JP2620934B2 - 位置調整装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、手動による早送りと微
少送りとにより様々な物体の位置を調整する位置調整装
置に関し、特に、検査や観察、測定などの対象となる対
象物の位置や、あるいはそれら対象物を観測するカメラ
などの観測手段の位置を手動による早送りと微少送りと
によって調整する位置調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、検査や測定などの対象物や、あるいはそれら対象物
を観測するカメラなどの観測手段の位置を、その対象物
が載置されたｘ−ｙステージや観測手段を取付ける観測
手段取付部を早送りと微少送りとによって移動させるこ
とにより調整する位置調整装置がある。このような調整
装置においては、通常、早送り及び微少送りをさせるた
めに複数のモータを備えたり、あるいはまた早送りと微
少送りとの切替を行なうための切替部材を備えたりして
いるため、構造が複雑で製造コストが高かったり、ある
いはまた操作性がよくないという問題がある。

【０００３】また、上記ｘ−ｙステージを回転させるこ
とによって対象物の水平面内における角度的な位置調整
を早送りと微少送りとにより行なう位置調整装置におい
ても、従来、簡易で操作性に優れるものがない。

【０００４】そこで、本発明は、上記の点に鑑み、手動
による早送りと微少送りとによって、対象物や観測手段
の位置を調整する、安価で操作性が良好な位置調整装置
を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の位置
調整装置は、回転軸の回転によって該回転軸に連結され
た被調整部材を動作させてその位置を調整する位置調整
装置において、前記回転軸に配され該回転軸を回転させ
る早送りハンドルと、前記回転軸に回動自在に配された
ウォームホイルと、前記回転軸とともに回転して前記被
調整部材に前記回転軸の回転による動力を伝達する動力
伝達部材と、前記ウォームホイルと噛合するウォーム
と、前記ウォームを回転させる微少送りハンドルと、前
記動力伝達部材に対して適度な回転抵抗を与え、かつ、
前記ウォームの回転による前記ウォームホイルの回転力
を前記動力伝達部材に伝達する摩擦部材とを備えたもの
である。

【０００６】請求項２の位置調整装置は、請求項１の位
置調整装置において、前記摩擦部材が、前記ウォームホ
イルと前記動力伝達部材との間に配されて両者間で挟圧
状態に支持されているものである。

【０００７】請求項３の位置調整装置は、鉛直な支持軸
上に配されて回転する水平な回転テーブルと、前記支持
軸に回動自在に配されたクラッチプレートと、前記クラ
ッチプレートと前記回転テーブルとの間に挟圧状態に配
され、前記クラッチプレートの回転力を前記回転テーブ
ルに伝達する摩擦部材と、前記回転テーブルの回転によ
る前記クラッチプレートの回転を規制し、かつ、前記ク
ラッチプレートを微少送りで回転させる微少送り手段と
を備えたものである。

【０００８】

【作用】請求項１の位置調整装置では、早送りハンドル
を回転させるとその回転による動力が動力伝達手段を介
して被調整部材に伝達される。そのとき、ウォームホイ
ルはウォームと噛合しているため回転せず、動力伝達部
材は摩擦部材の摩擦力に逆らって回転軸とともに回転す
る。一方、微少送りハンドルを回転させるとウォームの
回転によりウォームホイルが回転する。このウォームホ
イルの回転力が摩擦部材によって動力伝達部材に伝達さ
れ、この動力伝達部材から被調整部材に動力が伝達され
る。すなわち、早送りハンドルを回転させれば、その回
転による動力がそのまま被調整部材に伝達されるので早
送りの位置調整ができる。また、微少送りハンドルを回
転させれば、その回転による動力がウォームとウォーム
ホイルとよりなるウォームギアで減速されて被調整部材
に伝達されるので微少送りの位置調整ができる。また、
停止時には、動力伝達部材は、摩擦部材によって適度な
回転抵抗を与えられているので、勝手に回転しない。

【０００９】請求項２の位置調整装置では、ウォームホ
イルと動力伝達部材との間に挟圧状態にて配された摩擦
部材が、ウォームの回転によりウォームホイルが回転し
たとき、その回転力を動力伝達部材に伝達する。また、
停止時には、動力伝達部材は、ウォームと噛合して回転
しないウォームホイルに摩擦部材を介して配されている
ので、勝手に回転しない。

