JP2654762B2 - 熱硬化性樹脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法及び圧着機 - Google Patents
熱硬化性樹脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法及び圧着機Info
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- JP2654762B2 JP2654762B2 JP6288332A JP28833294A JP2654762B2 JP 2654762 B2 JP2654762 B2 JP 2654762B2 JP 6288332 A JP6288332 A JP 6288332A JP 28833294 A JP28833294 A JP 28833294A JP 2654762 B2 JP2654762 B2 JP 2654762B2
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/303—Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
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- H—ELECTRICITY
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱硬化性樹脂を含んだ
異方性導電剤により、複数の回路基板を電気的に導通さ
せ、接着する技術を用いた回路加工工程における異方性
導電膜の圧着方法及び圧着機に関する。
異方性導電剤により、複数の回路基板を電気的に導通さ
せ、接着する技術を用いた回路加工工程における異方性
導電膜の圧着方法及び圧着機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、複数の回路基板の接続すべき回路
間に異方性導電剤を介在させ、加熱押圧工具を用いて前
記回路基板の接続部を加熱押圧して前記各回路基板の回
路間が電気的に導通され、接着された熱圧着部分をもつ
複合回路基板の加工においては、この接続回路の導通・
非導通、あるいは回路抵抗の大小によって品質を判断す
るため、熱圧着工程終了後に前記接続部を含む回路の抵
抗値を測定していた。
間に異方性導電剤を介在させ、加熱押圧工具を用いて前
記回路基板の接続部を加熱押圧して前記各回路基板の回
路間が電気的に導通され、接着された熱圧着部分をもつ
複合回路基板の加工においては、この接続回路の導通・
非導通、あるいは回路抵抗の大小によって品質を判断す
るため、熱圧着工程終了後に前記接続部を含む回路の抵
抗値を測定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような回
路接続後の接続抵抗値測定による場合、以下のような問
題があった。第１に、複合回路基板の回路接続品質を、
例えば接続後の回路抵抗値の大小をもって判断した場
合、この回路抵抗値には回路全体を構成する配線自身の
抵抗と、接続部の接続抵抗が同時に含まれるため、回路
抵抗の大小が、配線自身の抵抗なのか接続抵抗なのかが
判らない。
路接続後の接続抵抗値測定による場合、以下のような問
題があった。第１に、複合回路基板の回路接続品質を、
例えば接続後の回路抵抗値の大小をもって判断した場
合、この回路抵抗値には回路全体を構成する配線自身の
抵抗と、接続部の接続抵抗が同時に含まれるため、回路
抵抗の大小が、配線自身の抵抗なのか接続抵抗なのかが
判らない。
【０００４】第２に、前記接続後の接続抵抗は一般に微
小抵抗であり、絶対的な大小を判断するには高精度な測
定器を準備しなければならない。第３に、接続後、同一
の接続抵抗をもった回路でも、接続部の耐環境信頼性が
大きく異なることがあり、信頼性の低い接続と信頼性の
高い接続との差が極端でないと接続後の接続抵抗値から
は信頼性を予測しにくく、またロット毎に信頼性試験を
行っていたのでは出荷される製品は高価になり、したが
って、全加工品を信頼性試験にかけることなどはできな
い。
小抵抗であり、絶対的な大小を判断するには高精度な測
定器を準備しなければならない。第３に、接続後、同一
の接続抵抗をもった回路でも、接続部の耐環境信頼性が
大きく異なることがあり、信頼性の低い接続と信頼性の
高い接続との差が極端でないと接続後の接続抵抗値から
は信頼性を予測しにくく、またロット毎に信頼性試験を
行っていたのでは出荷される製品は高価になり、したが
って、全加工品を信頼性試験にかけることなどはできな
い。
【０００５】以上のように、加工された回路の検査や異
常部の検出における従来の方法は、これらを検出するた
めの検出装置が高価になるうえに十分な情報が獲られに
くいといった問題を有し、近時、加工品の品質情報を、
単純で高精度に取得する方法や装置が望まれていた。
常部の検出における従来の方法は、これらを検出するた
めの検出装置が高価になるうえに十分な情報が獲られに
くいといった問題を有し、近時、加工品の品質情報を、
単純で高精度に取得する方法や装置が望まれていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による回路抵抗検
出手段は、接続中と接続後の回路抵抗値を検出すること
によって、上記従来の課題を解決するものである。本発
明の検出手段をより詳細に述べると、基板間の電気的導
通と接着を同時に行う回路基板の熱圧着工程中に、少な
くとも接続部の抵抗値を含んだ回路抵抗値を測定し、熱
圧着終了後である押圧解放後に同一測定点で抵抗値を測
定する。このようにして得られた少なくとも２つの時点
での回路抵抗値の変化を、圧着特性として検出する構成
としている。
出手段は、接続中と接続後の回路抵抗値を検出すること
によって、上記従来の課題を解決するものである。本発
明の検出手段をより詳細に述べると、基板間の電気的導
通と接着を同時に行う回路基板の熱圧着工程中に、少な
くとも接続部の抵抗値を含んだ回路抵抗値を測定し、熱
圧着終了後である押圧解放後に同一測定点で抵抗値を測
定する。このようにして得られた少なくとも２つの時点
での回路抵抗値の変化を、圧着特性として検出する構成
としている。
【０００７】
【作用】異方性導電剤による回路の圧着時には、押圧工
具による圧力でこの異方性導電剤に含まれる導電粒子
と、接続する回路パターンとが密着して電気的な導通が
図られ、さらに前記異方性導電剤に含まれる熱硬化樹脂
で回路基板間の接着が図られるが、圧着接合のための圧
力から開放されると前記異方性導電剤の導電粒子と回路
パターンとの間の密着性が変化するなどの現象が起こり
得る。
具による圧力でこの異方性導電剤に含まれる導電粒子
と、接続する回路パターンとが密着して電気的な導通が
図られ、さらに前記異方性導電剤に含まれる熱硬化樹脂
で回路基板間の接着が図られるが、圧着接合のための圧
力から開放されると前記異方性導電剤の導電粒子と回路
パターンとの間の密着性が変化するなどの現象が起こり
得る。
【０００８】本発明によれば、この現象に伴う接続抵抗
値の変化を検出することができ、しかも短時間内の抵抗
値変化という相対値検出で、接続部内部の構造を察する
ことができる。これに関し、発明者らは、圧着中の接続
抵抗値の変化量が、少なくとも接続部の信頼性を反映す
る相関を確認している。
値の変化を検出することができ、しかも短時間内の抵抗
値変化という相対値検出で、接続部内部の構造を察する
ことができる。これに関し、発明者らは、圧着中の接続
抵抗値の変化量が、少なくとも接続部の信頼性を反映す
る相関を確認している。
【０００９】従って、上記手段により、簡単な抵抗値の
相対値検出によって、かつ加工品ひとつひとつについて
非破壊で特性検出ができ、その結果から接続回路部の信
頼性をすぐに推測し、判定できる等の効果がある。
相対値検出によって、かつ加工品ひとつひとつについて
非破壊で特性検出ができ、その結果から接続回路部の信
頼性をすぐに推測し、判定できる等の効果がある。
【００１０】
【実施例】以下、図面に基づいて、本発明の実施例を詳
細に説明する。図１は、本発明に係わる熱圧着装置であ
って、加熱押圧工具５と圧着受け台６との間に第１の回
路基板１１と、熱硬化型接着剤および導電用金属粒子か
らなる異方性導電剤１２と、ＦＰＣなどの第２の回路基
板１３を重ね置き、前記第１の回路基板１１と第２の回
路基板１３の接続すべき回路の部分を加熱押圧する熱圧
着装置を模式的に表したシステムブロック図である。
細に説明する。図１は、本発明に係わる熱圧着装置であ
って、加熱押圧工具５と圧着受け台６との間に第１の回
路基板１１と、熱硬化型接着剤および導電用金属粒子か
らなる異方性導電剤１２と、ＦＰＣなどの第２の回路基
板１３を重ね置き、前記第１の回路基板１１と第２の回
路基板１３の接続すべき回路の部分を加熱押圧する熱圧
着装置を模式的に表したシステムブロック図である。
【００１１】図２は、図１に示した熱圧着装置で熱圧着
接続される回路と、該回路の抵抗値検出を行う抵抗測定
器を模式的に表した説明図である。図２において、２本
の測定端子８は第２の回路基板１３の回路パターン１６
に接触し、これにより、電気的に接続すべき回路接続部
分１４を含んだ回路の抵抗値が測定される。また、図１
では、検出された前記抵抗値を演算処理した結果に基づ
いて良否判定し、ブザー等の警報音を発したり、装置を
停止するなどの判定ブロック１０が設けられている。
接続される回路と、該回路の抵抗値検出を行う抵抗測定
器を模式的に表した説明図である。図２において、２本
の測定端子８は第２の回路基板１３の回路パターン１６
に接触し、これにより、電気的に接続すべき回路接続部
分１４を含んだ回路の抵抗値が測定される。また、図１
では、検出された前記抵抗値を演算処理した結果に基づ
いて良否判定し、ブザー等の警報音を発したり、装置を
停止するなどの判定ブロック１０が設けられている。
【００１２】上記構成を元にして、前記回路抵抗値検出
に係わる一連の動作を以下に説明する。まず、加熱押圧
工具５により第１の回路基板１１と第２の回路基板１３
に挟まれた異方性導電剤１２が加熱押圧されると、該異
方性導電剤１２を構成する個々の金属粒子は、圧力によ
り第１の回路基板１１と第２の回路基板１３の回路パタ
ーンを橋渡しするように両回路パターンと電気的に接触
する。同時に異方性導電剤１２を構成する熱硬化接着剤
は熱により硬化がはじまる。
に係わる一連の動作を以下に説明する。まず、加熱押圧
工具５により第１の回路基板１１と第２の回路基板１３
に挟まれた異方性導電剤１２が加熱押圧されると、該異
方性導電剤１２を構成する個々の金属粒子は、圧力によ
り第１の回路基板１１と第２の回路基板１３の回路パタ
ーンを橋渡しするように両回路パターンと電気的に接触
する。同時に異方性導電剤１２を構成する熱硬化接着剤
は熱により硬化がはじまる。
【００１３】上記加熱押圧が開始してから終了するまで
の間に、回路基板間の接続抵抗値を図１に示した測定端
子８を用いて抵抗測定器９が測定する。
の間に、回路基板間の接続抵抗値を図１に示した測定端
子８を用いて抵抗測定器９が測定する。
【００１４】この後、異方性導電剤１２に含まれる熱硬
化型接着剤の硬化が進み、あらかじめ決定した十分な硬
化が得られる時間を経過した後、前記加熱押圧工具５の
圧力を開放し、解放され熱圧着工程が終了となる。そし
て、第１の回路基板１１と第２の回路基板１３に加わっ
ていた圧力が解かれる。しかしながら、この時点、すな
わち熱圧着工程終了後にも前記接続部の抵抗値測定を行
う。このように、抵抗値測定は、熱圧着中と熱圧着後に
行われる。少なくとも熱圧着中に１回と熱圧着直後に１
回測定すればよい。あるいは、熱圧着中から熱圧着終了
後の経過を継続して測定してもかまわない。
化型接着剤の硬化が進み、あらかじめ決定した十分な硬
化が得られる時間を経過した後、前記加熱押圧工具５の
圧力を開放し、解放され熱圧着工程が終了となる。そし
て、第１の回路基板１１と第２の回路基板１３に加わっ
ていた圧力が解かれる。しかしながら、この時点、すな
わち熱圧着工程終了後にも前記接続部の抵抗値測定を行
う。このように、抵抗値測定は、熱圧着中と熱圧着後に
行われる。少なくとも熱圧着中に１回と熱圧着直後に１
回測定すればよい。あるいは、熱圧着中から熱圧着終了
後の経過を継続して測定してもかまわない。
【００１５】図３、図４は、この様な過程で測定された
経過時間に対する回路の抵抗値の変化の例をグラフで示
した説明図である。これらの図面において、横軸は加熱
押圧の経過時間であり１区間６秒、縦軸は抵抗値で１区
間０．１オームである。また前記加熱押圧工具の圧力開
放時刻をＫで示している。
経過時間に対する回路の抵抗値の変化の例をグラフで示
した説明図である。これらの図面において、横軸は加熱
押圧の経過時間であり１区間６秒、縦軸は抵抗値で１区
間０．１オームである。また前記加熱押圧工具の圧力開
放時刻をＫで示している。
【００１６】図３、図４では圧力開放時刻Ｋの前後約３
０秒間に渡って抵抗値を測定している。図３において、
回路抵抗値はまず圧力開放時刻Ｋに向かって緩やかに上
昇し、圧力開放時刻Ｋを境に緩やかに降下している。こ
こで、圧力開放時刻Ｋ前後の抵抗値のズレはほとんどな
い。
０秒間に渡って抵抗値を測定している。図３において、
回路抵抗値はまず圧力開放時刻Ｋに向かって緩やかに上
昇し、圧力開放時刻Ｋを境に緩やかに降下している。こ
こで、圧力開放時刻Ｋ前後の抵抗値のズレはほとんどな
い。
【００１７】一方、図４においては、圧力開放時刻Ｋま
での回路抵抗値についての変化の傾向は図３の場合とほ
とんど同一だが、圧力開放時刻Ｋでの変化量と圧力開放
時刻Ｋ以降の変化の傾向が、図３の場合に比べ大きく異
なる。なお、これらの図面で注目すべきことは、抵抗値
は絶対値ではなく、ひとつの回路の抵抗値の時間変化す
なわち相対値であることである。なぜならば、この抵抗
値から得たい情報は接続すべき部分に関する情報であっ
て、回路パターンの自身の抵抗値ばらつきなどが反映す
る絶対値そのものからは情報が得にくいからである。な
お、絶対値であっても異常に大きな値が検出されたな
ら、その加工品がパターンずれなど異常品であることは
言うを待たない。
での回路抵抗値についての変化の傾向は図３の場合とほ
とんど同一だが、圧力開放時刻Ｋでの変化量と圧力開放
時刻Ｋ以降の変化の傾向が、図３の場合に比べ大きく異
なる。なお、これらの図面で注目すべきことは、抵抗値
は絶対値ではなく、ひとつの回路の抵抗値の時間変化す
なわち相対値であることである。なぜならば、この抵抗
値から得たい情報は接続すべき部分に関する情報であっ
て、回路パターンの自身の抵抗値ばらつきなどが反映す
る絶対値そのものからは情報が得にくいからである。な
お、絶対値であっても異常に大きな値が検出されたな
ら、その加工品がパターンずれなど異常品であることは
言うを待たない。
【００１８】発明者らは、図３、図４に示したような圧
力開放時刻Ｋでの抵抗値の変化の様相が異なって得られ
た試料の信頼性試験から、図４のような圧力開放時刻Ｋ
で抵抗値が跳ね上がったものは信頼性に乏しいことを見
いだした。この現象の相違は異方性導電剤１２に含まれ
る熱硬化接着剤の硬化状態の相違によるものであると考
えられる。すなわち、熱硬化接着剤の硬化が不十分の時
は、圧力開放の瞬間に第１の回路基板１１と第２の回路
基板１３とのギャップがわずかに広がり、回路を電気的
に導通すべき役割の金属粒子と回路パターンとの接触性
が緩んでしまい、一方硬化が十分であれば圧力開放にも
拘らず接着剤による接着力により前記接触性が保たれる
ものと考えられる。
力開放時刻Ｋでの抵抗値の変化の様相が異なって得られ
た試料の信頼性試験から、図４のような圧力開放時刻Ｋ
で抵抗値が跳ね上がったものは信頼性に乏しいことを見
いだした。この現象の相違は異方性導電剤１２に含まれ
る熱硬化接着剤の硬化状態の相違によるものであると考
えられる。すなわち、熱硬化接着剤の硬化が不十分の時
は、圧力開放の瞬間に第１の回路基板１１と第２の回路
基板１３とのギャップがわずかに広がり、回路を電気的
に導通すべき役割の金属粒子と回路パターンとの接触性
が緩んでしまい、一方硬化が十分であれば圧力開放にも
拘らず接着剤による接着力により前記接触性が保たれる
ものと考えられる。
【００１９】以上の点から、発明者らは加工時の抵抗値
と信頼性との相関関係を把握することにより、接続すべ
き部分を含む回路の加工時の抵抗値が加工された品物の
品質代用特性として利用できることが判り、この結果か
ら、本発明はこの相関関係を利用しようとするものであ
る。
と信頼性との相関関係を把握することにより、接続すべ
き部分を含む回路の加工時の抵抗値が加工された品物の
品質代用特性として利用できることが判り、この結果か
ら、本発明はこの相関関係を利用しようとするものであ
る。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、複数の回路基板の接続すべき
回路間に異方性導電剤を塗布し、押圧工具により前記各
回路基板の接続すべき部分を同時に押圧して前記回路間
の電気的導通と回路基板の接着を行う回路の圧着工程
で、前記接続すべき部分の少なくとも一箇所を含み、押
圧時から押圧開放時を含む一定期間の回路抵抗を測定
し、この期間内の少なくとも２つの時点での回路抵抗値
の変化を圧着特性として検出する検出方法、およびこの
回路抵抗値を測定する抵抗値測定手段を装置内に具備し
たことを特徴としており、以下のような効果を有する。
回路間に異方性導電剤を塗布し、押圧工具により前記各
回路基板の接続すべき部分を同時に押圧して前記回路間
の電気的導通と回路基板の接着を行う回路の圧着工程
で、前記接続すべき部分の少なくとも一箇所を含み、押
圧時から押圧開放時を含む一定期間の回路抵抗を測定
し、この期間内の少なくとも２つの時点での回路抵抗値
の変化を圧着特性として検出する検出方法、およびこの
回路抵抗値を測定する抵抗値測定手段を装置内に具備し
たことを特徴としており、以下のような効果を有する。
【００２１】圧着経過時間内の前記回路抵抗値の変化量
から、異方性導電剤の接着硬化状態を知る情報が得られ
るため、加工品の品質および信頼性を加工時点で確認す
ることができる。これにより、従来では時間のかかって
いた圧着加工装置の圧力、温度、押圧時間などの条件調
整や管理が速やかにできる。
から、異方性導電剤の接着硬化状態を知る情報が得られ
るため、加工品の品質および信頼性を加工時点で確認す
ることができる。これにより、従来では時間のかかって
いた圧着加工装置の圧力、温度、押圧時間などの条件調
整や管理が速やかにできる。
【００２２】また、非破壊検査であるため、全ての加工
品の品質、信頼性についての良否判断ができ、従来発見
しにくかった信頼性に瑕疵のある加工品を工程内でふる
い落とすことができる。さらに、一定時間内の抵抗値の
変化量というように相対値な意味を持たせているため、
従来のように絶対値精度の高い微小抵抗測定器を必要と
せず、検査測定系が安価に済む、等々その効果は極めて
大きい。
品の品質、信頼性についての良否判断ができ、従来発見
しにくかった信頼性に瑕疵のある加工品を工程内でふる
い落とすことができる。さらに、一定時間内の抵抗値の
変化量というように相対値な意味を持たせているため、
従来のように絶対値精度の高い微小抵抗測定器を必要と
せず、検査測定系が安価に済む、等々その効果は極めて
大きい。
【図１】本発明に係わる圧着機のシステムブロック図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係わる抵抗値検出装置部の説明図であ
る。
る。
【図３】本発明による実施例の接続抵抗値の測定結果の
グラフを示す説明図である。
グラフを示す説明図である。
【図４】本発明による実施例の接続抵抗値の測定結果の
グラフを示す説明図である。
グラフを示す説明図である。
１ 外部入力装置 ２ 圧着条件コントロールユニット ３ プレスシリンダ ４ ヒータ ５ 加熱押圧工具 ６ 圧着受け台 ７ 測定端子移動装置 ８ 測定端子 ９ 抵抗測定器 １０ 判定ブロック １１ 第１の回路基板 １２ 異方性導電剤 １３ 第２の回路基板 １４ 接続すべき回路部分 １５ 第１の回路基板上の回路パターン １６ 第２の回路基板上の回路パターン
