JP2635357B2 - 電解コンデンサ用アルミニウム材料の製造方法 - Google Patents
電解コンデンサ用アルミニウム材料の製造方法Info
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- JP2635357B2 JP2635357B2 JP7855488A JP7855488A JP2635357B2 JP 2635357 B2 JP2635357 B2 JP 2635357B2 JP 7855488 A JP7855488 A JP 7855488A JP 7855488 A JP7855488 A JP 7855488A JP 2635357 B2 JP2635357 B2 JP 2635357B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は電解コンデンサ用アルミニウム材料の製造
方法に関する。
方法に関する。
従来の技術及び解決しようとする課題 アルミニウム電解コンデンサ用電極材として一般に用
いられるアルミニウム箔には、その実効面積を拡大して
単位面積当りの静電容量を増大するため、一般に電気化
学的あるいは化学的エッチング処理が施される。従来、
このエッチング性能の向上を目的として、エッチング処
理前に、圧延されたアルミニウム箔をアルゴン等の不活
性ガス雰囲気または真空中などの無酸化雰囲気中におい
て500〜600℃で２〜10時間高温加熱処理することが行わ
れているが、満足すべきエッチング性能、静電容量を得
られなかった。
いられるアルミニウム箔には、その実効面積を拡大して
単位面積当りの静電容量を増大するため、一般に電気化
学的あるいは化学的エッチング処理が施される。従来、
このエッチング性能の向上を目的として、エッチング処
理前に、圧延されたアルミニウム箔をアルゴン等の不活
性ガス雰囲気または真空中などの無酸化雰囲気中におい
て500〜600℃で２〜10時間高温加熱処理することが行わ
れているが、満足すべきエッチング性能、静電容量を得
られなかった。
そこで、本出願人は、アルミニウム箔表面に一定厚さ
の結晶化したγ−Al2O3皮膜を形成した電解コンデンサ
用アルミニウム材料を提案した（特公昭58−34925
号）。この材料によれば、エッチング後の箔の表面積を
拡大しえ、ひいては静電容量の増大が可能となるもので
あった。
の結晶化したγ−Al2O3皮膜を形成した電解コンデンサ
用アルミニウム材料を提案した（特公昭58−34925
号）。この材料によれば、エッチング後の箔の表面積を
拡大しえ、ひいては静電容量の増大が可能となるもので
あった。
ところが、この材料によってもなお、所期するとおり
の充分な静電容量を得られない場合があることがその後
の研究により判明した。
の充分な静電容量を得られない場合があることがその後
の研究により判明した。
この発明はかかる技術的背景に鑑みてなされたもので
あって、エッチング性能に優れ、ひいては高静電容量を
確実に得ることのできる電解コンデンサ用アルミニウム
材料の提供を目的とするものである。
あって、エッチング性能に優れ、ひいては高静電容量を
確実に得ることのできる電解コンデンサ用アルミニウム
材料の提供を目的とするものである。
課題を解決するための手段 発明者は前述した結晶化したγ−Al2O3皮膜を形成し
たアルミニウム箔において、所期する高静電容量を実現
できない原因について探求した結果、次のような知見を
得た。即ち、結晶化したγ−Al2O3皮膜を形成したアル
ミニウム箔をエッチングした場合、γ−Al2O3皮膜を形
成したアルミニウム箔に較べて拡面率を増大しうるの
は、γ−Al2O3皮膜に存在するγ−Al2O3結晶の周囲がエ
ッチング時に孔食の形で優先的に侵食される結果、γ−
Al2O3結晶部分が核となって多数のエッチングピットを
高密度に形成しうるからであったが、エッチングによっ
てγ−Al2O3結晶以外の部分も同時にエッチングされ、
この部分でアルミニウム箔の表面溶解が生じる場合があ
ることがわかった。この場合、γ−Al2O3結晶部分にお
いてエッチングピットの形成に費される電気量が減少
し、その結果エッチングピットの数が減少しあるいは充
分な深さが得られないこととなり、所期する箔表面の拡
