JP2675064B2 - 質量分析装置用イオン源 - Google Patents
質量分析装置用イオン源Info
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- JP2675064B2 JP2675064B2 JP63111996A JP11199688A JP2675064B2 JP 2675064 B2 JP2675064 B2 JP 2675064B2 JP 63111996 A JP63111996 A JP 63111996A JP 11199688 A JP11199688 A JP 11199688A JP 2675064 B2 JP2675064 B2 JP 2675064B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、液体試料をイオン源内に導入し、一次ビー
ム衝撃あるいは化学イオン化によりイオン化することの
できる質量分析装置用イオン源に関するものである。
ム衝撃あるいは化学イオン化によりイオン化することの
できる質量分析装置用イオン源に関するものである。
［従来の技術］ 近時、液体クロマトグラフで展開された試料液を質量
分析装置のイオン化室内に直接導入してイオン化するイ
オン源の開発が進められている。その一つとして、液体
クロマトグラフに接続された移送管をイオン化室内に導
き、この移送管の先端に多孔性部材、例えばステンレス
の粉末を焼結して作製したフィルター（フリット）を取
り付け、多孔性部材の中を通ってその表面から試料液を
滲み出させるようにした構造のものが提案されている。
分析装置のイオン化室内に直接導入してイオン化するイ
オン源の開発が進められている。その一つとして、液体
クロマトグラフに接続された移送管をイオン化室内に導
き、この移送管の先端に多孔性部材、例えばステンレス
の粉末を焼結して作製したフィルター（フリット）を取
り付け、多孔性部材の中を通ってその表面から試料液を
滲み出させるようにした構造のものが提案されている。
この多孔性部材の表面に滲出した試料液をイオン化す
る方式としては、一次ビーム衝撃ものと化学イオン化
（CI）によるものとがある。
る方式としては、一次ビーム衝撃ものと化学イオン化
（CI）によるものとがある。
ここで、CI方式において、イオン化室を密封して例え
ば1Torr程度の比較的高い圧力の雰囲気に保つと共に、
イオン化室内に電子線を導入する必要がある。これに対
して一次ビーム衝撃による方式においては、イオン化室
を密封することなく、低い圧力の雰囲気の中で試料液に
直接一次粒子ビームを衝突させるだけで良い。
ば1Torr程度の比較的高い圧力の雰囲気に保つと共に、
イオン化室内に電子線を導入する必要がある。これに対
して一次ビーム衝撃による方式においては、イオン化室
を密封することなく、低い圧力の雰囲気の中で試料液に
直接一次粒子ビームを衝突させるだけで良い。
［発明が解決しようとする課題］ 従来においては夫々専用のイオン源を用意し、その都
度装置を分解して所望のイオン源と交換していた。その
ため、取扱操作が非常に厄介であった。
度装置を分解して所望のイオン源と交換していた。その
ため、取扱操作が非常に厄介であった。
そこで、本発明はかかる不都合を解決するために、１
つのイオン源により一次ビーム衝撃イオン化とCIイオン
化との両方を切換えて行うことのできるイオン源を提供
することを目的とするものである。
つのイオン源により一次ビーム衝撃イオン化とCIイオン
化との両方を切換えて行うことのできるイオン源を提供
することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明のイオン源は、電子
入射口及び一次ビーム入射口を夫々形成した筒体と、前
記電子入射口を介して該筒体内に導入する電子線を発生
する電子線発生手段と、前記一次ビーム入射口を介して
前記筒体内に導入する一次ビームを発生する一次ビーム
発生手段とが真空雰囲気中に配置されており、真空雰囲
気外から前記筒体内まで到達する長さを有する第１のプ
ローブであって、真空雰囲気外から真空内へ試料液を移
送する試料液移送管を内部に収容し該試料液移送管の先
端に多孔性部材を取り付けた構造を有するプローブが真
空雰囲気外から前記筒体内へ装着されたとき、前記試料
液移送管を介して真空雰囲気外から移送され多孔性部材
表面に滲み出た試料液を前記一次ビーム照射によりイオ
ン化し、また、真空雰囲気外から前記筒体内まで到達す
る長さを有する第２のプローブであって、有底筒状で外
周部に電子導入用の開口を有し該プローブの先端部に保
持されるイオン化室筐体と、該イオン化室筐体内に真空
雰囲気外から試料液を移送するために該プローブ内に収
容される移送管と、該移送管の先端を封止するように取
り付けられる多孔性部材とから構成されるプローブが前
記筒体内に装着されたとき、合致した前記電子入射口及
び開口を通してイオン化室筐体内に電子線を導入するこ
とにより前記移送管を介して真空雰囲気外から移送され
多孔性部材を介してイオン化室筐体内に気化された試料
液を化学イオン化によりイオン化するように構成したこ
とを特長とするものである。
