JP2730496B2 - 蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物 - Google Patents
蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は蒸気圧の高い有機金属化
学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物に係り、特
に、半導体装置の誘電体メモリー用下地電極等の白金薄
膜を有機金属化学蒸着法（Metalorganic Chemical Vapo
r Deposition：以下「ＭＯＣＶＤ法」と称す。）により
形成するに際して、蒸着原料として用いるのに適した有
機白金化合物に関する。
学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物に係り、特
に、半導体装置の誘電体メモリー用下地電極等の白金薄
膜を有機金属化学蒸着法（Metalorganic Chemical Vapo
r Deposition：以下「ＭＯＣＶＤ法」と称す。）により
形成するに際して、蒸着原料として用いるのに適した有
機白金化合物に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の誘電体メモリー用下
地電極等の各種白金薄膜をＭＯＣＶＤ法により形成する
に際して用いられる蒸着原料としては、下記構造式で
表される（１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジ
エニル）白金ジメチル（以下「（ＤＭＣＯＤ）ＤＭＰ
ｔ」と略記する。）や下記構造式で表される（１，５
−シクロオクタジエニル）白金ジエチル（以下「（ＣＯ
Ｄ）ＤＥＰｔ」と略記する。）からなる有機白金化合物
が知られている。
地電極等の各種白金薄膜をＭＯＣＶＤ法により形成する
に際して用いられる蒸着原料としては、下記構造式で
表される（１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジ
エニル）白金ジメチル（以下「（ＤＭＣＯＤ）ＤＭＰ
ｔ」と略記する。）や下記構造式で表される（１，５
−シクロオクタジエニル）白金ジエチル（以下「（ＣＯ
Ｄ）ＤＥＰｔ」と略記する。）からなる有機白金化合物
が知られている。
【０００３】
【化４】
【０００４】
【化５】
【０００５】このような蒸着原料を用いてＭＯＣＶＤ法
により白金薄膜を形成するには、例えば、図１の概略説
明図に示す如く、反応炉７内に設けたヒーター６上に基
板５を置き、一方、この反応炉７と連接して設けた加熱
炉３内で、気化容器２内の上記有機白金化合物からなる
蒸着原料１を気化させ、得られた蒸気を配管４から導入
されるＡｒ等のキャリアガスで反応炉７内に送給して拡
散させ、加熱基板５上に白金を析出させる。なお、図
中、８は真空引配管である。この方法は熱分解型ＭＯＣ
ＶＤ法と称される。
により白金薄膜を形成するには、例えば、図１の概略説
明図に示す如く、反応炉７内に設けたヒーター６上に基
板５を置き、一方、この反応炉７と連接して設けた加熱
炉３内で、気化容器２内の上記有機白金化合物からなる
蒸着原料１を気化させ、得られた蒸気を配管４から導入
されるＡｒ等のキャリアガスで反応炉７内に送給して拡
散させ、加熱基板５上に白金を析出させる。なお、図
中、８は真空引配管である。この方法は熱分解型ＭＯＣ
ＶＤ法と称される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の熱分解
型ＭＯＣＶＤ法の蒸着原料として従来用いられている前
記構造式，で示される有機白金化合物は、いずれも
融点が３０℃以上で、蒸気圧が低い上に、気化の際の加
熱温度に対する気化速度が不均一で、気化速度の正確な
制御が困難であるために、基板表面上に形成される白金
膜の堆積速度が不均一となるという欠点があり、このた
め、白金膜の形成の際、膜の平坦性が欠如するという問
題があった。また、上記従来の有機白金化合物は、気化
における加熱の際、図１の気化容器３内にて気化のみな
らず分解反応も生起し、その熱安定性にも問題があっ
た。
型ＭＯＣＶＤ法の蒸着原料として従来用いられている前
記構造式，で示される有機白金化合物は、いずれも
融点が３０℃以上で、蒸気圧が低い上に、気化の際の加
熱温度に対する気化速度が不均一で、気化速度の正確な
制御が困難であるために、基板表面上に形成される白金
膜の堆積速度が不均一となるという欠点があり、このた
め、白金膜の形成の際、膜の平坦性が欠如するという問
題があった。また、上記従来の有機白金化合物は、気化
における加熱の際、図１の気化容器３内にて気化のみな
