JPS5995565U - イオン源 - Google Patents

イオン源

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Publication number
JPS5995565U
JPS5995565U JP19105682U JP19105682U JPS5995565U JP S5995565 U JPS5995565 U JP S5995565U JP 19105682 U JP19105682 U JP 19105682U JP 19105682 U JP19105682 U JP 19105682U JP S5995565 U JPS5995565 U JP S5995565U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ionization
ion source
chamber
contamination
ionization chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP19105682U
Other languages
English (en)
Inventor
達次 小林
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Publication of JPS5995565U publication Critical patent/JPS5995565U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来のイオン源を示す断面図、第
３図および第４図はこの考案の一実施例を示す断面図、
第５図は他の実施例を示す断面図、第６図はさらに他の
実施例を示す分解断面図であ’−８ａや、。−１つ？ｔ
Ｍ＝４ヵ６□ヨエ、やオ５．１はイオン化室、２，２ａ
はイオンビーム出射口、４はイオンリペラー、５．　５
ａ、　　６．　６ａはオリフィス、８はイオンビーム、
９は電極群、１０はフィラメント、１１はエレクトロン
ラップ、１２はエレクトロンビーム、１３は偏向電極、
１４．１５はマグネット、１７はＦＡＢ用ガン、１８は
試料受、１９は試料、２０は高速中性粒子ビーム、２２
は第２のイオン化室、２３はキャップ、２６は押込みロ
ンドである。

Claims (5)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）汚染に影響されやすいイオン化モードおよび汚染
    が起こりやすいイオン化モードを切換えてイオン化を行
    うイオン源において、汚染に影響されやすいイオン化モ
    ードでイオン化を行う第１のイオン化室と、この第１の
    イオン化室の内面を覆うように着脱可能に設けられ、か
    つ前記第１のイオン化室内に挿入されて、汚染が起こり
    やすいイオン化モードでイオン化を行う第２のイオン化
    室を備えたことを特徴とするイオン源。
  2. （２）第２のイオン化室は第１のイオン化室にスライド
    可能に設けられた実用新案登録請求の範囲第１項記載の
    イオン源。
  3. （３）第２のイオン化室は後退時に汚染に影響されやす
    いイオン化モードのイオンリペラーとして利用できるよ
    うにした実用新案登録請求の範囲第２項記載のイオン源
    。
  4. （４）第２のイオン化室をスライドさせるロンドを備え
    た実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
    かに記載のイオン源。
  5. （５）第２のイオン源をイオンリペラーと交換できるよ
    うにした実用新案登録請求の範囲第１項記載のイオン源
    。
JP19105682U 1982-12-17 1982-12-17 イオン源 Pending JPS5995565U (ja)

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JP19105682U JPS5995565U (ja) 1982-12-17 1982-12-17 イオン源

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JP19105682U JPS5995565U (ja) 1982-12-17 1982-12-17 イオン源

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5995565U true JPS5995565U (ja) 1984-06-28

Family

ID=30411517

Family Applications (1)

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JP19105682U Pending JPS5995565U (ja) 1982-12-17 1982-12-17 イオン源

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JP (1) JPS5995565U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01281651A (ja) * 1988-05-09 1989-11-13 Jeol Ltd 質量分析装置用イオン源

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01281651A (ja) * 1988-05-09 1989-11-13 Jeol Ltd 質量分析装置用イオン源

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