JP4102954B2 - 有機金属化学蒸着用有機銅化合物及びこれを含む銅薄膜形成用溶液原料並びにこれから作られた銅薄膜 - Google Patents
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- 0 CC1C2O*(C)N=C(C)C12 Chemical compound CC1C2O*(C)N=C(C)C12 0.000 description 1
- OPJXTXXIYROKIE-UHFFFAOYSA-N NC1=CCOC(N)=C1 Chemical compound NC1=CCOC(N)=C1 OPJXTXXIYROKIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の配線に用いられる銅(Cu)薄膜を有機金属化学蒸着(Metal Organic Chemical Vapor Deposition、以下、MOCVDという。)法により作製するための有機金属化学蒸着用有機銅化合物及びこれを含む銅薄膜形成用溶液原料並びにこれから作られた銅薄膜に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
MOCVD法に用いられる有機銅化合物として、厳格な化学的、構造的かつ電気的広範な必要条件の組合せを充足させる選択蒸着能力のある室温で液体の錯体銅+1tmvs・hfac(tmvsはトリメチルビニルシランの略語で、hfacはヘキサフルオロアセチルアセトン陰イオンの略語である)が良く知られている(特開平5−202476)。しかしこの化合物は極めて安定性に欠け、室温で容易に分解し、金属銅の析出と副生成物の銅+2(hfac)2に変化し劣化が著しい。そのため、この有機銅化合物は成膜時に安定して供給することが難しく、成膜の再現性に劣る。
【0003】
この点を解決するために、上記有機銅化合物よりも安定した気化速度を得られるとともに優れた揮発性と熱安定性を示す室温で液体の銅+1atms・hfac(atmsはアリルトリメチルシランの略語である)が開示されている(特開平7−252266、特開平10−135154)。
一方、銅+1hfacと(メトキシ)(メチル)シリロレフィンリガンドを含み、気化温度まで加熱されると、(メトキシ)(メチル)シリロレフィンリガンド内の酸素の電子供与能力が銅と(メトキシ)(メチル)シリロレフィンリガンドとの間に安定な結合を提供する銅プリカーサ化合物が提案されている(特開平10−195654)。この銅プリカーサ化合物では、メトキシ基の酸素原子が主に銅プリカーサ化合物の揮発性を抑制し、銅プリカーサ化合物の温度安定性及び寿命を向上させることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、銅+1tmvs・hfacは勿論のこと、特開平7−252266号公報及び特開平10−135154号公報に示された銅+1atms・hfac、並びに特開平10−195654号公報に示された銅プリカーサ化合物では、いずれもスパッタリング法に代表される物理蒸着法に比べて成膜速度が遅く、下地膜との密着性に劣る欠点があった。
【0005】
本発明の目的は、成膜前の保存状態で分解しにくく寿命が長い有機金属化学蒸着用の銅薄膜形成用溶液原料を提供することにある。
本発明の別の目的は、より高い成膜速度が得られ、基板上で効率よく分解して揮発性が高く、下地膜との密着性に優れた有機金属化学蒸着用の銅薄膜形成用溶液原料を提供することにある。
本発明の更に別の目的は、下地膜と堅牢に密着する高純度の銅薄膜を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、次の式(1)で示される銅+1(アリルアルコキシシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)であって、R1、R2及びR3がメチル基、エチル基、プロピル基及びブチル基からなる群より選ばれたアルキル基であることを特徴とする有機金属化学蒸着用有機銅化合物である。
【0007】
【化5】
【0008】
請求項2に係る発明は、請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物からなる銅薄膜形成用溶液原料である。
請求項1に係る有機銅化合物からなる銅薄膜形成用溶液原料は、構造的に式(1)の破線で囲んだアリル基のCH2がSiとCHの間に位置するため、第一に有機銅化合物の分子鎖が立体的により一層折れ曲り、成膜時にCu原子が基板に近づき易くなり、下地膜との密着性が高まるとともに成膜速度がより一層向上する。第二にシラン基からの電子供与能に加えて、アリル基の二重結合のC原子へのCH2(破線で囲んだ部分)の押出し効果により、Cu原子近傍のH原子が電子を供与するため、Cuのπ結合を補強し、成膜前の有機銅化合物はその分解が抑制され、長い寿命を有する。一方、上記Cu原子近傍のH原子の電子供与はそれほど大きくないため、成膜中には有機銅化合物は基板上で効率よく分解して、有機物が揮発する。
【0009】
請求項3に係る発明は、次の式(2)で示される銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)(以下、「銅+1atms・hfac」の略語で示す。)に請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物を添加して銅+1atms・hfacを溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料である。
【0010】
【化6】
【0011】
請求項6に係る発明は、次の式(3)で示される銅+1(トリメチルビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)(以下、「銅+1tmvs・hfac」の略語で示す。)に請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物を添加して銅+1tmvs・hfacを溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料である。