【００１０】請求項３の位置調整装置では、回転テーブ
ルを手で回転させたときには、微少送り手段によってク
ラッチプレートの回転が規制されているので、回転テー
ブルは、摩擦部材上をその摩擦力に逆らって回転する。
これにより、手で回転させた角度だけ回転テーブルが回
転するため、早送りによる位置調整が可能となる。ま
た、微少送り手段によりクラッチプレートを微少送りで
回転させたときには、その回転力が摩擦部材によって回
転テーブルに伝達されて、回転テーブルが微少送りで回
転する。これにより、回転テーブルの微少送りによる位
置調整が可能となる。また、停止時には、回転テーブル
は、摩擦部材を介してクラッチプレートに配され、この
クラッチプレートが微少送り手段によって回転を規制さ
れているので、勝手に回転しない。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例に係る位置調整装置
１０について図面を参照して説明する。なお、この位置
調整装置１０においては、図１における左右方向をｘ軸
方向とし、紙面上においてｘ軸と直交する方向（前後方
向）をｙ軸方向とする。

【００１２】この位置調整装置１０は、ＩＣのリードフ
レームや解剖したカエルの臓器などの対象物に対し、そ
の所定部分の寸法を測定する寸法測定装置の基台となる
装置であって、カメラ等の観測手段とモニター等の出力
手段などよりなる付属部品を適宜に取付けて、該対象物
と観測手段とのｘ−ｙ方向における位置の調整を行なう
ものである。

【００１３】この位置調整装置１０は、前記対象物を載
置する対象物ステージ１２と、前記対象物の寸法を測定
するための基準となる目盛が付された基準物（例えば液
晶パネルに格子状目盛を付したもの）を載置する基準物
ステージ１４とを備える。対象物ステージ１２と基準物
ステージ１４は、装置１０のｘ軸方向に延びる水平角材
であるｘ軸支え１６を挾んでその前後に位置するよう
に、すなわちｙ軸方向に並んで配されている。ｘ軸支え
１６の下面には、図２に示すように、ｘ軸方向に延びる
ｘ軸レール１８が配されており、このｘ軸レール１８に
は、該レール１８に案内されてｘ軸方向に走行する案内
部２０が配されている。そして、この案内部２０に対象
物ステージ１２と基準物ステージ１４とが取付けられて
おり、これにより、両ステージ１２、１４が、一体とな
ってｘ軸方向に移動する。

【００１４】図１に示すように、ｘ軸支え１６の右端部
には、両ステージ１２、１４をｘ軸方向に移動させて、
そのｘ軸方向における位置調整を行なうｘ軸方向位置調
整部２２が設けられている。

【００１５】ｘ軸支え１６の左端部には、ｙ軸方向後方
に延びる断面Ｌ字状のｙ軸支え２４が取付け固定されて
おり、図３に示すように、このｙ軸支え２４の鉛直面に
は、ｙ軸方向に延びるｙ軸レール２６が設けられてい
る。

【００１６】図１、２に示すように、対象物ステージ１
２と基準物ステージ１４との上方には、それぞれ観測手
段たるカメラを取付けるためのカメラ取付部２８、３０
が配されている。このカメラ取付部２８、３０は、上下
方向に貫通する円形の取付け孔を有する矩形の板状部材
で、ｙ軸方向に延びる水平腕３２の両端に設けられてい
る。この水平腕３２は、鉛直方向に延びる支持柱３４の
上端に取付けられており、この支持柱３４の下部には、
図３に示すように、ｙ軸支え２４のｙ軸レール２６に案
内されて該レール２６に沿って走行する案内部３６が設
けられている。これにより、両カメラ取付部２８、３０
が、一体となってｙ軸方向に移動する。

【００１７】図１に示すように、ｙ軸支え２４の前端
部、即ち、ｘ軸支え１６への取付け端部には、両カメラ
取付部２８、３０をｙ軸方向に移動させて、そのｙ軸方
向における位置調整を行なうｙ軸方向位置調整部３８が
設けられている。

【００１８】なお、ｘ軸支え１６の左右両端は、左右に
対峙する一対の板状の支持脚４０、４０に取付けられて
支持されている。

【００１９】以下、この位置調整装置１０の要部である
ｘ軸及びｙ軸方向位置調整部２２、３８と対象物ステー
ジ１２について詳細に説明する。

【００２０】まず、ｘ軸方向位置調整部２２について図
１、２及び図４〜７を参照して説明する。

【００２１】符号４２は、対象物ステージ１２と基準物
ステージ１４とをｘ軸方向に移動させるためのワイヤで
あり、ｘ軸支え１６上にてｘ軸方向に走行するように配
されている。このワイヤ４２は、ｘ軸支え１６のほぼ中
央に配された水平軸４４に回動自在に取付けられた滑車
４６と、ｘ軸支え１６の右端部においてｙ軸方向に向っ
て水平に配された回転軸であるシャフト４８との間にか
け渡され、鉛直面内において走行する。そして、ワイヤ
４２の上方走行路には、ワイヤ４２を締付けるためのス
プリング５０が配されている。

