JP2648108B2 - レジスト吐出装置 - Google Patents
レジスト吐出装置Info
- Publication number
- JP2648108B2 JP2648108B2 JP6287731A JP28773194A JP2648108B2 JP 2648108 B2 JP2648108 B2 JP 2648108B2 JP 6287731 A JP6287731 A JP 6287731A JP 28773194 A JP28773194 A JP 28773194A JP 2648108 B2 JP2648108 B2 JP 2648108B2
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- Japan
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- resist
- tank
- valve
- bag
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- Expired - Lifetime
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板にレジスト
を塗布するときに半導体基板にレジスト液を滴下するレ
ジスト吐出装置に関する。
を塗布するときに半導体基板にレジスト液を滴下するレ
ジスト吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のレジスト吐出装置は、半
導体基板を高速回転するスピン装置と結合しレジスト塗
布装置として構成していた。図２は従来のレジスト吐出
装置の一例を示す図である。このレジスト吐出装置は、
図２に示すように、レジストを貯くわえるガラス製の容
器１５と、容器１５からレジストを吸込み吐出するポン
プ１４と、ポンプ１４で送出されたレジストをスピンチ
ャック１７で保持されている半導体基板であるウェーハ
１６に滴下するノズル１２とを備えていた。
導体基板を高速回転するスピン装置と結合しレジスト塗
布装置として構成していた。図２は従来のレジスト吐出
装置の一例を示す図である。このレジスト吐出装置は、
図２に示すように、レジストを貯くわえるガラス製の容
器１５と、容器１５からレジストを吸込み吐出するポン
プ１４と、ポンプ１４で送出されたレジストをスピンチ
ャック１７で保持されている半導体基板であるウェーハ
１６に滴下するノズル１２とを備えていた。
【０００３】また、ノズル１１の先端側に不用意にレジ
ストが滴下しないようにサックバック１２とポンプ１４
側に不純物を濾過するフィルタ１３が設けられている。
このレジスト吐出装置を使用して半導体基板であるウェ
ーハにレジストを塗布する場合は、まず、ベロー式のポ
ンプ１４を伸縮させ容器１５から一定量のレジストを吸
込みノズル１１管内に送り込む、そして、ノズル１１の
先端よりウェーハ１６にレジストを滴下し、スピンチャ
ック１７でウェーハ１６を高速回転させ、滴下されたレ
ジストをその遠心力で引き伸ばしウェーハ１６に一様の
レジスト膜を形成していた。
ストが滴下しないようにサックバック１２とポンプ１４
側に不純物を濾過するフィルタ１３が設けられている。
このレジスト吐出装置を使用して半導体基板であるウェ
ーハにレジストを塗布する場合は、まず、ベロー式のポ
ンプ１４を伸縮させ容器１５から一定量のレジストを吸
込みノズル１１管内に送り込む、そして、ノズル１１の
先端よりウェーハ１６にレジストを滴下し、スピンチャ
ック１７でウェーハ１６を高速回転させ、滴下されたレ
ジストをその遠心力で引き伸ばしウェーハ１６に一様の
レジスト膜を形成していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレジス
ト吐出装置では、レジスト自体をポンプ内に取り込み吐
出するといった動作をポンプの伸縮毎に繰り返されるた
め、ポンプ内壁へのレジスト残留成分が付着しそして離
脱するといったサイクルを繰返しパーティクルの温床と
なっている。その結果、発生したパーティクルがノズル
よりウェーハ面に吐出され、ウェーハのレジスト塗布面
の厚さのむらや露光して現像後の解像度のむらなど生じ
さ回路パターンの潜像に欠損やはみ出しなどを引起し品
質に重大な問題をもたらすことになる。
ト吐出装置では、レジスト自体をポンプ内に取り込み吐
出するといった動作をポンプの伸縮毎に繰り返されるた
め、ポンプ内壁へのレジスト残留成分が付着しそして離
脱するといったサイクルを繰返しパーティクルの温床と
なっている。その結果、発生したパーティクルがノズル
よりウェーハ面に吐出され、ウェーハのレジスト塗布面
の厚さのむらや露光して現像後の解像度のむらなど生じ
さ回路パターンの潜像に欠損やはみ出しなどを引起し品
質に重大な問題をもたらすことになる。
