JP2812866B2 - 吸着パッド - Google Patents
吸着パッドInfo
- Publication number
- JP2812866B2 JP2812866B2 JP5322597A JP32259793A JP2812866B2 JP 2812866 B2 JP2812866 B2 JP 2812866B2 JP 5322597 A JP5322597 A JP 5322597A JP 32259793 A JP32259793 A JP 32259793A JP 2812866 B2 JP2812866 B2 JP 2812866B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- pad
- suction pad
- cup body
- pedestal
- Prior art date
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- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸着し、例え
ばロボット等の移動手段によって他の場所に移動後、こ
のワークを離すことにより移載する吸着パッドに関し、
詳細には薄いシート状のフイルムを吸着するのに適した
吸着パッドに係るものである。
ばロボット等の移動手段によって他の場所に移動後、こ
のワークを離すことにより移載する吸着パッドに関し、
詳細には薄いシート状のフイルムを吸着するのに適した
吸着パッドに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】板状体を吊り上げる手段として吸着パッ
ドを使用することは知られており、吸着時の圧接におい
て揺動自在な吸着パッドが好ましく、該吸着パッドと吸
引チューブとの接続個所に球面継手を使用したものが知
られており、その改良として例えば特開平４−１０５８
９０号の公報には、先端に揺動軸受部を有するシャフト
と、上記揺動軸受部に揺動可能に係止する受部を有する
パッド及びシャフト押えと、上記パッド内の空間を真空
回路に連通させる流路とを備え、上記揺動軸受部を、パ
ッド及びシャフト押えの一対の受部で挟持することによ
り、パッドをシャフトに揺動可能に取付けた首振り真空
パッドにおいて、上記揺動軸受部が、シャフト押え側の
揺動球面と、上記球面より小径でこれと同心のパッド側
の揺動球面とを備え、パッド吸着面を、シャフトの軸線
に対して略直交する方向に保持するためのバネを設けた
首振りパッドが開示されている。
ドを使用することは知られており、吸着時の圧接におい
て揺動自在な吸着パッドが好ましく、該吸着パッドと吸
引チューブとの接続個所に球面継手を使用したものが知
られており、その改良として例えば特開平４−１０５８
９０号の公報には、先端に揺動軸受部を有するシャフト
と、上記揺動軸受部に揺動可能に係止する受部を有する
パッド及びシャフト押えと、上記パッド内の空間を真空
回路に連通させる流路とを備え、上記揺動軸受部を、パ
ッド及びシャフト押えの一対の受部で挟持することによ
り、パッドをシャフトに揺動可能に取付けた首振り真空
パッドにおいて、上記揺動軸受部が、シャフト押え側の
揺動球面と、上記球面より小径でこれと同心のパッド側
の揺動球面とを備え、パッド吸着面を、シャフトの軸線
に対して略直交する方向に保持するためのバネを設けた
首振りパッドが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】通常知られている球
面継手を使用した揺動可能な吸着パッドの継手の位置
は、吸着パッドの吸着面から離れたパッドの上面上に配
設しているため、その揺動半径は大きくり、例えば積層
したフイルムの反り上がった隅縁を吸着するには当接す
るパッドは圧接時に移動の位置ずれが大きく、積層枚数
の減小と共に反り上がりの形状が変わり吸着位置の移動
量が大きいという問題があり、特開平４−１０５８９０
号の公報のものは、パッド上に設けた受部が軸方向に流
路を備えたシャフトを揺動球面を挟持し揺動半径を極力
小さくしたものであるが、本発明者等は、薄いシート状
のフイルムを吸着するには吸引路の異なる複数の吸着面
を設けた吸着パッドがより効果的であることを突き止
め、該構造を加味した吸着パッドではその中心線上に球
面継手を配設することは出来ない。
面継手を使用した揺動可能な吸着パッドの継手の位置
は、吸着パッドの吸着面から離れたパッドの上面上に配
設しているため、その揺動半径は大きくり、例えば積層
したフイルムの反り上がった隅縁を吸着するには当接す
るパッドは圧接時に移動の位置ずれが大きく、積層枚数
の減小と共に反り上がりの形状が変わり吸着位置の移動
量が大きいという問題があり、特開平４−１０５８９０
号の公報のものは、パッド上に設けた受部が軸方向に流
路を備えたシャフトを揺動球面を挟持し揺動半径を極力
小さくしたものであるが、本発明者等は、薄いシート状
のフイルムを吸着するには吸引路の異なる複数の吸着面
を設けた吸着パッドがより効果的であることを突き止
め、該構造を加味した吸着パッドではその中心線上に球
面継手を配設することは出来ない。
【０００４】
【問題点を解決するための手段】上記目的を達成するた
め本発明は、薄いシート状フイルムを吸着するための吸
着パッドの揺動機構であって、該吸着パッドは減圧用の
吸引孔を有する剛性材からなる円筒容器状の外部カップ
体の内側に減圧用の吸引孔を中心線上に有する剛性材か
らなる円筒容器状の内部カップ体を取付けた互いに独立
した複数の真空溜を有する構造からなり、外部カップ体
の側壁外周縁にはゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリッ
プ部を設けた吸着パッドにおいて、前記外部カップ体に
その中心を横切る対向側面の二点を軸支するＸ軸部を該
外部カップ体に遊嵌するリング体に配設し、該二点間の
中心を通りかつ直交する前記リング体との交点にＹ軸受
部を設け、該Ｙ軸受部を軸支するＹ軸部をブラケットを
介して凹状の台座の両脇に配 設し、前記内部カップ体の
吸引孔に連設した吸引用チューブを遊貫する中空体を前
記台座に立設し、該中空体の筒外に遊貫しストッパーを
設けた摺動自在な取付体を前記台座上に着座するコイル
バネを介して支持するようにした吸着パッドを提供す
る。
め本発明は、薄いシート状フイルムを吸着するための吸
着パッドの揺動機構であって、該吸着パッドは減圧用の
吸引孔を有する剛性材からなる円筒容器状の外部カップ
体の内側に減圧用の吸引孔を中心線上に有する剛性材か
らなる円筒容器状の内部カップ体を取付けた互いに独立
した複数の真空溜を有する構造からなり、外部カップ体
の側壁外周縁にはゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリッ
プ部を設けた吸着パッドにおいて、前記外部カップ体に
その中心を横切る対向側面の二点を軸支するＸ軸部を該
外部カップ体に遊嵌するリング体に配設し、該二点間の
中心を通りかつ直交する前記リング体との交点にＹ軸受
部を設け、該Ｙ軸受部を軸支するＹ軸部をブラケットを
介して凹状の台座の両脇に配 設し、前記内部カップ体の
吸引孔に連設した吸引用チューブを遊貫する中空体を前
記台座に立設し、該中空体の筒外に遊貫しストッパーを
設けた摺動自在な取付体を前記台座上に着座するコイル
バネを介して支持するようにした吸着パッドを提供す
る。
【０００５】
【作用】凹状な台座の両脇に固着したブラケットにＹ軸
部を設けてリング体を軸支し、該リング体にＹ軸部と直
交する方向にＸ軸部を設けてそのリング体に遊嵌する外
部カップ体を軸支することにより、内部カップ体の中心
部と、中空体とを切り離した構成より、被吸着体の面状
に対応して揺動自在となり、該揺動の支点を吸着パッド
の吸着内面に近づけた構成により揺動もその当接と吸着
の位置ズレが小さくなり、繰り返しの吸着位置をほぼ一
定にし、その密着性を高めリング体を支持する台座にコ
イルバネを設けて押圧力を吸収し、構成部材や被吸着体
に無理な負担を与えない。
部を設けてリング体を軸支し、該リング体にＹ軸部と直
交する方向にＸ軸部を設けてそのリング体に遊嵌する外
部カップ体を軸支することにより、内部カップ体の中心
部と、中空体とを切り離した構成より、被吸着体の面状
に対応して揺動自在となり、該揺動の支点を吸着パッド
の吸着内面に近づけた構成により揺動もその当接と吸着
の位置ズレが小さくなり、繰り返しの吸着位置をほぼ一
定にし、その密着性を高めリング体を支持する台座にコ
イルバネを設けて押圧力を吸収し、構成部材や被吸着体
に無理な負担を与えない。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は本発明の一部を省略、切欠した縦
断面図を示し、図２は本発明の一部を切欠し、一部を分
解した斜視図を示す。
細に説明する。図１は本発明の一部を省略、切欠した縦
断面図を示し、図２は本発明の一部を切欠し、一部を分
解した斜視図を示す。
【０００７】ゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリップ部
１を外部カップ体３の外周縁に設け、内部カップ体３’
の中心に、継手４’を介して吸引用のチューブ４を接続
し、吸引孔５を有する内部真空溜６を設けた。該継手
４’は通常一般的にワンタッチ管継手、或いはワンプッ
シュ管継手として市販され、良く知られているもので、
ウレタンやナイロン等の可撓性チューブ４を継手４’の
上部リリースプッシュ４ａ’に差し込むことによりチュ
ーブ４と継手４’を接続し、上部リリースプッシュ４
ａ’を継手本体側に押し下げ圧縮させることによってチ
ューブ４を取り外せるようにしたものであり、カップ体
３が揺動するときは、継手４’の直ぐ上の部分でチュー
ブ４が図１の矢印で示すように左右に少し曲げられ、チ
ューブ４は曲げられることによってカップ体側に少し引
っ張られて中空体２３内を外部側からカップ体側に僅か
に移動することとなる。該内部真空溜６の周りに他の吸
引用のチューブ７と接続する吸引孔８を設けた外部真空
溜９とスリット１２を配設した。該内部真空溜６の皿状
の吸着内壁１０に前記真空溜６と通気する小孔１１、１
１・・を設け、真空溜９と通気するスリット１２と該小
孔群１１、１１とを仕切る仕切部１３を設け、内壁１０
の面に凹凸状に吸引溝１４を設けた。吸着パッド１５の
外部カップ体３の外周上部の中心を横切る対向の位置に
Ｘ軸受部２、２を外周に設け、対向するＸ軸部１６、１
６をリング体１８に遊嵌させて前記Ｘ軸受部２に軸着す
れば、吸着パッド１５は対向したＸ軸部１６、１６を軸
としてリング体１８内を回動可能となる。
１を外部カップ体３の外周縁に設け、内部カップ体３’
の中心に、継手４’を介して吸引用のチューブ４を接続
し、吸引孔５を有する内部真空溜６を設けた。該継手
４’は通常一般的にワンタッチ管継手、或いはワンプッ
シュ管継手として市販され、良く知られているもので、
ウレタンやナイロン等の可撓性チューブ４を継手４’の
上部リリースプッシュ４ａ’に差し込むことによりチュ
ーブ４と継手４’を接続し、上部リリースプッシュ４
ａ’を継手本体側に押し下げ圧縮させることによってチ
ューブ４を取り外せるようにしたものであり、カップ体
３が揺動するときは、継手４’の直ぐ上の部分でチュー
ブ４が図１の矢印で示すように左右に少し曲げられ、チ
ューブ４は曲げられることによってカップ体側に少し引
っ張られて中空体２３内を外部側からカップ体側に僅か
に移動することとなる。該内部真空溜６の周りに他の吸
引用のチューブ７と接続する吸引孔８を設けた外部真空
溜９とスリット１２を配設した。該内部真空溜６の皿状
の吸着内壁１０に前記真空溜６と通気する小孔１１、１
１・・を設け、真空溜９と通気するスリット１２と該小
孔群１１、１１とを仕切る仕切部１３を設け、内壁１０
の面に凹凸状に吸引溝１４を設けた。吸着パッド１５の
外部カップ体３の外周上部の中心を横切る対向の位置に
Ｘ軸受部２、２を外周に設け、対向するＸ軸部１６、１
６をリング体１８に遊嵌させて前記Ｘ軸受部２に軸着す
れば、吸着パッド１５は対向したＸ軸部１６、１６を軸
としてリング体１８内を回動可能となる。
【０００８】吸着パッド１５を軸着したリング体１８
は、両脇にブラケット１９、１９を設けた凹状の台座２
０にＹ軸受部により立設する。該台座２０の上部中空体
２３の上部先端にネジ部２１を設け、前記チューブ４を
挿貫する貫通孔２２を設けた中空体２３の外周に蓋付き
中空な取付体２６を設ける。該取付体２６は、筒内にベ
アリング２４を挿着して摺動を助長し筒外にコイルバネ
２５を挿入したものである。
は、両脇にブラケット１９、１９を設けた凹状の台座２
０にＹ軸受部により立設する。該台座２０の上部中空体
２３の上部先端にネジ部２１を設け、前記チューブ４を
挿貫する貫通孔２２を設けた中空体２３の外周に蓋付き
中空な取付体２６を設ける。該取付体２６は、筒内にベ
アリング２４を挿着して摺動を助長し筒外にコイルバネ
２５を挿入したものである。
【０００９】台座２０にコイルバネ２５を介して支えら
れた取付体２６を中空体２３に設けたネジ部２１にスト
ッパー２７を締めつければ、吸着パッド１５の押圧に追
従するコイルバネ２５の伸縮により図示されない移載装
置に取り付けられた取付体２６に沿って中空体２３は収
縮あるいは復動する。該中空体２３と一体な台座２０に
固着する両脇のブラケット１９、１９にＹ軸部２８、２
８を設け、該Ｙ軸部と前記リング体１８に設けたＹ軸受
部１７、１７とを軸着させる。
れた取付体２６を中空体２３に設けたネジ部２１にスト
ッパー２７を締めつければ、吸着パッド１５の押圧に追
従するコイルバネ２５の伸縮により図示されない移載装
置に取り付けられた取付体２６に沿って中空体２３は収
縮あるいは復動する。該中空体２３と一体な台座２０に
固着する両脇のブラケット１９、１９にＹ軸部２８、２
８を設け、該Ｙ軸部と前記リング体１８に設けたＹ軸受
部１７、１７とを軸着させる。
【００１０】吸着パッド１５を支持するリング体１８
は、台座２０のブラケット１９、１９に設けたＹ軸部２
８、２８を軸として回動し、同一レベルに配設した前記
Ｘ軸部１６、１６との複合回動により吸着パッド１５は
揺動自在となる。
は、台座２０のブラケット１９、１９に設けたＹ軸部２
８、２８を軸として回動し、同一レベルに配設した前記
Ｘ軸部１６、１６との複合回動により吸着パッド１５は
揺動自在となる。
【００１１】図２に示すように、真空溜９に設けた吸引
孔８にもねじ込みの継手７’を介してチューブ７を連結
し、該チューブ７と前記チューブ４にはそれぞれ図示し
ない電磁弁とエジェクタとを設け、吸引開始、停止の作
動を制御する。
孔８にもねじ込みの継手７’を介してチューブ７を連結
し、該チューブ７と前記チューブ４にはそれぞれ図示し
ない電磁弁とエジェクタとを設け、吸引開始、停止の作
動を制御する。
【００１２】リップ部１、仕切部１３等はウレタン、シ
リコーン、ニトリルゴムあるいはビニール、ナイロン樹
脂等を使用し、螺着の内部カップ体３’、外部カップ体
３等は金属を使用する。
リコーン、ニトリルゴムあるいはビニール、ナイロン樹
脂等を使用し、螺着の内部カップ体３’、外部カップ体
３等は金属を使用する。
【００１３】以下、本発明の作用を説明する。
【００１４】吸着パッド１５は図示しないロボット等の
移載装置に設けた枠体に複数個配設するが、該枠体を押
圧してリップ部１を図示しない被吸着体、例えば積層す
るフイルムの四隅縁に各々のパッドを圧接させると、該
フイルムの四隅縁の反り上がりに追従して台座２０上に
配設するコイルバネ２５が収縮、かつＸ軸部１６、１６
とＹ軸部１７、１７とを軸として吸着パッド１５が回動
し、複合した回動による揺動した吸着パッド１５はその
リップ部１の周縁を被吸着体に密着状態に当接する。
移載装置に設けた枠体に複数個配設するが、該枠体を押
圧してリップ部１を図示しない被吸着体、例えば積層す
るフイルムの四隅縁に各々のパッドを圧接させると、該
フイルムの四隅縁の反り上がりに追従して台座２０上に
配設するコイルバネ２５が収縮、かつＸ軸部１６、１６
とＹ軸部１７、１７とを軸として吸着パッド１５が回動
し、複合した回動による揺動した吸着パッド１５はその
リップ部１の周縁を被吸着体に密着状態に当接する。
【００１５】チューブ４、７の途中に設けた図示しない
電磁弁とエジェクタの作動により吸引孔５、８を経由し
て真空溜６、９内を減圧すると、被吸着体と内壁１０と
の空隙に滞在する空気は吸引溝１４を通気し小孔１１あ
るいはスリット１２を経由して吸引されて内壁１０に被
吸着体は密着するが、同時に仕切部１３の下端面とも圧
接し、該仕切部を挟んで吸引部分は小孔１１、１１・・
側とスリット１２側に区分して被吸着体を吸着する。
電磁弁とエジェクタの作動により吸引孔５、８を経由し
て真空溜６、９内を減圧すると、被吸着体と内壁１０と
の空隙に滞在する空気は吸引溝１４を通気し小孔１１あ
るいはスリット１２を経由して吸引されて内壁１０に被
吸着体は密着するが、同時に仕切部１３の下端面とも圧
接し、該仕切部を挟んで吸引部分は小孔１１、１１・・
側とスリット１２側に区分して被吸着体を吸着する。
【００１６】本発明の構造により、外部カップ体３の外
周にリング体１８を介してＸ軸、及びＸ軸と直交するＹ
軸とを中心に回動自在にせしめた吸着パッド１５は、内
部カップ体３’の中心位置に真空溜６を配設することも
可能となる。また、Ｘ軸、及びその直交のＹ軸を吸着面
の内壁１０側に近い位置、すなわち揺動支点を極力低く
することが可能となる。
周にリング体１８を介してＸ軸、及びＸ軸と直交するＹ
軸とを中心に回動自在にせしめた吸着パッド１５は、内
部カップ体３’の中心位置に真空溜６を配設することも
可能となる。また、Ｘ軸、及びその直交のＹ軸を吸着面
の内壁１０側に近い位置、すなわち揺動支点を極力低く
することが可能となる。
【００１７】さらに、吸着パッド１５の揺動による位置
ずれを小さくするため、被吸着体の形状変化にも追従し
て吸着位置が一定となり、コイルバネ２５の収縮により
被吸着体あるいは吸着パッド１５への無理な荷重を吸収
できる。
ずれを小さくするため、被吸着体の形状変化にも追従し
て吸着位置が一定となり、コイルバネ２５の収縮により
被吸着体あるいは吸着パッド１５への無理な荷重を吸収
できる。
【００１８】複数の吸着パッド１５に吸着された被吸着
体は、図示されない移載装置の作動により所定の位置に
移動し吸着を解除するが、真空溜６、９を設けたことに
より減圧容量も大きく吸着の確実性を向上し、被吸着
体、例えば板状体に不慮の孔を有していても小孔１１群
とスリット１２とに分離された吸着により他の吸着パッ
ド１５、１５・と共に吸着して脱落のトラブルも生ずる
ことなく移動できる。
体は、図示されない移載装置の作動により所定の位置に
移動し吸着を解除するが、真空溜６、９を設けたことに
より減圧容量も大きく吸着の確実性を向上し、被吸着
体、例えば板状体に不慮の孔を有していても小孔１１群
とスリット１２とに分離された吸着により他の吸着パッ
ド１５、１５・と共に吸着して脱落のトラブルも生ずる
ことなく移動できる。
【００１９】複数の小孔１１とリング状のスリット１２
とにより被吸着体が例えばフイルム等の薄いシート状の
ものでも、リング状の該スリットで伸張して小孔に引き
込まれることなく、吸着、開放においてはしわもなく、
図示されない電磁弁により真空溜６、９の負圧、正圧、
あるいは加圧に時間差を付けることもでき、該時間差に
よりフイルム状の軽量な物の保釈も容易となる。
とにより被吸着体が例えばフイルム等の薄いシート状の
ものでも、リング状の該スリットで伸張して小孔に引き
込まれることなく、吸着、開放においてはしわもなく、
図示されない電磁弁により真空溜６、９の負圧、正圧、
あるいは加圧に時間差を付けることもでき、該時間差に
よりフイルム状の軽量な物の保釈も容易となる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、複数の真空溜に複数の小孔と
スリットの内壁を設けた吸着パッドの、揺動支点を低く
し、かつ伸縮自在な押圧機構を加えたことにより被吸着
体の吸着面の角度変化にも位置ずれを小さく追従し、吸
着時の押圧力もコイルバネにて緩衝して被吸着体、例え
ば薄いシート状のフイルムあるいは吸着パッドへの荷重
を低減させる。
スリットの内壁を設けた吸着パッドの、揺動支点を低く
し、かつ伸縮自在な押圧機構を加えたことにより被吸着
体の吸着面の角度変化にも位置ずれを小さく追従し、吸
着時の押圧力もコイルバネにて緩衝して被吸着体、例え
ば薄いシート状のフイルムあるいは吸着パッドへの荷重
を低減させる。
【図１】本発明の吸着パッドの一部を省略、切欠した縦
断面図を示す。
断面図を示す。
【図２】本発明の一部を切欠分解した斜視図を示す。
１・・・・・・リップ部 ３・・・・・・外部カップ体３’・・・・・内部カップ体 ４、７・・・・チューブ １０・・・・・・内壁 １５・・・・・・吸着パッド １６・・・・・・Ｘ軸部 １７・・・・・・Ｙ軸受部 １８・・・・・・リング体 １９・・・・・・ブラケット ２０・・・・・・台座 ２５・・・・・・コイルバネ ２６・・・・・・取付体 ２７・・・・・・ストッパー ２８・・・・・・Ｙ軸部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 15/06 B65H 3/08 350
Claims (1)
- 【請求項１】薄いシート状フイルムを吸着するための吸
着パッドの揺動機構であって、該吸着パッドは減圧用の
吸引孔を有する剛性材からなる円筒容器状の外部カップ
体の内側に減圧用の吸引孔を中心線上に有する剛性材か
らなる円筒容器状の内部カップ体を取付けた互いに独立
した複数の真空溜を有する構造からなり、外部カップ体
の側壁外周縁にはゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリッ
プ部を設けた吸着パッドにおいて、前記外部カップ体に
その中心を横切る対向側面の二点を軸支するＸ軸部を該
外部カップ体に遊嵌するリング体に配設し、該二点間の
中心を通りかつ直交する前記リング体との交点にＹ軸受
部を設け、該Ｙ軸受部を軸支するＹ軸部をブラケットを
介して凹状の台座の両脇に配設し、前記内部カップ体の
吸引孔に連設した吸引用チューブを遊貫する中空体を前
記台座に立設し、該中空体の筒外に遊貫しストッパーを
設けた摺動自在な取付体を前記台座上に着座するコイル
バネを介して支持するようにしたことを特徴とする吸着
パッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5322597A JP2812866B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 吸着パッド |
| EP94120320A EP0659666B1 (en) | 1993-12-21 | 1994-12-21 | Method and apparatus for manipulating film |
| DE69414988T DE69414988T2 (de) | 1993-12-21 | 1994-12-21 | Verfahren und Vorrichtung zur Handhabung von Folien |
| US08/895,689 US5800646A (en) | 1993-12-21 | 1997-07-17 | Method and apparatus for manipulating film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5322597A JP2812866B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 吸着パッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07178692A JPH07178692A (ja) | 1995-07-18 |
| JP2812866B2 true JP2812866B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=18145486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5322597A Expired - Fee Related JP2812866B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 吸着パッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2812866B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6570933B2 (ja) * | 2015-09-11 | 2019-09-04 | 株式会社東芝 | 吸着支持装置、この吸着支持装置を備えた物品把持装置、およびこの吸着支持装置を備えた飛行装置 |
| CN105345841B (zh) * | 2015-11-24 | 2017-05-10 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种空间机械臂气浮支撑装置 |
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| JP3011584U (ja) * | 1994-11-25 | 1995-05-30 | 有限会社高芝ギムネ製作所 | ヘルメットの帽体や防じん面や防護面の面体の支持具 |
-
1993
- 1993-12-21 JP JP5322597A patent/JP2812866B2/ja not_active Expired - Fee Related
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