【００２２】符号５２は、基準物ステージ１４をワイヤ
４２に連結させるための連結金具であり、その下部が基
準物ステージ１４上に取付けられ、上端部がワイヤ４２
をその下方走行路において掴持している。

【００２３】符号５４は、シャフト４８を回動自在に支
持するシャフト軸受部であり、ｘ軸支え１６上に取付け
られている。このシャフト軸受部５４は、前後に貫通す
る貫通孔を備えた直方体ハウジング５４ａと、該貫通孔
の前後の開口部に配されてシャフト４８を回動自在に支
持する前後のつば付きベアリング５４ｂ、５４ｂとより
なる。

【００２４】符号５６は、シャフト４８を回転させる早
送りハンドルであり、シャフト４８の前端に取付けられ
ている。この早送りハンドル５６とシャフト軸受部５４
との間には、シャフト４８と同軸に４枚の円環状板バネ
５８、５８…とＵナット６０が配されている。

【００２５】符号６２は、シャフト４８の回転をワイヤ
４２に伝達するためのプーリであり、シャフト４８の後
端に取付け固定されている。このプーリ６２には、その
外周にワイヤ４２をかけるためのワイヤ溝６２ａが設け
られており、このワイヤ溝６２ａにワイヤ４２が１回巻
かれてかけられている。なお、このプーリ６２と上記の
Ｕナット６０とによって、シャフト４８はシャフト軸受
部５４から抜脱しないように締付けられている。

【００２６】符号６４は、シャフト軸受部５４とプーリ
６２との間に配された平歯車よりなるウォームホイルで
あり、シャフト４８と同軸、かつ、シャフト４８に対し
て回動自在に配されている。このウォームホイル６４の
外周に設けられた歯には、後述するウォーム６８との接
触を良くするために、中央部で周方向に沿った中くぼみ
６４ａが形成されている。

【００２７】符号６６は、ウォームホイル６４の回転力
をプーリ６２に伝達する摩擦部材であるＯリングであ
り、ゴムなどの弾性体よりなる。このＯリング６６は、
プーリ６２の前方面にシャフト４８と同軸に設けられた
円形のＯリング溝６２ｂに配されており、ウォームホイ
ル６４の後方面に当接している。このＯリング６６は、
円環状板バネ５８、５８…によってウォームホイル６４
に適度に押し付けられており、ウォームホイル６４に対
して適度な摩擦力を有している。その摩擦力は、ウォー
ムホイル６４を回転させるとき、ウォームホイル６４と
ともにプーリ６２を一体に回転させることのできるよう
な、即ちウォームホイル６４の回転力をプーリ６２に伝
達することができるような大きさを有する。換言すれ
ば、この摩擦力は、ウォームホイル６４を回転させると
き、シャフト４８の軸受構造やプーリ６２にかけられた
ワイヤ４２などによってＯリング６６に負荷される全て
の抵抗力に抗じて、プーリ６２をウォームホイル６４と
一体に回転させることができるように、その抵抗力より
も大きく設定されている。

【００２８】符号６８は、ウォームホイル６４と噛合す
るウォームであり、鉛直に配されたウォーム軸７０上に
形成されている。

【００２９】符号７２は、ウォーム軸７０を回動自在に
支持するウォーム軸受部であり、シャフト軸受部５４の
直方体ハウジング５４ａの左側壁に取付けられている。
このウォーム軸受部７２は、前方壁を有して縦断面コ字
状に形成されその上下壁にそれぞれ上下方向に貫通する
円孔を有する基部７２ａと、下壁の円孔に配されてウォ
ーム軸７０の下端を軸受するつば付きベアリング７２ｂ
と、上壁の円孔に配されてウォーム軸７０を貫通状態に
て軸受するベアリング７２ｃと、このベアリング７２ｃ
の上方にて基部７２ａにねじ止め固定されてベアリング
７２ｃの上方への動きを規制する板状のベアリング押え
７２ｄとよりなる。なお、ウォーム軸７０には、ベアリ
ング７２ｃの下面に当接するように段差７０ａが設けら
れており、この段差７０ａとベアリング７２ｃとの当接
によって、ウォーム軸７０のウォーム軸受部７２からの
抜脱を防止している。

