JP2655780B2 - ストリップ搬送装置 - Google Patents
ストリップ搬送装置Info
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- JP2655780B2 JP2655780B2 JP4071302A JP7130292A JP2655780B2 JP 2655780 B2 JP2655780 B2 JP 2655780B2 JP 4071302 A JP4071302 A JP 4071302A JP 7130292 A JP7130292 A JP 7130292A JP 2655780 B2 JP2655780 B2 JP 2655780B2
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- Japan
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- strip
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、電縫管製造設
備のロール成形機の連続作動に際して、先行ストリップ
の尾端と後行コイルの先端を溶接継ぎするために、主ラ
インにストリップを送り込む搬送装置に関する。
備のロール成形機の連続作動に際して、先行ストリップ
の尾端と後行コイルの先端を溶接継ぎするために、主ラ
インにストリップを送り込む搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、かかる帯板コイルの主ラインへの
送り込み方式として、特開昭６０−２３８０３４号公報
には、天井クレーンによって吊り下げられたコイルをク
レードロールに搭載し、クレードロールに搭載されたコ
イルをバンド切り、口開き、先端鼻曲げ等の予備作業を
施している間、主ラインに挿入する台車上のコイル状の
ストリップの先端部分を挟持してスレッディングを行な
い、これによって主ラインの待機時間を少なくして稼働
率を上げようとする方式が提案されている。
送り込み方式として、特開昭６０−２３８０３４号公報
には、天井クレーンによって吊り下げられたコイルをク
レードロールに搭載し、クレードロールに搭載されたコ
イルをバンド切り、口開き、先端鼻曲げ等の予備作業を
施している間、主ラインに挿入する台車上のコイル状の
ストリップの先端部分を挟持してスレッディングを行な
い、これによって主ラインの待機時間を少なくして稼働
率を上げようとする方式が提案されている。
【０００３】また、実開昭６３−４７０１２号公報に
は、この方式を実施するに際して、使用するシフト台車
におけるスナバーロール、口開き用ピーラー、スレッデ
ィング装置、サイドガイド等の諸設備の搭載に伴う大型
化を避けるために、先端処理が終了したコイル状のスト
リップを主ラインに挿入する挿入台車と、同台車に同調
して走行するクランプ装置等を分離すると共に、主ライ
ン内に設置されるストリップを上下ピンチロールへ挿入
するようにしたものが開示されている。
は、この方式を実施するに際して、使用するシフト台車
におけるスナバーロール、口開き用ピーラー、スレッデ
ィング装置、サイドガイド等の諸設備の搭載に伴う大型
化を避けるために、先端処理が終了したコイル状のスト
リップを主ラインに挿入する挿入台車と、同台車に同調
して走行するクランプ装置等を分離すると共に、主ライ
ン内に設置されるストリップを上下ピンチロールへ挿入
するようにしたものが開示されている。
【０００４】この装置は板厚が６ｍｍ以下の比較的薄手
のストリップの処理ラインには有効に作用する。
のストリップの処理ラインには有効に作用する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、最近の電縫
管設備の場合のように、板厚が１２ｍｍを超え２２ｍｍ
に達するような極厚のストリップになってくると、以下
のような種々の不都合が発生する。
管設備の場合のように、板厚が１２ｍｍを超え２２ｍｍ
に達するような極厚のストリップになってくると、以下
のような種々の不都合が発生する。
【０００６】 先端をチゼル式のコイルオープナーで
開口しても直線形状にはならず、コイルオープナーの間
に挟まってしまう。
開口しても直線形状にはならず、コイルオープナーの間
に挟まってしまう。
【０００７】 ストリップの剛性が高く、クランプ台
車に容易に挿入できない。
車に容易に挿入できない。
【０００８】 コイルオープナーが大型になってコイ
ル挿入台車とクランプ台車の機器の間隔が大幅に大きく
なり、先端処理を主ライン外で行った後、挿入台車とク
ランプ台車が同調移動して巻戻しリールにコイルを挿入
する場合、チゼルの面に接触してストリップに疵をつ
け、チゼルを抜けた後先端処理をしたストリップが垂れ
下がって不安定な作業となる。
ル挿入台車とクランプ台車の機器の間隔が大幅に大きく
なり、先端処理を主ライン外で行った後、挿入台車とク
ランプ台車が同調移動して巻戻しリールにコイルを挿入
する場合、チゼルの面に接触してストリップに疵をつ
け、チゼルを抜けた後先端処理をしたストリップが垂れ
下がって不安定な作業となる。
【０００９】 とくに、先端処理が上開きの場合にお
いて、挿入台車とクランプ台車を同調移動して巻戻しリ
ールにコイルを挿入する場合、剛性の大きいコイルが解
けてしまい、リールへのコイル挿入が不可能となってし
まう。
いて、挿入台車とクランプ台車を同調移動して巻戻しリ
ールにコイルを挿入する場合、剛性の大きいコイルが解
けてしまい、リールへのコイル挿入が不可能となってし
まう。
【００１０】 コイル先端処理をしてクランプ台車に
挿入したとしても板厚が厚く剛性が大きいため、プレス
することができずピンチロールの間に先端が入りにく
い。
挿入したとしても板厚が厚く剛性が大きいため、プレス
することができずピンチロールの間に先端が入りにく
い。
【００１１】 巻戻しリールで処理されたコイルの最
終尾端はかなりの剛性をもつことになり、尾端がリール
から離れた瞬間にリールから外れた尾端がピンチロール
装置に衝突して損傷を招き、ライン停止などのトラブル
を発生させる。
終尾端はかなりの剛性をもつことになり、尾端がリール
から離れた瞬間にリールから外れた尾端がピンチロール
装置に衝突して損傷を招き、ライン停止などのトラブル
を発生させる。
【００１２】本発明の目的は、極厚であっても、コイル
開口と主ラインへの送り込みの機能を十分に発揮でき
て、開口処理後のストリップコイルを安全且つ効率良く
主ラインに持ち込めるストリップ搬送装置を提供するこ
とにある。
開口と主ラインへの送り込みの機能を十分に発揮でき
て、開口処理後のストリップコイルを安全且つ効率良く
主ラインに持ち込めるストリップ搬送装置を提供するこ
とにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、主ライン外で
コイルの先端開口処理を行い、先端開口処理したコイル
を載置してアンコイラー側に移動するコイルカーと同調
して同方向に移動するコイルオープナーを有するストリ
ップ搬送装置であって、前記コイルカーと同調してアン
コイラー側に移動可能なフレームに、先端処理が上解き
か下解きかによって選択的に昇降する一対の上下抑えロ
ールと、該上下抑えロールの中間部に回動自在かつ伸縮
自在のチゼルを配設して前記コイルオープナーを構成す
ると共に、前記フレームにあって、前記コイルオープナ
ー部分と隣接しかつアンコイラーを抜け出る前のストリ
ップ尾端を一対のガイドロールにより挾み込むようにし
たガイド装置を配設したことを特徴とする。
コイルの先端開口処理を行い、先端開口処理したコイル
を載置してアンコイラー側に移動するコイルカーと同調
して同方向に移動するコイルオープナーを有するストリ
ップ搬送装置であって、前記コイルカーと同調してアン
コイラー側に移動可能なフレームに、先端処理が上解き
か下解きかによって選択的に昇降する一対の上下抑えロ
ールと、該上下抑えロールの中間部に回動自在かつ伸縮
自在のチゼルを配設して前記コイルオープナーを構成す
ると共に、前記フレームにあって、前記コイルオープナ
ー部分と隣接しかつアンコイラーを抜け出る前のストリ
ップ尾端を一対のガイドロールにより挾み込むようにし
たガイド装置を配設したことを特徴とする。
【００１４】
【作用】コイルオープナーの抑えロールによって、コイ
ル先端開口がスムーズに行われ、コイルカーとの同調移
動中の剛性によるはね上がりが防止され、また、ガイド
装置のガイドロールによって、ストリップ尾端がアンコ
イラーを抜けたときの尾端のはね上がりが防止されて、
極厚のストリップコイルの主ラインへの搬送をスムーズ