らず分解反応も生起し、その熱安定性にも問題があっ
た。
【０００７】一方で、近年、半導体装置の高集積化のた
めに、形成する白金膜の薄膜化が望まれており、従来の
白金化合物では白金薄膜の均一かつ緻密な膜厚の制御が
より一層難しくなっているのが現状である。
めに、形成する白金膜の薄膜化が望まれており、従来の
白金化合物では白金薄膜の均一かつ緻密な膜厚の制御が
より一層難しくなっているのが現状である。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点を解決し、従
来の白金化合物より融点が低く、室温での蒸気圧が高
く、熱分解型ＭＯＣＶＤ法等のＭＯＣＶＤ法による白金
薄膜の形成に際し、気化速度が均一で、しかも気化の際
の熱安定性に優れ、スパッタで形成された白金膜より平
坦性に優れた白金膜を形成可能な白金薄膜形成用有機白
金化合物を提供することを目的とする。
来の白金化合物より融点が低く、室温での蒸気圧が高
く、熱分解型ＭＯＣＶＤ法等のＭＯＣＶＤ法による白金
薄膜の形成に際し、気化速度が均一で、しかも気化の際
の熱安定性に優れ、スパッタで形成された白金膜より平
坦性に優れた白金膜を形成可能な白金薄膜形成用有機白
金化合物を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の蒸気圧の高い
有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物
は、下記一般式で表される（シクロオクタジエニル）
ジアルキル白金（II）化合物よりなることを特徴とす
る。
有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物
は、下記一般式で表される（シクロオクタジエニル）
ジアルキル白金（II）化合物よりなることを特徴とす
る。
【００１０】
【化６】
【００１１】（上記一般式中、Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子
又は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ1 〜Ｒ4 のう
ちの少なくとも１つの置換基はアルキル基である。Ｒ
5 ，Ｒ6は炭素数２〜４のアルキル基を示す。） 請求項２の蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄
膜形成用有機白金化合物は、下記構造式で表される
（１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエニル）
白金ジエチル（即ち、上記一般式において、Ｒ1 ，Ｒ
3 が水素原子、Ｒ2 ，Ｒ4 がメチル基、Ｒ5 ，Ｒ6 がエ
チル基のもの。以下「（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰ
ｔ」と略記する。）よりなることを特徴とする。
又は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ1 〜Ｒ4 のう
ちの少なくとも１つの置換基はアルキル基である。Ｒ
5 ，Ｒ6は炭素数２〜４のアルキル基を示す。） 請求項２の蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄
膜形成用有機白金化合物は、下記構造式で表される
（１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエニル）
白金ジエチル（即ち、上記一般式において、Ｒ1 ，Ｒ
3 が水素原子、Ｒ2 ，Ｒ4 がメチル基、Ｒ5 ，Ｒ6 がエ
チル基のもの。以下「（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰ
ｔ」と略記する。）よりなることを特徴とする。
【００１２】
【化７】
【００１３】請求項３の蒸気圧の高い有機金属化学蒸着
による白金薄膜形成用有機白金化合物は、下記構造式
で表される（１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタ
ジエニル）白金ジエチル（即ち、上記一般式におい
て、Ｒ1 ，Ｒ2 が水素原子、Ｒ3 ，Ｒ4 がメチル基、Ｒ
5 ，Ｒ6 がエチル基のもの。以下「（１，６−ＤＭＣＯ
Ｄ）ＤＥＰｔ」と略記する。）よりなることを特徴とす
る。
による白金薄膜形成用有機白金化合物は、下記構造式
で表される（１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタ
ジエニル）白金ジエチル（即ち、上記一般式におい
て、Ｒ1 ，Ｒ2 が水素原子、Ｒ3 ，Ｒ4 がメチル基、Ｒ