入射口及び一次ビーム入射口を夫々形成した筒体と、前
記電子入射口を介して該筒体内に導入する電子線を発生
する電子線発生手段と、前記一次ビーム入射口を介して
前記筒体内に導入する一次ビームを発生する一次ビーム
発生手段とが真空雰囲気中に配置されており、真空雰囲
気外から前記筒体内まで到達する長さを有する第１のプ
ローブであって、真空雰囲気外から真空内へ試料液を移
送する試料液移送管を内部に収容し該試料液移送管の先
端に多孔性部材を取り付けた構造を有するプローブが真
空雰囲気外から前記筒体内へ装着されたとき、前記試料
液移送管を介して真空雰囲気外から移送され多孔性部材
表面に滲み出た試料液を前記一次ビーム照射によりイオ
ン化し、また、真空雰囲気外から前記筒体内まで到達す
る長さを有する第２のプローブであって、有底筒状で外
周部に電子導入用の開口を有し該プローブの先端部に保
持されるイオン化室筐体と、該イオン化室筐体内に真空
雰囲気外から試料液を移送するために該プローブ内に収
容される移送管と、該移送管の先端を封止するように取
り付けられる多孔性部材とから構成されるプローブが前
記筒体内に装着されたとき、合致した前記電子入射口及
び開口を通してイオン化室筐体内に電子線を導入するこ
とにより前記移送管を介して真空雰囲気外から移送され
多孔性部材を介してイオン化室筐体内に気化された試料
液を化学イオン化によりイオン化するように構成したこ
とを特長とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］ 第１図は本発明におけるイオン源に一次ビーム衝撃用
プローブを装着した場合の一例を示す断面図である。
プローブを装着した場合の一例を示す断面図である。
同図において、１は質量分析装置におけるイオン源筐
体で、内部が高真空に保たれている。２はその蓋体、３
はイオン源ブロック、４は筒体、５は電子線を発生する
ためのフィラメント、６は一次粒子ビーム発生器、7,8,
9は前記筒体４の外周に夫々形成した電子入射口，電子
出射口及び一次ビーム入射口、10は前記筒体４内で生成
されたイオンI1を外部へ取り出し、加速と集束を行う電
極群で、この電極群中筒体４に接近した電極には一次ビ
ーム通過用切り欠きが設けてある。また、この電極群や
イオン源ブロック３及び筒体４は前記イオン源筐体１に
固定されている。11はその一端が前記イオン源ブロック
３を通して筒体４内に着脱可能に挿入された筒状の第１
のプローブで、他端は前記蓋体２の略中央部を貫通して
外部に取り出されており、その先端につまみ12が設けて
ある。13aはこのプローブ11の内部に気密を保って挿入
された移送管で、この移送管としては例えば内径40μｍ
程度のフューズドシリカ管が用いられる。また、この移
送管の一端は大気中に取り出され、図示外の液体クロマ
トグラフに接続されている。さらに、この移送管の他端
（筒体４側）にはその開口部を塞ぐように多孔性部材14
aが取り付けられている。15は多孔性部材14をプローブ1
1に固定するためのキャップである。尚、図示しないが
ブロック３には加熱ヒータが組み込んであり、また、蓋
体２のプローブ導入部分にはエアーロック弁が設けてあ
り、イオン源筐体１内の真空を破ることなく、各プーロ
ブの交換を行なうことができる。
体で、内部が高真空に保たれている。２はその蓋体、３
はイオン源ブロック、４は筒体、５は電子線を発生する
ためのフィラメント、６は一次粒子ビーム発生器、7,8,
9は前記筒体４の外周に夫々形成した電子入射口，電子
出射口及び一次ビーム入射口、10は前記筒体４内で生成
されたイオンI1を外部へ取り出し、加速と集束を行う電
極群で、この電極群中筒体４に接近した電極には一次ビ
ーム通過用切り欠きが設けてある。また、この電極群や
イオン源ブロック３及び筒体４は前記イオン源筐体１に
固定されている。11はその一端が前記イオン源ブロック
３を通して筒体４内に着脱可能に挿入された筒状の第１
のプローブで、他端は前記蓋体２の略中央部を貫通して
外部に取り出されており、その先端につまみ12が設けて
ある。13aはこのプローブ11の内部に気密を保って挿入
された移送管で、この移送管としては例えば内径40μｍ
程度のフューズドシリカ管が用いられる。また、この移
送管の一端は大気中に取り出され、図示外の液体クロマ
トグラフに接続されている。さらに、この移送管の他端
（筒体４側）にはその開口部を塞ぐように多孔性部材14
aが取り付けられている。15は多孔性部材14をプローブ1
1に固定するためのキャップである。尚、図示しないが
ブロック３には加熱ヒータが組み込んであり、また、蓋
体２のプローブ導入部分にはエアーロック弁が設けてあ
り、イオン源筐体１内の真空を破ることなく、各プーロ
ブの交換を行なうことができる。
かかる構成において、液体クロマトグラフで展開され
た試料液は移送管13aを通してイオン源筐体１（筒体
４）内に導入され、多孔性部材14a表面に滲み出る。こ
の滲み出た試料液に一次粒子ビーム発生器６からの一次
ビームＢを衝突させれば、その衝突エネルギーによりイ
オン化される。生成されたイオンI1は電極群10により引
き出され加速，集束されて図示外の質量分析部に導入さ
れるため、一次ビーム衝撃イオン化による質量分析を行
うことができる。尚、このモードのときにはフィラメン
ト５への通電は停止されている。
た試料液は移送管13aを通してイオン源筐体１（筒体
４）内に導入され、多孔性部材14a表面に滲み出る。こ
の滲み出た試料液に一次粒子ビーム発生器６からの一次
ビームＢを衝突させれば、その衝突エネルギーによりイ
オン化される。生成されたイオンI1は電極群10により引
き出され加速，集束されて図示外の質量分析部に導入さ
れるため、一次ビーム衝撃イオン化による質量分析を行
うことができる。尚、このモードのときにはフィラメン
ト５への通電は停止されている。
次に、CIイオン化による質量分析を行うには筒体４か
ら第１のプローブ11を引き抜いて、第２図に示すような
CI用の第２のプローブ16を筒体４に装着すれば良い。
ら第１のプローブ11を引き抜いて、第２図に示すような
CI用の第２のプローブ16を筒体４に装着すれば良い。
ここで、この第２のプローブ16が第１のプローブ11と
異なるところはプローブ先端に多孔性部材14bを収納す
るように有底筒状のイオン化室筐体17を取り付けた点で
ある。また、このイオン化室筐体の外周には電子線導入
用の開口18が、さらに、底部にはイオン取出し用開口19
が夫々設けてある。この各開口18及び19の大きさはイオ
ン化室筐体内17をCIに適した比較的高い圧力に保つため
に小さく形成されている。20は多孔性部材14bを固定す
るための押しネジ体、21はつまみである。
異なるところはプローブ先端に多孔性部材14bを収納す
るように有底筒状のイオン化室筐体17を取り付けた点で
ある。また、このイオン化室筐体の外周には電子線導入
用の開口18が、さらに、底部にはイオン取出し用開口19
が夫々設けてある。この各開口18及び19の大きさはイオ
ン化室筐体内17をCIに適した比較的高い圧力に保つため
に小さく形成されている。20は多孔性部材14bを固定す
るための押しネジ体、21はつまみである。
かかるCI用の第２のプローブ16を第２図に示すように
筒体４内に装着すると、イオン化室筐体17の開口18と筒
体４の電子入射口７とが一致するため、フィラメント５
に通電することにより発生する電子線がイオン化室筐体
内に導入される。この状態において、移送管13b及び多
孔性部材14bを介して液体クロマトグラフで展開された
試料液をイオン化筐体17内に導けば、試料液中の溶媒を
反応ガスとしてイオン化が行われる。即ち、電子入射口
７及び開口18から入射した電子によって多孔性部材14b
表面で気化された溶媒（反応ガス）が先ずイオン化さ
れ、次いで該溶媒イオンとの化学反応によって試料成分
がイオン化される。生成されたイオンI2は開口19を介し
て質量分析部へ送られるため、CIイオン化による質量分
析を行うことができる。
筒体４内に装着すると、イオン化室筐体17の開口18と筒
体４の電子入射口７とが一致するため、フィラメント５
に通電することにより発生する電子線がイオン化室筐体
内に導入される。この状態において、移送管13b及び多
孔性部材14bを介して液体クロマトグラフで展開された
試料液をイオン化筐体17内に導けば、試料液中の溶媒を
反応ガスとしてイオン化が行われる。即ち、電子入射口
７及び開口18から入射した電子によって多孔性部材14b
表面で気化された溶媒（反応ガス）が先ずイオン化さ
れ、次いで該溶媒イオンとの化学反応によって試料成分
がイオン化される。生成されたイオンI2は開口19を介し
て質量分析部へ送られるため、CIイオン化による質量分
析を行うことができる。
一方、第３図に示すように第２のプローブ16を筒体４
内に完全に挿入しないで、イオン化室筐体17が電子入射
口５を塞ぐ手前で停止させれば、気化した試料液が開口
19から噴出し、その噴出した試料液が電子入射口７から
電子出力射口８へ向けて筒体４内を通る電子線の衝撃を
受けてイオン化されるため、電子衝撃型（EI）イオン化
による質量分析をも行うことができる。
内に完全に挿入しないで、イオン化室筐体17が電子入射
口５を塞ぐ手前で停止させれば、気化した試料液が開口
19から噴出し、その噴出した試料液が電子入射口７から
電子出力射口８へ向けて筒体４内を通る電子線の衝撃を
受けてイオン化されるため、電子衝撃型（EI）イオン化
による質量分析をも行うことができる。
［効果］ 以上詳述したように本発明によれば、１つのイオン源
内に一次ビーム衝撃イオン化用プローブとCI用プローブ
を任意に切換えて装着することができるため、従来のよ
うに夫々のモード専用のイオン源を夫々用意する必要が
なくなる。そのためイオン源の交換作業が不要となり、
取扱の簡略化を図ることができる。
内に一次ビーム衝撃イオン化用プローブとCI用プローブ
を任意に切換えて装着することができるため、従来のよ
うに夫々のモード専用のイオン源を夫々用意する必要が
なくなる。そのためイオン源の交換作業が不要となり、
取扱の簡略化を図ることができる。
第１図乃至第３図は夫々本発明の一実施例の構成を示す
断面図である。 1:イオン源筐体、2:蓋体 3:イオン源ブロック 4:筒体、5:フィラメント 6:一次粒子ビーム発生器 7:電子入射口、8:電子出射口 9:一次ビーム入射口、10:電極群 11:第１のプローブ 13a,13b:移送管 14a,14b:多孔性部材 16:第２のプローブ 17:イオン化室筐体、18,19:開口
断面図である。 1:イオン源筐体、2:蓋体 3:イオン源ブロック 4:筒体、5:フィラメント 6:一次粒子ビーム発生器 7:電子入射口、8:電子出射口 9:一次ビーム入射口、10:電極群 11:第１のプローブ 13a,13b:移送管 14a,14b:多孔性部材 16:第２のプローブ 17:イオン化室筐体、18,19:開口
Claims (1)
- 【請求項１】電子入射口及び一次ビーム入射口を夫々形
成した筒体と、前記電子入射口を介して該筒体内に導入
する電子線を発生する電子線発生手段と、前記一次ビー
ム入射口を介して前記筒体内に導入する一次ビームを発
生する一次ビーム発生手段とが真空雰囲気中に配置され
ており、真空雰囲気外から前記筒体内まで到達する長さ
を有する第１のプローブであって、真空雰囲気外から真
空内へ試料液を移送する試料液移送管を内部に収容し該
試料液移送管の先端に多孔性部材を取り付けた構造を有
するプローブが真空雰囲気外から前記筒体内へ装着され
たとき、前記試料液移送管を介して真空雰囲気外から移
送され多孔性部材表面に滲み出た試料液を前記一次ビー
ム照射によりイオン化し、また、真空雰囲気外から前記
筒体内まで到達する長さを有する第２のプローブであっ
て、有底筒状で外周部に電子導入用の開口を有し該プロ
ーブの先端部に保持されるイオン化室筐体と、該イオン
化室筐体内に真空雰囲気外から試料液を移送するために
該プローブ内に収容される移送管と、該移送管の先端を
封止するように取り付けられると共にその表面が前記イ
オン化室筐体内に面するように配置される多孔性部材と
から構成されるプローブが前記筒体内に装着されたと
き、合致した前記電子入射口及び開口を通してイオン化
室筐体内に電子線を導入することにより前記移送管を介
して真空雰囲気外から移送され多孔性部材を介してイオ
ン化室筐体内に気化された試料液を化学イオン化により
イオン化するように構成したことを特長とする質量分析
装置用イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111996A JP2675064B2 (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | 質量分析装置用イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111996A JP2675064B2 (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | 質量分析装置用イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01281651A JPH01281651A (ja) | 1989-11-13 |
| JP2675064B2 true JP2675064B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=14575337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63111996A Expired - Fee Related JP2675064B2 (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | 質量分析装置用イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2675064B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
| CN101680856A (zh) | 2007-05-15 | 2010-03-24 | 株式会社爱发科 | 质谱分析单元 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840761A (ja) * | 1981-09-02 | 1983-03-09 | Hitachi Ltd | 二次イオン質量分析計 |
| JPS5995565U (ja) * | 1982-12-17 | 1984-06-28 | 日本電子株式会社 | イオン源 |
| JPH0630238B2 (ja) * | 1986-01-10 | 1994-04-20 | 日本電子株式会社 | 質量分析装置用イオン源 |
| JPS62129760U (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-17 |
-
1988
- 1988-05-09 JP JP63111996A patent/JP2675064B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01281651A (ja) | 1989-11-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |