフラグを発生する。このようなエラーフラグ及
びエンドフラグは、図示されていない出力バッファーの
出力端子を通ってそれぞれ夫々外部に出力される。チェ
ックボードの1列のDRAMの出力が一つのビットであ
る場合には、チェックボードの出力端子を通って外部に
出力できる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る自己試
験機能を有するDRAMにおいては、外部から印加する
ロー及びカラムアドレスストローブ信号のトグルなし
に、単にカウンター部から出力されたカウント信号によ
りBISTモードの動作を行なうため、従来のファスト
ページモード方式よりも試験時間を減少できる。また、
BISTモードの完了後にエンドフラグを発生させるこ
とによって、従来のBISTモード完了を認識するため
のDRAM外部のカウンターが不要となる。更に、メモ
リセルのリフレッシュに合わせてリード/ライト動作を
行なうことによって、より自己試験時間を短縮できると
いう効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る自己試験機能を有する
DRAMのブロック図である。
【図2】同上実施形態のカウンター部のビットブロック
表示図である。
【図3】同上実施形態の各部に入出力される信号のタイ
ミング図である。
【図4】従来の自己試験機能を有するDRAMのブロッ
ク図である。
【図5】従来のアドレスカウンター部のブロック図であ
る。
【図6】従来の進入/脱出制御部に印加される信号のタ
イミング図である。
【図7】従来のDRAMチップを試験するため用いられ
る32メガバイトのチェックボードのブロック図であ
る。
【符号の説明】
40 進入/脱出制御部 42 クロック発生部 44 カウンター制御部 46 カウンター部 48 信号遷移検出部 50 ロー制御部 56 カラム制御部 68 エラー及び終了検出部

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】特定アドレス信号と外部同期信号との組合
    せにより自己試験進入信号を発生する進入/脱出制御部
    と、 該進入/脱出制御部の自己試験進入信号により所定周期
    の内部クロック信号を発生するクロック発生部と、 前記自己試験進入信号及びワードラインイネーブル信号
    の遷移を検出して遷移検出信号を出力する信号遷移検出
    部と、 該信号遷移検出部から出力される遷移検出信号に応じて
    前記クロック発生部から入力された内部クロック信号を
    カウントしてローアドレス信号、カラムアドレス信号、
    及び試験完了信号を出力すると共に、前記ワードライン
    イネーブル信号、試験パターン信号、及びリード/ライ
    ト信号を出力するカウンター部と、 前記外部同期信号のトグルなしに前記カウンター部から
    出力された試験パターン信号を基に試験データを発生
    し、該試験データをメモリセルアレイに書き込むか又は
    メモリセルアレイに記録された試験データを読み取るデ
    ータ発生部と、 該データ発生部で発生した試験データと読み取った試験
    データとを比較してエラー信号を発生するデータ比較部
    と、 該データ比較部から出力されたエラー信号及び前記カウ
    ンター部から出力された試験完了信号に応じてエラーフ
    ラグ及びエンドフラグを発生して維持するエラー及び終
    了検出部と、 を備えて構成されたことを特徴とする自己試験機能を有
    するDRAM。
  2. 【請求項2】前記カウンター部は、入力された前記内部
    クロック信号をカウントして前記カラムアドレス信号、
    前記ローアドレス信号、及び前記試験完了信号を出力す
    る順次連結された複数個のビットブロックを含んで構成
    され、前記カラムアドレス信号の最下位ビット信号が前
    記試験パターン信号であり、前記ローアドレス信号の最
    下位ビット信号が前記ワードラインイネーブル信号であ
    ることを特徴とする請求項1に記載の自己試験機能を有
    するDRAM。
  3. 【請求項3】前記進入/脱出制御部から自己試験進入信
    号を受けて前記カウンター部から出力される全てのビッ
    ト信号を特定レベルに初期化し、前記信号遷移検出部か
    ら遷移検出信号を受けると、前記クロック発生部から印
    加された内部クロック信号が前記カウンター部に伝達さ
    れることを所定時間の間遮断するカウンター制御部を備
    えて構成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載
    の自己試験機能を有するDRAM。
  4. 【請求項4】前記カウンター部は、前記ローアドレス信
    号中の特定ビット信号を前記リード/ライト信号として
    カラム制御部に出力することを特徴とする請求項1〜3
    のいずれか1つに記載の自己試験機能を有するDRA
    M。
  5. 【請求項5】前記カウンター部は、前記メモリセルアレ
    イのリフレッシュ時間以内に所定個数のワードラインが
    具現されるように前記リード/ライト信号を発生するこ
    とを特徴とする請求項4に記載の自己試験機能を有する
    DRAM。
  6. 【請求項6】前記カウンター部は、前記全てのビット信
    号がハイレベルであるとき、前記試験完了信号を前記エ
    ラー及び終了検出部に出力することを特徴とする請求項
    1〜5のいずれか1つに記載の自己試験機能を有するD
    RAM。
  7. 【請求項7】前記データ発生部は、前記信号遷移検出部
    の遷移検出信号によりロー制御部から発生される内部ロ
    ー制御信号は遷移されず、前記カラムアドレス信号の遷
    移により、前記試験データの読み取り動作又は書き込み
    動作を行なうことを特徴とする請求項1〜6のいずれか
    1つに記載の自己試験機能を有するDRAM。
  8. 【請求項8】前記進入/脱出制御部から出力された自己
    試験進入信号は、前記外部同期信号のWCBRモードと
    前記特定アドレス信号との組合せにより発生されること
    を特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の自己
    試験機能を有するDRAM。
  9. 【請求項9】前記カウンター部の最上位の特定ビット信
    号を前記試験データのパターンを決定するために用いる
    ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の
    自己試験機能を有するDRAM。
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