面率を得られないことがわかった。
たアルミニウム箔において、所期する高静電容量を実現
できない原因について探求した結果、次のような知見を
得た。即ち、結晶化したγ−Al2O3皮膜を形成したアル
ミニウム箔をエッチングした場合、γ−Al2O3皮膜を形
成したアルミニウム箔に較べて拡面率を増大しうるの
は、γ−Al2O3皮膜に存在するγ−Al2O3結晶の周囲がエ
ッチング時に孔食の形で優先的に侵食される結果、γ−
Al2O3結晶部分が核となって多数のエッチングピットを
高密度に形成しうるからであったが、エッチングによっ
てγ−Al2O3結晶以外の部分も同時にエッチングされ、
この部分でアルミニウム箔の表面溶解が生じる場合があ
ることがわかった。この場合、γ−Al2O3結晶部分にお
いてエッチングピットの形成に費される電気量が減少
し、その結果エッチングピットの数が減少しあるいは充
分な深さが得られないこととなり、所期する箔表面の拡
面率を得られないことがわかった。
この発明に係る電解コンデンサ用アルミニウム材料の
製造方法は、上記知見に基いて更なる研究の結果完成さ
れたものであり、電気化学的または化学的エッチング処
理を施す前に、アルミニウム箔表面に結晶化したγ−Al
2O3皮膜を形成したのち、陽極酸化処理を実施して厚さ7
0〜7000Åの陽極酸化皮膜を形成することを特徴とする
ものである。また、さらに好ましい結果を得るために
は、陽極酸化処理後皮膜表面に観察されるγ−Al2O3結
晶の平均径が１μｍ以下であり、その数が1mm2当り３×
104〜106個存在するものとなすのが良く、あるいはまた
陽極酸化処理を硼酸法により行うのが良い。
製造方法は、上記知見に基いて更なる研究の結果完成さ
れたものであり、電気化学的または化学的エッチング処
理を施す前に、アルミニウム箔表面に結晶化したγ−Al
2O3皮膜を形成したのち、陽極酸化処理を実施して厚さ7
0〜7000Åの陽極酸化皮膜を形成することを特徴とする
ものである。また、さらに好ましい結果を得るために
は、陽極酸化処理後皮膜表面に観察されるγ−Al2O3結
晶の平均径が１μｍ以下であり、その数が1mm2当り３×
104〜106個存在するものとなすのが良く、あるいはまた
陽極酸化処理を硼酸法により行うのが良い。
上記アルミニウム箔は、純度99.99％の高純度のもの
が好ましいが、これに限定されるものではなく、電解コ
ンデンサ用に使用される範囲内の純度のものであれば良
い。
が好ましいが、これに限定されるものではなく、電解コ
ンデンサ用に使用される範囲内の純度のものであれば良
い。
結晶化したγ−Al2O3皮膜の形成方法としては、例え
ば圧延されたアルミニウム箔を平均セルサイズが10μｍ
以下の状態で水和処理皮膜を形成し、その後酸素を含む
雰囲気中で450℃以上の高温加熱を行う方法を挙げう
る。ただし、上記酸素を含む雰囲気中に水分が多量に含
まれるとアルミニウム箔表面にフクレが発生するため、
水分を多量に含まないよう留意する必要がある。なお水
和処理皮膜の形成方法としては、例えば蒸気または湿っ
た空気をアルミニウム箔表面に吹付ける方法、加熱され
た水またはアミン水溶液中にアルミニウム箔を浸漬する
いわゆるベーマイト処理方法、大気中において低温度で
加熱処理する方法等を挙げうる。
ば圧延されたアルミニウム箔を平均セルサイズが10μｍ
以下の状態で水和処理皮膜を形成し、その後酸素を含む
雰囲気中で450℃以上の高温加熱を行う方法を挙げう
る。ただし、上記酸素を含む雰囲気中に水分が多量に含
まれるとアルミニウム箔表面にフクレが発生するため、
水分を多量に含まないよう留意する必要がある。なお水
和処理皮膜の形成方法としては、例えば蒸気または湿っ
た空気をアルミニウム箔表面に吹付ける方法、加熱され
た水またはアミン水溶液中にアルミニウム箔を浸漬する
いわゆるベーマイト処理方法、大気中において低温度で
加熱処理する方法等を挙げうる。
前記陽極酸化処理は、エッチング核となるべきγ−Al
2O3皮膜中のγ−Al2O3結晶及びその極く近傍以外の部分
に陽極酸化皮膜を被膜形成せしめて、電気化学的あるい
は化学的エッチング時の表面溶解を防止するために実施
するものである。即ち、γ−Al2O3皮膜形成後アルミニ
ウム箔を陽極酸化処理すると、陽極酸化皮膜が成長形成