【０００５】また、このパーティクルがノズルから吐出
されないまでもパーティクルがノズルの内壁に付着しノ
ズル口を狭べ円滑に滴下できないという問題もある。
されないまでもパーティクルがノズルの内壁に付着しノ
ズル口を狭べ円滑に滴下できないという問題もある。
【０００６】従って、本発明の目的は、ノズルより吐出
されるレジストにパーティクルが混入すること無く円滑
に滴下できるレジスト吐出装置を提供することである。
されるレジストにパーティクルが混入すること無く円滑
に滴下できるレジスト吐出装置を提供することである。
【０００７】本発明の特徴は、液状のレジストが吐出す
る開口をもつ円筒状の突起部を一端に有するとともに前
記レジストが圧入充填され外皮が伸縮可能な袋状容器
と、前記突起部を嵌合し固定リングで固定し前記レジス
トが排出される穴を有する保持部が内壁から突出される
とともに前記袋状容器を浸漬する液体を貯める槽と、前
記突起部と一体構であって前記固定リングの締付けによ
り該突起部が変形し弁体が開き前記開口から前記レジス
トを排出する開閉弁と、前記槽の前記液体面と接触しな
がら一方向に寸動し前記袋状容器を一定容積だけ縮小さ
せる移動板部材と、この移動板部材を前記一方向に寸動
させる定寸送り機構と、前記穴と通じ前記槽より外方に
伸びるとともに該穴より送出される前記レジストを滴下
するノズルとを備えるレジスト吐出装置である。
る開口をもつ円筒状の突起部を一端に有するとともに前
記レジストが圧入充填され外皮が伸縮可能な袋状容器
と、前記突起部を嵌合し固定リングで固定し前記レジス
トが排出される穴を有する保持部が内壁から突出される
とともに前記袋状容器を浸漬する液体を貯める槽と、前
記突起部と一体構であって前記固定リングの締付けによ
り該突起部が変形し弁体が開き前記開口から前記レジス
トを排出する開閉弁と、前記槽の前記液体面と接触しな
がら一方向に寸動し前記袋状容器を一定容積だけ縮小さ
せる移動板部材と、この移動板部材を前記一方向に寸動
させる定寸送り機構と、前記穴と通じ前記槽より外方に
伸びるとともに該穴より送出される前記レジストを滴下
するノズルとを備えるレジスト吐出装置である。
【０００８】
【０００９】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
例のレジスト吐出装置を示す図およびレジスト充填袋の
保持部を拡大して示す断面図である。このレジスト吐出
装置は、図１に示すように、一端に円筒状の突起部７を
有し突起部７の内部に逆止め用の開閉弁７ａをもつとと
もに液状のレジストが圧入充填され外皮が伸縮可能なレ
ジスト充填袋１と、突起部７を嵌合し保持しレジストが
排出される穴７ｂを有する保持部６をもつとともにレジ
スト充填袋１を浸漬する液体１ａを貯める槽２と、この
槽２の液体１ａの液面と接触しながら一方向に寸動しレ
ジスト充填袋１を一定容積だけ縮小させレジストの定量
を穴７ｂから排出させる移動板３と、この移動板３を一
方向に寸動させる定寸送り機構４と、穴７ｂと通じ槽２
より外方に伸びるとともに穴７ｂより送出されるレジス
トを滴下するノズル１１とを備えている。
例のレジスト吐出装置を示す図およびレジスト充填袋の
保持部を拡大して示す断面図である。このレジスト吐出
装置は、図１に示すように、一端に円筒状の突起部７を
有し突起部７の内部に逆止め用の開閉弁７ａをもつとと
もに液状のレジストが圧入充填され外皮が伸縮可能なレ
ジスト充填袋１と、突起部７を嵌合し保持しレジストが
排出される穴７ｂを有する保持部６をもつとともにレジ
スト充填袋１を浸漬する液体１ａを貯める槽２と、この
槽２の液体１ａの液面と接触しながら一方向に寸動しレ
ジスト充填袋１を一定容積だけ縮小させレジストの定量
を穴７ｂから排出させる移動板３と、この移動板３を一
方向に寸動させる定寸送り機構４と、穴７ｂと通じ槽２
より外方に伸びるとともに穴７ｂより送出されるレジス
トを滴下するノズル１１とを備えている。
【００１１】また、レジスト充填袋１の突起部７を保持
部６に取付ける際に、突起部７が変形し開閉弁７ａが開
きレジストがノズル１１側に流れ込まないように必要な
らばストップバルブを設けることである。一方、ノズル
１１の配管経路には従来例と同じように、フィルタ１３
とサックバック１２が設けられている。
部６に取付ける際に、突起部７が変形し開閉弁７ａが開
きレジストがノズル１１側に流れ込まないように必要な
らばストップバルブを設けることである。一方、ノズル
１１の配管経路には従来例と同じように、フィルタ１３
とサックバック１２が設けられている。
【００１２】移動板３を定寸送りする定寸送り機構４
は、移動板３を押す送りねじ１０と、この送りねじ１０
に噛み合うナット１０ａと、ナット１０ａに取り付けら
れる歯車１０ｂと噛み合う歯車１０ｃを回転させるステ
ップモータ９で構成されている。そして、この定寸送り
機構４は移動板３を一ステップ当りΔＬだけ移動でき
る。また、この移動量ΔＬの設定は、所望のレジストの
滴下量で決められ、ステップモータ９の回転数を変える
ことで任意に設定することができる。すなわち、所望の
滴下量をＶｃｃとし、槽２の内径をＤｃｍとすれば、移
動量ΔＬ＝Ｖ／０．２５πＤ2 となる。
は、移動板３を押す送りねじ１０と、この送りねじ１０
に噛み合うナット１０ａと、ナット１０ａに取り付けら
れる歯車１０ｂと噛み合う歯車１０ｃを回転させるステ
ップモータ９で構成されている。そして、この定寸送り
機構４は移動板３を一ステップ当りΔＬだけ移動でき
る。また、この移動量ΔＬの設定は、所望のレジストの
滴下量で決められ、ステップモータ９の回転数を変える
ことで任意に設定することができる。すなわち、所望の
滴下量をＶｃｃとし、槽２の内径をＤｃｍとすれば、移
動量ΔＬ＝Ｖ／０．２５πＤ2 となる。
【００１３】レジスト充填袋１は、外皮は伸縮可能なゴ
ムまたは樹脂材で風船状に製作されるとともに同時成形
で一端に外皮と同質材料で肉厚の厚い円筒状の突起部７
を成形する。そして、円筒状の突起部７の内部の蓋を加
工し弁体７ｃを形成し、レジストの逆流防止用の開閉弁
７ａを設ける。この構造の弁は通常のベローズポンプや
玩具用の簡易ポンプに使用される弁と同じ構造である。
ムまたは樹脂材で風船状に製作されるとともに同時成形
で一端に外皮と同質材料で肉厚の厚い円筒状の突起部７
を成形する。そして、円筒状の突起部７の内部の蓋を加
工し弁体７ｃを形成し、レジストの逆流防止用の開閉弁
７ａを設ける。この構造の弁は通常のベローズポンプや
玩具用の簡易ポンプに使用される弁と同じ構造である。
【００１４】このレジスト充填袋１にレジストを充填す
るには、あらかじめ液状のレジストを詰め込んだディス
ペンサのニードルを突起部７の弁体７ｃを通り越して差
し込みレジストを充填する。そして、レジストが圧入充
填されたレジスト充填袋１を槽２の中に入れ、突起部７
を保持部６の穴７ｂに挿入し固定リング６ａで締付け固
定する。この締付けと同時に突起部の外筒は固定リング
６ａの凸部６ｂで押され変形し弁体７ｃが開きレジスト
は流れ出す。しかし、ストップバルブ８が閉じているの
でノズル１１側には流れ込まない。そして、液体１ａ、
例えば、水を槽２に溜めレジスト充填袋１を液中に浸漬
する。
るには、あらかじめ液状のレジストを詰め込んだディス
ペンサのニードルを突起部７の弁体７ｃを通り越して差
し込みレジストを充填する。そして、レジストが圧入充
填されたレジスト充填袋１を槽２の中に入れ、突起部７
を保持部６の穴７ｂに挿入し固定リング６ａで締付け固
定する。この締付けと同時に突起部の外筒は固定リング
６ａの凸部６ｂで押され変形し弁体７ｃが開きレジスト
は流れ出す。しかし、ストップバルブ８が閉じているの
でノズル１１側には流れ込まない。そして、液体１ａ、
例えば、水を槽２に溜めレジスト充填袋１を液中に浸漬
する。
【００１５】このように準備された後、ステップモータ
９を動作すると同時にストップバルブ８を開き、移動板
３をΔＬｃｍだけ移動させ所望の滴下量Ｖｃｃのレジス
トをノズル１１より吐出する。そしてステップモータ９
は停止しストップバルブ８は閉じる。このレジストの滴
下を繰返して行なう内にレジスト充填袋１は収縮し一定
量の残量になったら、新しいレジスト充填袋１と交換す
る。
９を動作すると同時にストップバルブ８を開き、移動板
３をΔＬｃｍだけ移動させ所望の滴下量Ｖｃｃのレジス
トをノズル１１より吐出する。そしてステップモータ９
は停止しストップバルブ８は閉じる。このレジストの滴
下を繰返して行なう内にレジスト充填袋１は収縮し一定
量の残量になったら、新しいレジスト充填袋１と交換す
る。
【００１６】なお、この実施例における定寸送り機構４
をねじ送り機構で説明したが、本発明はこの機構に限定
するものではなく、例えば、油圧駆動の寸動送り機構や
リンク機構による寸動送り機構でも適用できることは明
らかである。
をねじ送り機構で説明したが、本発明はこの機構に限定
するものではなく、例えば、油圧駆動の寸動送り機構や
リンク機構による寸動送り機構でも適用できることは明
らかである。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、レジスト
出入口を一端にもち外皮が伸縮可能な容器を準備し、こ
の容器にレジストを圧入充填し風船状の容器にし、この
容器を槽の液中に浸漬させ、液槽の蓋を液漏れすること
なく所定の寸法だけ沈めその液圧で容器の容積を一定に
収縮させレジストの吐出量を一定にすることによって、
パターンの潜像を損なったりノズルの詰りを引き起すパ
ーティクルの発生させることなくレジストを円滑に吐出
できるという効果がある。
出入口を一端にもち外皮が伸縮可能な容器を準備し、こ
の容器にレジストを圧入充填し風船状の容器にし、この
容器を槽の液中に浸漬させ、液槽の蓋を液漏れすること
なく所定の寸法だけ沈めその液圧で容器の容積を一定に
収縮させレジストの吐出量を一定にすることによって、
パターンの潜像を損なったりノズルの詰りを引き起すパ
ーティクルの発生させることなくレジストを円滑に吐出
できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のレジスト吐出装置を示す図
およびレジスト充填袋の保持部を拡大して示す断面図で
ある。
およびレジスト充填袋の保持部を拡大して示す断面図で
ある。
【図２】従来のレジスト吐出装置の一例を示す図であ
る。
る。
１ レジスト充填袋 １ａ 液体 ２ 槽 ３ 移動板 ４ 定寸送り機構 ６ 保持部 ６ａ 固定リング ６ｂ 凸部 ７ 突起部 ７ａ 開閉弁 ７ｂ 穴 ７ｃ 弁体 ８ ストップバルブ ９ ステップモータ １０ 送りねじ １０ａ ナット １０ｂ，１０ｃ 歯車 １１ ノズル １２ サックバック １３ フィルタ １４ ポンプ １５ 容器 １６ ウェーハ １７ スピンチャック
Claims (2)
- 【請求項１】 液状のレジストが吐出する開口をもつ円
筒状の突起部を一端に有するとともに前記レジストが圧
入充填され外皮が伸縮可能な袋状容器と、前記突起部を
嵌合し固定リングで固定し前記レジストが排出される穴
を有する保持部が内壁から突出されるとともに前記袋状
容器を浸漬する液体を貯める槽と、前記突起部と一体構
であって前記固定リングの締付けにより該突起部が変形
し弁体が開き前記開口から前記レジストを排出する開閉
弁と、前記槽の前記液体面と接触しながら一方向に寸動
し前記袋状容器を一定容積だけ縮小させる移動板部材
と、この移動板部材を前記一方向に寸動させる定寸送り
機構と、前記穴と通じ前記槽より外方に伸びるとともに
該穴より送出される前記レジストを滴下するノズルとを
備えることを特徴とするレジスト吐出装置。 - 【請求項２】 前記開閉弁は前記突起部と一体構造であ
って前記突起部の外側を押え該突起部を変形することで
該開閉弁が開くことを特徴とする請求項１記載のレジス
ト吐出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6287731A JP2648108B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | レジスト吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6287731A JP2648108B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | レジスト吐出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08148409A JPH08148409A (ja) | 1996-06-07 |
| JP2648108B2 true JP2648108B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=17721028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6287731A Expired - Lifetime JP2648108B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | レジスト吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2648108B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107029913A (zh) * | 2017-04-06 | 2017-08-11 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种涂布装置及涂布方法 |
| CN114355730B (zh) * | 2022-01-18 | 2024-09-06 | 浙江光特科技有限公司 | 一种光刻胶供给设备 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429857Y2 (ja) * | 1987-12-11 | 1992-07-20 |
-
1994
- 1994-11-22 JP JP6287731A patent/JP2648108B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08148409A (ja) | 1996-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970408 |