【００３０】符号７４は、ウォーム軸受部７２をシャフ
ト軸受部５４に取付けるためのＬ字状の板バネであり、
シャフト軸受部５４の直方体ハウジング５４ａの左側壁
とウォーム軸受部７２の基部７２ａの前方壁とにネジ止
めされている。このＬ字状板バネ７４は、図５に示すよ
うに、ほぼ直角をなす両取付け壁面のなす角度を拡げる
ように付勢しており、これにより、ウォーム６８をウォ
ームホイル６４に押えつけてウォーム６８とウォームホ
イル６４とをぴったりと噛合わせ、両者間のガタツキを
防止している。

【００３１】符号７６は、ウォーム６８とその下方のつ
ば付きベアリング７２ｂとの間にてウォーム軸７０と同
軸に配された４枚の円環状板バネである。この円環状板
バネ７６、７６…は、ウォーム６８を上方に付勢してお
り、ウォーム軸受部７２内におけるウォーム６８の上下
方向の遊びをなくしている。

【００３２】符号７８は、ウォーム６８を回転させる微
少送りハンドルであり、ウォーム軸７０の上端に取付け
られている。

【００３３】つぎに、このｘ軸位置調整部２２の動作に
ついて説明する。

【００３４】 早送りをするときには、早送りハンド
ル５６を回す。この早送りハンドル５６の回転によって
シャフト４８が回転し、その回転力が直接プーリ６２に
伝わってプーリ６２が回転する。このとき、ウォームホ
イル６４はウォーム６８との噛合によってその回転が規
制されているので、プーリ６２は、Ｏリング６６とウォ
ームホイル６４との間の摩擦力に逆らって回転する。す
なわち、ウォームホイル６４上をＯリング６６が滑って
プーリ６２が回転する。

【００３５】このプーリ６２の回転によって、そのワイ
ヤ溝６２ａの外周長に等しい長さだけ、ワイヤ４２がｘ
軸方向に動き、ワイヤ４２に連結された基準物ステージ
１４と対象物ステージ１２とが、ｘ軸レール１８に沿っ
て、その長さだけｘ軸方向に移動する。よって、早送り
ハンドル５６の回転速度に応じた速度で両ステージ１
２、１４を移動させることができる。

【００３６】 微少送りをするときには、微少送りハ
ンドル７８を回す。この微少送りハンドル７８の回転に
よってウォーム６８が回転し、その回転力が減速されて
ウォームホイル６４に伝達され、ウォームホイル６４が
回転する。このウォームホイル６４の回転力が、Ｏリン
グ６６との間の摩擦力によってプーリ６２に伝達されて
プーリ６２が回転する。すなわち、ウォームホイル６４
とＯリング６６との間の摩擦力によって、ウォームホイ
ル６４とプーリ６２とが一体に回転する。

【００３７】このプーリ６２の回転によって、そのワイ
ヤ溝６２ａの外周長に等しい長さだけワイヤ４２がｘ軸
方向に動き、ワイヤ４２に連結された両ステージ１２、
１４が、ｘ軸レール１８に沿ってその長さだけｘ軸方向
に移動する。これにより、微少送りハンドル７８の回転
速度が減速されて、ワイヤ４２に伝達されるので、両ス
テージ１２、１４のｘ軸方向における位置の微調整が可
能となる。

【００３８】 停止時においては、プーリ６２がウォ
ームホイル６４にＯリング６６を介して拘束されてお
り、このウォームホイル６４がＬ字状板バネ７４によっ
て付勢されたウォーム６８とぴったりと噛合しているの
で、μ単位のガタつきもなく停止している。

【００３９】なお、以上のように、早送り時において
は、ウォームホイル６４とＯリング６６との間の摩擦力
に逆らって早送りハンドル５６を回転させる。そのた
め、該摩擦力をあまり大きく設定しておくと、早送りハ
ンドル５６を回転させにくく、操作性が悪くなるので、
この点も考慮して摩擦力を設定する。

【００４０】つぎに、ｙ軸方向位置調整部３８について
図１、３、８を参照して説明する。なお、この位置調整
部３８は、上述したｘ軸方向位置調整部２２と基本的な
構成が同一であるため、特に説明しない限り同一の符号
を付したものは同一の構成を有するものとする。