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも２つの回路基板の各々の電極
を互いに対向させてなる接続部の間隙に熱硬化性樹脂を
含んだ異方性導電剤を配する工程と、 前記接続部に加熱と加圧を同時に行う熱圧着工程と、を
含む熱硬化性樹脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法にお
いて、 前記異方性導電剤の熱硬化性樹脂の硬化状態を判定する
ために、熱圧着中の接続部の抵抗値と熱圧着終了後の接
続部の抵抗値とを測定することを特徴とする熱硬化性樹
脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法。 - 【請求項２】 少なくとも２つの回路基板の各々の電極
を互いに対向させてなる接続部に設けられた熱硬化性樹
脂を含んだ異方性導電剤を熱圧着することにより回路基
板間を接続する圧着機であって、 前記熱圧着中の接続部の抵抗値と前記熱圧着終了後の接
続部の抵抗値とを測定する抵抗値測定手段と、 前記抵抗値手段が測定した熱圧着中の接続部の抵抗値と
熱圧着終了後の接続部の抵抗値との変化量に基づいて、
前記異方性導電剤の熱硬化性樹脂の硬化状態を判定する
ための判定手段とを備えることを特徴とする熱硬化性樹
脂を含んだ異方性導電剤の圧着機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6288332A JP2654762B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 熱硬化性樹脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法及び圧着機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6288332A JP2654762B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 熱硬化性樹脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法及び圧着機 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4128840A Division JP2691201B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-05-21 | 圧着機及び圧着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07191070A JPH07191070A (ja) | 1995-07-28 |
| JP2654762B2 true JP2654762B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=17728822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6288332A Expired - Lifetime JP2654762B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 熱硬化性樹脂を含んだ異方性導電剤の圧着方法及び圧着機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654762B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2793352B1 (fr) * | 1999-05-07 | 2006-09-22 | Sagem | Composant electrique a nappe souple de conducteurs de raccordement |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0294493A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Hitachi Ltd | 異方性導電膜熱圧着装置 |
| JP2691201B2 (ja) * | 1992-04-27 | 1997-12-17 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 圧着機及び圧着方法 |
-
1994
- 1994-11-22 JP JP6288332A patent/JP2654762B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07191070A (ja) | 1995-07-28 |
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