【0012】
【化7】
【0013】
請求項9に係る発明は、次の式(4)で示される銅+1(トリメトキシビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)(以下、「銅+1tmovs・hfac」の略語で示す。)に請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物0.01〜20重量%を添加して銅+1tmovs・hfacを溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料である。
【0014】
【化8】
【0015】
請求項3、請求項6又は請求項9に係る発明では、請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物を溶剤として、銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac又は銅+1tmovs・hfacを溶解することにより、成膜初期に銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac又は銅+1tmovs・hfacが分解し易く、これにより下地膜での初期の銅成長が起り易くなり、銅薄膜の成長速度が増大する。
【0016】
請求項5、請求項8又は請求項11に係る発明は、銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac又は銅+1tmovs・hfacに請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物0.01〜20重量%と、アリルトリメチルシラン(以下、「atms」の略語で示す。)、トリメチルビニルシラン(以下、「tmvs」の略語で示す。)、トリメトキシビニルシラン(以下、「tmovs」の略語で示す。)及びアリルトリメトキシシラン(以下、「atmos」の略語で示す。)からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物0.01〜40重量%とを添加して銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac又は銅+1tmovs・hfacを溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料である。
請求項5、請求項8又は請求項11に係る発明では、更にatms、tmvs、tmovs、atmosのうち少なくとも1種を加えることにより、atms等における炭素二重結合が溶液中に増加し、Cuのπ結合が高まり、成膜前の保存状態で有機銅化合物の分解が抑制され、長い寿命の溶液となる。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の有機金属化学蒸着用の銅薄膜形成用溶液原料は、前述した式(1)に示される銅+1(アリルアルコキシシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)単体からなるか、或いはこの有機銅化合物を溶剤として用いて、ベースとなる別の一価の銅金属を含む有機銅化合物を溶解することにより調製される。
更に本発明の有機金属化学蒸着用の銅薄膜形成用溶液原料は、請求項12又は13に記載するように、ベースとなる有機銅化合物(銅+1atms・hfac)に溶剤として銅+1tmovs・hfac又は銅+1tmvs・hfacを添加して銅+1atms・hfacを溶解することにより調製される。
【0018】
式(1)に示される銅+1(アリルアルコキシシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)において、R1、R2及びR3はメチル基、エチル基、プロピル基及びブチル基からなる群より選ばれたアルキル基である。その具体例を表1及び式(5)〜式(12)に示す。なお、式(9)及び式(10)中のC4H9は直鎖状のアルキル基又は分岐状のアルキル基のいずれであってもよい。
【0019】
【表1】
【0020】
【化9】
【0021】
【化10】
【0022】
【化11】
【0023】
【化12】
【0024】
【化13】
【0025】
【化14】
【0026】
【化15】
【0027】
【化16】
【0028】
上記以外にベースとなる一価の銅金属を含む有機銅化合物を溶解する溶剤として、式(13)に示される一価の銅金属を含む有機銅化合物が挙げられる。式(13)において、Lの詳細は表2に示される。
【0029】
【化17】
【0030】
【表2】
【0031】
上記溶剤に溶解されるベースとなる一価の銅金属を含む有機銅化合物としては、請求項3及び請求項12に記載された前述した式(2)で示される銅+1atms・hfac、請求項6に記載された前述した式(3)で示される銅+1tmvs・hfac、又は請求項9に記載された前述した式(4)で示される銅+1tmovs・hfacが挙げられる。
上記溶剤の添加量は、銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac、又は銅+1tmovs・hfac100重量%に対して0.01〜20重量%であることが好ましい。0.01重量%未満では上記溶剤を添加した効果が現れず、銅薄膜の成長速度は向上しない。また20重量%を超えると、銅薄膜中の不純物濃度が高くなり、薄膜の品質を劣化し易くなり、銅薄膜の成長速度もそれ程向上しない。上記溶剤の添加量は2〜10重量%であることが更に好ましい。
【0032】
また請求項5、請求項8、請求項11及び請求項13に記載したatms、tmvs、tmovs、atmosは助剤として用いられ、この助剤の添加量は、銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac、又は銅+1tmovs・hfac100重量%に対して0.01〜40重量%であることが好ましい。この助剤の添加量が0.01重量%未満ではatms、tmvs、tmovs、atmosを添加した効果が現れず、また40重量%を超えると、銅薄膜中の不純物濃度が高くなり、薄膜の品質を劣化し易くなり、銅薄膜の成長速度もそれ程向上しない。上記助剤の添加量は2〜10重量%であることが更に好ましい。
請求項2ないし13いずれかに係る発明の銅薄膜形成用溶液原料により形成された銅薄膜は、下地膜と堅牢に密着し、高純度である特長を有する。この銅薄膜は、例えばシリコン基板表面のSiO2膜上にスパッタリング法又はMOCVD法により形成されたTiN膜又はTaN膜上にMOCVD法により形成される。
【0033】
なお、本発明の基板はその種類を特に限定されるものではない。
また、本明細書では、一価の銅金属を含む有機銅化合物を構成する化合物を慣用的に「銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)」と表記しているが、これは正式には「銅+1(3−トリメチルシリル−1−プロペン)(1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネート)」と表記される。また「銅+1(トリメチルビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)」は正式には「銅+1(トリメチルシリル−1−エチン)(1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネート)」と表記され、更に「銅+1(トリメトキシビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)」は正式には「銅+1(トリメトキシシリル−1−エチン)(1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネート)」と表記される。
【0034】
【実施例】
次に本発明の実施例を比較例とともに説明する。
<実施例1>
前述した式(5)に示した銅+1atmos・hfacからなる有機銅化合物を銅薄膜形成用溶液原料として用意した。この有機銅化合物は次の方法により合成した。
酸化銅(I)13.0gに十分に窒素脱気を行った乾燥塩化メチレン150mlを注ぎ、懸濁液とした。アルリトリメトキシシラン(atmos)6.92gを激しく攪拌しながら添加し、更に1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオン12.6gを1滴ずつ滴下ロートより滴下した。反応系を4時間攪拌した後、窒素気流下でろ過し、ろ液を35℃の減圧下で留去し、濃緑色の液体を得た。この液体をカラムクロマトグラフィーにより精製し、明黄色の液体である前述した式(5)で示される、銅+1(アリルトリメトキシシラン)(1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネート)を16.7g得た。得られた有機銅化合物の同定は、NMR及び元素分析により行った。
【0035】
NMR分析の結果は、1H−NMR(CDCL3);δ0.08(s,9H),1.61(d,2H,J=7.82Hz),4.34(m,2H),5.45(m,1H),6.08(s,1H)であり、また元素分析の結果は、C32.5%、H3.72%、O19.6%、F28.2%、Cu15.5%(理論値 C32.6%、H3.71%、O19.7%、F28.1%、Cu15.6%)であった。
【0036】
この有機銅化合物からなる銅薄膜形成用溶液原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、MOCVD法により銅薄膜を成膜した。基板として、基板表面のSiO2膜(厚さ5000Å)上にスパッタリング法によりTiN膜(厚さ50nm)を形成したシリコン基板を用い、基板温度を150℃、160℃、170℃、180℃、190℃、200℃、210℃の7段階に変えた。気化温度を70℃、圧力を2torrにそれぞれ設定した。キャリアガスとしてArガスを用い、その流量を100ccmとした。
銅薄膜形成用溶液原料を0.2cc/分の割合で5分間供給し、その膜厚を膜の断面SEM像から測定した。表3に上記時間内における最高の膜厚を単位時間当りに換算して示す。また四探針式比抵抗測定装置により膜の比抵抗値を、電子線表面粗さ解析装置(エリオニクス社製、ERA−8000)により膜の表面粗さをそれぞれ測定した。表面粗さは表面の最上部と最下部の差をいう。これらの結果を表3に示す。
【0037】
<実施例2>
前述した式(6)に示される銅+1ateos・hfacからなる有機銅化合物を銅薄膜形成用溶液原料として用意した。この有機銅化合物は次の方法により合成した。
実施例1と同様に酸化銅(I)13.0gに十分に窒素脱気を行った乾燥塩化メチレン150mlを注ぎ、懸濁液とした。アルリトリエトキシシラン(ateos)5.84gを激しく攪拌しながら添加し、更に1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオン12.6gを1滴ずつ滴下ロートより滴下した。反応系を4時間攪拌した後、窒素気流下でろ過し、ろ液を35℃の減圧下で留去し、濃緑色の液体を得た。この液体をカラムクロマトグラフィーにより精製し、明黄色の液体である前述した式(6)で示される、銅+1(アリルトリエトキシシラン)(1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネート)を13.5g得た。得られた有機銅化合物の同定は、NMR及び元素分析により行った。
【0038】
NMR分析;1H−NMR(CDCL3);δ2.063(d,9H),1.86(q,6H),1.61(d,2H,J=7.92Hz),4.35(m,2H),5.52(m,1H),6.12(s,1H)、及び元素分析;C37.5%、H4.72%、O17.8%、F25.5%、Cu14.2%(理論値C37.6%、H4.70%、O17.9%、F25.5%、Cu14.2%)を得た。
この有機銅化合物からなる銅薄膜形成用溶液原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、実施例1と同一の条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表3に示す。
【0039】
【表3】
【0040】
表3から明らかなように、実施例1及び実施例2とも基板温度が160〜200℃の範囲、特に180〜200℃の範囲では、銅薄膜の成長速度が大きく、1分間で成長した膜厚が400nm前後になった。また実施例1及び実施例2とも基板温度によらず、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.98nmであった。
【0041】
<実施例3>
前述した式(2)で示される銅+1atms・hfacに実施例1の有機銅化合物又は実施例2の有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を表4に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一の条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表4に示す。
【0042】
【表4】
【0043】
表4から明らかなように、溶剤の添加量が0.01〜20重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が440〜560nmと大きかったのに対して、この範囲外では200nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.95nmであった。
【0044】
<実施例4>
前述した式(2)で示される銅+1atms・hfacに実施例1の有機銅化合物又は実施例2の有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を5重量%添加した後、更にアリルトリメチルシラン(atms)又はトリメチルビニルシラン(tmvs)を助剤として用い、この助剤を表5に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表5に示す。
【0045】
【表5】
【0046】
表5から明らかなように、助剤の添加量が0.01重量%以上で1分間で成長した膜厚が460〜710nmと大きかったのに対して、0.01重量%未満及び40重量%を超えると300nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.94nmであった。
【0047】
<実施例5>
前述した式(2)で示される銅+1atms・hfacに実施例1の有機銅化合物又は実施例2の有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を5重量%添加した後、更にアリルトリメトキシシラン(atmos)又はトリメトキシビニルシラン(tmovs)を助剤として用い、この助剤を表6に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表6に示す。
【0048】
【表6】
【0049】
表6から明らかなように、助剤の添加量が0.01〜10重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が460〜710nmと大きかったのに対して、0.01重量%未満及び40重量%を超えると300nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.92nmであった。
【0050】
<実施例6>
前述した式(3)で示される銅+1tmvs・hfacに実施例1の有機銅化合物又は実施例2の有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を表7に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一の条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表7に示す。
【0051】
【表7】
【0052】
表7から明らかなように、実施例1と実施例2の溶剤の添加量が0.01〜20重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が440〜560nmと大きかったのに対して、この範囲外では200nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.96nmであった。
【0053】
<実施例7>
前述した式(3)で示される銅+1tmvs・hfacに実施例1の有機銅化合物又は実施例2の有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を5重量%添加した後、更にアリルトリメチルシラン(atms)又はトリメチルビニルシラン(tmvs)を助剤として用い、この助剤を表8に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表8に示す。
【0054】
【表8】
【0055】
表8から明らかなように、助剤の添加量が0.01重量%以上で1分間で成長した膜厚が367〜716nmと大きかったのに対して、0.01重量%未満及び40重量%を超えると300nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.96nmであった。
【0056】
<実施例8>
前述した式(3)で示される銅+1tmvs・hfacに実施例1の有機銅化合物又は実施例2の有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を5重量%添加した後、更にアリルトリメトキシシラン(atmos)又はトリメトキシビニルシラン(tmovs)を助剤として用い、この助剤を表9に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表9に示す。
【0057】
【表9】
【0058】
表9から明らかなように、助剤の添加量が0.01〜10重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が462〜710nmと大きかったのに対して、0.01重量%未満及び40重量%を超えると300nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.97nmであった。
【0059】
<実施例9>
前述した式(2)で示される銅+1atms・hfacに前述した式(4)に示される銅+1tmovs・hfacからなる有機銅化合物又は前述した式(3)に示される銅+1tmvs・hfacからなる有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を表10に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一の条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表10に示す。
【0060】
【表10】
【0061】
表10から明らかなように、溶剤の添加量が0.01〜20重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が450〜560nmと大きかったのに対して、この範囲外では200nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.98nmであった。
【0062】
<実施例10>
前述した式(2)で示される銅+1atms・hfacに前述した式(4)に示される銅+1tmovs・hfacからなる有機銅化合物又は前述した式(3)に示される銅+1tmvs・hfacからなる有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を5重量%添加した後、更にアリルトリメチルシラン(atms)又はトリメチルビニルシラン(tmvs)を助剤として用い、この助剤を表11に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表11に示す。
【0063】
【表11】
【0064】
表11から明らかなように、助剤の添加量が0.01〜10重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が460〜715nmと大きかったのに対して、0.01重量%未満及び40重量%を超えると300nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.94nmであった。
【0065】
<実施例11>
前述した式(2)で示される銅+1atms・hfacに前述した式(4)に示される銅+1tmovs・hfacからなる有機銅化合物又は前述した式(3)に示される銅+1tmvs・hfacからなる有機銅化合物を溶剤として用い、この溶剤を5重量%添加した後、更にアリルトリメトキシシラン(atmos)又はトリメトキシビニルシラン(tmovs)を助剤として用い、この助剤を表12に示す割合で添加して銅薄膜形成用溶液原料を調製した。この原料を3ヶ月間容器に密閉して保管した後、容器から取出して用い、基板温度を180℃に統一した以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表12に示す。
【0066】
【表12】
【0067】
表12から明らかなように、助剤の添加量が0.01〜10重量%の範囲で1分間で成長した膜厚が460〜710nmと大きかったのに対して、0.01重量%未満及び40重量%を超えると300nm台であった。全体的に、膜の比抵抗値は理論値1.6μΩcmに対して1.5〜1.8μΩcmであり、表面粗さは平均0.95nmであった。
【0068】
<比較例1>
銅+1atms・hfac単体からなる3ヶ月保管した銅薄膜形成用溶液原料を用いて、基板温度を180℃にした以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表13に示す。
<比較例2>
銅+1tmvs・hfac単体からなる3ヶ月保管した銅薄膜形成用溶液原料を用いて、基板温度を180℃にした以外、実施例1と同一条件でMOCVD法により銅薄膜を成膜した。膜厚、比抵抗値、表面粗さも実施例と同様にして測定した。これらの結果を表13に示す。
【0069】
【表13】
【0070】
表13から明らかなように、比較例1及び比較例2では1分間で成長した膜厚がそれぞれ30nm及び20nmと上述した実施例1〜11と比較して極めて小さかった。膜の比抵抗値は2.2μΩcm及び2.4μΩcmであり、理論値1.6μΩcmと大きくかけ離れていた。表面粗さは平均1.5nm及び2.5nmであり、上述した実施例1〜11と比較して極めて劣っていた。
【0071】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項1に係る銅+1(アリルアルコキシシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)からなる有機金属化学蒸着用有機銅化合物は、単独で銅薄膜形成用溶液原料とすることにより、下地膜との密着性が高まるとともに成膜速度がより一層向上し、成膜前の有機銅化合物はその分解が抑制され、長い寿命を有する。
また請求項3,6又は9に係る発明によれば、上記有機銅化合物を銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac、又は銅+1tmovs・hfacのようなベースとなる別の一価の銅金属を含む有機銅化合物の溶剤として用いることにより、成膜初期に銅+1atms・hfac、銅+1tmvs・hfac又は銅+1tmovs・hfacが分解し易く、これにより下地膜での初期の銅成長が起り易くなり、銅薄膜の成長速度が増大する。
【0072】
また請求項5,8,11又は13に係る発明によれば、ベースとなる有機銅化合物に更にatms、tmvs、tmovs、atmosのうち少なくとも1種を加えることにより、atms等における炭素二重結合が溶液中に増加し、Cuのπ結合が高まり、成膜前の保存状態で有機銅化合物の分解が抑制され、長い寿命の溶液となる。
更に本発明の有機銅化合物の溶液原料を用いてMOCVD法により成膜した銅薄膜は、従来のものと比べてバルク銅と同程度の理論値に近い抵抗値を有する高純度を示し、下地膜と堅牢に密着しかつ表面粗さが小さい特長を有する。この銅薄膜は銅多層配線用の深いコンタクトホールの埋込みにおいても極めて有効である。
Claims (14)
- 請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物からなる銅薄膜形成用溶液原料。
- 請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物の添加量が1〜20重量%である請求項3記載の銅薄膜形成用溶液原料。
- 銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)に請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物0.01〜20重量%とアリルトリメチルシラン、トリメチルビニルシラン、トリメトキシビニルシラン及びアリルトリメトキシシランからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物0.01〜40重量%とを添加して前記銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)を溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料。
- 請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物の添加量が1〜20重量%である請求項6記載の銅薄膜形成用溶液原料。
- 銅+1(トリメチルビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)に請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物0.01〜20重量%とアリルトリメチルシラン、トリメチルビニルシラン、トリメトキシビニルシラン及びアリルトリメトキシシランからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物0.01〜40重量%とを添加して前記銅+1(トリメチルビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)を溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料。
- 請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物の添加量が1〜20重量%である請求項9記載の銅薄膜形成用溶液原料。
- 銅+1(トリメトキシビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)に請求項1記載の有機金属化学蒸着用有機銅化合物0.01〜20重量%とアリルトリメチルシラン、トリメチルビニルシラン、トリメトキシビニルシラン及びアリルトリメトキシシランからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物0.01〜40重量%とを添加して前記銅+1(トリメトキシビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)を溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料。
- 銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)に銅+1(トリメトキシビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)又は銅+1(トリメチルビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)0.01〜20重量%を添加して前記銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)を溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料。
- 銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)に銅+1(トリメトキシビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)又は銅+1(トリメチルビニルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)0.01〜20重量%とアリルトリメチルシラン、トリメチルビニルシラン、トリメトキシビニルシラン及びアリルトリメトキシシランからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物0.01〜40重量%とを添加して前記銅+1(アリルトリメチルシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)を溶解してなる銅薄膜形成用溶液原料。
- 請求項2ないし13いずれか記載の銅薄膜形成用溶液原料により形成された銅薄膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28806699A JP4102954B2 (ja) | 1999-10-08 | 1999-10-08 | 有機金属化学蒸着用有機銅化合物及びこれを含む銅薄膜形成用溶液原料並びにこれから作られた銅薄膜 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001114789A JP2001114789A (ja) | 2001-04-24 |
JP4102954B2 true JP4102954B2 (ja) | 2008-06-18 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4102954B2 (ja) |
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