JP2692522B2 - パッケージモジュール基板 - Google Patents

パッケージモジュール基板

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  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多ピン・狭ピッチのL
SIパッケージを搭載したパッケージモジュール基板に
関する。
【0002】
【従来の技術】近年、LSIパッケージは小型化、多ピ
ン化、狭ピッチ化が進み、このLSIパッケージを実装
するプリント基板(以下PCBという)の配線も、微細
化が要求されるようになってきている。これに対応して
PCBの製造技術は年々、高度なものとなり、印刷法か
らホトレジスト法等に移行してきている。また、この種
のPCBはLSIパッケージの能動素子とダイオードや
抵抗体の受動素子とが混成されており、通常、受動素子
搭載部は粗い配線パターンで済むが、LSIパッケージ
搭載部は前述したように、微細パターンが要求される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
PCBは、粗い配線パターンで済む受動素子搭載部と微
細パターンを要するLSIパッケージ搭載部とが混在す
るため、PCB製造上及びこのPCBに部品を搭載する
アッセンブリ工程上において次のような問題点があっ
た。
【0004】(1)PCBの製造において、PCBの一
部のみに形成される多ピンLSIパッケージ(能動素
子)搭載部のためにPCBの全体を技術的に高度なホト
レジスト法により製造する必要がある。また、微細パタ
ーンである一部の多ピンLSIパッケージ搭載部のみの
欠陥がPCB全体の不良となり、歩留りが低い。これら
の点から従来では、PCBの量産化が困難であった。
【0005】(2)前記アッセンブリ工程では、例え
ば、部品を搭載するPCBの表面銅パターンに対して厚
さ50〜100μmの半田ペーストを印刷し、その上に
部品を自動マウントしてリフロー炉に入れる。その結
果、半田ペーストが溶融して冷却ゾーンで固まり、部品
が固定される(半田ペースト印刷法)。
【0006】このようなアッセンブリ工程においては、
前記多ピン・狭ピッチのLSIパッケージ搭載部におけ
る半田ペーストの印刷は、技術的に難しく、印刷不良が
生ずると、修正や再印刷等を行って補償しているが、余
分な労力の消費と歩留りの低下を招くことになる。この
点がPCBの小型化を阻害し、しかもアセンブリコスト
の上昇の原因ともなっていた。
【0007】例えば、LSIパッケージにおいて、30
0ピンクラスのアウターリードのパターンピッチは、
0.3mmピッチであり、従来の0.5mm以上のパタ
ーンピッチと同一条件で印刷した場合に、半田ペースト
の塗布量が多過ぎて、パターン間がショートする恐れが
ある。
【0008】ショートが発生した場合はショート部分の
補修等が必要になる。補修が不可能のときには部品交換
等を行うが、これにはかなりの熟練が必要であるばかり
か、取り外した部品を他の用途に再利用することもほと
んど不可能である。また、取り外した部品を再度搭載す
る場合は、再び半田ペーストを印刷することが必要とな
るが、これは他の部品が既に搭載されていることから不
可能であり、従って半田ごて等で部分的に加熱して搭載
をやり直すようにしている。これもかなりの熟練作業と
なっており、いずれの場合でも、品質や信頼性上に問題
がある。
【0009】前記ショートを防止するためには、アウタ
ーリードが0.3mmピッチの場合、30〜50μm程
度の薄膜の半田ペーストの印刷を行う必要があるが、こ
の場合、0.3mmピッチのパターンと0.5mmピッ
チ以上のパターンとが混在することになり、このような
区域を分けた半田ペーストの印刷は非常に困難である。
即ち、印刷用のマスクはメタルマスク(ステンレス製あ
るいはニッケル製)であり、半田ペーストの印刷の厚さ
はメタルマスクの厚さで決まるが、この場合は部分的に
薄くしたようなマスクを作製しなければならない。この
部分的に薄い肉厚のマスクを作製することは、エッチン
グ等で部分的に板厚を薄くする必要があるため、非常に
難しい。また、仮にこのようなマスクを作製できたとし
ても、板厚の異なる平面でないマスクを用いてどの様に
印刷するかは大きな問題である。
【0010】このため、現在、このような粗ピッチと微
細ピッチの混合部品を混載する方法として、微細ピッチ
部分に厚さ10μm程度の半田メッキを施しておき、そ
の他の部分のみ半田ペーストを印刷した後、粗ピッチの
部品をまず搭載してリフローを行い、その後、微細ピッ
チ部品を個別実装方式、つまり、1個毎にヒートツール
方式で実装する方法が提案されている。しかし、この方
法においても、PCBの生産時において、粗ピッチ部と
微細ピッチ部とが混在する上での前記問題点、つまり印
刷不良か生じて歩留りが悪化する等の点は依然解決でき
ないままである。
【0011】以上のように、粗い配線パターンで済む受
動素子と微細パターンを要する多ピン・狭ピッチLSI
パッケージとを同一基板状に搭載することは、上記した
ような多くの問題があり、今後、益々LSIパッケージ
の小型化、多ピン化および狭ピッチ化が進むなかにあっ
て、技術的に大きな課題となっていた。
【0012】本発明は、上記問題点に鑑みて勘案された
ものであって、その目的は、微細ピッチパッケージのみ
を別実装した配線基板(モジュール基板)を作製した
後、この配線基板を通常部品と一緒に一括リフローで実
装することを可能とすることにより、PCBの量産化及
び小型化を可能とし、しかもアセンブリコストを低下さ
せることが可能なパッケージモジュール基板を提供する
ことにある。
【0013】
【課題を解決するめの手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、多ピン・狭ピッチの半導体パッケージを
搭載可能な配線基板と、前記配線基板に接合されプリン
ト基板接続用の接続端子とを備えたパッケージモジュー
ル基板を提供するものである。
【0014】そして、前記配線基板と前記接続端子との
接合は、半田ペーストよりも高い融点を有するか、ある
いは半田ペーストのリフロー温度よりも高い耐熱性を有
する接合部材で行う。
【0015】また、上記パッケージモジュール基板にお
いて、さらに前記配線基板に放熱用板材を設けるように
してもよい。
【0016】
【作用】本発明のパッケージモジュール基板では、以上
のような構成により多ピン・狭ピッチの半導体パッケー
ジのみを搭載する配線基板をPCBとは別に作製してお
き、その配線基板の外周囲を、例えばリードフレームに
連結してこのリードフレームを接続端子として使用し、
前記半導体パッケージが搭載されたパッケージモジュー
ル基板を作製する。その後、前記接続端子とPCBを接
続すれば、PCBの製造が、従来一般的に行われている
簡易な印刷法等で行うことが可能となり、さらに歩留り
が向上する。
【0017】前記微細ピッチパッケージを別実装した配
線基板と前記リードフレームとの接合は、半田ペースト
の融点よりも高い金属ロウ材、または半田ペーストのリ
フロー温度(230℃)よりも高い耐熱性をもつ導電性
接着剤で行う。例えば、この接合は、Au−Sn共晶接
合法や異方性導電膜等で行うことができる。また、多ピ
ン・狭ピッチの半導体パッケージの配線基板への接合
も、例えばAu−Sn共晶接合法など上記と同様の手段
により行う。これらにより上記各接合部がパッケージモ
ジュール基板をPCBに実装する際の一括リフローに耐
えて接合歩留りが飛躍的に向上する。
【0018】さらに、多ピン・狭ピッチのLSIパッケ
ージの搭載が可能となるので、小型LSIパッケージの
搭載モジュールを有するPCBとなり、PCBが著しく
小型化される。また、配線基板に放熱用板材を設けたの
で、LSIパッケージで生ずる熱は的確に放熱される。
【0019】従来のモジュールは、半導体チップをベア
の状態でモジュール構成用配線基板の上に搭載して、3
〜4ケのLSIを搭載後、セラミック封止したパッケー
ジが知られている。これに対し、本発明のモジュール
は、パッケージされたLSIを搭載するパッケージモジ
ュール基板である点で異なっている。
【0020】
【実施態様】本発明に係るパッケージモジュール基板を
添付の図面に示す好適実施例に基づいて詳細に説明す
る。
【0021】図1は本発明のパッケージモジュール基板
の一実施例の概略外観を示す斜視図であり、本発明のパ
ッケージモジュール基板をPCBに搭載した場合の状態
を示している。なお、このパッケージモジュール基板
は、パッケーシングモールドを施したLSIを搭載する
モジュール基板であり、既存のベアチップを搭載するマ
ルチチップモジュールとは異なるものである。
【0022】図1において、所定の配線パターンが形成
されたPCB2上には、パッケージモジュール基板4が
搭載されている。このパッケージモジュール基板4の配
線基板6に形成された配線パターン8は、例えば0.3
mmピッチ以下の狭ピッチのアウターリードを有する多
ピンLSIパッケージ10を搭載するために非常に微細
である。これに対してPCB2の配線パターン12は、
例えば1.25mmピッチ程度の粗ピッチパッケージ1
8等の部品を搭載したり、あるいは抵抗器やコンデン
サ、ダイオード、トランジスタ等を接続したりするた
め、粗い引回しとなっている。
【0023】一方、配線基板6は、接合部14を介して
接続端子16に接合され、その接続端子16がPCB2
の配線パターン12に接続されている。
【0024】パッケージモジュール基板4のPCB2へ
の搭載方法は通常の半田ペースト印刷法が応用できる。
狭ピッチ多ピンパッケージ10のパッケージモジュール
基板4への搭載方法は、半田(例えば半田ペーストの半
田組成Sn60:Pb40)の融点よりも高い必要があ
るので、Au−Sn共晶接合で接続する。この方法はパ
ッケージ10のアウターリードに例えば1〜10μmの
Snめっきを施しておき、配線基板6のパターン8の表
面にはNi下地(例えば厚さ1〜2μmの)金めっき
(例えば、厚さ0.5〜1.0μm)を施して、ヒート
ツール法によりAuとSnを融かし、共晶合金として冷
却し接合する方法である。この方法は半田ペーストと異
なりめっき層が薄いために接続時に短絡する心配がな
い。また接続端子16と配線基板6との接合もAu−S
n共晶接合でおこなう方法が適用できる。この場合には
接続端子16側に、例えば7〜10μmの錫めっきを施
す。または、導電性の接着剤や異方性導電性膜等も応用
できるが、PCB2へ搭載する時のリフロー温度230
℃で例えば5分程度の処理時間に耐えなければならな
い。
【0025】
【実施例】以下に、本発明のパッケージモジュール基板
を実施例につき具体的に説明する。
【0026】(実施例1)図2は、前記配線基板6の外
周囲をリードフレームに連結した状態を示す図である。
同図において、リードフレームは、外枠部20と、その
外枠部20に0.65mmピッチで400本連結された
接続端子部16Aとで構成されている。各接続端子部1
6Aは、厚さ0.15mmの銅合金から成り、接合部1
4を介して配線基板6の配線パターン8に接続されてい
る。配線基板6は、例えば125μmの厚さであり、6
0×80mm角のポリイミドに厚さ18μmの銅箔の配
線パターン(エッチングパターン)8が形成されている
他、多ピンLSIパッケージ10を搭載するためのパッ
ケージ搭載部10Aを有する。パッケージ搭載部10A
のピッチは100μmであり、また配線パターン8の引
回し部のピッチは最小70μmであり、微細パターンと
なっている。そして、この配線パターン10Aの表面上
に厚さ1.0μmのニッケル(Ni)メッキと厚さ1.
0μmの金(Au)メッキとが順次施されている。な
お、パッケージ搭載部10A内には配線パターン8が形
成されていない。
【0027】配線パターン8と接続端子部16Aの接合
方法は、Au−Sn共晶接合により行った。即ち、接続
端子部16Aの接合側の面のみに7〜10μmの錫メッ
キを施して、その接続端子部16Aの先端位置を配線パ
ターン8の接合部14のパットと位置合わせした。そし
て、加熱ツールを上部より当接して(接続端子部16A
の錫メッキが施されていない面側から)、錫メッキを溶
融させた。この錫メッキの溶融に伴って、融けた錫は配
線基板6の金メッキ層と瞬時に反応し、Au−Snの共
晶組成(つまり、90%錫Sn相当の組成の第1共晶点
232°C)の接合層を形成させた。加熱ツールが離れ
ると、接合部14は冷却されて接合が完了した。
【0028】配線パターン8と接続端子部16Aとの接
合が完了した後、金型を使用してリードフレームの外枠
部20を切除して配線基板6の部分を取り出し、さらに
別の金型によって接続端子部16Aに対して曲げ加工を
行えば、図3に示すように前記接続端子16が接合され
た配線基板6が作製された。
【0029】その後、パッケージ搭載部10Aに多ピン
LSIパッケージ10を搭載して本発明のパッケージモ
ジュール基板4を完成した。その際、パッケージ搭載部
10Aのピッチは、前述のように最も狭ピッチ部で10
0μmであり、このパッケージ搭載部には100μmの
アウターリードピッチをもったTABパッケージの搭載
が可能であった。また、他のパッケージ搭載部のピッチ
は300μmであり、この部分には300μmピッチの
アウターリードを持つQFPが搭載できた。
【0030】多ピンLSIパッケージ10のパッケージ
搭載部10Aへの搭載方法は、Au−Sn共晶結合で行
った。これは、後述するように半田ペースト印刷法によ
りパッケージモジュール基板4をPCB2に実装するに
際し、これらを一括してリフローするため、多ピンLS
Iパッケージ10と配線基板6との接続部の融点は、半
田(半田ぺーストの半田組成は例えばSn:60%,P
b:40%とする)の融点よりも高くする必要があるた
めである。
【0031】このAu−Sn共晶接合は、多ピンLSI
パッケージ10のアウターリードにこの7〜10μmの
錫メッキを施しておき、配線基板6の表面にはニッケル
(Ni)下地の金メッキを施してヒートツール法により
(Au)と錫(Sn)を融解し、共晶合金として冷却
して接合するものである。この方法によれば、半田ペー
ストと異なりメッキ層が薄いため、接続時に短絡する恐
れがなく、しかも0.1mmピッチまでの多ピン・狭ピ
ッチLSIパッケージの搭載が可能となる。
【0032】こうして、完成したパッケージモジュール
基板4は、4辺合計で400本の接続端子16を持つも
のとなり、その各接続端子16のピッチは0.65mm
程度であるので、PCB2に対しての表面実装は、比較
的容易である前述の半田ペースト印刷法により行うこと
が可能となった。即ち、パッケージモジュール基板4
を、通常の粗ピッチLSIパッケージ18が搭載されて
いるPCB2と一緒にリフロー(例えば230°Cを5
分間)すれば、図1に示すようにPCB2上にパッケー
ジモジュール基板4を実装することができる。
【0033】(実施例2)実施例2においては、上記実
施例1の配線基板6の裏面に厚さ0.15mmの銅箔を
貼り合わせて放熱性を向上させた。搭載されたLSIパ
ッケージ10から発する熱は、ポトイミド絶縁層を通し
て裏面の銅箔に伝播し、面方向に拡がる。この銅箔は、
いわゆるヒートスプレッダーの役目を果たすことにな
る。ポトイミド絶縁層はの厚さは、伝熱を考慮して好ま
しくは50μm程度に設定した。
【0034】(実施例3)上記実施例では、配線基板6
と接続端子部16Aとの接合をAu−Sn共晶接合で行
ったが、本実施例3では、その代りに導電性の接着剤や
異方性導電膜を使用した。この場合、PCB2へ搭載す
る際のリフロー温度(例えば230°C×5分)に耐え
うる耐熱性をもったものを使用する必要がある。ここで
は、接合前に配線基板6の接合部14のパットにテープ
状の異方性導電膜を貼り合わせておき、接続端子部14
と位置合わせを行い、加熱ツールにより加圧接合した。
【0035】なお、本発明は図示の実施例に限定されず
種々の変形が可能である。例えば、配線基板6の配線パ
ターン8について、上記実施例では1層配線で構成した
が、パターンが微細で複雑な場合は2層あるいは3層配
線とすることも可能である。
【0036】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
多ピン・狭ピッチの半導体パッケージを搭載可能な配線
基板と、前記配線基板に接合されたプリント基板接合用
の接続端子とを備え、かつ、前記多ピン・狭ピッチの半
導体パッケージと前記配線基板との接合及び前記配線基
板と前記接続端子との接合は、半田ペーストよりも高い
融点を有するか、あるいは半田ペーストのリフロー温度
よりも高い耐熱性を有する接合部材で行われるようにし
たので、次のような効果がある。
【0037】(1)PCBの製造が、従来一般的に行わ
れている簡易な印刷法等で行うことが可能となり、さら
に歩留りが向上するため、PCBの量産化が可能とな
る。
【0038】(2)例えばAu−Sn接合法により多ピ
ン・狭ピッチの半導体パッケージと配線基板との接合お
よび配線基板と接続端子との接合を行えば、PCBへの
一括リフローが可能となり接合歩留りが飛躍的に向上す
るので、アセンブリコストにおいて著しい改善が得られ
る。
【0039】(3)PCBの小型化が図れる。即ち、従
来では、0.5mmピッチのアウターリードを有する半
導体パッケージの搭載が限度であったが、本発明では、
0.1mmピッチのアウターリードを有する多ピン・狭
ピッチのLSIパッケージの搭載が可能となるので、小
型LSIパッケージの搭載モジュールを有するPCBと
なり、PCBを著しく小型化できる。
【0040】また、配線基板に放熱用板材を設けたの
で、LSIパッケージで生ずる熱を的確に放熱できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るパッケージモジュール基板の一実
施例の概略外観を示す斜視図である。
【図2】本発明のパッケージモジュール基板の配線基板
の外周囲をリードフレームに連結した状態の一例を示す
図である。
【図3】本発明のパッケージモジュール基板のリードフ
レームに対して切断曲げ加工を施した後の配線基板の断
面図である。
【符号の説明】
2 PCB 4 パッケージモジュール基板 6 配線基板 16 接続端子 10 多ピン・狭ピッチLSIパッケージ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 米 本 隆 治 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電 線株式会社システムマテリアル研究所内 (72)発明者 山 口 健 司 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電 線株式会社システムマテリアル研究所内 (56)参考文献 実開 平2−8167(JP,U)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多ピン・狭ピッチの半導体パッケージを搭
    載可能な配線基板と、前記配線基板に接合されたプリン
    ト基板接続用の接続端子とを備えたパッケージモジュー
    ル基板であって、 前記多ピン・狭ピッチの半導体パッケージと前記配線基
    板との接合及び前記配線基板と前記接続端子との接合
    は、半田ペーストよりも高い融点を有するかあるいは
    半田ペーストのリフロー温度よりも高い耐熱性を有する
    接合部材で行われることを特徴とするパッケージモジュ
    ール基板。
  2. 【請求項2】請求項1に記載のパッケージモジュール基
    板であって、さらに前記配線基板に放熱用板材を設けた
    ことを特徴とするパッケージモジュール基板。
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JP2016051847A (ja) * 2014-09-01 2016-04-11 イビデン株式会社 プリント配線板、その製造方法及び半導体装置
JP2019040936A (ja) * 2017-08-23 2019-03-14 田淵電機株式会社 基板組立体

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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