JPH0294493A - 異方性導電膜熱圧着装置 - Google Patents

異方性導電膜熱圧着装置

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Publication number
JPH0294493A
JPH0294493A JP24407988A JP24407988A JPH0294493A JP H0294493 A JPH0294493 A JP H0294493A JP 24407988 A JP24407988 A JP 24407988A JP 24407988 A JP24407988 A JP 24407988A JP H0294493 A JPH0294493 A JP H0294493A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermocompression bonding
electric motor
conductive film
anisotropic conductive
connection
Prior art date
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Pending
Application number
JP24407988A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Yoshida
亨 吉田
Masaaki Muto
武藤 雅彰
Junichi Saeki
準一 佐伯
Koji Serizawa
弘二 芹沢
Masaru Sakaguchi
勝 坂口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH0294493A publication Critical patent/JPH0294493A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野) 本発明には異方性導電膜によって回路接続を行うための
熱圧着装置に係り、特に接続抵抗の値及びそのばらつき
を小ざくするのに好適な熱圧着装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の異方性導電膜熱圧着装置は、特開昭61−369
94号公報に記載のように、2枚の基板の電極の間に熱
可塑性接着剤を有する異方性導電膜を介在させ、加圧お
よび加熱によって前記2枚の基板電極を接続するもので
あった。
(発明が解決しようとする課題) 上記従来技術は、異方性導電膜の種類によって指定され
た圧力及び温度条件によって熱圧着を行うものであるが
、接続部の接続抵抗がどの程度の値になっているのかを
熱圧着工程中に測定するものではなかった。そのため、
異方性導電膜の材料物性値、例えば弾性率の変動や、熱
圧着時の圧力、温度の変動等により、接続抵抗値が所定
の値以上となる不良が発生し易いという問題があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を改善して
、接続抵抗値の値及びそのばらつきを小さくするととも
に、接続不良表示を行うことかできる異方性導電膜熱圧
着装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、接続工程中に接続部の抵抗値を測定し、こ
のデータを予め設定した熱圧着ヘッド移動のシーケンス
とにより、電動機を駆動し、これに結合された熱圧着ヘ
ッドの移動を制御するとともに、接続抵抗値が所定の値
以下にならない場合にこれを不良として表示することに
より、達成される。
〔作用〕
抵抗計は熱圧着工程中の接続抵抗を測定し、測定データ
を電動機の駆動制御部へ出力する。駆動制御部は予め入
力されるシーケンスの制御条件に従い、熱圧着ヘッドの
移動距離計、タコメータ及び抵抗計からのデータにより
電動機に流れる電流を制御する。また上記制御条件内で
接続抵抗が所定の値以下にならないときは制御結果表示
部に不良の旨が出力される。これによって接続抵抗値は
所定の値以下になるように制御されるか、制御不能の時
は速やかに異常を知ることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施1例を第1図及び第2図により説
明する。第1図は、本発明の一実施例に係る異方性導電
膜熱圧着装置を示す概略構成図、第2図はこの第1図に
係る異方性導電膜熱圧着装置の動作プロファイル及び接
続抵抗値を示す図である。
この熱圧着装置の概要を第1図を用いて説明する。熱圧
着ヘッド1は、電動機2の回転をホールスクリュージヤ
ツキ3によって減速・直線運動変換を行うことにより、
上下方向に移動されられる。
電動機2の回転数はタコジェネレータ4によって測定さ
れる。熱圧着ヘッド1の移動距離は、タコジェネレータ
4の回転数データにより、移動距離計5によって検出さ
れる。移動距離計5はパルスジェネレータであり、移動
距離を電気パルスの数として出力する。抵抗計6は、熱
圧着ヘッド1の先端に取りつけられた圧着治具7によっ
て、異方性導電膜8を介在させて接続される基板A9、
基板B10の各電極(図示せず)間の抵抗値を測定する
。圧着治具7にはヒーターが埋込まれ温度制御か行われ
る(図示せず)。電動機2の駆動制御部11はマイコン
ユニット12と電動機電流制御装置13とからなる。マ
イコンユニット12には予め、接続抵抗、熱圧着ヘッド
移動距離、電動機回転数及び電動機電流に関するシーケ
ンス制御データが設定されており、移動距離計5及び抵
抗計6からのデータを取り込んで、電動機電流制御装置
13に電動機回転数または電動機電流の指示を与える。
電動機電流制御装置13は、タコジェネレータ4からの
データを取り込むとともに、マイコンユニツH2の指示
に従って電動tJ 2に流す電流を制御する。
マイコンユニット12はざらに予め設定された制御条件
内で接続が行われたか否かを制御結果表示部14に表示
させる。
次に本実施例の装置による動作を第1図、第2図を用い
て説明する。まず熱圧着ヘット1は圧着治具7が基板A
9の少し上方に位置するまで、距離doだ(ブ比較的高
速で降下する。この時の回転数N1はマイコンユニット
12より電動機電流制御装置13へ指示され、電動機電
流制御装置13はタコジェネレータ4の回転数データが
N1と等しくなるように、電動la2の電流を制御する
。移動距離計5によって移動距離がdoに達した(時刻
tl)ことがマイコンユニット12に知らされると、マ
イコンユニット12は電動機電流の上限値をimaxl
とし、回転数をN2  (Nl >N2 )とするよう
に電動機電流制御装置13に指示を与える。熱圧着治具
7が基板A9に接触し始めると電動機2の負荷が増大し
、電流機電流11は増加し、imaxlとなる。これと
ともに熱圧着ヘッド1の降下に対して基板A9、基板3
10側から反力が大きくなり、ついには電動機3は回転
しなくなり、imaxlで決まる圧力が異方性導電膜8
に加わる。次に予め設定された時刻t2において、接続
部の抵抗が抵抗計6によって測定され、マイコンユニッ
ト12は、この値がR1のように予め設定された値Rm
axより小さ【ノれば、時刻t2より予め設定した時間
Δtだけimaxlを維持した後、熱圧着ヘッド1を時
刻t4において上昇させて接続完了とする。
次に時刻t2における接続抵抗がR2のようにRmax
より大きい時は、マイコンユニツ1−12は電動機電流
をimax2を上限として、12のJ:うに−定時間当
り、一定値だけ、接続抵抗がRmaX以下になるまで上
昇させるように電動機電流制御装置13に指示する。こ
の過程で異方性導電膜8に加わる圧力は上昇し、熱圧着
ヘッド1はR2のようにわずかに降下する。接続抵抗値
がRmaxより小さくなった時刻t3で電動機電流は上
昇を停止し、t3での電流を13からΔtだけ(時刻↑
5まで)維持した後、接続完了とする。また電動機電流
がimax2に到達しても、接続抵抗がRmaxより大
きい場合は、その時点でマイコンユニット12は制御結
果表示部14に異常表示を行うように指示を与え、熱圧
着ヘッド1を上昇させる。
本実施例によれば、接続部の抵抗値が所定の値以下とな
るとともに、何らかの異常で抵抗値が高い時は、速やか
に異常発生を知ることができる。
(発明の効果) 本発明によれば、異方性導電膜による電気回路接続部の
抵抗値を低く押え、且つ安定した信頼性の高い接続を実
現するこ、とができる。また接続すべき回路のパターン
ずれ等の異常が発生した場合、速やかにその状況を把握
できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の装置構成図、第2図は本装
置の動作説明図である。 1・・・熱圧着ヘッド、2・・・電動機、3・・・ボー
ルスクリュージヤツキ、4・・・タコジェネレータ、5
・・・移動距離i1.6・・・抵抗計、7・・・熱圧着
治具、11・・・駆動制御部、12・・・マイコンユニ
ット、13・・・電動材電流制御装置、14・・・制御
結果表示部。 2面の浄書(内容1:変更なし2 第2図 手 続補正書 (方式) %式% 補正をする者 ド件との関係

