JP2719657B2 - 首振り真空パッド - Google Patents
首振り真空パッドInfo
- Publication number
- JP2719657B2 JP2719657B2 JP22600490A JP22600490A JP2719657B2 JP 2719657 B2 JP2719657 B2 JP 2719657B2 JP 22600490 A JP22600490 A JP 22600490A JP 22600490 A JP22600490 A JP 22600490A JP 2719657 B2 JP2719657 B2 JP 2719657B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- shaft
- swing
- spherical surface
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、真空圧によりワークを吸着して搬送する真
空パッドに関するものであり、特に詳しくは、パッドが
シャフトに対して揺動可能な首振り真空パッドに関する
ものである。
空パッドに関するものであり、特に詳しくは、パッドが
シャフトに対して揺動可能な首振り真空パッドに関する
ものである。
[従来の技術] 真空圧によりワークを吸着して搬送する真空パッドに
は、パッドの吸着面とワークの被吸着面とが傾斜してい
る場合でもワークを吸着できるように、パッドをシャフ
トに揺動可能に取付けた首振り真空パッドがある。
は、パッドの吸着面とワークの被吸着面とが傾斜してい
る場合でもワークを吸着できるように、パッドをシャフ
トに揺動可能に取付けた首振り真空パッドがある。
公知の首振り真空パッド1は、第6図に示すように、
先端の球体軸受部2a及び軸方向の流路2bを有するシャフ
ト2と、球体軸受部2aに揺動可能に係止する受部3aを有
し、椀形の内側空間が上記流路2bに開口するパッド3
と、球体軸受部2aに揺動可能に係止する受部5aを有する
シャフト押え5とを備え、球体軸受部2aを受部3aと5aで
挟持することにより、パッド3をシャフト2に揺動可能
に取付けている。
先端の球体軸受部2a及び軸方向の流路2bを有するシャフ
ト2と、球体軸受部2aに揺動可能に係止する受部3aを有
し、椀形の内側空間が上記流路2bに開口するパッド3
と、球体軸受部2aに揺動可能に係止する受部5aを有する
シャフト押え5とを備え、球体軸受部2aを受部3aと5aで
挟持することにより、パッド3をシャフト2に揺動可能
に取付けている。
しかしながら、上記公知の真空パッド1は、パッド3
の揺動半径A(球体軸受部2aの中心とパッドの吸着面4
間の距離)が大きいため、パッド3がシャフト2に対し
て揺動すると、ワークの目標吸着位置とのずれが大きい
という問題がある。
の揺動半径A(球体軸受部2aの中心とパッドの吸着面4
間の距離)が大きいため、パッド3がシャフト2に対し
て揺動すると、ワークの目標吸着位置とのずれが大きい
という問題がある。
真空パッド1によってワークを吸着して搬送する場合
に、パッド3がワークの目標吸着位置からずれると、真
空パッド1の偏心荷重が作用してパッド3の吸着力が低
下するばかりでなく、シャフト2が損傷することがあ
る。
に、パッド3がワークの目標吸着位置からずれると、真
空パッド1の偏心荷重が作用してパッド3の吸着力が低
下するばかりでなく、シャフト2が損傷することがあ
る。
[発明が解決しようとする課題] 本発明が解決しようとする課題は、パッドを、可及的
正確にワークの目標吸着位置に吸着させることができる
首振り真空パッドを提供することにある。
正確にワークの目標吸着位置に吸着させることができる
首振り真空パッドを提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するため、本発明は、先端に揺動軸受
部を有するシャフトと、上記揺動軸受部に揺動可能に係
止する受部を有するパッド及びシャフト押えと、上記パ
ッド内の空間を真空回路に連通させる流路とを備え、上
記揺動軸受部を、パッド及びシャフト押えの一対の受部
で挟持することにより、パッドをシャフトに揺動可能に
取付けた首振り真空パッドにおいて、上記揺動軸受部
が、シャフト押え側の揺動球面と、上記球面より小径で
これと同心のパッド側の揺動球面とを備えていることを
特徴としている。
部を有するシャフトと、上記揺動軸受部に揺動可能に係
止する受部を有するパッド及びシャフト押えと、上記パ
ッド内の空間を真空回路に連通させる流路とを備え、上
記揺動軸受部を、パッド及びシャフト押えの一対の受部
で挟持することにより、パッドをシャフトに揺動可能に
取付けた首振り真空パッドにおいて、上記揺動軸受部
が、シャフト押え側の揺動球面と、上記球面より小径で
これと同心のパッド側の揺動球面とを備えていることを
特徴としている。
また、同様の課題を解決するため、パッドの吸着面
を、シャフトの軸線に対して略直交する方向に保持する
ためのばねを設けるとよい。
を、シャフトの軸線に対して略直交する方向に保持する
ためのばねを設けるとよい。
[作用] パッドをシャフトに揺動可能に取付けたので、パッド
の吸着面がワークの被吸着面に対して傾斜していても、
パッドをワークの被吸着面に吸着させることができる。
の吸着面がワークの被吸着面に対して傾斜していても、
パッドをワークの被吸着面に吸着させることができる。
この場合、パッドが、パッド側の揺動球面の中心を中
心とする小さい半径で揺動するので、ワークの被吸着面
における目標吸着位置とのずれを可及的に小さくするこ
とができる。
心とする小さい半径で揺動するので、ワークの被吸着面
における目標吸着位置とのずれを可及的に小さくするこ
とができる。
また、ばねによって、パッドの吸着面をシャフトの軸
線に対して略直交する方向に保持したので、傾斜してい
るワークの被吸着面に直交する方向にシャフトを進退さ
せた場合でも、パッドの吸着面とワークの被吸着面が平
行になるので、パッドを目標吸着位置に正確に吸着させ
ることができる。
線に対して略直交する方向に保持したので、傾斜してい
るワークの被吸着面に直交する方向にシャフトを進退さ
せた場合でも、パッドの吸着面とワークの被吸着面が平
行になるので、パッドを目標吸着位置に正確に吸着させ
ることができる。
[実施例] 第1図は本発明の第1実施例を示し、この首振り真空
パッド10は、シャフト11、パッド12及びシャフト押え13
を備えている。
パッド10は、シャフト11、パッド12及びシャフト押え13
を備えている。
上記シャフト11は、一端の揺動軸受部15と、他端の取
付用のねじ16と、軸方向の流路17を備え、揺動軸受部15
は、ねじ16側を凸面とした半球体で形成した揺動球面18
と、該半球体のパッド側の上記半球体と同心でそれより
小径の球面で形成した揺動球面19aを有する突起19とで
構成されている。上記パッド12は、揺動球面19aに揺動
可能に係止する受部21を有し、主体が軟質合成樹脂等の
柔軟な素材で椀形に形成されており、椀形の内部空間と
流路17を連通させる開口22が形成されている。
付用のねじ16と、軸方向の流路17を備え、揺動軸受部15
は、ねじ16側を凸面とした半球体で形成した揺動球面18
と、該半球体のパッド側の上記半球体と同心でそれより
小径の球面で形成した揺動球面19aを有する突起19とで
構成されている。上記パッド12は、揺動球面19aに揺動
可能に係止する受部21を有し、主体が軟質合成樹脂等の
柔軟な素材で椀形に形成されており、椀形の内部空間と
流路17を連通させる開口22が形成されている。
一方、シャフト押え13は、揺動球面18に揺動可能に係
止する受部25を備え、パッド12及びシャフト押え13の受
部21,25を揺動球面18,19aに係止し、取付ねじ26,・・で
連結してこれらの受部が揺動軸受部15を挟持することに
より、パッド12がシャフト11に揺動可能に取付けられ
る。
止する受部25を備え、パッド12及びシャフト押え13の受
部21,25を揺動球面18,19aに係止し、取付ねじ26,・・で
連結してこれらの受部が揺動軸受部15を挟持することに
より、パッド12がシャフト11に揺動可能に取付けられ
る。
上記第1実施例は、パッド12の吸着面12aがワークの
被吸着面に傾斜した状態で当接すると、パッド12が揺動
球面19aの中心を中心として揺動するので、パッド12を
ワークの被吸着面に吸着させることができる。この場
合、揺動球面19aの径が揺動球面18に比べて小さいため
にパッド12の揺動半径Bが小さく、これによってパッド
12の目標吸着位置に対するずれを可及的に小さくするこ
とができる。
被吸着面に傾斜した状態で当接すると、パッド12が揺動
球面19aの中心を中心として揺動するので、パッド12を
ワークの被吸着面に吸着させることができる。この場
合、揺動球面19aの径が揺動球面18に比べて小さいため
にパッド12の揺動半径Bが小さく、これによってパッド
12の目標吸着位置に対するずれを可及的に小さくするこ
とができる。
したがって、偏心荷重による真空パッド10の吸着力の
低下、及びシャフト11の損傷を防止することができる。
低下、及びシャフト11の損傷を防止することができる。
また、パッド12の揺動半径が小さいために、真空パッ
ド1の高さが低くなるので、取付けのスペースを小さく
することができる。
ド1の高さが低くなるので、取付けのスペースを小さく
することができる。
第2図は第1実施例の変形例を示し、この変形例にお
ける真空パッド30のシャフト31は、先端に揺動軸受部32
を備え、該揺動軸受部32は、ねじ16側を凸面とした半球
体で形成した揺動球面33と、パッド35側の上記半球体よ
り小径で凹状の揺動球面34を備え、パッド35の中心に形
設した突起36の先端に、揺動球面34と略同径の受部36a
が形成されており、受部36aと揺動球面33,34は、いずれ
も同心にされている。したがって、パッド35は、これら
の中心を中心としてシャフト31に対して揺動可能であ
る。
ける真空パッド30のシャフト31は、先端に揺動軸受部32
を備え、該揺動軸受部32は、ねじ16側を凸面とした半球
体で形成した揺動球面33と、パッド35側の上記半球体よ
り小径で凹状の揺動球面34を備え、パッド35の中心に形
設した突起36の先端に、揺動球面34と略同径の受部36a
が形成されており、受部36aと揺動球面33,34は、いずれ
も同心にされている。したがって、パッド35は、これら
の中心を中心としてシャフト31に対して揺動可能であ
る。
上記変形例の他の構成及び作用は、第1実施例と同じ
であるから、図中主要な箇所に同一の符号を付して詳細
な説明は省略する。
であるから、図中主要な箇所に同一の符号を付して詳細
な説明は省略する。
パッド12とシャフト押え13とによる揺動軸受部15の挟
持は、挟持力が大きいとパッド12の揺動に大きな力が必
要になるので好ましくない。しかしながら、挟持力が小
さいと、シャフト11が傾斜している場合に、パッド12が
シャフト11に対して傾斜することがある。したがって、
