JP2675335B2 - 反射電子検出装置 - Google Patents
反射電子検出装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 電子照射した試料から反射された反射電子を検出して
画像を表示する反射電子検出装置に関し、 反射電子検出器を複数に分割し、電子ビームおよび画
像表示方向を同期して回転させたことに対して該当する
反射電子信号を合成し、これらを信号処理して表示する
ことにより、任意の方向の良質な反射電子画像を容易か
つ迅速に表示することを目的とし、 電子ビームによって走査する試料の近傍かつ当該電子
ビームの軸を中心に複数に分割して配置した複数の反射
電子検出器と、これら複数の反射電子検出器によってそ
れぞれ検出された反射電子信号のうち、電子ビームの走
査方向に対してほぼ直角方向で２つに分離した反射電子
信号にそれぞれ合成する信号合成器と、電子ビームによ
って試料を走査する走査方向および画像信号を表示する
方向を同期して回転させるスキャンローティション回路
とを備え、電子ビームの走査方向および表示方向を回転
させたことに対応して、上記信号合成器によって同期す
る態様で合成した２つの反射電子信号を信号処理し、画
像として表示するように構成する。
画像を表示する反射電子検出装置に関し、 反射電子検出器を複数に分割し、電子ビームおよび画
像表示方向を同期して回転させたことに対して該当する
反射電子信号を合成し、これらを信号処理して表示する
ことにより、任意の方向の良質な反射電子画像を容易か
つ迅速に表示することを目的とし、 電子ビームによって走査する試料の近傍かつ当該電子
ビームの軸を中心に複数に分割して配置した複数の反射
電子検出器と、これら複数の反射電子検出器によってそ
れぞれ検出された反射電子信号のうち、電子ビームの走
査方向に対してほぼ直角方向で２つに分離した反射電子
信号にそれぞれ合成する信号合成器と、電子ビームによ
って試料を走査する走査方向および画像信号を表示する
方向を同期して回転させるスキャンローティション回路
とを備え、電子ビームの走査方向および表示方向を回転
させたことに対応して、上記信号合成器によって同期す
る態様で合成した２つの反射電子信号を信号処理し、画
像として表示するように構成する。
本発明は、電子照射した試料から反射された反射電子
を検出して画像を表示する反射電子検出装置に関するも
のである。
を検出して画像を表示する反射電子検出装置に関するも
のである。
従来、走査型電子顕微鏡は、反射電子検出器を電子ビ
ームの走査方向に対して直角方向で２つに分離して左右
方向に配置し、試料から反射した反射電子をそれぞれ検
出するようにしている。これら左右方向からそれぞれ検
出した２つの反射電子信号の和、差などを求め、組成像
（和信号）、凹凸像（差信号）などとして表示するよう
にしている。
ームの走査方向に対して直角方向で２つに分離して左右
方向に配置し、試料から反射した反射電子をそれぞれ検
出するようにしている。これら左右方向からそれぞれ検
出した２つの反射電子信号の和、差などを求め、組成像
（和信号）、凹凸像（差信号）などとして表示するよう
にしている。
従来の反射電子検出器は２分割して装着するようにし
ていたため、任意の方向から走査した画像を表示させた
い場合、試料を機械的に回転させて電子ビームの走査方
向に合致などさせる必要があり、迅速に所望の方向の画
像を表示し得ないという問題があった。
ていたため、任意の方向から走査した画像を表示させた
い場合、試料を機械的に回転させて電子ビームの走査方
向に合致などさせる必要があり、迅速に所望の方向の画
像を表示し得ないという問題があった。
本発明は、反射電子検出器を複数に分割し、電子ビー
ムおよび画像表示方向を同期して回転させたことに対応
して該当する反射電子信号を合成し、これらを信号処理
して表示することにより、任意の方向の良質な反射電子
画像を容易かつ迅速に表示することを目的としている。
ムおよび画像表示方向を同期して回転させたことに対応
して該当する反射電子信号を合成し、これらを信号処理
して表示することにより、任意の方向の良質な反射電子
画像を容易かつ迅速に表示することを目的としている。
第１図を参照して課題を解決する手段を説明する。
第１図において、反射電子検出器１は、試料２から反
射した反射電子を検出するものであって、試料２を走査
する電子ビームの軸を中心に複数に分割して配置したも
のである。
射した反射電子を検出するものであって、試料２を走査
する電子ビームの軸を中心に複数に分割して配置したも
のである。
スキャンローティション回路９は、試料２を走査する
電子ビームの走査方向およびCRT16上に画像を表示する
方向を同期する態様で回転させるものである。