5 ，Ｒ6 がエチル基のもの。以下「（１，６−ＤＭＣＯ
Ｄ）ＤＥＰｔ」と略記する。）よりなることを特徴とす
る。
【００１４】
【化８】
【００１５】即ち、本発明者らは上述の観点から、熱分
解型ＭＯＣＶＤ法を含め、その他のＭＯＣＶＤ法により
白金薄膜を作製するに際して、蒸気圧が高く、気化速度
が均一で、かつ気化の際の熱安定性に優れた高純度な白
金薄膜形成用蒸着原料を見出すべく研究を行った結果、
上記一般式で表される有機白金化合物は、白金原子上
の一方に嵩高い有機置換基として炭素数２〜４のアルキ
ル基が配位しているために、前記構造式，の従来の
有機白金化合物よりも安定した気化速度を示すと共に、
この有機白金化合物は室温付近で液体であり（融点＜５
℃）、優れた揮発性及び熱安定性を示すという知見を
得、本発明を完成させた。
解型ＭＯＣＶＤ法を含め、その他のＭＯＣＶＤ法により
白金薄膜を作製するに際して、蒸気圧が高く、気化速度
が均一で、かつ気化の際の熱安定性に優れた高純度な白
金薄膜形成用蒸着原料を見出すべく研究を行った結果、
上記一般式で表される有機白金化合物は、白金原子上
の一方に嵩高い有機置換基として炭素数２〜４のアルキ
ル基が配位しているために、前記構造式，の従来の
有機白金化合物よりも安定した気化速度を示すと共に、
この有機白金化合物は室温付近で液体であり（融点＜５
℃）、優れた揮発性及び熱安定性を示すという知見を
得、本発明を完成させた。
【００１６】以下に本発明を詳細に説明する。
【００１７】本発明の有機白金化合物としては、１，５
−ジメチル−１，５−シクロオクタジエニル）白金ジエ
チル（（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ）、或いは、こ
のジメチルシクロオクタジエニル基が、１，５−ジメチ
ル−１，５−シクロオクタジエニル基の異性体構造であ
る１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエニル白
金ジエチル（（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ）、更
に、これら異性体の混合物が好適である。
−ジメチル−１，５−シクロオクタジエニル）白金ジエ
チル（（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ）、或いは、こ
のジメチルシクロオクタジエニル基が、１，５−ジメチ
ル−１，５−シクロオクタジエニル基の異性体構造であ
る１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエニル白
金ジエチル（（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ）、更
に、これら異性体の混合物が好適である。
【００１８】このような有機白金化合物は、後掲の実施
例に示されるように、ジメチルシクロオクタジエン（Ｄ
ＭＣＯＤ）と塩化白金（II）カリウムとを出発原料とし
て、例えば、次のような反応に従って合成される。
例に示されるように、ジメチルシクロオクタジエン（Ｄ
ＭＣＯＤ）と塩化白金（II）カリウムとを出発原料とし
て、例えば、次のような反応に従って合成される。
【００１９】 K2PtCl4+DMCOD+SnCl2+2NaI → PtI2(DMCOD)+2KCl+SnCl2+2NaCl PtI2(DMCOD)+2C2H5MgI → (DMCOD)DEPt+2MgI2+2I- 上記合成において、ＤＭＣＯＤとして１，５−ジメチル
−１，５−シクロオクタジエンを用いることにより
（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔを、また、１，６−ジ
メチル−１，５−シクロオクタジエンを用いることによ
り（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔを合成することがで
きる。
−１，５−シクロオクタジエンを用いることにより
（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔを、また、１，６−ジ
メチル−１，５−シクロオクタジエンを用いることによ
り（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔを合成することがで
きる。
【００２０】また、一般に、ＤＭＣＯＤの市販品は、
１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン７０重
量％と、１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエ
ン３０重量％の混合物として提供されている。従って、
この混合品を原料として用い、合成の最終段階でカラム
クロマトグラフィー（例えば、シリカゲルカラム、展開
液：ｎ−ペンタン／クロロホルム）で分離精製すること
によっても、（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔと（１，
６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔとを各々得ることができる。
１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン７０重
量％と、１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエ
ン３０重量％の混合物として提供されている。従って、
この混合品を原料として用い、合成の最終段階でカラム
クロマトグラフィー（例えば、シリカゲルカラム、展開
液：ｎ−ペンタン／クロロホルム）で分離精製すること
によっても、（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔと（１，
６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔとを各々得ることができる。
【００２１】このような本発明の有機白金化合物は、従
来の有機白金化合物と同様の操作で熱分解型ＭＯＣＶＤ
法等のＭＯＣＶＤ法による白金薄膜蒸着原料として用い
ることができる。
来の有機白金化合物と同様の操作で熱分解型ＭＯＣＶＤ
法等のＭＯＣＶＤ法による白金薄膜蒸着原料として用い
ることができる。
【００２２】
【作用】本発明の白金薄膜形成用有機白金化合物は、白
金原子上の一方に嵩高い有機置換基として炭素数２〜４
のアルキル基が配位しているため、室温付近で液体で蒸
気圧が高く、前記構造式，で表される従来の有機白
金化合物よりも安定した気化速度で気化し、また、優れ
た揮発性及び熱安定性を示す。
金原子上の一方に嵩高い有機置換基として炭素数２〜４
のアルキル基が配位しているため、室温付近で液体で蒸
気圧が高く、前記構造式，で表される従来の有機白
金化合物よりも安定した気化速度で気化し、また、優れ
た揮発性及び熱安定性を示す。
【００２３】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明する。
説明する。
【００２４】実施例１ （ａ） 有機白金化合物の合成 Ｋ2 ＰｔＣｌ4 １０ｇを水２００ｍｌに溶解し、この白
金溶液にｎ−プロピルアルコール１００ｍｌを加え、次
いで１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン２
０ｍｌ及び塩化第一錫０．１８ｇを加えた。この混合物
を約２日間攪拌した後、濾過を行い、フィルター上の残
渣を水及びエチルアルコールで洗浄した。得られた固形
物にアセトンを注ぎ、サスペンジョン溶液としたところ
にヨウ化ナトリウム７．２ｇを加えて攪拌した。次いで
アセトンを減圧下で留去し、残渣を水で洗浄後乾燥して
８．５ｇの（１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタ
ジエニル）ジヨード白金（以下、「１，５−ＤＭＣＯＤ
ＰｔＩ2 」と略記する。）を合成した（融点＞１２０℃
分解）。
金溶液にｎ−プロピルアルコール１００ｍｌを加え、次
いで１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン２
０ｍｌ及び塩化第一錫０．１８ｇを加えた。この混合物
を約２日間攪拌した後、濾過を行い、フィルター上の残
渣を水及びエチルアルコールで洗浄した。得られた固形
物にアセトンを注ぎ、サスペンジョン溶液としたところ
にヨウ化ナトリウム７．２ｇを加えて攪拌した。次いで
アセトンを減圧下で留去し、残渣を水で洗浄後乾燥して
８．５ｇの（１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタ
ジエニル）ジヨード白金（以下、「１，５−ＤＭＣＯＤ
ＰｔＩ2 」と略記する。）を合成した（融点＞１２０℃
分解）。
【００２５】次いで、冷却下、合成した１，５−ＤＭＣ
ＯＤＰｔＩ2 に十分窒素脱気した乾燥ジエチルエーテル
１００ｍｌを注ぎ、この溶液にヨウ化エチルマグネシウ
ムエーテル溶液（Grignard試薬）１００ｍｌを加えて３
時間攪拌した。更に冷却しながら、この溶液に飽和塩化
アンモニウム水溶液を加えて加水分解した後、濾過し、
濾液をエーテル層と水層に分けた。水層はジエチルエー
テル１００ｍｌで抽出し、エーテル層を合せて無水硫酸
マグネシウムで乾燥した。エーテルを減圧下（３０℃／
２ｔｏｒｒ）で留去し、明黄色液体である前記構造式
で示される本発明有機白金化合物の（１，５−ジメチル
−１，５−シクロオクタジエニル）白金ジエチル
（（１，５ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ）（融点５℃以下）を
２．３ｇ得た。
ＯＤＰｔＩ2 に十分窒素脱気した乾燥ジエチルエーテル
１００ｍｌを注ぎ、この溶液にヨウ化エチルマグネシウ
ムエーテル溶液（Grignard試薬）１００ｍｌを加えて３
時間攪拌した。更に冷却しながら、この溶液に飽和塩化
アンモニウム水溶液を加えて加水分解した後、濾過し、
濾液をエーテル層と水層に分けた。水層はジエチルエー
テル１００ｍｌで抽出し、エーテル層を合せて無水硫酸
マグネシウムで乾燥した。エーテルを減圧下（３０℃／
２ｔｏｒｒ）で留去し、明黄色液体である前記構造式
で示される本発明有機白金化合物の（１，５−ジメチル
−１，５−シクロオクタジエニル）白金ジエチル
（（１，５ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ）（融点５℃以下）を
２．３ｇ得た。
【００２６】得られた有機白金化合物の同定は、下記Ｎ
ＭＲの結果及び元素分析により行った。
ＭＲの結果及び元素分析により行った。
【００２７】1H-NMR(CDCl3);δ(CH)5.85, δ(CH2)1.90,
δ(CH3)1.52,δ(Pt-CH2)1.86,δ(Pt-C-CH3)1.49 元素分析（％） 実測値：Ｃ＝42.9，Ｈ＝6.67，Ｐｔ＝
50.3 計算値：Ｃ＝43.2，Ｈ＝6.68，Ｐｔ＝50.1 また、１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン
の代りに、１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジ
エンを用いたこと以外は上記と全く同一の条件で、明黄
色液体である前記構造式で示される本発明有機白金化
合物の（１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエ
ニル）白金ジエチル（（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰ
ｔ）（融点５℃以下）を得た。
δ(CH3)1.52,δ(Pt-CH2)1.86,δ(Pt-C-CH3)1.49 元素分析（％） 実測値：Ｃ＝42.9，Ｈ＝6.67，Ｐｔ＝
50.3 計算値：Ｃ＝43.2，Ｈ＝6.68，Ｐｔ＝50.1 また、１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン
の代りに、１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジ
エンを用いたこと以外は上記と全く同一の条件で、明黄
色液体である前記構造式で示される本発明有機白金化
合物の（１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエ
ニル）白金ジエチル（（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰ
ｔ）（融点５℃以下）を得た。
【００２８】また、比較のため、ヨウ化エチルマグネシ
ウムエーテル溶液の代わりにヨウ化メチルマグネシウム
エーテル溶液を用いたこと以外は上記と同一の条件で、
前記構造式で示される従来の有機白金化合物（ＤＭＣ
ＯＤ）ＤＭＰｔを合成した。
ウムエーテル溶液の代わりにヨウ化メチルマグネシウム
エーテル溶液を用いたこと以外は上記と同一の条件で、
前記構造式で示される従来の有機白金化合物（ＤＭＣ
ＯＤ）ＤＭＰｔを合成した。
【００２９】また、１，５−ジメチル−１，５−シクロ
オクタジエンの代わりに１，５−シクロオクタジエンを
用いたこと以外は上記と同一の条件で、前記構造式で
示される従来の有機白金化合物（ＣＯＤ）ＤＥＰｔを合
成した。
オクタジエンの代わりに１，５−シクロオクタジエンを
用いたこと以外は上記と同一の条件で、前記構造式で
示される従来の有機白金化合物（ＣＯＤ）ＤＥＰｔを合
成した。
【００３０】図２，３，４，５に、得られた本発明有機
白金化合物（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ（図２）、
（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ（図３）及び従来有機
白金化合物（ＤＭＣＯＤ）ＤＭＰｔ（図４），（ＣＯ
Ｄ）ＤＥＰｔ（図５）の気化特性を評価する目的で熱重
量曲線（昇温速度１０℃／ｍｉｎ，乾燥アルゴン雰囲
気）を示した。