に行なうことができる。
ル先端開口がスムーズに行われ、コイルカーとの同調移
動中の剛性によるはね上がりが防止され、また、ガイド
装置のガイドロールによって、ストリップ尾端がアンコ
イラーを抜けたときの尾端のはね上がりが防止されて、
極厚のストリップコイルの主ラインへの搬送をスムーズ
に行なうことができる。
【００１５】
【実施例】図１は、本発明のストリップ搬送装置を電縫
管製造設備のロール成形機への搬送に適用した場合の設
備の全体構造を示す斜視図である。
管製造設備のロール成形機への搬送に適用した場合の設
備の全体構造を示す斜視図である。
【００１６】同図において、１はコイルカーのレール２
上を移動するコイルカー、３は電縫管製造設備のロール
成形機への主ラインを形成するレベラー、４は搬入され
たコイルＣ1 の先端開口処理を行なうコイルオープナ
ー、５は先端開口処理後のコイルＣ2 のストリップＳを
アンコイラー６からレベラー３に搬送するガイド装置を
それぞれ示す。
上を移動するコイルカー、３は電縫管製造設備のロール
成形機への主ラインを形成するレベラー、４は搬入され
たコイルＣ1 の先端開口処理を行なうコイルオープナ
ー、５は先端開口処理後のコイルＣ2 のストリップＳを
アンコイラー６からレベラー３に搬送するガイド装置を
それぞれ示す。
【００１７】図２は、図１に示すコイルオープナー４の
詳細構造を示す。
詳細構造を示す。
【００１８】同図において、コイルカー１は、一点鎖線
で示すように、昇降自在になっており、運び込まれたコ
イルＣ1 のセンターの高さを調整する。７はコイルカー
１によって運び込まれたコイルＣ1 の先端の口開けを
行なうチゼルであって、チゼル７はフレーム８の両側か
ら支持され、フレーム８への取付け箇所９は油圧シリン
ダー２１，２３の作動によって昇降可能な上下２つ割り
の上半割軸受２０と下半割軸受２２とによりチゼル７の
取付け箇所９を支持し、チゼル７の作動中の支持を補強
する。チゼル７はレベラー３の処理高さに合わせて設定
されたフレーム８への取付け箇所９を中心にして、油圧
機構１０によって回動可能に、且つ、伸縮自在に設けら
れ、一点鎖線で示すようにコイルＣ1 の開口位置と、
コイルＣ1の外径の変化に対応できる構造になってい
る。また、１１と１２は、それぞれコイルＣ1 の口開
け位置によって、選択的に稼働する抑えロールであっ
て、それぞれフレーム８に取付けられ、コイルＣ1 の
外径に合わせての調整が可能なように、それぞれの油圧
機構１３，１４によって昇降可能に構成されている。そ
して、コイルオープナー４はコイルカー１と同調移動が
可能な構造になっている。
で示すように、昇降自在になっており、運び込まれたコ
イルＣ1 のセンターの高さを調整する。７はコイルカー
１によって運び込まれたコイルＣ1 の先端の口開けを
行なうチゼルであって、チゼル７はフレーム８の両側か
ら支持され、フレーム８への取付け箇所９は油圧シリン
ダー２１，２３の作動によって昇降可能な上下２つ割り
の上半割軸受２０と下半割軸受２２とによりチゼル７の
取付け箇所９を支持し、チゼル７の作動中の支持を補強
する。チゼル７はレベラー３の処理高さに合わせて設定
されたフレーム８への取付け箇所９を中心にして、油圧
機構１０によって回動可能に、且つ、伸縮自在に設けら
れ、一点鎖線で示すようにコイルＣ1 の開口位置と、
コイルＣ1の外径の変化に対応できる構造になってい
る。また、１１と１２は、それぞれコイルＣ1 の口開
け位置によって、選択的に稼働する抑えロールであっ
て、それぞれフレーム８に取付けられ、コイルＣ1 の
外径に合わせての調整が可能なように、それぞれの油圧
機構１３，１４によって昇降可能に構成されている。そ
して、コイルオープナー４はコイルカー１と同調移動が
可能な構造になっている。
【００１９】図３は、アンコイラー６からスレッドされ
たストリップの尾端がアンコイラー６から抜ける際に尾
端を押え込むガイド装置５の構造を示す。
たストリップの尾端がアンコイラー６から抜ける際に尾
端を押え込むガイド装置５の構造を示す。
【００２０】同図に示すように、先端開口されたコイル
Ｃ2 からスレッドされたストリップＳを抑えて、とく
に尾端のはね上がりを防止するためのガイドロール１
５、１６がフレーム８の上下位置に設けられている。こ
のガイドロール１５、１６は昇降油圧装置１７，１８に