されるが、γ−Al2O3結晶部分及びその極く近傍では酸
化皮膜の形成が抑制される現象が認められる。従ってγ
−Al2O3結晶及びその極く近傍をエッチング核として確
保しつつ他の部分を陽極酸化皮膜で被覆することができ
る。而して、陽極酸化皮膜の厚さが70Å未満ではエッチ
ング時にアルミニウム箔の表面溶解を防止する効果に乏
しい。逆に7000Åを超えて厚くなると、γ−Al2O3結晶
部分にも及んで陽極酸化皮膜が形成され、エッチングピ
ットの数が減少して静電容量の増大化を図れない。しか
もコイル状アルミニウム箔を用いて連続生産する場合、
陽極酸化皮膜が厚すぎると可撓性が低下し、コイル状に
巻き取った時の応力でクラックが生じ、エッチング時の
表面溶解防止効果が低下してしまうという欠点も派生す
る。従って陽極酸化処理によって形成する陽極酸化皮膜
の厚さは70〜7000Åの範囲でなければならない。特に好
ましくは20〜5000Åの厚さとするのが良い。なお、陽極
酸化皮膜の厚さは陽極酸化処理の条件例えば処理時間等
を変えることにより制御可能である。
2O3皮膜中のγ−Al2O3結晶及びその極く近傍以外の部分
に陽極酸化皮膜を被膜形成せしめて、電気化学的あるい
は化学的エッチング時の表面溶解を防止するために実施
するものである。即ち、γ−Al2O3皮膜形成後アルミニ
ウム箔を陽極酸化処理すると、陽極酸化皮膜が成長形成
されるが、γ−Al2O3結晶部分及びその極く近傍では酸
化皮膜の形成が抑制される現象が認められる。従ってγ
−Al2O3結晶及びその極く近傍をエッチング核として確
保しつつ他の部分を陽極酸化皮膜で被覆することができ
る。而して、陽極酸化皮膜の厚さが70Å未満ではエッチ
ング時にアルミニウム箔の表面溶解を防止する効果に乏
しい。逆に7000Åを超えて厚くなると、γ−Al2O3結晶
部分にも及んで陽極酸化皮膜が形成され、エッチングピ
ットの数が減少して静電容量の増大化を図れない。しか
もコイル状アルミニウム箔を用いて連続生産する場合、
陽極酸化皮膜が厚すぎると可撓性が低下し、コイル状に
巻き取った時の応力でクラックが生じ、エッチング時の
表面溶解防止効果が低下してしまうという欠点も派生す
る。従って陽極酸化処理によって形成する陽極酸化皮膜
の厚さは70〜7000Åの範囲でなければならない。特に好
ましくは20〜5000Åの厚さとするのが良い。なお、陽極
酸化皮膜の厚さは陽極酸化処理の条件例えば処理時間等
を変えることにより制御可能である。
上記陽極酸化処理の種類は特に限定されるものではな
く、通常一般に使用される処理方法を適宜使用可能であ
るが、最も好ましくは電解液として硼酸溶液あるいは硼
酸化合物の溶液を用いた硼酸法により行うのが良い。こ
れは硼酸皮膜が耐酸性に優れエッチング液に侵食されに
くいこと、及び電解コンデンサへの適用に際して実施さ
れる化成処理として通常硼酸処理が用いられることか
ら、陽極酸化皮膜の被覆状態のまま化成処理を実施でき
ることなどによる。もとより他の種類の陽極酸化法、例
えば硫酸法等でも良いが、エッチング処理後皮膜の剥離
工程が必要となりコストアップとなる。
く、通常一般に使用される処理方法を適宜使用可能であ
るが、最も好ましくは電解液として硼酸溶液あるいは硼
酸化合物の溶液を用いた硼酸法により行うのが良い。こ
れは硼酸皮膜が耐酸性に優れエッチング液に侵食されに
くいこと、及び電解コンデンサへの適用に際して実施さ
れる化成処理として通常硼酸処理が用いられることか
ら、陽極酸化皮膜の被覆状態のまま化成処理を実施でき
ることなどによる。もとより他の種類の陽極酸化法、例
えば硫酸法等でも良いが、エッチング処理後皮膜の剥離
工程が必要となりコストアップとなる。
陽極酸化処理後においては、アルミニウム材料表面
に、多数のエッチング核形成用のγ−Al2O3結晶が露出
した状態になる。ここで、この露出状態のγ−Al2O3結
晶の平均径は１μｍ以下であるのが良い。１μｍを超え
るとエッチングピットが大きくなったり、局部的な表面
溶解を生じる虞れがある。最も好ましくは、0.2〜0.6μ
ｍの大きさが良い。そしてまた、表面に露出状態に観察
されるγ−Al2O3結晶の数（密度）は1mm2当り３×104〜
106個であるのが望ましい。３×104個/mm2未満ではエッ
チングピットの数が減少し高静電容量を得られない虞れ