白金化合物（１，５−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ（図２）、
（１，６−ＤＭＣＯＤ）ＤＥＰｔ（図３）及び従来有機
白金化合物（ＤＭＣＯＤ）ＤＭＰｔ（図４），（ＣＯ
Ｄ）ＤＥＰｔ（図５）の気化特性を評価する目的で熱重
量曲線（昇温速度１０℃／ｍｉｎ，乾燥アルゴン雰囲
気）を示した。
【００３１】（ｂ） 白金薄膜の蒸着 本発明有機白金化合物及び従来有機白金化合物を各々用
いて、図１に示す装置により、熱分解型ＭＯＣＶＤ法に
従って、下記条件にて白金薄膜の作製を行い、１０分毎
の膜厚を測定した。膜厚は、膜の断面ＳＥＭ像から測定
した。この測定結果を表１に示した。
いて、図１に示す装置により、熱分解型ＭＯＣＶＤ法に
従って、下記条件にて白金薄膜の作製を行い、１０分毎
の膜厚を測定した。膜厚は、膜の断面ＳＥＭ像から測定
した。この測定結果を表１に示した。
【００３２】基板；２５ｍｍ角のＳｉ基板上にＴｉＮを
１００ｎｍの厚さにスパッタ法により蒸着した基板 基板温度；２００℃ 気化温度；８０℃ 圧力；２ｔｏｒｒ キャリアガスの流量；１００ｃｃｍのＡｒ
１００ｎｍの厚さにスパッタ法により蒸着した基板 基板温度；２００℃ 気化温度；８０℃ 圧力；２ｔｏｒｒ キャリアガスの流量；１００ｃｃｍのＡｒ
【００３３】
【表１】
【００３４】（ｃ） 考察 図２〜５に示される結果から次のことが明らかである。
即ち、本発明有機白金化合物は室温から約１５０℃まで
の温度で完全に気化させることが可能であるが、一方、
従来有機白金化合物は気化終了の際、約３０〜４０％の
残留物が生成している。このことから、本発明有機白金
化合物は、気化の際の熱安定性に優れることが明らかで
ある。
即ち、本発明有機白金化合物は室温から約１５０℃まで
の温度で完全に気化させることが可能であるが、一方、
従来有機白金化合物は気化終了の際、約３０〜４０％の
残留物が生成している。このことから、本発明有機白金
化合物は、気化の際の熱安定性に優れることが明らかで
ある。
【００３５】また、表１より、次のことが明らかであ
る。即ち、本発明有機白金化合物は、成膜時間に対しほ
ぼ一定の割合で膜厚が増加し、かつ、その成膜速度も従
来有機白金化合物に比べて速いのに対し、従来有機白金
化合物の場合は、成膜時間において４０分を超えた頃か
ら成膜量の減少傾向が顕著になる。
る。即ち、本発明有機白金化合物は、成膜時間に対しほ
ぼ一定の割合で膜厚が増加し、かつ、その成膜速度も従
来有機白金化合物に比べて速いのに対し、従来有機白金
化合物の場合は、成膜時間において４０分を超えた頃か
ら成膜量の減少傾向が顕著になる。
【００３６】なお、本発明有機白金化合物を用いた場合
は、図１に示す装置の気化容器内には分解白金の生成が
見られなかったのに対し、従来有機白金化合物の場合に
は分解白金の生成が認められた。これより、本発明有機
白金化合物は、気化容器内で分解することなしに成膜時
間に対し一定の速度で気化し、また、従来有機白金化合
物より気化の際の熱安定性、揮発性に優れた有機白金化
合物であることを示している。
は、図１に示す装置の気化容器内には分解白金の生成が
見られなかったのに対し、従来有機白金化合物の場合に
は分解白金の生成が認められた。これより、本発明有機
白金化合物は、気化容器内で分解することなしに成膜時
間に対し一定の速度で気化し、また、従来有機白金化合
物より気化の際の熱安定性、揮発性に優れた有機白金化
合物であることを示している。
【００３７】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の蒸気圧の高
い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合
物は、室温付近で液体（融点５℃以下）で、安定な気化
速度を有し、かつ気化の際の熱安定性に優れていること
から、ＭＯＣＶＤ法による均一かつ緻密で平坦性に優れ
た白金薄膜成膜原料として極めて有用であり、半導体装
置の誘電体メモリー用下地電極等として有用な白金薄膜
の製造に有効に利用することができる。
い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合
物は、室温付近で液体（融点５℃以下）で、安定な気化
速度を有し、かつ気化の際の熱安定性に優れていること
から、ＭＯＣＶＤ法による均一かつ緻密で平坦性に優れ
た白金薄膜成膜原料として極めて有用であり、半導体装
置の誘電体メモリー用下地電極等として有用な白金薄膜
の製造に有効に利用することができる。
【図１】熱分解型ＭＯＣＶＤ法を説明する装置の概略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明有機白金化合物の熱重量曲線を示すグラ