電子ビームの走査方向およびCRT16上に画像を表示する
方向を同期する態様で回転させるものである。
信号合成器12は、試料２を走査する電子ビームの走査
方向に対して左右方向についての反射電子を検出するよ
うに合成するものである。
方向に対して左右方向についての反射電子を検出するよ
うに合成するものである。
本発明は、第１図に示すように、試料２を照射する電
子ビームの軸を中心に複数に分割した反射電子検出器１
を図示のように配置し、これら複数の反射電子検出器１
によって検出された反射電子信号について、スキャンロ
ーティション回路９によって走査方向が回転するに対応
して信号合成器12によって電子ビームの左右方向の２つ
のものを検出するように合成し、この合成した反射電子
信号を信号処理（例えば差を算出）して画像として表示
するようにしている。
子ビームの軸を中心に複数に分割した反射電子検出器１
を図示のように配置し、これら複数の反射電子検出器１
によって検出された反射電子信号について、スキャンロ
ーティション回路９によって走査方向が回転するに対応
して信号合成器12によって電子ビームの左右方向の２つ
のものを検出するように合成し、この合成した反射電子
信号を信号処理（例えば差を算出）して画像として表示
するようにしている。
従って、スキャンローティション回路９によって試料
２を走査する電子ビームの走査方向およびCRT16の表示
方向を同期して回転させることに対応して、信号合成器
12によって常に走査方向に対して左右方向の反射電子信
号を検出していわば自動的に合成し、この合成した反射
電子信号を信号処理して画像として表示することによ
り、試料２の任意の方向に走査した時の反射電子信号に
よる良質な画像を迅速に表示することが可能となる。
２を走査する電子ビームの走査方向およびCRT16の表示
方向を同期して回転させることに対応して、信号合成器
12によって常に走査方向に対して左右方向の反射電子信
号を検出していわば自動的に合成し、この合成した反射
電子信号を信号処理して画像として表示することによ
り、試料２の任意の方向に走査した時の反射電子信号に
よる良質な画像を迅速に表示することが可能となる。
次に、第１図から第５図を用いて本発明の１実施例の
構成および動作を順次詳細に説明する。
構成および動作を順次詳細に説明する。
第１図において、反射電子検出器１は、試料２から反
射した反射電子を検出するＰ−N JUNCTION（半導体検出
器）などであって、既述したように、電子ビームの軸を
中心に複数に分割して試料２の近傍に図示のように配置
したものである。本実施例は、軸対称に６分割した例を
以下具体的に説明する。
射した反射電子を検出するＰ−N JUNCTION（半導体検出
器）などであって、既述したように、電子ビームの軸を
中心に複数に分割して試料２の近傍に図示のように配置
したものである。本実施例は、軸対称に６分割した例を
以下具体的に説明する。
試料２は、反射電子による画像を表示させて観察など
しようとするものである。
しようとするものである。
電子銃３は、電子を放射するものである。
収束レンズ４は、電子銃３から放射された電子（電子
線）を収束するものである。
線）を収束するものである。
偏向コイル５は、試料２上をＨ方向およびＶ方向に電
子ビーム（電子プローブ）を走査させるものである。
子ビーム（電子プローブ）を走査させるものである。
対物レンズ６は、試料２上に電子ビームを結像させる
ものである。
ものである。
偏向切換器７は、試料２を走査する電子ビームの方向
の切り換えを指示するものである。
の切り換えを指示するものである。
走査信号発生器（Ｈ、Ｖ）８は、試料２上を電子ビー
ムによって水平方向（Ｈ）および垂直方向（Ｖ）に走査
する走査信号を発生するものである。尚、この走査信号
（Ｈ、Ｖ）によってCRT16も同期して走査する。これに
より、CRT16上には、試料２を走査する走査方向を回転
させても、像は回転することがない。
ムによって水平方向（Ｈ）および垂直方向（Ｖ）に走査
する走査信号を発生するものである。尚、この走査信号
（Ｈ、Ｖ）によってCRT16も同期して走査する。これに
より、CRT16上には、試料２を走査する走査方向を回転
させても、像は回転することがない。
スキャンローティション回路９は、走査信号発生器
（Ｈ、Ｖ）８によって発生された走査信号に対して、偏
向切換器７から指示された角度に回転例えば後述する第
３図（イ）あるいは第５図に示すように回転させるもの
である。
（Ｈ、Ｖ）８によって発生された走査信号に対して、偏
向切換器７から指示された角度に回転例えば後述する第
３図（イ）あるいは第５図に示すように回転させるもの
である。
倍率駆動設定部（Ｈ、Ｖ）10は、試料２を走査する電
子ビームの幅（Ｈ、Ｖ）を制御して、CRT16上に表示さ
れる反射電子像の倍率を設定するものである。
子ビームの幅（Ｈ、Ｖ）を制御して、CRT16上に表示さ
れる反射電子像の倍率を設定するものである。
アンプ11は、複数の反射電子検出器１によって検出さ
れた反射電子信号をそれぞれ増幅するものである。
れた反射電子信号をそれぞれ増幅するものである。
信号合成器12は、複数の反射電子検出器１によって検
出され、アンプ11で増幅された反射電子信号を合成する
ものである。この合成は、後述する第３図に示すよう
に、走査方向に対して左右方向の２つのまとめた反射電
子信号を生成するようにしている。
出され、アンプ11で増幅された反射電子信号を合成する
ものである。この合成は、後述する第３図に示すよう
に、走査方向に対して左右方向の２つのまとめた反射電
子信号を生成するようにしている。
信号処理回路13は、信号合成器12によってまとめられ
た２つの反射電子信号について、和、差を算出するなど
の信号処理を行うものである。この信号処理された結果
は、CRT16上に例えば輝度変調して組成像（和信号によ
る画像）および凹凸像（差信号による画像）などとして
表示する。
た２つの反射電子信号について、和、差を算出するなど
の信号処理を行うものである。この信号処理された結果
は、CRT16上に例えば輝度変調して組成像（和信号によ
る画像）および凹凸像（差信号による画像）などとして
表示する。
CRT偏向駆動回路14は、CRT偏向コイル15を駆動して、
CRT16上に画像を表示させるものである。
CRT16上に画像を表示させるものである。
次に、第２図を用いて、第１図反射電子検出器１、信
号合成器12、および信号処理回路13によって、差信号に
よる画像（凹凸像）を生成する場合の具体例を説明す
る。
号合成器12、および信号処理回路13によって、差信号に
よる画像（凹凸像）を生成する場合の具体例を説明す
る。
第２図において、反射電子検出器１は、ないしに
示すように、電子ビームの中心を軸に６分割されてい
る。これら反射電子検出器１を構成するないしは、
図示のようにアンプ11をそれぞれ通った後、スイッチ12
−１に図示のように接続され、任意のものが選択されて
増幅器12−２、12−３に入力される。これにより、反射
電子検出器１を構成するないしのうちの任意の組み
合せ、例えば電子ビームの走査方向に対応づけてスイッ
チ12−１を図示実線のように切り換えてないしを増
幅器12−３に入力して加算した信号Ｂを生成し、ない
しを増幅器12−２に入力して加算した信号Ａを生成す
る。そして、これら生成した信号Ａから信号Ｂを差分信
号処理回路13−１によって差分（Ａ−Ｂ）を求め、更に
信号レベル選択回路13−２によって、後述する第４図
（ヘ）に示すように下側の部分をカットした結果の信号
によって輝度変調してCRT16上に画像（凹凸像など）と
して表示し、第５図（イ）ないし（ニ）に示すような反
射電子による画像を表示することができる。
示すように、電子ビームの中心を軸に６分割されてい
る。これら反射電子検出器１を構成するないしは、
図示のようにアンプ11をそれぞれ通った後、スイッチ12
−１に図示のように接続され、任意のものが選択されて
増幅器12−２、12−３に入力される。これにより、反射
電子検出器１を構成するないしのうちの任意の組み
合せ、例えば電子ビームの走査方向に対応づけてスイッ
チ12−１を図示実線のように切り換えてないしを増
幅器12−３に入力して加算した信号Ｂを生成し、ない
しを増幅器12−２に入力して加算した信号Ａを生成す
る。そして、これら生成した信号Ａから信号Ｂを差分信
号処理回路13−１によって差分（Ａ−Ｂ）を求め、更に
信号レベル選択回路13−２によって、後述する第４図
（ヘ）に示すように下側の部分をカットした結果の信号
によって輝度変調してCRT16上に画像（凹凸像など）と
して表示し、第５図（イ）ないし（ニ）に示すような反
射電子による画像を表示することができる。
尚、差分信号処理回路13−１によって求めた差分（Ａ
−Ｂ）をそのままCRT16上に表示してもよい。
−Ｂ）をそのままCRT16上に表示してもよい。
第３図を用いて、偏向方向と反射電子検出器１との関
係例を説明する。
係例を説明する。
第３図（イ）は試料２を電子ビームによって走査する
走査方向を示し、第３図（ロ）はその時に反射電子検出
器１によって検出された反射電子信号を合成するスイッ
チパターン例を示す。
走査方向を示し、第３図（ロ）はその時に反射電子検出
器１によって検出された反射電子信号を合成するスイッ
チパターン例を示す。
まず、第３図（イ）Ｎ＝１（θ＝０゜）に示すように
横方向に走査（水平走査、Ｈ）する場合、第３図（ロ）
スイッチパターン例中のＮ＝１に示すように、ないし
の反射電子検出器（第２図反射電子検出器）１によっ
て検出された反射電子信号を第２図スイッチ12−１およ
び増幅器12−３によって１つに合成し、ないしの反
射電子検出器１によって検出された反射電子信号を第２
図スイッチ12−１および増幅器12−２によって１つに合
成するようにしている。同様に、第３図（イ）Ｎ＝２、
Ｎ＝３についても、第３図（ロ）に示すような反射電子
検出器１によって検出された反射電子信号をそれぞれ１
つに合成する。
横方向に走査（水平走査、Ｈ）する場合、第３図（ロ）
スイッチパターン例中のＮ＝１に示すように、ないし
の反射電子検出器（第２図反射電子検出器）１によっ
て検出された反射電子信号を第２図スイッチ12−１およ
び増幅器12−３によって１つに合成し、ないしの反
射電子検出器１によって検出された反射電子信号を第２
図スイッチ12−１および増幅器12−２によって１つに合
成するようにしている。同様に、第３図（イ）Ｎ＝２、
Ｎ＝３についても、第３図（ロ）に示すような反射電子
検出器１によって検出された反射電子信号をそれぞれ１
つに合成する。
以上のように、第３図（イ）に示すように電気的に回
転させた走査方向に直角方向で左右に２つに分離した態
様でまとめた反射電子信号を得ることができる。従っ
て、従来のように、試料２を回転させる必要がなく、迅
速かつ容易に所望の回転角度の反射電子信号を検出し、
凹凸像などを表示させることが可能となる。
転させた走査方向に直角方向で左右に２つに分離した態
様でまとめた反射電子信号を得ることができる。従っ
て、従来のように、試料２を回転させる必要がなく、迅
速かつ容易に所望の回転角度の反射電子信号を検出し、
凹凸像などを表示させることが可能となる。
次に、第４図および第５図を用いて半球の試料２の凹
凸像を表示させる場合の動作を具体的に説明する。
凸像を表示させる場合の動作を具体的に説明する。
第４図（イ）は、半球の試料２を示す。これは、第１
図走査電子顕微鏡の試料ステージ上に図示半球の試料２
を装着したことを表す。
図走査電子顕微鏡の試料ステージ上に図示半球の試料２
を装着したことを表す。
第４図（ロ）は、第４図（イ）半球状の試料２をＡ側
からＢ側に向かって電子ビームによって走査する状態を
示す。
からＢ側に向かって電子ビームによって走査する状態を
示す。
第４図（ハ）は、Ａ側に配置した反射電子検出器１に
よって検出された反射電子信号を示す。これは、第４図
（ロ）の走査に対応して、Ａ側に配置した反射電子検出
器（第２図ないし）１、アンプ11、スイッチ12−
１、増幅器12−２によって検出されたＡ側の反射電子信
号である。図中の部分は半球の試料２が反射電子検出
器１に向かう面であるため大きなピークとして検出さ
れ、図中の部分は半球の試料２が反射電子検出器１の
反対の方向に向かう面であるために負のピークとして検
出される。
よって検出された反射電子信号を示す。これは、第４図
（ロ）の走査に対応して、Ａ側に配置した反射電子検出
器（第２図ないし）１、アンプ11、スイッチ12−
１、増幅器12−２によって検出されたＡ側の反射電子信
号である。図中の部分は半球の試料２が反射電子検出
器１に向かう面であるため大きなピークとして検出さ
れ、図中の部分は半球の試料２が反射電子検出器１の
反対の方向に向かう面であるために負のピークとして検
出される。
第４図（ニ）は、Ｂ側の反射電子検出器１によって検
出された反射電子信号を示す。これは、第４図（ロ）の
走査に対応して、Ｂ側に配置した反射電子検出器（第２
図ないし）１、アンプ11、スイッチ12−１、増幅器
12−３によって検出されたＢ側の反射電子信号である。
図中の部分は半球の試料２が反射電子検出器１の反対
の方向に向かう面であるために負のピークとして検出さ
れ、図中の部分は半球の試料２が反射電子検出器１の
方向に向かう面であるため大きなピークとして検出され
る。
出された反射電子信号を示す。これは、第４図（ロ）の
走査に対応して、Ｂ側に配置した反射電子検出器（第２
図ないし）１、アンプ11、スイッチ12−１、増幅器
12−３によって検出されたＢ側の反射電子信号である。
図中の部分は半球の試料２が反射電子検出器１の反対
の方向に向かう面であるために負のピークとして検出さ
れ、図中の部分は半球の試料２が反射電子検出器１の
方向に向かう面であるため大きなピークとして検出され
る。
第４図（ホ）は、第４図（ハ）Ａ側の反射電子信号か
ら、第４図（ニ）Ｂ側の反射電子信号を減算した差分
（Ａ−Ｂ）を示す。この差分（Ａ−Ｂ）をCRT16上に輝
度変調して表示した画像は、一般に凹凸像、トポ像など
と呼ばれている。
ら、第４図（ニ）Ｂ側の反射電子信号を減算した差分
（Ａ−Ｂ）を示す。この差分（Ａ−Ｂ）をCRT16上に輝
度変調して表示した画像は、一般に凹凸像、トポ像など
と呼ばれている。
第４図（ヘ）は、第４図（ホ）差分（Ａ−Ｂ）のう
ち、図中“下の部分をカットする”と記載したように、
負方向に向かうピークをカットする。これにより、凹凸
像のうちの凹の部分がカットされ、凸の部分が取り出さ
れることとなる。
ち、図中“下の部分をカットする”と記載したように、
負方向に向かうピークをカットする。これにより、凹凸
像のうちの凹の部分がカットされ、凸の部分が取り出さ
れることとなる。
次に、第５図（イ）は、半球の試料２の全面について
走査（Ｈ、Ｖ）して検出、信号処理した第４図（ヘ）に
示す差分（Ａ−Ｂ）を、CRT16上に輝度変調して表示し
たものである。黒い部分が明るい部分である。
走査（Ｈ、Ｖ）して検出、信号処理した第４図（ヘ）に
示す差分（Ａ−Ｂ）を、CRT16上に輝度変調して表示し
たものである。黒い部分が明るい部分である。
第５図（ロ）は、半球の試料２を走査する電子ビーム
の走査方向およびCRT16上に画像を表示する表示方向を
それぞれ120゜反時計方向に回転させた場合のものを示
す。
の走査方向およびCRT16上に画像を表示する表示方向を
それぞれ120゜反時計方向に回転させた場合のものを示
す。
第５図（ハ）は、240゜反時計方向に回転させた場合
のものを示す。
のものを示す。
第５図（ニ）は、第５図（イ）ないし第５図（ハ）の
３つの画像を加算（Ａ＋A120＋A240）して表示したもの
である。
３つの画像を加算（Ａ＋A120＋A240）して表示したもの
である。
以上のように、半球状の試料２を、第４図（ロ）に示
すＡ方向、A120方向、およびA240方向の３方向からそれ
ぞれ見た凹凸画像のうちの、明るく見える部分（凸の部
分）を取り出し、第５図（ニ）に示すように、１つの画
面上に重畳させて表示することにより、半球状の試料２
をいわば立体的に表示することが可能となる。
すＡ方向、A120方向、およびA240方向の３方向からそれ
ぞれ見た凹凸画像のうちの、明るく見える部分（凸の部
分）を取り出し、第５図（ニ）に示すように、１つの画
面上に重畳させて表示することにより、半球状の試料２
をいわば立体的に表示することが可能となる。
以上説明したように、スキャンローティション回路９
によって試料２を走査する電子ビームの走査方向および
CRT16の表示方向を同期して回転させることに対応し
て、信号合成器12によって常に左右方向の反射電子信号
を検出していわば自動的に合成し、この合成した反射電
子信号を信号処理して画像として表示する構成を採用し
ているため、試料２の任意の方向に走査した時の反射電
子信号による良質な画像を迅速に表示することができ
る。更に、試料２に対して複数の方向から検出した反射
電子信号を重畳して表示することにより、立体的に表示
することが可能となる。
によって試料２を走査する電子ビームの走査方向および
CRT16の表示方向を同期して回転させることに対応し
て、信号合成器12によって常に左右方向の反射電子信号
を検出していわば自動的に合成し、この合成した反射電
子信号を信号処理して画像として表示する構成を採用し
ているため、試料２の任意の方向に走査した時の反射電
子信号による良質な画像を迅速に表示することができ
る。更に、試料２に対して複数の方向から検出した反射
電子信号を重畳して表示することにより、立体的に表示
することが可能となる。
第１図は本発明の１実施例構成図、第２図は本発明に係
わる要部回路例、第３図は偏向方向と反射電子検出器と
の関係説明図、第４図は差分信号処理説明図、第５図は
差分信号処理した画像表示例を示す。 図中、１は反射電子検出器、２は試料、９はスキャンロ
ーティション回路、11はアンプ、12は信号合成器、13は
信号処理回路、16はCRTを表す。
わる要部回路例、第３図は偏向方向と反射電子検出器と
の関係説明図、第４図は差分信号処理説明図、第５図は
差分信号処理した画像表示例を示す。 図中、１は反射電子検出器、２は試料、９はスキャンロ
ーティション回路、11はアンプ、12は信号合成器、13は
信号処理回路、16はCRTを表す。
Claims (2)
- 【請求項１】電子照射した試料から反射された反射電子
を検出して画像を表示する反射電子検出装置において、 電子ビームによって走査する試料の近傍かつ当該電子ビ
ームの軸を中心に複数に分割して配置した複数の反射電
子検出器（１）と、 これら複数の反射電子検出器（１）によってそれぞれ検
出された反射電子信号を電子ビームの走査方向に対して
ほぼ直角方向で２つに分離し、これら分離した反射電子
信号をそれぞれ合成する信号合成器（12）と、 電子ビームによって試料を走査する走査方向および画像
信号を表示する方向を同期して回転させるスキャンロー
ティション回路（９）と、 電子ビームの走査方向および表示方向を回転させたこと
に対応して、上記信号合成器（12）によって同期して合
成した２つの反射電子信号の和を求めて組成像あるいは
差を求めて凹凸像として１つの画面上に表示させる信号
処理回路（13）とを備えたことを特徴とする反射電子検
出装置。 - 【請求項２】上記電子ビームの走査方向および表示方向
を順次回転させたことに対応して、上記信号合成器（1
2）によって同期して合成した２つの反射電子信号の差
を求めた後、負方向に向かうピークをカットした凹凸像
として１つの画面上に順次重畳表示させる信号処理回路
（13）を備えたことを特徴とする請求項１記載の反射電
子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63135118A JP2675335B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 反射電子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63135118A JP2675335B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 反射電子検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01304647A JPH01304647A (ja) | 1989-12-08 |
| JP2675335B2 true JP2675335B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=15144246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63135118A Expired - Lifetime JP2675335B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 反射電子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2675335B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7732765B2 (en) | 2006-11-17 | 2010-06-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope |
| JP2008159574A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-07-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| JP5274897B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2013-08-28 | 日本電子株式会社 | 断面観察用走査電子顕微鏡 |
| JP5425601B2 (ja) | 2009-12-03 | 2014-02-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置およびその画質改善方法 |
| DE102010024625A1 (de) * | 2010-06-22 | 2011-12-22 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren zum Bearbeiten eines Objekts |
| JP5787746B2 (ja) * | 2011-12-26 | 2015-09-30 | 株式会社東芝 | 信号処理方法および信号処理装置 |
| JP2016139467A (ja) | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法および試料観察装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5093078A (ja) * | 1973-12-17 | 1975-07-24 | ||
| JPS5741062B2 (ja) * | 1974-03-01 | 1982-09-01 |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP63135118A patent/JP2675335B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01304647A (ja) | 1989-12-08 |
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