があるからであり、逆に106個/mm2を超えると隣接エッ
チングピットどうしが連通し、結果的に充分な拡面率が
得られない虞れがあるからである。表面に観察されるγ
−Al2O3結晶の大きさや密度は陽極酸化皮膜の膜厚やγ
−Al2O3皮膜形成のための処理条件（例えば加熱条件、
雰囲気条件等）の選択により変化させうる。
に、多数のエッチング核形成用のγ−Al2O3結晶が露出
した状態になる。ここで、この露出状態のγ−Al2O3結
晶の平均径は１μｍ以下であるのが良い。１μｍを超え
るとエッチングピットが大きくなったり、局部的な表面
溶解を生じる虞れがある。最も好ましくは、0.2〜0.6μ
ｍの大きさが良い。そしてまた、表面に露出状態に観察
されるγ−Al2O3結晶の数（密度）は1mm2当り３×104〜
106個であるのが望ましい。３×104個/mm2未満ではエッ
チングピットの数が減少し高静電容量を得られない虞れ
があるからであり、逆に106個/mm2を超えると隣接エッ
チングピットどうしが連通し、結果的に充分な拡面率が
得られない虞れがあるからである。表面に観察されるγ
−Al2O3結晶の大きさや密度は陽極酸化皮膜の膜厚やγ
−Al2O3皮膜形成のための処理条件（例えば加熱条件、
雰囲気条件等）の選択により変化させうる。
発明の効果 この発明は上述の次第で、電気化学的または化学的エ
ッチング処理を施す前に、アルミニウム箔表面に結晶化
したγ−Al2O3皮膜を形成したのち、陽極酸化処理を実
施して厚さ70〜7000Åの陽極酸化皮膜を形成することを
特徴とするものである。従って、本発明によって製作さ
れた電解コンデンサ用アルミニウム材料をエッチングし
た場合、表面に露出したγ−Al2O3結晶部分のみをエッ
チング核としてエッチングピットを形成しうるととも
に、他の陽極酸化皮膜被覆部分におけるアルミニウム箔
の表面溶解を防止しえて多数の深いエッチングピットを
確実に形成でき、高静電容量を実現しうるものとなる。
また、陽極酸化処理後表面に観察されるγ−Al2O3結晶
の平均径が１μｍ以下であり、かつその数が1mm2当り３
×104〜106個であるものに製作することにより、一層大
きな静電容量を実現するアルミニウム材料の提供が可能
となる。さらには、陽極酸化処理を硼酸法によるものす
ることで、エッチング時にアルミニウム箔のエッチング
ピット以外の表面溶解をより確実に防止できるアルミニ
ウム材料の提供が可能となる。
ッチング処理を施す前に、アルミニウム箔表面に結晶化
したγ−Al2O3皮膜を形成したのち、陽極酸化処理を実
施して厚さ70〜7000Åの陽極酸化皮膜を形成することを
特徴とするものである。従って、本発明によって製作さ
れた電解コンデンサ用アルミニウム材料をエッチングし
た場合、表面に露出したγ−Al2O3結晶部分のみをエッ
チング核としてエッチングピットを形成しうるととも
に、他の陽極酸化皮膜被覆部分におけるアルミニウム箔
の表面溶解を防止しえて多数の深いエッチングピットを
確実に形成でき、高静電容量を実現しうるものとなる。
また、陽極酸化処理後表面に観察されるγ−Al2O3結晶
の平均径が１μｍ以下であり、かつその数が1mm2当り３
×104〜106個であるものに製作することにより、一層大
きな静電容量を実現するアルミニウム材料の提供が可能
となる。さらには、陽極酸化処理を硼酸法によるものす
ることで、エッチング時にアルミニウム箔のエッチング
ピット以外の表面溶解をより確実に防止できるアルミニ
ウム材料の提供が可能となる。
実施例 純度99.9％、厚さ100μｍ、平均セルサイズ５μｍの
複数毎の帯状アルミニウム箔を大気中雰囲気で180℃×
６時間加熱することにより箔表面に水和処理皮膜を形成
したのち、さらに10％O2を含むArガス雰囲気中で550℃
×１時間加熱して水和処理皮膜を結晶化したγ−Al2O3
皮膜に変化させた。
複数毎の帯状アルミニウム箔を大気中雰囲気で180℃×
６時間加熱することにより箔表面に水和処理皮膜を形成
したのち、さらに10％O2を含むArガス雰囲気中で550℃
×１時間加熱して水和処理皮膜を結晶化したγ−Al2O3
皮膜に変化させた。
次に上記各アルミニウム箔に、陽極酸化処理を実施し
（試料No2〜７）、あるいは実施することなく（試料No
1）、各種アルミニウム材料を得た。ここで、陽極酸化
処理は、陽極酸化皮膜の厚さが3000Åに達するまでは電
解液として３％硼酸アンモニウム（液温80℃）を用い、
3000Åを超えたのちは電解液として５％硼酸（液温80
℃）を用いて行い、また処理時間を各種に変えて皮膜厚
さを下記第１表のように変化させた。
（試料No2〜７）、あるいは実施することなく（試料No
1）、各種アルミニウム材料を得た。ここで、陽極酸化
処理は、陽極酸化皮膜の厚さが3000Åに達するまでは電
解液として３％硼酸アンモニウム（液温80℃）を用い、
3000Åを超えたのちは電解液として５％硼酸（液温80
℃）を用いて行い、また処理時間を各種に変えて皮膜厚
さを下記第１表のように変化させた。
そして、陽極酸化処理後各アルミニウム材料につき、
表面に観察されるγ−Al2O3結晶の平均径及びその密度
を調査したところ第１表のとおりであった。
表面に観察されるγ−Al2O3結晶の平均径及びその密度
を調査したところ第１表のとおりであった。
次に各アルミニウム材料を、５％塩酸溶液（75℃）中
で電流密度を直流10A/dm2とし、７分間電解エッチング
処理した。そしてその後硼酸浴中で380Vに化成処理した
のち、各材料の静電容量を測定した。また、各材料の可
撓性の良否も調査した。それらの結果を併せて下記第１
表に示す。なお、容量値は試料No1を100％として相対比
較にて示し、可撓性は、各材料を曲率半径50mmの管に巻
いたときの陽極酸化皮膜のクラックの状態を調べた。
で電流密度を直流10A/dm2とし、７分間電解エッチング
処理した。そしてその後硼酸浴中で380Vに化成処理した
のち、各材料の静電容量を測定した。また、各材料の可
撓性の良否も調査した。それらの結果を併せて下記第１
表に示す。なお、容量値は試料No1を100％として相対比
較にて示し、可撓性は、各材料を曲率半径50mmの管に巻
いたときの陽極酸化皮膜のクラックの状態を調べた。
［実施例２］ 実施例１と同じ３枚のアルミニウム箔を大気雰囲気中
で180℃×６時間加熱することにより、箔表面に水和処
理皮膜を形成したのち、Arガス中のO2濃度、加熱条件を
下記第２表のように設定して加熱し、箔表面に結晶化し
たγ−Al2O3皮膜を形成した。次に実施例１と同じ条件
で、硼酸法による陽極酸化処理を実施した。ただし陽極
酸化皮膜の厚さはいずれも2800Åとした。
で180℃×６時間加熱することにより、箔表面に水和処
理皮膜を形成したのち、Arガス中のO2濃度、加熱条件を
下記第２表のように設定して加熱し、箔表面に結晶化し
たγ−Al2O3皮膜を形成した。次に実施例１と同じ条件
で、硼酸法による陽極酸化処理を実施した。ただし陽極
酸化皮膜の厚さはいずれも2800Åとした。
そして得られたアルミニウム材料につき、表面に観察
されるγ−Al2O3結晶の平均径及びその密度を調査した
ところ、下記第２表のとおりであった。
されるγ−Al2O3結晶の平均径及びその密度を調査した
ところ、下記第２表のとおりであった。
次に各アルミニウム材料を実施例と同一の条件にてエ
ッチング処理、化成処理を順次的に実施したのち、各材
料の静電容量を測定した。容量値は同じく実施例１の試
料No1を100％として比較した。
ッチング処理、化成処理を順次的に実施したのち、各材
料の静電容量を測定した。容量値は同じく実施例１の試
料No1を100％として比較した。
上記第１表、第２表の結果から明らかなように、この
発明によって製作した電解コンデンサ用アルミニウム材
料は静電容量が大きいものであることを確認しえた。
発明によって製作した電解コンデンサ用アルミニウム材
料は静電容量が大きいものであることを確認しえた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂口 雅司 大阪府堺市海山町６丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 (72)発明者 藤平 忠雄 大阪府堺市海山町６丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 (72)発明者 仲矢 長嗣 大阪府堺市海山町６丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 (72)発明者 多田 清志 大阪府堺市海山町６丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−34925（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−16857（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−159429（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】電気化学的または化学的エッチング処理を
施す前に、アルミニウム箔表面に結晶化したγ−Al2O3
皮膜を形成したのち、陽極酸化処理を実施して厚さ70〜
7000Åの陽極酸化皮膜を形成することを特徴とする電解
コンデンサ用アルミニウム材料の製造方法。 - 【請求項２】陽極酸化処理後、皮膜表面に観察されるγ
−Al2O3結晶の平均径が１μｍ以下であり、かつその数
が1mm2当り３×104〜106個である請求項１記載の電解コ
ンデンサ用アルミニウム材料の製造方法。 - 【請求項３】陽極酸化処理を硼酸法により行う請求項１
または２記載の電解コンデンサ用アルミニウム材料の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7855488A JP2635357B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 電解コンデンサ用アルミニウム材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7855488A JP2635357B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 電解コンデンサ用アルミニウム材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01248609A JPH01248609A (ja) | 1989-10-04 |
| JP2635357B2 true JP2635357B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=13665136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7855488A Expired - Lifetime JP2635357B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 電解コンデンサ用アルミニウム材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2635357B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2578521B2 (ja) * | 1990-06-25 | 1997-02-05 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ電極用アルミニウム箔 |
| JP4651430B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2011-03-16 | 東洋アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔 |
| CN110220815A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-09-10 | 东莞东阳光科研发有限公司 | 一种化成箔氧化膜中无定型氧化铝含量的分析方法 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP7855488A patent/JP2635357B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01248609A (ja) | 1989-10-04 |
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