フである。
フである。
【図３】本発明有機白金化合物の熱重量曲線を示すグラ
フである。
フである。
【図４】本発明有機白金化合物の熱重量曲線を示すグラ
フである。
フである。
【図５】従来有機白金化合物の熱重量曲線を示すグラフ
である。
である。
【符号の説明】 １ 蒸着原料 ２ 気化容器 ３ 加熱炉 ４ キャリアガス導入配管 ５ 基板 ６ ヒーター ７ 反応炉 ８ 真空引配管
Claims (3)
- 【請求項１】 下記一般式で表される（シクロオクタ
ジエニル）ジアルキル白金（II）化合物よりなる蒸気圧
の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金
化合物。 【化１】 （上記一般式中、Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は炭素数１
〜３のアルキル基を示し、Ｒ1 〜Ｒ4 のうちの少なくと
も１つの置換基はアルキル基である。Ｒ5 ，Ｒ6は炭素
数２〜４のアルキル基を示す。） - 【請求項２】 下記構造式で表される（１，５−ジメ
チル−１，５−シクロオクタジエニル）白金ジエチルよ
りなる蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形
成用有機白金化合物。 【化２】 - 【請求項３】 下記構造式で表される（１，６−ジメ
チル−１，５−シクロオクタジエニル）白金ジエチルよ
りなる蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形
成用有機白金化合物。 【化３】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30620394A JP2730496B2 (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30620394A JP2730496B2 (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08157490A JPH08157490A (ja) | 1996-06-18 |
| JP2730496B2 true JP2730496B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=17954242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30620394A Expired - Fee Related JP2730496B2 (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用有機白金化合物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730496B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5156120B1 (ja) * | 2011-10-14 | 2013-03-06 | 田中貴金属工業株式会社 | 有機白金化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法 |
| US20140065060A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | Karlsruher Institut Fur Technologie (Kit) | Precursors for Metal Organic Chemical Vapor Deposition Processes and Their Use |
| JP5960321B1 (ja) * | 2015-05-12 | 2016-08-02 | 田中貴金属工業株式会社 | 有機白金化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法 |
| JP7354435B2 (ja) | 2019-11-06 | 2023-10-02 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | 白金錯体の調製物 |
-
1994
- 1994-12-09 JP JP30620394A patent/JP2730496B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08157490A (ja) | 1996-06-18 |
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