よって回動し、ガイドロール１５、１６で尾端を挾んで
押さえ込む。仮想線で示す上側のガイドロール１５は下
解きのストリップＳの尾端を下側のガイドロール１６で
挾む場合の位置を示し、仮想線で示す下側のガイドロー
ル１６は上解きのストリップＳの尾端を上側のガイドロ
ール１６で挾む場合の位置を示すもので、その回動のス
トロークはレベラー３への挿入レベルと同位置まで行な
われるようになっている。
Ｃ2 からスレッドされたストリップＳを抑えて、とく
に尾端のはね上がりを防止するためのガイドロール１
５、１６がフレーム８の上下位置に設けられている。こ
のガイドロール１５、１６は昇降油圧装置１７，１８に
よって回動し、ガイドロール１５、１６で尾端を挾んで
押さえ込む。仮想線で示す上側のガイドロール１５は下
解きのストリップＳの尾端を下側のガイドロール１６で
挾む場合の位置を示し、仮想線で示す下側のガイドロー
ル１６は上解きのストリップＳの尾端を上側のガイドロ
ール１６で挾む場合の位置を示すもので、その回動のス
トロークはレベラー３への挿入レベルと同位置まで行な
われるようになっている。
【００２１】この装置において、コイルカー１上のコイ
ルＣ1 の開口位置にコイルオープナー４の回動可能で
かつ伸縮自在のチゼル７の先端を移動させ、抑えロール
１１，１２で先端口開け部を押さえながらコイルを回転
させると、ストリップＳの先端は、開口され、上解きの
場合にはチゼル７の上を、また、下解きの場合にはチゼ
ル７の下を移動して先端開口処理され、コイルＣ 1 の
開口位置の上下の如何に拘わらずコイル先端開口処理を
スムーズに短時間で行った後、先端開口処理したコイル
Ｃ1 を、コイルカー１とコイルオープナー４を同調移
動させながら、アンコイラー６に挿入する。その際、コ
イルオープナー４の上下の抑えロール１１（又は１２）
が抑えロール用油圧機構１３（又は１４）でコイルＣ 1
へ移動してコイルＣ 1 をコイルカー１との間で挾んで
いるので、コイルカー１上のコイルＣ2 が上開きと下
開きのいずれの姿勢であっても、剛性のあるコイルが巻
き解けないように保持できる。アンコイラー６にコイル
Ｃ2 を挿入した後は、レベラー３の前のサイドガイド
１９によってストリップ先端のセンタリングを行い、直
ちに巻きほどきを開始する。その後、先端がレベラー３
に噛み込まれた状態でラインの通板が開始される。
ルＣ1 の開口位置にコイルオープナー４の回動可能で
かつ伸縮自在のチゼル７の先端を移動させ、抑えロール
１１，１２で先端口開け部を押さえながらコイルを回転
させると、ストリップＳの先端は、開口され、上解きの
場合にはチゼル７の上を、また、下解きの場合にはチゼ
ル７の下を移動して先端開口処理され、コイルＣ 1 の
開口位置の上下の如何に拘わらずコイル先端開口処理を
スムーズに短時間で行った後、先端開口処理したコイル
Ｃ1 を、コイルカー１とコイルオープナー４を同調移
動させながら、アンコイラー６に挿入する。その際、コ
イルオープナー４の上下の抑えロール１１（又は１２）
が抑えロール用油圧機構１３（又は１４）でコイルＣ 1
へ移動してコイルＣ 1 をコイルカー１との間で挾んで
いるので、コイルカー１上のコイルＣ2 が上開きと下
開きのいずれの姿勢であっても、剛性のあるコイルが巻
き解けないように保持できる。アンコイラー６にコイル
Ｃ2 を挿入した後は、レベラー３の前のサイドガイド
１９によってストリップ先端のセンタリングを行い、直
ちに巻きほどきを開始する。その後、先端がレベラー３
に噛み込まれた状態でラインの通板が開始される。
【００２２】今度は次のコイルＣ1 の開口準備作業のた
めに、コイルカー１とフレーム８が主ラインの外側に移
動する準備に入る。
めに、コイルカー１とフレーム８が主ラインの外側に移
動する準備に入る。
【００２３】まず、図３に示す油圧シリンダー２１，２
３とその油圧シリンダー２１，２３の作動によってコイ
ルオープナー４のチゼル７の取付け箇所９を、上下２つ
割りの上半割軸受２０と下半割軸受２３を選択昇降させ
て、取付け箇所９と上半割軸受２０又は下半割軸受２３
との間にストリップが通る隙間を形成し、通板中のコイ
ルＣ2 のストリップとコイルオープナー４が移動中に
干渉しないようにし、例えば、コイルＣ2 がアンコイ
ラー６に上巻き状態でレベラー３に挿入されている場合
は、上半割軸受２０を油圧シリンダー２１で上部に上げ
て、取付け箇所９の上部にストリップが通る隙間を形成
することにより、通板中の上巻きのコイルＣ2 のスト
リップを横切れる状態にして、フレーム８を主ラインの
外側方向に移動することが可能になる。
３とその油圧シリンダー２１，２３の作動によってコイ
ルオープナー４のチゼル７の取付け箇所９を、上下２つ
割りの上半割軸受２０と下半割軸受２３を選択昇降させ
て、取付け箇所９と上半割軸受２０又は下半割軸受２３
との間にストリップが通る隙間を形成し、通板中のコイ
ルＣ2 のストリップとコイルオープナー４が移動中に
干渉しないようにし、例えば、コイルＣ2 がアンコイ
ラー６に上巻き状態でレベラー３に挿入されている場合
は、上半割軸受２０を油圧シリンダー２１で上部に上げ
て、取付け箇所９の上部にストリップが通る隙間を形成
することにより、通板中の上巻きのコイルＣ2 のスト
リップを横切れる状態にして、フレーム８を主ラインの
外側方向に移動することが可能になる。
【００２４】また、通板中のコイルＣ2 がアンコイラ
ー６に下巻き状態でレベラー３に挿入されている場合
は、下半割軸受２２を油圧シリンダー２３で下部に下げ
て、通板中の下巻きコイルＣ2 のストリップを横切れ
る状態にして、フレーム８を主ラインの外側方向に移動
することで可能となる。
ー６に下巻き状態でレベラー３に挿入されている場合
は、下半割軸受２２を油圧シリンダー２３で下部に下げ
て、通板中の下巻きコイルＣ2 のストリップを横切れ
る状態にして、フレーム８を主ラインの外側方向に移動
することで可能となる。
【００２５】そして、ストリップが上巻き，下巻きのど
のような状態で通板されても、コイルオープナー４は主
ライン外において次のコイルＣ1 の開口処理のための態
勢をとることになる。
のような状態で通板されても、コイルオープナー４は主
ライン外において次のコイルＣ1 の開口処理のための態
勢をとることになる。
【００２６】
【発明の効果】本発明によって以下の効果を奏する。
【００２７】（１）比較的板厚の厚いストリップの処理
において、コイルが開くことがないようにコイルオープ
ナーチゼルと押えロールで先端口開け部を押さえなが
ら、アンコイラーに向かってコイルオープナーとコイル
カーが同調して移動するため、コイルの巻きほどけが防
止でき、また、他の機器との接触がないためコイルに疵
が入らない。
において、コイルが開くことがないようにコイルオープ
ナーチゼルと押えロールで先端口開け部を押さえなが
ら、アンコイラーに向かってコイルオープナーとコイル
カーが同調して移動するため、コイルの巻きほどけが防
止でき、また、他の機器との接触がないためコイルに疵
が入らない。
【００２８】（２）主ラインへの通板中でも、主ライン
外においてスムーズに次のコイルの先端処理を行うこと
ができる。
外においてスムーズに次のコイルの先端処理を行うこと
ができる。
【００２９】（３）コイル尾端尻抜けのとき、ガイドロ
ールが尾端を押え込んで通板するので、レベラー等の機
械損傷を防止できる。また、尾端がレベラー等と衝突す
ることがなく衝突音が発生せず、作業者に対する労働環
境が大幅に改善される。
ールが尾端を押え込んで通板するので、レベラー等の機
械損傷を防止できる。また、尾端がレベラー等と衝突す
ることがなく衝突音が発生せず、作業者に対する労働環
境が大幅に改善される。
【００３０】（４）主ライン外でコイルの先端開口処理
を行うため、コイル溶接時間が大幅に短縮される。
を行うため、コイル溶接時間が大幅に短縮される。
【図１】 本発明実施例装置の全体構造を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】 図１の装置におけるコイルオープナーの詳細
構造を示す。
構造を示す。
【図３】 図１の装置におけるガイド装置の詳細構造を
示す。
示す。
１ コイルカー ２ コイルカー
のレール ３ レベラー ４ コイルオー
プナー ５ ガイド装置 ６ アンコイラ
ー ７ チゼル ８ フレーム ９ 取付け箇所 １０ チゼル用
油圧機構 １１，１２ 抑えロール １３，１４ 抑
えロール用油圧機構 １５，１６ ガイドロール １７，１８ ガイドロール用昇降油圧装置 １９ サイドガイド ２０ 上半割軸
受 ２１ 油圧シリンダー ２２ 下半割軸
受 ２３ 油圧シリンダー
のレール ３ レベラー ４ コイルオー
プナー ５ ガイド装置 ６ アンコイラ
ー ７ チゼル ８ フレーム ９ 取付け箇所 １０ チゼル用
油圧機構 １１，１２ 抑えロール １３，１４ 抑
えロール用油圧機構 １５，１６ ガイドロール １７，１８ ガイドロール用昇降油圧装置 １９ サイドガイド ２０ 上半割軸
受 ２１ 油圧シリンダー ２２ 下半割軸
受 ２３ 油圧シリンダー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭59−194315（ＪＰ，Ｕ) 特公 平１−9890（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】 主ライン外でコイルの先端開口処理を行
い、先端開口処理したコイルを載置してアンコイラー側
に移動するコイルカーと同調して同方向に移動するコイ
ルオープナーとを有するストリップ搬送装置であって、前記コイルカーと同調してアンコイラー側に移動可能な
フレームに、先端処理が上解きか下解きかによって選択
的に昇降する一対の上下抑えロールと、該上下抑えロー
ルの中間部に回動自在かつ伸縮自在のチゼルを配設して
前記コイルオープナーを構成すると共に、前記フレーム
にあって、前記コイルオープナー部分と隣接しかつアン
コイラーを抜け出る前のストリップ尾端を一対のガイド
ロールにより挾み込むようにしたガイド装置を配設した
ことを特徴とする ストリップ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4071302A JP2655780B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | ストリップ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4071302A JP2655780B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | ストリップ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05277557A JPH05277557A (ja) | 1993-10-26 |
| JP2655780B2 true JP2655780B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=13456720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4071302A Expired - Fee Related JP2655780B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | ストリップ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655780B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106787524A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 浙江省三门县王中王电机焊接设备有限公司 | 飞叉式绕线机 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59194315U (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-24 | 新日本製鐵株式会社 | コイルオ−プナ− |
| JPS649890A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-13 | Nec Corp | Apparatus for molecular beam growth |
-
1992
- 1992-03-27 JP JP4071302A patent/JP2655780B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05277557A (ja) | 1993-10-26 |
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