【００４１】この位置調整部３８は、ｘ軸方向位置調整
部２２において、そのｘ軸方向をｙ軸方向に変換し、さ
らに、その水平方向と鉛直方向とを逆転させたものであ
る。すなわち、図１に示すように、ワイヤ４２がｙ軸支
え２４上において水平面内をｙ軸方向に走行するように
配され、またウォーム軸７０が水平に、さらに、図８に
示すように、シャフト４８が鉛直に配されている。そし
て、ワイヤ４２と支持柱３４とを連結する連結金具５２
が、図３に示すように、支持柱３４の中央部にてその左
側面に取付けられ、ワイヤ４２をその右側走行路にて掴
持している。

【００４２】図８に示すように、この位置調整部３８で
は、早送りハンドル５６のシャフト４８に対する取付け
位置が、ｘ軸方向位置調整部２２と逆になっている。す
なわち、早送りハンドル５６は、Ｕナット６０側の端部
ではなく、プーリ６２側の端部に取付けられている。そ
して、鉛直に配されたシャフト４８には、上から順に早
送りハンドル５６、プーリ６２、Ｏリング６６を介して
ウォームホイル６４、シャフト軸受部５４、４枚の円環
状板バネ５８、５８…、そしてＵナット６０が配されて
いる。そして、シャフト４８の下端はＵナット６０とと
もにｙ軸支え２４の水平部に設けられた凹部８０内に配
されている。なお、シャフト軸受部５４は、その直方体
ハウジング５４ａがｙ軸支え２４の鉛直部に固定されて
いる。

【００４３】この位置調整部３８においても、ｘ軸方向
位置調整部２２と同様に動作して、ここでは、早送りハ
ンドル５６を回転させることにより、カメラ取付部２
８、３０をｙ軸方向において早送りで移動させ、また、
微少送りハンドル７８を回転させることにより、カメラ
取付部２８、３０をｙ軸方向に微少送りで移動させて、
ｙ軸方向における粗微動による位置調整が可能となって
いる。

【００４４】つぎに、対象物ステージ１２について図
１、２及び図９〜１１を参照して説明する。

【００４５】この対象物ステージ１２は、図２に示すよ
うに、ｘ軸レール１８を走行する案内部２０の下面に取
付けられてそこから前方に延設された連結部材１００の
前面に鉛直に配されたレールガイド１０２に対して、ア
リにて係合している。

【００４６】符号１０４は、水平面内において回転可能
に配された矩形板状の回転テーブルであり、その上面が
対象物を載置する載置面となっている。この回転テーブ
ル１０４の載置面にはその中心を通るようにｘ−ｙ軸を
示す十字線１０６が刻まれている。この回転テーブル１
０４の下面には、鉛直な支持軸であるテーブル軸１０８
が取付け固定されている。そして、このテーブル軸１０
８の上端部には、回転テーブル１０４を支える円板状の
支え部１０８ａが形成されている。

【００４７】符号１１０は、回転テーブル１０４の下方
に配されてその回転を制御するクラッチプレートであ
る。このクラッチプレート１１０は、略円環状に形成さ
れており、その中空部に２つのつば付きベアリング１１
２、１１２を介してテーブル軸１０８を回転自在に受入
れている。クラッチプレート１１０の上面には、テーブ
ル軸１０８と同軸に円形のＯリング溝１１０ａが設けら
れており、このＯリング溝１１０ａに摩擦部材であるＯ
リング１１４が配されて回転テーブル１０４の下面に当
接している。

【００４８】符号１１６は、円環状のスペーサ１１８を
介してクラッチプレート１１０の下方に配され、テーブ
ル軸１０８を回動自在に支持するテーブル軸受部であ
る。このテーブル軸受部１１６は、上下方向に貫通する
貫通孔を有する直方体ハウジング１１６ａと、この直方
体ハウジング１１６ａの上下の開口部に配されてテーブ
ル軸１０８を回動自在に軸受するつば付きベアリング１
１６ｂ、１１６ｂとよりなる。

【００４９】符号１２０は、テーブル軸１０８のテーブ
ル軸受部１１６からの抜脱を防止するためのＵナットで
あり、４枚の円環状の板バネ１２２、１２２…を介して
テーブル軸１０８の下端に取付けられている。なお、こ
の円環状の板バネ１２２、１２２…は、Ｏリング１１４
を回転テーブル１０４に押圧するように付勢しており、
これにより、Ｏリング１１４と回転テーブル１０４との
間に適度な摩擦力が保たれている。

【００５０】符号１２４は、テーブル軸受部１１６の前
方面に取付けられ、ｘ軸方向に延びるマイクロメータ取
付板である。このマイクロメータ取付板１２４の先端に
は、単体形の棒形内側マイクロメータ１２６が、その前
後に移動するヘッド部１２６ａを前方に、かつ、ヘッド
部１２６ａの移動を調整する回転ハンドル部１２６ｂを
後方にして取付けられている。

【００５１】符号１２８は、マイクロメータ１２６のヘ
ッド部１２６ａにより押圧される押圧板であり、クラッ
チプレート１１０に取付けられている。この押圧板１２
８の後端部には、コイルバネ１３０の一端が取付けられ
ており、コイルバネ１３０の他端は、マイクロメータ取
付板１２４に取付けられている。コイルバネ１３０は、
押圧板１２８が常にマイクロメータ１２４のヘッド部１
２６ａに接触するように、押圧板１２８を前方に付勢し
ている。すなわち、コイルバネ１３０は、クラッチプレ
ート１１０を図９における時計回りに回動するように付
勢している。

【００５２】符号１３２は、テーブル軸受部１１６の直
方体ハウジング１１６ａの後面に配されたラックレール
部である。このラックレール部１３２の後面には、レー
ルガイド１０２のアリ溝１０２ａに係合する凸状のアリ
１３２ａが上下方向に形成されている。そして、そのア
リ１３２ａの中央に上下に延びるラック１３４が配され
ている。このラック１３４の歯は、水平方向に対して若
干傾斜するように形成されている。

【００５３】符号１３６は、ラック１３４と噛合するピ
ニオンであり、レールガイド１０２の中央部に回動自在
に配されてｘ軸方向に延びる水平なピニオン軸１３８上
に形成されている。このピニオン１３６の歯は、ラック
１３４の歯と噛合するように水平方向に対して傾斜して
いる。

【００５４】符号１４０は、ピニオン軸１３８を回転さ
せる上下動ハンドルであり、ピニオン軸１３８の右端に
取付けられている。

【００５５】なお、上述したＯリング１１４と回転テー
ブル１０４との間の適度な摩擦力は、クラッチプレート
１１０を回転させるとき、テーブル軸１０８の軸受構造
や回転テーブル１０４上の対象物などによってＯリング
１１４に負荷される全ての抵抗力に抗じて、回転テーブ
ル１０４をクラッチプレート１１０と一体に回転させる
ことができるように、その抵抗力よりも大きく設定され
ている。また、この摩擦力は、回転テーブル１０４を回
転させるとき、コイルバネ１３０の付勢力によりＯリン
グ１１４上を回転テーブル１０４が滑ってクラッチプレ
ート１１０を回転させないように、その付勢力よりも小
さく設定されている。

【００５６】つぎに、この対象物ステージ１２の動作に
ついて説明する。

【００５７】 回転テーブル１０４の高さを調節する
際には、上下動ハンドル１４０を回転させる。すると、
ピニオン１３６とラック１３４とが係合して、レールガ
イド１０２に対してラックレール部１３２が上下に移動
する。そのため、回転テーブル１０４が上下に移動す
る。

【００５８】 回転テーブル１０４を水平面内におい
て大きく回転させる場合、即ち回転テーブル１０４の角
度を早送りで調整する場合には、回転テーブル１０４を
手で直接回転させる。すると、回転テーブル１０４は、
クラッチプレート１１０のＯリング１１４上を滑って、
手で回転させた角度だけ回転する。ここで、回転テーブ
ル１０４を図９において時計回りに回転させた場合に
は、クラッチプレート１１０が、押圧板１２８のマイク
ロメータ１２６のヘッド部１２６ａへの当接によって回
転を規制されているので、回転テーブル１０４のみがＯ
リング１１４の摩擦力に逆らって回転する。また、図９
において反時計回りに回転させた場合には、Ｏリング１
１４の摩擦力がコイルバネ１３０の付勢力よりも小さい
ため、クラッチプレート１１０の回転が規制され、回転
テーブル１０４のみがＯリング１１４の摩擦力に逆らっ
て回転する。

【００５９】 回転テーブル１０４を小さく回転させ
る場合、即ち回転テーブル１０４を微少送りで調整する
場合には、マイクロメータ１２６の回転ハンドル部１２
６ｂを回転させる。すると、マイクロメータ１２６のヘ
ッド部１２６ａが前後方向において移動して、押圧板１
２８が前後方向において移動する。これによりクラッチ
プレート１１０が微少に回動し、回転テーブル１０４
が、Ｏリング１１４との間の摩擦力によってクラッチプ
レート１１０と一体になって回動する。

【００６０】 停止時においては、回転テーブル１０
４は、クラッチプレート１１０にＯリング１１４を介し
て配されており、このクラッチプレート１１０が、押圧
板１２８とマイクロメータ１２６のヘッド部１２６ａ間
の当接と、コイルバネ１３０の付勢力とによって、回転
が規制されている。そのため、回転テーブル１０４は、
勝手に回転することがない。

【００６１】以上のように、回転テーブル１０４を手で
直接回転させることにより、回転テーブル１０４の角度
を早送りで調整することができ、また、マイクロメータ
１２６の回転ハンドル部１２６ｂを回転させることによ
り、微少送りでその角度調整が可能となる。

【００６２】なお、この対象物ステージ１２において
は、上述したマイクロメータ１２６と押圧板１２８及び
コイルバネ１３０に代えて、クラッチプレート１１０上
にウォームホイルを設け、さらにこのウォームホイルと
噛合するようにウォームとこのウォームを回転させるハ
ンドルとを配してもよく、この場合にも、上記と同様、
回転ステージ１０４の粗微動による角度的な位置調整を
行なうことができる。

【００６３】以上より構成される位置調整装置１０にお
いては、両カメラ取付部２８、３０に１５０倍の拡大レ
ンズを備えたＴＶカメラ（不図示）をそれぞれ取付け、
これらカメラの映像をそれぞれ映し出すモニタ（不図
示）に接続する。そして、対象物ステージ１２の回転テ
ーブル１０４上に対象物を載置し、基準物ステージ１４
上に０．３ｍｍの格子状目盛を付した液晶パネルを載置
する。

【００６４】ここで、ある対象物における２点間の寸法
（第１地点と第２地点との距離）を測定する場合、まず
ｘ軸方向及びｙ軸方向位置調整部２２、３８を用いて、
対象物ステージ１２上を映し出すモニタが第１地点を映
し出すように位置を調整する。その際、まず早送りハン
ドル５６を回転させて早送り調整を行ない、その後モニ
タを見ながら微少送りハンドル７８を回転させて微少送
り調整を行なう。なお、この粗微動調整をする際に、必
要に応じて、回転テーブル１０４の高さを上下動ハンド
ル１４０で適宜に調整し、また、回転テーブル１０４上
の対象物の水平面内における角度的な位置を調整するた
めに、手で直接回転テーブル１０４を回転させて早送り
調整した後、マイクロメータ１２６を用いて微少送り調
整を行なう。そして、前記モニタが第１地点を映し出し
たとき、基準物ステージ１４を映し出すモニタ上にて当
該格子目盛上における第１地点の位置を記憶させる。こ
のときこのモニタの画像処理により上記格子目盛を３０
０分割して、１μ単位で第１地点の位置を特定してお
く。

【００６５】つぎに、上記と同様にｘ軸方向及びｙ軸方
向位置調整部２２、３８を用いて、対象物ステージ１２
上を映し出すモニタが第２地点を映し出すように両ステ
ージ１２、１４のｘ−ｙ方向における位置を粗微動調整
する。そして、調整後、基準物ステージ１４を映し出す
モニタ上における第２地点の位置を、先に記憶した第１
地点の位置と比較して、両者の距離をμ単位で測定す
る。これにより、２点間の寸法が得られる。

【００６６】以上説明した本実施例の位置調整装置１０
であれば、Ｏリング６６、１１４の摩擦によって、早送
りと微少送りとを制御しているので、測定対象となる対
象物の位置やカメラなどの観測手段の位置を調整する場
合に、操作する部材、即ち例えば回転させるハンドルを
使い分けるのみで早送り調整と微少送り調整とを行なう
ことができる。そのため、切替部材などを操作して早送
りと微少送りとを切替えるものに比べて、操作性に優
れ、また、構造が簡易なので製造コストが低い。また、
手動による位置調整であって、モータを用いるものでな
いので製造コストが低い。

【００６７】また、この位置調整装置１０であると、ｘ
−ｙステージ上に載置された対象物を観測手段によって
観測する場合に、そのｘ軸方向における粗微動調整につ
いてはステージを移動させ、ｙ軸方向における粗微動調
整については観測手段を移動させて、これによりｘ−ｙ
方向における位置調整を行なうので、ステージ又は観測
手段の一方のみを用いてｘ−ｙ方向における位置調整を
する場合に比べて、構造を簡易にすることができ、よっ
て、コスト的に優れる。

【００６８】なお、本実施例においては、摩擦部材とし
ていずれもＯリング６６、１１４を用いたが、上述した
ような摩擦力を有する弾性体であれば、Ｏリングに限ら
ず、例えば、矩形や円形の摩擦板などにより構成するこ
ともできる。

【００６９】また、この位置調整装置１０は、手動によ
り位置調整を行なうものであり、モータを用いてシャフ
トなどを回転させるものとは相違する。それは、手動だ
からこそＯリングのような摩擦部材を用いて切替えなし
の粗微動調整を行なうことができるのであり、モータを
用いた場合には、上記摩擦部材における摩擦熱が大きい
ためその部分が劣化しやすく問題となる。

【００７０】

【発明の効果】請求項１の位置調整装置であると、摩擦
部材によって、早送りハンドルと微少送りハンドルとの
いずれかを選択して回転させることによる早送りと微少
送りとの切替えを可能にしている。そのため、切替え部
材を操作することなく上記の切替えができるため操作性
が良好であり、また、装置構造が簡易であるため安価で
ある。また、摩擦部材のブレーキ作用により、停止時に
おける被調整部材の勝手な動きを防止することができ
る。

【００７１】請求項２の位置調整装置であると、さら
に、摩擦部材をウォームホイルと動力伝達部材との間に
配するので、その製造が容易である。

【００７２】請求項３の位置調整装置であると、回転テ
ーブルとクラッチプレートとの間に配された摩擦部材に
よって、回転テーブルと微少送り手段とのいずれかを選
択して操作することによる早送りと微少送りとの切替え
を可能にしている。そのため、切替え部材を操作するこ
となく上記の切替えができるため操作性が良好であり、
また、装置構造が簡易であるため安価である。また、摩
擦部材のブレーキ作用により、停止時における回転テー
ブルの勝手な動きを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る位置調整装置１０の平
面図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。

【図４】位置調整装置１０のｘ軸方向位置調整部２２を
示す斜視図である。

【図５】ｘ軸方向位置調整部２２の平面図である。

【図６】図５におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図７】図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。

【図８】位置調整装置１０のｙ軸方向位置調整部３８を
示す縦断面図である。

【図９】位置調整装置１０の対象物ステージ１２の平面
図である。

【図１０】図９におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図１１】図９におけるＢ−Ｂ線断面図である。

【符号の説明】

１０……位置調整装置 １２……対象物ステージ １４……基準物ステージ ２２……ｘ軸方向位置調整部 ２８、３０……カメラ取付部 ３８……ｙ軸方向位置調整部 ４８……シャフト ５６……早送りハンドル ６２……プーリ ６４……ウォームホイル ６６……Ｏリング ６８……ウォーム ７８……微少送りハンドル １０４……回転テーブル １０８……テーブル軸 １１０……クラッチプレート １１４……Ｏリング １２６……マイクロメータ １２８……押圧板 １３０……コイルバネ

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転軸の回転によって該回転軸に連結さ
   れた被調整部材を動作させてその位置を調整する位置調
   整装置において、 前記回転軸に配され該回転軸を回転させる早送りハンド
   ルと、 前記回転軸に回動自在に配されたウォームホイルと、 前記回転軸とともに回転して前記被調整部材に前記回転
   軸の回転による動力を伝達する動力伝達部材と、 前記ウォームホイルと噛合するウォームと、 前記ウォームを回転させる微少送りハンドルと、 前記動力伝達部材に対して適度な回転抵抗を与え、か
   つ、前記ウォームの回転による前記ウォームホイルの回
   転力を前記動力伝達部材に伝達する摩擦部材とを備えた
   ことを特徴とする位置調整装置。
2. 【請求項２】 前記摩擦部材が、前記ウォームホイルと
   前記動力伝達部材との間に配されて両者間で挟圧状態に
   支持されていることを特徴とする請求項１に記載の位置
   調整装置。
3. 【請求項３】 鉛直な支持軸上に配されて回転する水平
   な回転テーブルと、 前記支持軸に回動自在に配されたクラッチプレートと、 前記クラッチプレートと前記回転テーブルとの間に挟圧
   状態に配され、前記クラッチプレートの回転力を前記回
   転テーブルに伝達する摩擦部材と、 前記回転テーブルの回転による前記クラッチプレートの
   回転を規制し、かつ、前記クラッチプレートを微少送り
   で回転させる微少送り手段とを備えたことを特徴とする
   位置調整装置。