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1. 異方性導電膜を用いて回路接続を行う部分に、温
    度と圧力を加えることができるような熱圧着ヘッド駆動
    回路を備えた熱圧着装置において、該熱圧着ヘッド駆動
    回路を、電動機と、該電動機の回転数を測定するタコジ
    ェネレータと、前記熱圧着ヘッドの移動距離を検出する
    ことができる移動距離計と、前記異方性導電膜によつて
    接続されるべき回路部の接続抵抗を測定する抵抗計と、
    前記タコジェネレータ、移動距離計及び抵抗計の測定結
    果と予め設定されたシーケンスとによつて前記電動機の
    駆動を制御する駆動制御部とを有する熱圧着ヘッド駆動
    回路にし、前記電動機の回転を減速し、これを直線運動
    に変換して熱圧着ヘッドへ伝達し、該熱圧着ヘッドを下
    降させることができる減速、直線運動変換機構を、前記
    電動機に接続するとともに、予め設定したシーケンス通
    りに制御することができたか否かを表示する制御結果表
    示部を有することを特徴とする異方性導電膜熱圧着装置
JP24407988A 1988-09-30 1988-09-30 異方性導電膜熱圧着装置 Pending JPH0294493A (ja)

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JP (1) JPH0294493A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07191070A (ja) * 1994-11-22 1995-07-28 Seiko Instr Inc 圧着回路の圧着特性検出方法および装置
US11728195B2 (en) 2018-09-28 2023-08-15 Rohinni, Inc. Apparatuses for executing a direct transfer of a semiconductor device die disposed on a first substrate to a second substrate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07191070A (ja) * 1994-11-22 1995-07-28 Seiko Instr Inc 圧着回路の圧着特性検出方法および装置
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