第3図に示すように、シャフト11をワーク38の傾斜した
被吸着面38aに直交する方向に進退させる場合、パッド1
2の吸着面がワークの被吸着面38aに対して傾斜する場合
がある。
持は、挟持力が大きいとパッド12の揺動に大きな力が必
要になるので好ましくない。しかしながら、挟持力が小
さいと、シャフト11が傾斜している場合に、パッド12が
シャフト11に対して傾斜することがある。したがって、
第3図に示すように、シャフト11をワーク38の傾斜した
被吸着面38aに直交する方向に進退させる場合、パッド1
2の吸着面がワークの被吸着面38aに対して傾斜する場合
がある。
第4図に示す本発明の第2実施例は、この問題を解決
したもので、第2実施例における真空パッド40は、シャ
フト41先端側の揺動軸受部45を構成する半球体の平面部
と、パッド42との間に、パッド42の吸着面42aをシャフ
ト41の軸線に略直交する方向に保持させるためのばね47
を縮設している。このばね47の付勢力は、パッド42のシ
ャフト41に対する傾斜を防止するだけの小さいものとす
ることは勿論である。なお、上記ばね47に代えて、第5
図に示すように複数個のばね48,・・を周方向に等間隔
に設置してもよい。
したもので、第2実施例における真空パッド40は、シャ
フト41先端側の揺動軸受部45を構成する半球体の平面部
と、パッド42との間に、パッド42の吸着面42aをシャフ
ト41の軸線に略直交する方向に保持させるためのばね47
を縮設している。このばね47の付勢力は、パッド42のシ
ャフト41に対する傾斜を防止するだけの小さいものとす
ることは勿論である。なお、上記ばね47に代えて、第5
図に示すように複数個のばね48,・・を周方向に等間隔
に設置してもよい。
上記第2実施例の他の構成及び作用は、第1実施例と
同じであるから、図中主要な箇所に同一の符号を付し
て、詳細な説明は省略する。
同じであるから、図中主要な箇所に同一の符号を付し
て、詳細な説明は省略する。
[発明の効果] 本発明の首振り真空パッドは、パッドの揺動半径が小
さいために、パッドの揺動による目標吸着位置とのずれ
を可及的に小さくできるので、真空パッドに無理な力が
作用することがなく、したがって、吸着力の低下やシャ
フトの折損等を防止することができる。
さいために、パッドの揺動による目標吸着位置とのずれ
を可及的に小さくできるので、真空パッドに無理な力が
作用することがなく、したがって、吸着力の低下やシャ
フトの折損等を防止することができる。
また、ばねによってパッドをシャフトの軸線と略直交
する方向に保持したので、シャフトが傾斜した状態で進
退する場合においても、パッドの傾斜を防止することが
できる。
する方向に保持したので、シャフトが傾斜した状態で進
退する場合においても、パッドの傾斜を防止することが
できる。
第1図は本発明の第1実施例の縦断面図、第2図はその
変形例の縦断面図、第3図は使用態様の一例の説明図、
第4図及び第5図は第2実施例の縦断面図、第6図は公
知の首振り真空パッドの縦断面図である。 10,30,40……真空パッド、11,31,41……シャフト、12,3
5,42……パッド、12a,42a……吸着面、13……シャフト
押え、15,32,45……揺動軸受部、17……流路、18,19a,3
3,34……揺動球面、21,25,36a……受部、47,48……ば
ね。
変形例の縦断面図、第3図は使用態様の一例の説明図、
第4図及び第5図は第2実施例の縦断面図、第6図は公
知の首振り真空パッドの縦断面図である。 10,30,40……真空パッド、11,31,41……シャフト、12,3
5,42……パッド、12a,42a……吸着面、13……シャフト
押え、15,32,45……揺動軸受部、17……流路、18,19a,3
3,34……揺動球面、21,25,36a……受部、47,48……ば
ね。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 正久 埼玉県草加市稲荷6―19―1 エスエム シー株式会社草加工場内 (56)参考文献 特開 昭60−128142(JP,A) 特開 昭59−124590(JP,A) 実開 平2−117885(JP,U) 実開 昭52−85870(JP,U) 実開 昭60−31989(JP,U) 実開 昭51−56473(JP,U)
Claims (2)
- 【請求項1】先端に揺動軸受部を有するシャフトと、上
記揺動軸受部に揺動可能に係止する受部を有するパッド
及びシャフト押えと、上記パッド内の空間を真空回路に
連通させる流路とを備え、上記揺動軸受部を、パッド及
びシャフト押えの一対の受部で挟持することにより、パ
ッドをシャフトに揺動可能に取付けた首振り真空パッド
において、 上記揺動軸受部が、シャフト押え側の揺動球面と、上記
球面より小径でこれと同心のパッド側の揺動球面とを備
えている、 ことを特徴とする首振り真空パッド。 - 【請求項2】パッドの吸着面を、シャフトの軸線に対し
て略直交する方向に保持するためのばねを設けた、こと
を特徴とする請求項1に記載した首振り真空パッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22600490A JP2719657B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 首振り真空パッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22600490A JP2719657B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 首振り真空パッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04105890A JPH04105890A (ja) | 1992-04-07 |
JP2719657B2 true JP2719657B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=16838281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22600490A Expired - Fee Related JP2719657B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 首振り真空パッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2719657B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0659666B1 (en) * | 1993-12-21 | 1998-12-02 | Central Glass Company, Limited | Method and apparatus for manipulating film |
US7867768B2 (en) * | 2007-02-08 | 2011-01-11 | Ortho-Clinical Diagnostics, Inc. | Two dimensional sample handler |
JP2009281558A (ja) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | Daiwa Kasei Ind Co Ltd | 車両用クリップ |
JP5455112B2 (ja) * | 2009-04-15 | 2014-03-26 | 新光機器株式会社 | 多点打ち電極装置 |
CN102069457A (zh) * | 2010-12-07 | 2011-05-25 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 自定心固持曲面蒙皮零件的定位工装 |
JP6466785B2 (ja) * | 2015-06-09 | 2019-02-06 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP22600490A patent/JP2719657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04105890A (ja) | 1992-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2719657B2 (ja) | 首振り真空パッド | |
JP3122590B2 (ja) | 吸着パッド | |
JP2008142840A (ja) | 表面加工方法、表面加工装置 | |
JP2019155531A (ja) | 研磨装置 | |
JPH1116951A (ja) | ボンディング装置用ツール保持構造 | |
JP3857537B2 (ja) | 倣い装置 | |
JPH07237765A (ja) | フローティング型バキュームチャック | |
JPS60128142A (ja) | 首振り式吸着装置 | |
JP4081226B2 (ja) | 回り止め装置、同装置に対する加圧流体の供給方法、及び倣い装置 | |
JPH08229795A (ja) | ワーク保持装置 | |
JP2886205B2 (ja) | 研摩用ワークホルダー | |
KR200402837Y1 (ko) | 장식구 부착기의 흡착노즐 위치조절장치 | |
JP3530555B2 (ja) | 光学素子研磨機のワーク支持装置 | |
JP2715380B2 (ja) | 研摩用ワークホルダー | |
JP2007053313A (ja) | 基板吸着装置とそれを用いた基板搬送装置 | |
JP2001135648A (ja) | 回り止め装置及びこれを用いた倣い装置 | |
JP2812866B2 (ja) | 吸着パッド | |
CN220306226U (zh) | 一种自适应平衡的晶圆输送手指、半导体设备 | |
JP2019106509A (ja) | 位置検知装置、半導体チップ接着装置、半導体実装装置および位置検知方法 | |
JPH1056027A (ja) | 素子接合装置 | |
JPH09277161A (ja) | ポリッシング対象物搬送用ハンド | |
JP3825237B2 (ja) | 回り止め装置及びこれを用いた倣い装置 | |
JPH0878884A (ja) | 電子部品吸着ノズル | |
KR20230123874A (ko) | 산업용 로봇의 핸드 및 산업용 로봇 | |
US20220319891A1 (en) | Manufacturing apparatus and manufacturing method of semiconductor device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970930 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |