JP2741989B2 - 半導体生産システム - Google Patents
半導体生産システムInfo
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- JP2741989B2 JP2741989B2 JP16872992A JP16872992A JP2741989B2 JP 2741989 B2 JP2741989 B2 JP 2741989B2 JP 16872992 A JP16872992 A JP 16872992A JP 16872992 A JP16872992 A JP 16872992A JP 2741989 B2 JP2741989 B2 JP 2741989B2
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- Japan
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- unit
- semiconductor production
- drive
- processing
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は複数の駆動ユニットによ
り構成される複数台の半導体生産装置の駆動データを管
理する自動化半導体生産ラインに於ける半導体生産シス
テムに関する。
り構成される複数台の半導体生産装置の駆動データを管
理する自動化半導体生産ラインに於ける半導体生産シス
テムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体生産システムにおいては、
図４に示すように、駆動データがデータ管理用プログラ
ム内の設定データ部５２に組み込まれ、また、管理用プ
ログラム部５１により管理運用がおこなわれている構成
となっている。このシステムでは、駆動用データをデー
タ管理用プログラム内に持っているため、例えば、デー
タが増加した場合、管理用プログラムがデータの増加し
た分、大きくなり、そのため処理系の負担が増大し、処
理スピードのロスも生じていた。また、動作項目、駆動
ユニット、半導体生産装置が増加した場合等、データ管
理用プログラム自体を変更する必要があり、そのために
多大な作業および時間を必要とし、生産にロスを生じて
いた。
図４に示すように、駆動データがデータ管理用プログラ
ム内の設定データ部５２に組み込まれ、また、管理用プ
ログラム部５１により管理運用がおこなわれている構成
となっている。このシステムでは、駆動用データをデー
タ管理用プログラム内に持っているため、例えば、デー
タが増加した場合、管理用プログラムがデータの増加し
た分、大きくなり、そのため処理系の負担が増大し、処
理スピードのロスも生じていた。また、動作項目、駆動
ユニット、半導体生産装置が増加した場合等、データ管
理用プログラム自体を変更する必要があり、そのために
多大な作業および時間を必要とし、生産にロスを生じて
いた。
【０００３】このため、本出願人は図５に示すように、
駆動用データをデータ管理用プログラム６０から独立さ
せ、このデータを装置名ファイル６１、ユニット名ファ
イル６２、動作項目名ファイル６３、駆動データファイ
ル６４の４つのデータファイルに階層分けする構成とす
ることによって上記の問題を解決し、その結果、生産ロ
スを減少させることができるデータ管理方法を出願して
いる（特願平３−２５４９８０）。
駆動用データをデータ管理用プログラム６０から独立さ
せ、このデータを装置名ファイル６１、ユニット名ファ
イル６２、動作項目名ファイル６３、駆動データファイ
ル６４の４つのデータファイルに階層分けする構成とす
ることによって上記の問題を解決し、その結果、生産ロ
スを減少させることができるデータ管理方法を出願して
いる（特願平３−２５４９８０）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな従来のシステムでは、その実用化に際しては依然と
して下記の問題点が残存している。すなわち、装置の稼
働現場においては、動作ユニットの調整等を行うため
に、駆動データの修正等の変更が頻繁に発生するが、こ
の場合、従来の装置ではオペレータが管理コンピュータ
まで出向き駆動データファイルを修正した後、再び半導
体生産装置が設置されている場所に戻り、そこでその変
更後のデータによる半導体生産装置の稼働が正常である
かどうかの確認をしなければならない。そこで、半導体
生産装置が正常に稼働しない場合には、正常に稼働する
まで、上述した動作を繰り返し、行わなければならず、
駆動データの変更に多大な時間および労力の浪費が強い
られるという問題があった。
うな従来のシステムでは、その実用化に際しては依然と
して下記の問題点が残存している。すなわち、装置の稼
働現場においては、動作ユニットの調整等を行うため
に、駆動データの修正等の変更が頻繁に発生するが、こ
の場合、従来の装置ではオペレータが管理コンピュータ
まで出向き駆動データファイルを修正した後、再び半導
体生産装置が設置されている場所に戻り、そこでその変
更後のデータによる半導体生産装置の稼働が正常である
かどうかの確認をしなければならない。そこで、半導体
生産装置が正常に稼働しない場合には、正常に稼働する
まで、上述した動作を繰り返し、行わなければならず、
駆動データの変更に多大な時間および労力の浪費が強い
られるという問題があった。
【０００５】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたものであり、設定データの一時的な変更を、変更
を必要とする半導体生産装置の傍らで、即時的に行うこ
とを可能とし、駆動データの変更、調整を容易にかつ短
時間で行うことができ、生産効率および作業効率の向上
を図ることが可能となる半導体生産システムを提供する
ことを目的とする。
されたものであり、設定データの一時的な変更を、変更
を必要とする半導体生産装置の傍らで、即時的に行うこ
とを可能とし、駆動データの変更、調整を容易にかつ短
時間で行うことができ、生産効率および作業効率の向上
を図ることが可能となる半導体生産システムを提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の半導体生産システムは、複数個の駆動デ
ータに基づいて駆動する複数の駆動ユニットからなる複
数台の半導体生産装置と；駆動データ管理用プログラム
と、その駆動データを分割して記憶する複数のファイル
とを有するデータ記憶部と、その駆動データを処理する
管理データ処理部とを備えた管理コンピュータ装置と；
を備えた半導体生産システムにおいて、上記各々の半導
体生産装置内に、その各々の半導体生産装置の駆動デー
タを変更するためのデータを入力する入力部と、そのデ
ータを蓄積するデータ蓄積部と、そのデータにより上記
駆動データの変更処理を行うデータ処理部と、その処理
画面の表示を行う表示部とを設けたことによって特徴付
けられる。
めに、本発明の半導体生産システムは、複数個の駆動デ
ータに基づいて駆動する複数の駆動ユニットからなる複
数台の半導体生産装置と；駆動データ管理用プログラム
と、その駆動データを分割して記憶する複数のファイル
とを有するデータ記憶部と、その駆動データを処理する
管理データ処理部とを備えた管理コンピュータ装置と；
を備えた半導体生産システムにおいて、上記各々の半導
体生産装置内に、その各々の半導体生産装置の駆動デー
タを変更するためのデータを入力する入力部と、そのデ
ータを蓄積するデータ蓄積部と、そのデータにより上記
駆動データの変更処理を行うデータ処理部と、その処理
画面の表示を行う表示部とを設けたことによって特徴付
けられる。
【０００７】
【作用】駆動データの変更を各半導体生産装置で行うこ
とができ、その変更後の駆動データに基づいた各半導体
生産装置の動作の稼働をその場で確認できる。
とができ、その変更後の駆動データに基づいた各半導体
生産装置の動作の稼働をその場で確認できる。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照しなが
ら、以下に説明する。図１は本発明実施例の構成を示す
ブロック図である。半導体生産ラインを管理制御する管
理コンピュータ装置１００には、管理データ処理部１２
０およびデータ記憶部１１０が内蔵されている。このデ
ータ記憶部１１０の駆動データは図２に示すように、階
層構造となっており、装置名ファイル１４、ユニット名
ファイル１５、動作項目名ファイル１６および設定ファ
イル１７からなっている。
ら、以下に説明する。図１は本発明実施例の構成を示す
ブロック図である。半導体生産ラインを管理制御する管
理コンピュータ装置１００には、管理データ処理部１２
０およびデータ記憶部１１０が内蔵されている。このデ
ータ記憶部１１０の駆動データは図２に示すように、階
層構造となっており、装置名ファイル１４、ユニット名
ファイル１５、動作項目名ファイル１６および設定ファ
イル１７からなっている。
【０００９】この装置名ファイル１４に関連して、ユニ
ット名ファイル.1１５ａ，ユニット名ファイル.2１５ｂ
が設けられ、さらにユニット名ファイル.1１５ａに関連
して動作項目名ファイル.11 １６a1, 動作項目名ファイ
ル.12 １６a2が設けられ、また、ユニット名ファイル.2
１５ｂに関連して動作項目名ファイル.21 １６b1, 動作
項目名ファイル.22 １６b2が設けられている。これらの
ファイルに設定されている装置番号、ユニット番号、動
作項目番号に応じた設定データが設定データファイルに
記憶されている。
ット名ファイル.1１５ａ，ユニット名ファイル.2１５ｂ
が設けられ、さらにユニット名ファイル.1１５ａに関連
して動作項目名ファイル.11 １６a1, 動作項目名ファイ
ル.12 １６a2が設けられ、また、ユニット名ファイル.2
１５ｂに関連して動作項目名ファイル.21 １６b1, 動作
項目名ファイル.22 １６b2が設けられている。これらの
ファイルに設定されている装置番号、ユニット番号、動
作項目番号に応じた設定データが設定データファイルに
記憶されている。
【００１０】また、この半導体生産ライン上にはダイボ
ンディング装置２００、ワイヤボンディング装置３００
等の半導体生産装置ｎ００が配置されており、半導体チ
ップ（図示せず）はこれらの装置により、順次、製造処
理が行われる。
ンディング装置２００、ワイヤボンディング装置３００
等の半導体生産装置ｎ００が配置されており、半導体チ
ップ（図示せず）はこれらの装置により、順次、製造処
理が行われる。
【００１１】例えば、ダイボンディング装置２００に
は、管理コンピュータ装置１００から送信された装置用
設定データ１１１がデータ処理部２１０で受信され、図
３に示すように、データ蓄積部２１１に蓄積される。そ
の後、データ処理部２１０でデータ処理が行われ、その
処理データに基づいて駆動ユニット２２ｎである、例え
ばディスペンサ２２０が駆動される。また、これらのデ
ータ処理に際し、データの修正等を行うためのキー入力
の操作を行うデータ変更キー２１３およびこれらの処理
表示を行う表示部２１２が設けられている。
は、管理コンピュータ装置１００から送信された装置用
設定データ１１１がデータ処理部２１０で受信され、図
３に示すように、データ蓄積部２１１に蓄積される。そ
の後、データ処理部２１０でデータ処理が行われ、その
処理データに基づいて駆動ユニット２２ｎである、例え
ばディスペンサ２２０が駆動される。また、これらのデ
ータ処理に際し、データの修正等を行うためのキー入力
の操作を行うデータ変更キー２１３およびこれらの処理
表示を行う表示部２１２が設けられている。
【００１２】また、ワイヤボンディング装置３００に
は、ダイボンディング装置２００と同様に、管理コンピ
ュータ装置１００から送信された装置用設定データ１２
１がデータ処理部３１０で受信され、データ蓄積部３１
１に蓄積される。その後、データ処理部３１０でデータ
処理が行われ、その処理データに基づいて駆動ユニット
３２ｎである、例えばボンディングヘッド３２０が駆動
される。また、これらのデータ処理に際し、データの修
正等を行うためのキー入力の操作を行うデータ変更キー
３１３およびこれらの処理表示を行う表示部３１２が設
けられている。
は、ダイボンディング装置２００と同様に、管理コンピ
ュータ装置１００から送信された装置用設定データ１２
１がデータ処理部３１０で受信され、データ蓄積部３１
１に蓄積される。その後、データ処理部３１０でデータ
処理が行われ、その処理データに基づいて駆動ユニット
３２ｎである、例えばボンディングヘッド３２０が駆動
される。また、これらのデータ処理に際し、データの修
正等を行うためのキー入力の操作を行うデータ変更キー
３１３およびこれらの処理表示を行う表示部３１２が設
けられている。
【００１３】このような装置が複数個、半導体生産ライ
ン上に設置され、この半導体生産装置ｎ００は、各々デ
ータ処理部ｎ１０、データ蓄積部ｎ１１および駆動ユニ
ットｎ２０・・ｎ２ｎ、表示部ｎ１２およびデータ変更キ
ーｎ１３が設けられている構成となっている。
ン上に設置され、この半導体生産装置ｎ００は、各々デ
ータ処理部ｎ１０、データ蓄積部ｎ１１および駆動ユニ
ットｎ２０・・ｎ２ｎ、表示部ｎ１２およびデータ変更キ
ーｎ１３が設けられている構成となっている。
【００１４】以上の構成に基づく本発明実施例の半導体
生産システムを用いて、設定データを修正する方法につ
いて、図１および図３を参照しながら以下に説明する。
この例はダイボンディング装置２００内のユニットで
あるディスペンサ２２０の動作項目の１つであるディス
ペンススピードの設定データを修正する場合を示す。
生産システムを用いて、設定データを修正する方法につ
いて、図１および図３を参照しながら以下に説明する。
この例はダイボンディング装置２００内のユニットで
あるディスペンサ２２０の動作項目の１つであるディス
ペンススピードの設定データを修正する場合を示す。
【００１５】表示部２１２に表示される動作項目ユニッ
ト名に従い、ユニットを選択する。ダイボンディング装
置２００内のデータ処理部２１０はデータ蓄積部２１１
からそのユニット名を検索し、そのユニット名を表示部
２１２に表示する。この表示部２１２に表示されるユニ
ット名に従って、ディスペンスユニットを選択すると、
データ処理部２１０では選択されたユニットがディスペ
ンスユニットであることを判断したうえで、データ蓄積
部２１１からそのユニット内の動作項目を検索する。さ
らに、その検索されたユニット内の動作項目の一覧が表
示部２１２に表示され、例えば変更したい項目であるデ
ィスペンススピードを選択する。データ処理部２１０は
選択された項目であるディスペンススピードに設定され
ているデータをデータ蓄積部２１１から読み出して、表
示部２１２に表示し、作業者はデータ変更キー２１３を
用いて変更データを入力することにより、そのディスペ
ンススピードの設定データが書き換えられ、設定データ
の変更処理が完了する。
ト名に従い、ユニットを選択する。ダイボンディング装
置２００内のデータ処理部２１０はデータ蓄積部２１１
からそのユニット名を検索し、そのユニット名を表示部
２１２に表示する。この表示部２１２に表示されるユニ
ット名に従って、ディスペンスユニットを選択すると、
データ処理部２１０では選択されたユニットがディスペ
ンスユニットであることを判断したうえで、データ蓄積
部２１１からそのユニット内の動作項目を検索する。さ
らに、その検索されたユニット内の動作項目の一覧が表
示部２１２に表示され、例えば変更したい項目であるデ
ィスペンススピードを選択する。データ処理部２１０は
選択された項目であるディスペンススピードに設定され
ているデータをデータ蓄積部２１１から読み出して、表
示部２１２に表示し、作業者はデータ変更キー２１３を
用いて変更データを入力することにより、そのディスペ
ンススピードの設定データが書き換えられ、設定データ
の変更処理が完了する。
【００１６】以上説明した操作により、設定データを修
正したり等の処理が各々の半導体生産装置ｎ００におい
て、行うことができる。
正したり等の処理が各々の半導体生産装置ｎ００におい
て、行うことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体生
産システムによれば、各々の半導体生産装置内に、その
各々の半導体生産装置の駆動データを変更するためのデ
ータを入力する入力部と、そのデータを蓄積するデータ
蓄積部と、そのデータにより上記駆動データ変更処理を
行うデータ処理部と、その処理画面の表示を行う表示部
とを設け、各々の半導体生産装置の駆動データの変更を
各半導体生産装置で行うようにしたので、各々の半導体
生産装置における設定データの変更処理を、変更を必要
とする半導体生産装置の傍らで、即時的に行うことが可
能となり、データの変更、調整を容易にかつ短時間で行
うことができ、従来のように駆動データの変更に多大な
時間および労力がかからない。この結果、半導体生産ラ
インにおいて、その生産効率および作業効率の向上を図
ることができる。
産システムによれば、各々の半導体生産装置内に、その
各々の半導体生産装置の駆動データを変更するためのデ
ータを入力する入力部と、そのデータを蓄積するデータ
蓄積部と、そのデータにより上記駆動データ変更処理を
行うデータ処理部と、その処理画面の表示を行う表示部
とを設け、各々の半導体生産装置の駆動データの変更を
各半導体生産装置で行うようにしたので、各々の半導体
生産装置における設定データの変更処理を、変更を必要
とする半導体生産装置の傍らで、即時的に行うことが可
能となり、データの変更、調整を容易にかつ短時間で行
うことができ、従来のように駆動データの変更に多大な
時間および労力がかからない。この結果、半導体生産ラ
インにおいて、その生産効率および作業効率の向上を図
ることができる。
【図１】本発明実施例の構成を示すブロック図
【図２】本発明実施例に用いられる各データファイルの
関連を示す図
関連を示す図
【図３】本発明実施例におけるデータ蓄積部のデータを
示す図
示す図
【図４】従来例を説明する図
【図５】従来例を説明する図
１００・・・・管理コンピュータ装置 １１０・・・・データ記憶部 １３・・・・データ管理用プログラム １４・・・・装置名ファイル １５・・・・ユニット名ファイル １６・・・・動作項目名ファイル １７・・・・設定データファイル １２０・・・・管理データ処理部 ２００〜ｎ００・・・・半導体生産装置 ２１０〜ｎ１０・・・・データ処理部 ２１１〜ｎ１１・・・・データ蓄積部 ２１２〜ｎ１２・・・・表示部 ２１３〜ｎ１３・・・・データ変更キー ２２０〜２２ｎ，３２０〜３２ｎ，ｎ２０〜ｎ２ｎ・・・・
駆動ユニット
駆動ユニット
Claims (1)
- 【請求項１】 複数個の駆動データに基づいて駆動する
複数の駆動ユニットからなる複数台の半導体生産装置
と；駆動データ管理用プログラムと、その駆動データを
分割して記憶する複数のファイルとを有するデータ記憶
部と、その駆動データを処理する管理データ処理部とを
備えた管理コンピュータ装置と；を備えた半導体生産シ
ステムにおいて、上記各々の半導体生産装置内に、その
各々の半導体生産装置の駆動データを変更するためのデ
ータを入力する入力部と、そのデータを蓄積するデータ
蓄積部と、そのデータにより上記駆動データの変更処理
を行うデータ処理部と、その処理画面の表示を行う表示
部とを設けたことを特徴とする半導体生産システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16872992A JP2741989B2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | 半導体生産システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16872992A JP2741989B2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | 半導体生産システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613279A JPH0613279A (ja) | 1994-01-21 |
| JP2741989B2 true JP2741989B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=15873341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16872992A Expired - Fee Related JP2741989B2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | 半導体生産システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741989B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-26 JP JP16872992A patent/JP2741989B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0613279A (ja) | 1994-01-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |