JP2659998B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータInfo
- Publication number
- JP2659998B2 JP2659998B2 JP63141138A JP14113888A JP2659998B2 JP 2659998 B2 JP2659998 B2 JP 2659998B2 JP 63141138 A JP63141138 A JP 63141138A JP 14113888 A JP14113888 A JP 14113888A JP 2659998 B2 JP2659998 B2 JP 2659998B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- rotor shaft
- linear actuator
- rotor
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 3
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/22—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members
- F16H25/2204—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
- F16H2025/2075—Coaxial drive motors
- F16H2025/2078—Coaxial drive motors the rotor being integrated with the nut or screw body
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H25/2454—Brakes; Rotational locks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
用いられるリニアアクチュエータに関する。
のうち、直動運動を得るリニアアクチュエータとして
は、例えばねじを切ったねじ軸とナットとを組合せたボ
ールねじを構成要素とする機構が知られている。
すように、ねじ軸8の周囲にボール9を介してナット10
を噛合させた構造のボールねじを用い、ねじ軸8を軸受
30で軸支し、ナット10を回り止めし、ねじ軸8の一端に
モータ31を設けてねじ軸8を回転させることにより、ナ
ット10に連結された負荷21を直動運動させるものであ
る。
ータでは、ボールねじの一端にモータ31などの駆動部分
を配置するスペースが必要となるため、特に長さ方向に
小形化するには限界がある。
るように、ねじ軸の外周にモータを配置し、ナット回転
させてこれに噛合したねじ軸を送りだして、油圧又は空
気圧シリンダの直動運動を模擬したリニアアクチュエー
タが知られている。このリニアアクチュエータについて
第4図を参照して説明する。
2の軸受3を介して、中空構造のロータシャフト4の一
端側にボールねじ(ねじ軸8、ボール9、ナット10)の
ナット10が一体的に結合され、かつねじ軸8がロータシ
ャフト4内に挿入された状態で軸支されている。ここ
で、第1の軸受2は軸方向及び軸直角方向の負荷を受け
ることができる例えばアンギュラコンタクト形のものを
組合せたものであり、ナット10の周囲に設けられてい
る。また、第2の軸受3は通常の軸受であり、ロータシ
ャフト4の端部の周囲に設けられている。ねじ軸8はこ
れと一体のボールスプライン軸部8aにおいてその外周に
設けられた外筒40が、フレーム1に固定されたハウジン
グ41に回り止めキー42を介して固定されることにより回
り止めされている。上記ロータシャフト4の外周にはロ
ータ43が取付けられ、これに対応してフレーム1には永
久磁石44及びヨーク45が取付けられている。上記ロータ
43には電源46からブラシ47及び整流器48を介して駆動電
流が通電される。
は、ねじ軸1の端部にモータなどの駆動機構を設けなく
てもよいという点で軸方向の小形化が期待できるが、更
に小形化することが要望されている。しかも、ブレーキ
手段を持たない場合、任意の位置に停止した後、外乱に
よって停止位置が変動するため、常にモータによる位置
決め制御を行わなければならないという問題があり、通
常はブレーキ手段が設けられる。また、モータの速度制
御及び位置制御を行うために、通常は回転検出センサが
設けられる。したがって、ブレーキ手段や回転検出セン
サを設けることを考慮すると、より一層の小形化を図る
必要がある。
タシャフト4、ロータ43、ナット10及び軸受2、3が一
体化・固定されているため、メンテナンスのためにはボ
ールねじ部分だけを取外せることが望ましいにもかかわ
らず、他の部分も分解しなければならない。
り、特に軸方向に小形化でき、かつメンテナンスのため
にボールねじ部分を容易に着脱でできるリニアアクチュ
エータを提供することを目的とする。
在に軸支された中空構造のロータシャフト、該ロータシ
ャフトに取付けられたロータ及びこれに対応する固定子
を有するモータと、上記ロータシャフトに結合されたナ
ット、ボール及びねじ軸を有するボールねじと、可動部
材及び電磁的機構を有し上記ロータシャフトの回転を拘
束する電磁ブレーキとを具備し、ボールねじのナットを
回転させたときのねじ軸の直動変位を出力として得るリ
ニアアクチュエータにおいて、上記ボールねじのナット
をロータシャフトの中空部に嵌合させ、ナットの外周に
対応する位置にモータのロータ及び固定子を配置すると
ともに、上記ロータシャフトを軸支する軸受のうち軸方
向及び軸直角方向の負荷を同時に受ける軸受の外周に電
磁ブレーキの電磁的機構を配置したことを特徴とするも
のである。
じのナットの外周にロータシャフトを介して及び固定子
が配置され、かつロータシャフトを軸支する軸受のうち
軸方向及び軸直角方向の負荷を同時に受ける軸受の外周
に電磁ブレーキの電磁的機構が配置されており、軸方向
に沿って多くの部材を配置した構造をとっていないの
で、軸方向に小形化することができる。また、ボールね
じを構成するナットをシャフトに嵌合しているので、メ
ンテナンスのためにボールねじ部分のみを容易に着脱・
交換することができる。
タの構成図である。このリニアアクチュエータは、モー
タとして永久磁石回転界磁形ブラシレスDCモータを、ブ
レーキとして電磁ディスクブレーキをそれぞれ用いたも
のである。
の軸受2及び第2の軸受3を介して中空のロータシャフ
ト4が軸支されている。第1の軸受2は、軸方向及び軸
直角方向の負荷を同時に受けられるように複数個のアン
ギュラコンタクト形の軸受の正面又は背面合せで組合せ
たものである。また、第2の軸受3は通常の深溝形のも
のである。このロータシャフト4の外周にはロータ5が
取付けられ、その周面に永久磁石6が取付けられてい
る。一方、フレーム1には、ロータ5周面の永久磁石6
に近接するように、モータステータ7が取付けられてい
る。このモータステータ7はサーボコントローラ20に接
続されている。
のねじ軸8にボール9を介して噛合するナット10からな
るボールねじのナット10が嵌合されている。このねじ軸
8はナット10の回転による摩擦で自転しないように、図
示しないリニアベアリングなどの他の手段で回り止めさ
れている。このような構成により、ナット10の外周にロ
ータシャフト4を介してロータ5、永久磁石6及びモー
タステータ7が配置されている。このモータでは、トル
ク発生部分までの半径が大きいので同じ発生電磁力で発
生トルクが大きくなる。
中空構造の回転ディスク11が回転方向のトルクを伝え軸
方向の摺動には自由度を有する例えばスプライン軸受な
どの機構で取付けられており、ロータ5との間に復元ば
ね12が設けられている。一方、フレーム1には回転ディ
スク11に対向し、かつ第1の軸受2の外周に対応する位
置に電磁石13が取付けられている。このブレーキでは回
転ディスク11の摺動面11aまでの半径が大きいので、ブ
レーキ押付け力が同じでもブレーキトルクが大きくな
る。
空構造の回転スリット14が取付けられ、フレーム1には
これに対応して光学式エンコーダ15が取付けられ、回転
検出センサを構成している。この光学式エンコーダ15は
サーボコントローラ20に接続されている。
て説明する。すなわち、サーボコントローラ20からモー
タステータ7に駆動電流が通電されると、ロータ5、ロ
ータシャフト4及びナット10が正逆に回転し、自転を拘
束されているねじ軸8が直動運動してその一端に連結さ
れた負荷21を駆動させる。ロータシャフト4の回転は光
学式エンコーダ15によって検出され、回転方向と回転速
度に応じたセンサ信号がサーボコントローラ20に入力さ
れ、これに基づいて駆動電流が制御されるので、サーボ
アクチュエータとして直動運動の正逆方向の速度制御及
び位置制御が可能になる。また、ブレーキに関しては、
電磁石13を励磁していないときは、回転ディスク11は復
元ばね12によって引張られ、回転ディスク11の摺動面11
aとフレーム1に設けられた固定側摺動面1aとが離れた
位置に保持されるのでブレーキは働かない。一方、電磁
石13を励磁すると電磁吸引力により回転ディスク11が軸
方向に吸引されてその摺動面11aが固定側摺動面1aに押
付けられ、回転ディスク11の回転が拘束されるのでブレ
ーキとして機能する。
じを構成するナット10の外周にロータシャフト4を介し
てモータの構成部材であるロータ5、永久磁石6及びモ
ータステータ7を配置しているので、アクチュエータの
軸方向の長さを短くできる。同様に、ロータシャフト4
を軸支する第1の軸受2の外周に対応する位置にブレー
キを構成する電磁石13を配置しているので、アクチュエ
ータの軸方向の長さを短くできる。また、ボールねじを
構成するナット10をロータシャフト4に嵌合しているの
で、アクチュエータ本体を分解することなく、ボールね
じ部分のみを容易に着脱し、交換することができる。
転ディスク11に軸方向から押付け力を作用させてそれに
よる摩擦を利用している。こうしたブレーキでは、拘束
・解放に伴う動作距離が少ないほど開閉動作が速く、開
閉に必要なエネルギも少なくてすむので、短い動作距離
を常時確保できることが望ましい。しかるに、リニアア
クチュエータでは直動運動に伴い軸方向に働く力が存在
し、しかもロータシャフト4とフレーム1とで材質の線
膨張係数が異なると広い温度範囲では軸方向の膨張差が
生じる。このため、ロータシャフト4に取付けられる回
転ディスク11の摺動面11aと固定側摺動面1aとのギャッ
プが狭くなって接触したり、逆にギャップが広くなって
回転拘束時に十分な押付け力が得られずブレーキ力が確
保できなくなるおそれがある。これに対して、第1図に
示すようにロータシャフト4の定位置を確保し得るアン
ギュラコンタクト形の第1の軸受2の近傍に回転ディス
ク11を配置すれば、回転ディスク11の定位置を確保する
のに有利になる。
ータの構成図である。このリニアアクチュエータは、ロ
ータシャフトの回転を拘束するブレーキとして、供給さ
れている電力が遮断されたときに回転を拘束する負作動
形のディスクブレーキを用いたものである。第2図は第
1図とほぼ同様な構成を有するので、第1図と同一部材
には同一番号を付して説明を省略し、第1図と異なる構
成について詳細に説明する。
の外周には、中空構造の回転ディスク11が回転方向のト
ルクを伝え軸方向の摺動には自由度を有する例えばスプ
ライン軸受などの機構で取付けられており、ロータ5と
の間に復元ばね12が設けられている。この回転ディスク
11の一方の面はフレーム1に設けられた固定側摺動面1a
に対向し、他方の面はリング状の可動鉄片16に対向し、
可動鉄片16とフレーム1との間にはブレーキ押付けばね
17が設けられている。また、可動鉄片16近傍のフレーム
1には電磁石13が設けられている。なお、第2図では、
第1図の場合と異なり、中空構造の回転スリット14及び
これに対応する光学式エンコーダ15も第1の軸受2側に
取付けられている。
通電して励磁すると可動鉄片16が引付けられ、回転ディ
スク11は復元ばね12の働きで自由に回転できる位置まで
軸方向に動き、ブレーキは解放される。一方、電磁石13
が励磁されないときにはブレーキ押付けばね17の力で可
動鉄片16が押され、回転ディスク11の摺動面11aが固定
側摺動面1aに押付けられ、摩擦力により回転ディスク11
の回転が拘束される。
ものと同様な効果が得られることは勿論である。更に、
第2図図示のリニアアクチュエータでは、停電時などの
非常時にフェイルセーフを実現できる。すなわち、本発
明で対象となっているリニアアクチュエータを重力に垂
直な方向に直動運動させる用途に適用し、使用中に停電
が起きた場合、ボールねじのバックドライブ効率がよい
と、負荷の自重でボールねじが逆駆動してナットが回転
し、ねじ軸の位置が変動してしまうことがある。そし
て、第1図で使用されているような通常のブレーキは、
電流を通電して回転を拘束するものであるため、停電時
には回転を拘束できず、垂直な方向の直動運動が得る用
途では危険である。これに対して、第2図のように負作
動形のブレーキを用いた場合、停電時には上述したよう
に回転を拘束するので、フェイルセーフを実現できる。
いても可動部分と固定部分とのギャップが変化すると、
センサの検出性能に問題が生じることがあるが、第2図
に示すようにロータシャフト4の定位置を確保し得るア
ンギュラコンタクト形の第1の軸受2の近傍に回転検出
センサを配置すれば、上述したギャップを確保するにも
有利になる。
いた場合について説明したが、ステッピングモータや、
一般的なブラシを有するいわゆるDCモータなどを用いて
もよいことは勿論である。ただし、上記実施例のように
ブラシレスDCモータを用いれば、ブラシ交換のメンテナ
ンスや電磁ノイズの低減に有利であり、発熱源となる電
機子巻線がステータ側になるので放熱の点でも有利であ
る。また、以上では回転検出センサとして回転スリット
及び光学式エンコーダからなるものを用いたが、その構
造は中空構造であればドラム形、ディスク形など他の構
造でもよく、検出方式も光学式に限らず磁気式、接触式
など他の方式も使用可能である。
よれば、ストロークが同じであっても軸方向の長さを短
縮して小形化・軽量化することができ、メンテナンスの
ためにアクチュエータ本体を分解することなくボールね
じ部分のみを着脱・交換することができるなど顕著な効
果を奏するものである。
タの構成図、第2図は本発明の他の実施例におけるリニ
アアクチュエータの構成図、第3図は従来のねじ軸回転
形のリニアアクチュエータの構成図、第4図は従来のナ
ット回転形のリニアアクチュエータの構成図である。 1……アクチュエータフレーム、2……第1の軸受、3
……第2の軸受、4……ロータシャフト、5……ロー
タ、6……永久磁石、7……モータステータ、8……ね
じ軸、9……ボール、10……ナット、11……回転ディス
ク、13……復元ばね、13……電磁石、14……回転スリッ
ト、15……光学式エンコーダ、16……可動鉄片、17……
ブレーキ押付けばね、20……サーボコントローラ、21…
…負荷。
Claims (1)
- 【請求項1】軸受により回転自在に軸支された中空構造
のロータシャフト、該ロータシャフトに取付けられたロ
ータ及びこれに対応する固定子を有するモータと、上記
ロータシャフトに結合されたナット、ボール及びねじ軸
を有するボールねじと、可動部材及び電磁的機構を有し
上記ロータシャフトの回転を拘束する電磁ブレーキとを
具備し、ボールねじのナットを回転させたときのねじ軸
の直動変位を出力として得るリニアアクチュエータにお
いて、上記ボールねじのナットをロータシャフトの中空
部に嵌合させ、ナットの外周に対応する位置にモータの
ロータ及び固定子を配置するとともに、上記ロータシャ
フトを軸支する軸受のうち軸方向及び軸直角方向の負荷
を同時に受ける軸受の外周に電磁ブレーキの電磁的機構
を配置したことを特徴とするリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63141138A JP2659998B2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63141138A JP2659998B2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | リニアアクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01311844A JPH01311844A (ja) | 1989-12-15 |
JP2659998B2 true JP2659998B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=15285053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63141138A Expired - Lifetime JP2659998B2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | リニアアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2659998B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008310529A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 小型高精度位置決め機構、その制御方法及びそれを用いた高エネルギー粒子発生装置 |
JP2011163938A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | A & D Co Ltd | ロードシミュレータ |
CN103872841A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-06-18 | 成都瑞迪机械实业有限公司 | 电动直线驱动装置 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3301490B2 (ja) * | 1991-09-09 | 2002-07-15 | エスエムシー株式会社 | アクチュエータの構造体 |
DE4127487C3 (de) * | 1991-08-20 | 1997-11-13 | Harmonic Drive Antriebstechnik | Stellantrieb |
JPH07236250A (ja) * | 1994-02-23 | 1995-09-05 | Katsuragawa Electric Co Ltd | 軸移動型モーター |
JPH07284242A (ja) * | 1994-04-05 | 1995-10-27 | Smc Corp | 電動アクチュエータ |
DE19511287B4 (de) | 1994-07-21 | 2004-05-06 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Elektromechanische betätigbare Scheibenbremse |
JPH09210170A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-08-12 | Tac Giken Kogyo:Kk | 電動シリンダ |
JPH10336952A (ja) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Toshiba Eng Co Ltd | 電動サーボモータ |
JP3509000B2 (ja) * | 1999-10-22 | 2004-03-22 | Obara株式会社 | 溶接ガンの駆動装置 |
KR100649546B1 (ko) * | 2004-12-22 | 2006-11-28 | 두산인프라코어 주식회사 | 모터 내장형 정밀 직선운동장치 |
KR101670670B1 (ko) * | 2009-12-07 | 2016-11-01 | 삼성전자 주식회사 | 액츄에이터, 스테이지 장치, 노광장치 |
KR20110066859A (ko) * | 2009-12-11 | 2011-06-17 | 산요 덴키 가부시키가이샤 | 리니어 액추에이터 |
CN102290951B (zh) * | 2011-08-29 | 2012-11-21 | 常熟艾科瑞思封装自动化设备有限公司 | 直驱旋转装置 |
CN102501123A (zh) * | 2011-11-10 | 2012-06-20 | 大连永明数控机床有限公司 | 一种电机 |
CN103115123B (zh) * | 2013-02-04 | 2015-12-09 | 哈尔滨东安发动机(集团)有限公司 | 滚珠丝杠的锁定装置 |
JP6534170B2 (ja) * | 2014-10-22 | 2019-06-26 | 株式会社スター精機 | ニッパ装置 |
JP2017085758A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | 日本精工株式会社 | アクチュエータおよび機械装置 |
CN106992627B (zh) * | 2017-05-19 | 2019-05-28 | 上海宇航系统工程研究所 | 一种高频响直线驱动机构 |
FR3086570B1 (fr) * | 2018-10-01 | 2021-01-15 | Univ Le Havre Normandie | Systeme robotise, comprenant un bras articule |
-
1988
- 1988-06-08 JP JP63141138A patent/JP2659998B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008310529A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 小型高精度位置決め機構、その制御方法及びそれを用いた高エネルギー粒子発生装置 |
JP2011163938A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | A & D Co Ltd | ロードシミュレータ |
CN103872841A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-06-18 | 成都瑞迪机械实业有限公司 | 电动直线驱动装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01311844A (ja) | 1989-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2659998B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
CA2292574C (en) | Electric motor with internal brake | |
US5847478A (en) | Electro-magnetic clutch | |
US6433447B1 (en) | Linear/rotary actuator | |
US6158558A (en) | Electromechanical disc brake | |
JP5263162B2 (ja) | 中空アクチュエータ | |
KR20010032508A (ko) | 전자 브레이크 및 이를 구비한 기계 전기식 브레이크 장치 | |
US11668362B2 (en) | Actuator and brake | |
JP5643537B2 (ja) | 制動機能付モータ、及びそれを備えるロボット | |
WO2023115720A1 (zh) | 刹车组件、关节驱动器和机器人 | |
JP5003369B2 (ja) | 中空アクチュエータ | |
JP6770019B2 (ja) | 複数のモータが1つの動作軸を駆動する駆動装置、及び駆動装置を備えるロボット | |
JP2007051694A (ja) | 自己保持形ブレーキとその駆動方法 | |
WO2017221843A1 (ja) | 電動式直動アクチュエータ | |
JP2001165271A (ja) | 直進・回転アクチュエータ | |
KR102552472B1 (ko) | 브레이크 어셈블리 및 브레이크 어셈블리를 제어하기 위한 방법 | |
JP2002233176A (ja) | 電動アクチュエータ | |
JPS6028747A (ja) | ブレ−キ付電動機 | |
JPH03117758A (ja) | バルブアクチュエータ | |
JP2598364Y2 (ja) | 駆動モータの制動機構 | |
JPS59169787A (ja) | 多関節ロボツトの関節アクチユエ−タ | |
JPH0640447Y2 (ja) | 電動シリンダの電磁ブレーキ | |
JPH10123405A (ja) | レンズ駆動機構 | |
JP2527119Y2 (ja) | トルクリミツタ | |
JPH03166083A (ja) | ロボツト用手首装置及び産業用ロボツト |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080606 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090606 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090606 Year of fee payment: 12 |