JPH04105890A - 首振り真空パッド - Google Patents

首振り真空パッド

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JPH04105890A
JPH04105890A JP22600490A JP22600490A JPH04105890A JP H04105890 A JPH04105890 A JP H04105890A JP 22600490 A JP22600490 A JP 22600490A JP 22600490 A JP22600490 A JP 22600490A JP H04105890 A JPH04105890 A JP H04105890A
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pad
shaft
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swinging
workpiece
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茂和 永井
Shuzo Sakurai
修三 桜井
Toki Kawamoto
川本 勅
Masahisa Hasegawa
長谷川 正久
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、真空圧によりワークを吸着して搬送する真空
パッドに関するものであり、特に詳しくは、パッドがシ
ャフトに対して揺動可能な首振り真空パッドに関するも
のである。
[従来の技術] 真空圧によりワークを吸着して搬送する真空パッドには
、パッドの吸着面とワークの被吸着面とが傾斜している
場合でもワークを吸着できるように、パッドをシャフト
に揺動可能に取付けた首振り真空パッドがある。
公知の首振り真空パッドlは、第6図に示すように、先
端の球体軸受部2a及び軸方向の流路2bを有するシャ
フト2と、球体軸受部2aに揺動可能に係止する受部3
aを有し、椀形の内側空間が上記流路2bに開口するパ
ッド3と、球体軸受部2aに揺動可能に係止する受部5
aを有するシャフト押え5とを備え、球体軸受部2aを
受部3aと5aで挟持することにより、パッド3をシャ
フト2に揺動可能に取付けている。
しかしながら、上記公知の真空パッド1は、パッド3の
揺動半径A(球体軸受部2aの中心とパッドの吸着面4
間の距離)が大きいため、パッド3がシャフト2に対し
て揺動すると、ワークの目標吸着位置とのずれが大きい
という問題がある。
真空バッド1によってワークを吸着して搬送する場合に
、パッド3がワークの目標吸着位置からずれると、真空
バッドlに偏心荷重が作用してパッド3の吸着力が低下
するばかりでなく、シャフト2が損傷することがある。
[発明が解決しようとする課題] 本発明が解決しようとする課題は、パッドを、可及的正
確にワークの目標吸着位置に吸着させることができる首
振り真空パッドを提供することにある。
[課題を解決するだめの手段] 上記課題を解決するため、本発明は、先端に揺動軸受部
を有するシャツ]〜と、上記揺動軸受部に揺動可能に係
止する受部を有するパッド及びシャフト押えと、上記バ
ッド内の空間を真空回路に連通させる流路とを備え、上
記揺動軸受部を、パッド及びシャフト押えの一対の受部
で挟持することにより、パッドをシャフトに揺動可能に
取付けた錠振り真空パッドにおいて、上記揺動軸受部が
、シャフト押え側の揺動球面と、上記球面より小径でこ
れと同心のバッド側の揺動球面とを備えていることを特
徴としている。
また、同様の課題を解決するため、パッドの吸着面を、
シャフトの軸線に対して略直交する方向に保持するため
のばねを設けるとよい。
[作 用] パッドをシャフトに揺動可能に取付けたので、パッドの
吸着面がワークの被吸着面に対して傾斜していても、パ
ッドをワークの被吸着面に吸着させることができる。
この場合、パッドが、パッド側の揺動球面の中心を中心
とする小さい半径で揺動するので、ワクの被吸着面にお
ける目標吸着位置とのずれを可及的に小さ(することが
できる。
また、ばねによって、パッドの吸着面をシャフトの軸線
に対して略直交する方向に保持したので、傾斜している
ワークの被吸着面に直交する方向にシャフトを進退させ
た場合でも、パッドの吸着面とワークの被吸着面が平行
になるので、パッドを目標吸着位置に正確に吸着させる
ことができる。
[実施例] 第1図は本発明の第1実施例を示し、この首振り真空バ
ッド10ば、シャフト11、パッド12及びシャフト押
え13を備えている。
上記シャフト11は、一端の揺動軸受部15と、他端の
取付用のねじ16と、軸方向の流路17を備え、揺動軸
受部15は、ねじ16側を凸面とした半球体で形成した
揺動球面18と、該半球体のパッド側の上記半球体と同
心でそれより小径の球面で形成した揺動球面19aを有
する突起19とで構成されている。上記パッド12は、
揺動球面19aに揺動可能に係止する受部21を有し、
主体が軟質合成樹脂等の柔軟な素材で椀形に形成されて
おり、椀形の内部空間と流路17とを連通させる開口2
2が形成されている。
一方、シャフト押え13は、揺動球面18に揺動可能に
係止する受部25を備え、パッド12及びシャフト押え
13の受部21,25を揺動球面18.19aに係止し
、取付ねじ26.・・で連結してこれらの受部が揺動軸
受部15を挟持することにより、パッド12がシャツ1
−11に揺動可能に取付けられる。
上記第1実施例は、パッド12の吸着面12aがワーク
の被吸着面に傾斜した状態で当接すると、パッド12が
揺動球面]、9 aの中心を中心として揺動するので、
パッド12をワークの被吸着面に吸着させることができ
る。この場合、揺動球面19aの径が揺動球面18に比
べて小さいためにパッド12の揺動半径Bが小さく、こ
れによってパッド12の目標吸着位置に対するずれを可
及的に小さくすることができる。
したがって、偏心荷重による真空パッド10の吸着力の
低下、及びシャフト11の損傷を防止することができる
また、パッド12の揺動半径が小さいために、真空パッ
ド1の高さが低(なるので、取付けのスペースを小さく
することができる。
第2図は第1実施例の変形例を示し、この変形例におけ
る真空パッド30のシャフト31は、先端に揺動軸受部
32を備え、該揺動軸受部32は、ねじ16側を凸面と
した半球体で形成した揺動球面33と、パッド35例の
上記半球体より小径で凹状の揺動球面34を備え、パッ
ド35の中心に形設した突起36の先端に、揺動球面3
4と略同径の受部36aが形成されており、受部36a
と揺動球面33.34は、いずれも同心にされている。
したがって、パッド35は、これらの中心を中心として
シャフト31に対して揺動可能である。
上記変形例の他の構成及び作用は、第1実施例と同じで
あるから、図中主要な箇所に同一の符号を付して詳細な
説明は省略する。
パッド12とシャフト押え13とによる揺動軸受部15
の挟持は、挟持力が大きいとパッド12の揺動に大きな
力が必要になるので好ましくない。しかしながら、挟持
力が小さいと、シャフト11が傾斜している場合に、パ
ッド12がシャフト11に対して傾斜することがある。
したがって、第3図に示すように、シャフト11をワー
ク38の傾斜した被吸着面38aに直交する方向に進退
させる場合、パッド12の吸着面がワークの被吸着面3
8aに対して傾斜する場合がある。
第4図に示す本発明の第2実施例は、この問題を解決し
たもので、第2実施例における真空パッド40は、シャ
フト41先端側の揺動軸受部45を構成する半球体の平
面部と、パッド42との間に、パッド42の吸着面42
aをシャフト41の軸線に略直交する方向に保持させる
ためのばね47を縮設している。このばね47の付勢力
は、パッド42のシャフト41に対する傾斜を防止する
だけの小さいものとすることは勿論である。なお、上記
ばね47に代えて、第5図に示すように複数個のばね4
8.・・を周方向に等間隔に設置してもよい。
上記第2実施例の他の構成及び作用は、第1実施例と同
じであるから、図中主要な箇所に同一の符号を付して、
詳細な説明は省略する。
[発明の効果] 本発明の首振り真空パッドは、パッドの揺動半径が小さ
いために、パッドの揺動による目標吸着位置とのずれを
可及的に小さくできるので、真空パッドに無理な力が作
用することがな(、したがって、吸着力の低下やシャフ
トの折損等を防止することができる。
また、ばねによってパッドをシャフトの軸線と略直交す
る方向に保持したので、シャフトが傾斜した状態で進退
する場合においても、パッドの傾斜を防止することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例の縦断面図、第2図はその
変形例の縦断面図、第3図は使用態様の例の説明図、第
4図及び第5図は第2実施例の縦断面図、第6図は公知
の首振り真空パッドの縦断面図である。 1.0,30.40・・真空パッド、 11.31.41・・シャフト、 12,35.42・・パッド、  12a、 42aI
3・・シャフト押え、 15.32.45・・揺動軸受部、 17・18、 L
9a、 33.34・・揺動球面、21.25.36a
 ・・受部、  47.48吸着面、 流路、 ばね。 特 許 出 願 人 工スエムシ 株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、先端に揺動軸受部を有するシャフトと、上記揺動軸
    受部に揺動可能に係止する受部を有するパッド及びシャ
    フト押えと、上記パッド内の空間を真空回路に連通させ
    る流路とを備え、上記揺動軸受部を、パッド及びシャフ
    ト押えの一対の受部で挟持することにより、パッドをシ
    ャフトに揺動可能に取付けた首振り真空パッドにおいて
    、上記揺動軸受部が、シャフト押え側の揺動球面と、上
    記球面より小径でこれと同心のパッド側の揺動球面とを
    備えている、 ことを特徴とする首振り真空パッド。 2、パッドの吸着面を、シャフトの軸線に対して略直交
    する方向に保持するためのばねを設けた、ことを特徴と
    する請求項1に記載した首振り真空パッド。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5800646A (en) * 1993-12-21 1998-09-01 Central Glass Company, Limited Method and apparatus for manipulating film
JP2008203255A (ja) * 2007-02-08 2008-09-04 Ortho-Clinical Diagnostics Inc 二次元サンプル・ハンドラー
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JP2010247176A (ja) * 2009-04-15 2010-11-04 Shinko Kiki Kk 多点打ち電極装置
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JP2017005070A (ja) * 2015-06-09 2017-01-05 株式会社ディスコ 搬送装置

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