JP2620875B2 - 精密光学用ガラス成形品の製造方法 - Google Patents

精密光学用ガラス成形品の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、精密光学用、特に結像用のガラス製品の製
造方法に関し、さらに詳しくは、製造しようとするガラ
ス製品の所望形状に関して未加工のプレフォームを、該
プレフォームが少なくとも光学的有効面の形成に供する
領域内において少なくとも火造り（fire−polish）にほ
ぼ相当する高い表面品質を呈するように作製し、該プレ
フォームを、光学的有効面の形成に供する金型作用面を
硬質窒化物および／または炭化物を含有し得ると共に光
学的有効面の形成に適当な表面形状および表面品質を呈
するような硬質、耐摩耗性の平面作用層に構成した金型
内部で充分に高い温度で加圧し、前記作製したプレフォ
ームを十分な形状安定性が得られるまで金型内部で冷却
した後金型から取出して、焼鈍によりガラス製品の成形
を終了することからなり、ここで高温金型は保護ガスの
雰囲気中または真空下に保持する精密光学用ガラス製品
の製造方法に関する。
〔従来の技術〕
西ドイツ特許出願公開明細書第2639259号に記載のよ
うな公知の方法では、研削または研磨によって機械的に
所望の表面品質とした金型の作用面を使用している。従
って、これらの作用面は機械的処理を行ない得るに十分
な厚さとした作用層上に形成される。また、作用層は圧
力の作用下でもひどく変形することのないように固有の
安定性を要するため、作用層の厚さは十分に大きくされ
ている。
このような比較的硬い作用層の形成および除去処理は
非常に高価につくが、それにも拘らず、高表面品質のガ
ラス製品をこの方法で再現性良く形成するのは困難であ
る。
上記の公知の方法によると、等温状態で加圧成形が行
なわれる。すなわち、プレフォームと、外プレフォーム
と相互作用するプレス部品とがほぼ同じ温度とされ、加
圧成形行程の最終状態では、金型の金型内部で圧縮荷重
下に保持されているプレフォームとの温度が徐々に下げ
られて行くが、この時も金型とプレフォームの温度は冷
却工程中ほぼ等しく維持される。
等温加圧成形法の場合、金型付近のガラス領域に存在
して、ガラス面と金型表面との間に微小移動を生じ、プ
レフォームの表面欠陥の原因となる熱応力が回避される
ために、この方法が有利であると考えられている。
上述の理由により、同様の従来の方法でも等温加圧成
形法が用いられており、例えばヨーロッパ特許（EP）第
19342号ではアメリカ軟化点（107.6dPa.s）の温度域で
これを採用しており、またヨーロッパ特許（EP）第7805
8号では比較的高粘度で加圧成形を行なっている。
他方、光学用ガラス製品の加圧成形方法としては、プ
レフォームの温度と金型の作用層の温度との間に明確な
関係を求めずに、十分に加熱したプレフォームをそれよ
りかなり低温の金型の作用層間で加圧成形する方法（西
ドイツ特許登録明細書第397427号）が公知であるが、こ
の方法で製造された加圧成形ガラス製品、特にレンズは
結像用として不適当であり、集光レンズ等に使用されて
いる。
〔発明が解決しようとする課題〕
実際には、結像用ガラス製品の加圧成形法は、未だに
新たに開発される方法の目標とするところとなってお
り、これまでの技術開発の結果、この加圧成形法の成否
は一定の温度を保持することにかかっていることが明ら
かにされている。そのため前述のヨーロッパ特許（EP）
第78658号では特に、許容可能な加圧成形時間にプレフ
ォームがごくわずかしか変形せず、従って最終製品に望
まれる形状に密接に対応する形状を示すような高粘度の
ガラスに対して、すなわちその程度の低温で加圧成形を
行なう方法が記載されている。
このように精密に作製したプレフォームを必要とする
結果、必要な労力が増す。また、加圧温度が低いために
加圧成形時間が長くなり、加圧力を大きくする必要が生
じる。従って、このような方法は不経済になる他、欠陥
品も生み易くなると言える。
従って、本発明の目的は、結像用に適する成形ガラス
製品の製造方法であって、高生産速度で高い信頼性の最
高の光学的品質を有するガラス製品を製造し得る方法を
提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
この目的を達成するために、本発明によれば、前述し
たタイプの方法において、使用する金型の作用層が厚さ
５μｍ未満、山と谷の間の高さ0.1μｍ未満の機械的に
未加工の非晶質薄膜層から成り、表面領域の前記作用層
が形状安定な基部に対して強固に密着しており、前記表
面領域が光学的有効面の形成に必要な表面精度および表
面品質を有している金型を用いること、 前記基部の材料が粒度0.5μｍ未満の非晶質または単
結晶または多結晶質材料であること、および 加圧成形工程の開始時に、プレフォームと金型作用層
の少なくとも一方との温度差を少なくとも30Kとし、但
しガラス製プレフォームの不均質性および／または表面
欠陥の層じ得る数値以下とすることを特徴とする。
〔発明の作用・効果および態様〕
本発明によると、その硬質作用層が機械的に未加工で
あり従って高度の（ハイグレードな）表面品質の非晶質
付着層である金型を使用する。
この作用層は非常に薄く、通常の方法により本質的に
均等な層厚で形成されるため、機械的仕上げを行なわな
くてもこの作用層によって設計上の欠陥が生じることは
ない。
設計精度は、対応する基部表面領域の機械的処理によ
って保証される。
この機械的処理は、製造しようとするプレフォームに
要求される表面品質にも十分に対応させる必要がある。
基部上に積層する作用層は、その外表面がその下にある
基部の表面領域を忠実に複製でき、しかも基部表面に生
ずる顕微鏡的微小欠陥（このような顕微鏡的微小欠陥は
機械的処理後に残る場合がある）を平滑化し得る程度に
薄くし、それによって、作用層の自由面がその下の基部
表面領域より良好な表面品質を有するようにする。
薄い層は、周期的に作用する押圧力および剥離力に対
して反応し易い。このことはガラスに対して通常ほとん
ど付着性のない材料の極薄層についても言えることであ
る。このような欠陥の可能性に対抗するために、本発明
ではプレフォームと金型との間に温度差を与える。
この温度差は金型作用面からのプレフォームの剥離を
確実に容易化できるように決定されるが、他方では、プ
レフォームの中に望ましくない不均等性が生じる恐れが
ある程大きくしないように決定される。このような狙い
を有する不等温法は、プレフォームと作用面間の付着問
題の防止に有効に寄与することが証明された。
作用層は、例えば反応性直流スパッタリング、高周波
陰極スパッタリングなどの公知の非晶質薄膜層形成方
法、例えば配向成長または非晶質薄膜層形成方法により
形成することができる。
本発明の一実施態様では、Ti、Zr、Hf、Ｖ、Nb、Ta、
Cr、Mo、Ｗ、Al、Si、Ge、Ｃのうち少なくとも１つの元
素を主成分とし、前記元素の少なくとも１つが窒素また
は酸素との化合物として存在し得る材料で形成された基
部を有する金型を設け、作用層が炭素および／または窒
素と前記基部の中に含まれる元素の少なくとも１つとの
化合物を含有するようにされる。
このようにして、すなわち基部と作用層の材料を等し
くすることによって、極薄作用層の基部に対する密着性
を良くすることができることが証明された。
本発明による高い表面等級の作用面により、加圧成形
工程中もプレフォームの表面品質を非常に高く維持する
ことが可能であり、従って可能な限り最高の品質を有す
るプレフォームを粘性状態において特異な状態にないガ
ラスを使用するのが望ましい。本発明の実施態様では、
ガラス製品の光学有効面に供せられる表面領域を熱切開
（thermal splitting、本出願人の特許に関わる独国特
許出願公告第2906881号明細書に開示されたガラスの熱
切断方法）によって形成したプレフォームを使用するこ
とによって、このような最高の表面品質が保証される。
また、本発明の実施態様では、空気中の粒子濃度（空
気を構成する分子の総分子数で、真空度の指標である）
が104/m3未満である洗浄空気容器の中で本発明の方法を
実施するのが好適である。この方法により、これまでは
説明のつかなかったガラス製品表面の微小ガラス空隙の
発生を防止することができる。
本発明の別の実施態様によると、加圧成形工程中、金
型付近の全圧は10-2ミリバール未満に維持される。この
方法により、工程で使用される材料と気体材料の間に生
じ得る化学的相互作用ができるだけ回避される。加圧成
形工程中、金型付近の還元ガスまたは酸化ガス、特に酸
素の分圧を10-3ミリバール未満、好ましくは10-5ミリバ
ール未満に維持すると特に有効である。これに関連し
て、還元ガスでも、酸化鉛を鉛に還元することにより鉛
ガラスを黒く変色するなど、障害になる場合があること
に注意を要する。
本発明の特に有利な実施態様によると、作用層を再生
し得る濃度の窒素および／または炭素を提供する気体雰
囲気が、加圧成形工程中金型の近辺に維持される。加圧
工程中比較的高い温度にすると、薄極作用層の再生を行
なうことができ、それによって作用層の有効寿命を伸ば
すことができることが明らかにされている。このこと
は、本発明者らの理解によると、作用層の硬度および耐
摩耗性が主としてそれによって決まると言える作用層中
に含まれる窒素化合物および炭素化合物が、上記条件下
の気体相で塞ぐ（占める）ことができる窒素の孔を形成
および／または発生することができるという事実によっ
ている。窒素および／または炭素化合物の組成が必ずし
も正規組成でないという理由からも、このようなメカニ
ズムの生じる可能性があると思われる。
単結晶基部を使用する場合、結晶の物理的性質が優れ
た方向に対して、作用層をそれに直交する方向に配設す
るのが有利であると思われる。同時に非常に大きな機械
的負荷容量が達成される。
温度制御に関しては、加圧成形工程開始時にプレフォ
ームの温度をガラスの転移温度TGと少なくとも等しい値
に維持すると共に、作用面をそれより高い温度に調整す
るのが有利である。多くの場合、特に当初の粘度が高い
プレフォームを加圧成形する場合には、この方法で加圧
成形速度を高くすることができる。他方、加圧成形工程
開始時に作用面の温度の方をガラス転移温度近辺に維持
しておき、それより温度の高いプレフォームを挿入する
ことも可能である。この方法は、加圧成形を比較的高い
温度と比較的低い粘度で行なって、比較的高速の冷却を
伴なった高速加圧成形を達成する際に特に有利である。
上に述べた特定の方法は特に、加圧成形工程の開始時
に、プレフォームが従来技術に従って相互に対向する２
つのプレス型（それぞれ作用面を有する）から成る金型
に配置されるときに、プレフォームが垂直に配設された
プレス型の何れか一方、大抵は下型の方に配設される場
合も同様に適用し得るものである。従ってこの場合は、
プレフォームの温度と前記一方のプレス型の温度とを共
に他方のプレス型の温度より高くするのが有利である。
特に、本発明による温度差の設定は、２つの対向するプ
レス型を含む金型を使用する場合には、プレス型の作用
面間でその温度差が維持されるように行なうと良い。ガ
ラスを作用層から離すのを容易にするために、加圧成形
工程終了までこの温度差を維持するのが有利である。
本発明の方法の特に有利な実施態様によると、適用さ
れる温度差を成形したいガラスの粘度曲線の形状に調整
し、その差を少なくとも50Kにするのが好適である。
生産速度を高めるためには、本発明の実施態様ではガ
ラスの成形中に、好適には成形の初期段階において既に
金型の冷却工程を開始するのが有利である。このこと
は、対応する高温が存在すると容易に行なうことができ
る。これに関連して注意を要するのは、本発明によると
超低温でおよびそれに対応する高いガラス粘度で加工を
行なう必要がない点である。その逆に、生産速度に関し
て比較的高い出発温度を選択することから得られる利点
を全て利用することができる。
プレフォームが十分に高い形状安定性を獲得するとす
ぐにプレフォームの離型を行なうことができる。好適に
は、少なくとも作用面付近の温度が1013dPa.s.のガラス
粘度に対応する温度になった時にプレフォームを離型す
る。本発明による金型は、本発明による特定の方法と切
離して使用した場合でも、それによって成形されるガラ
ス製品の表面品質および形状安定性に関して特別な有利
性を示すものである。
〔実 施 例〕
以下、添付図面を参照しながら、本発明およびその例
示的実施態様並びに本発明により得られる利点について
詳細に説明する。
第１図は、下部プレス型３と、垂直軸５に沿って下部
プレス型３に対して可動の上部プレス型７とを含んで成
る金型１を概略的に示している。上下プレス型3,7はそ
れぞれ薄い金型作用層9,11を備えており、これらの層は
相互に整合されていると共に基部13,15に強固に接着さ
れて、熱膨脹に関して、製造すべきガラス製品の光学的
有効面の表面等級と形状に対応する作用面17,19をその
外表面において形成している。
基部13,17は各プレス型3,7の空隙部に固定されている
支持体21,23上にそれぞれ支持されている。支持体21,23
の中にはそれぞれ加熱用電線等の制御式加熱装置25,27
と温度検出用温度計プローブ29,31が設けられている。
この他、上下プレス型3,7の外表面に加熱用電線、誘導
加熱装置等の加熱装置33,35が設けられている。
支持体21,23は耐熱性材料、好適には金属またはセラ
ミックのような熱伝導性の良い材料で形成され、冷却装
置37,39で冷却することができる。ここに記載の実施態
様では冷却装置として冷却管41,43が設けられている。
金型１は、配管47,49を介して減圧、作用または気体雰
囲気による洗浄を行なうことのできるケーシング45の中
に配設されている。ケーシング45は充気弁53を介してア
クセスし得る清浄空気容器の中に配設されている。換気
装置55により、空気中に所定濃度の粒状不純物、特に10
4個/m3以上の粒状不純物が含まれることのないように調
整される。
作用層9,11の下に位置する基部13,15の表面領域57,59
をできるだけ正確に形成し、通常は研削または研磨によ
り、製造されるガラス製品の光学的有効面に関してでき
るだけ高品質の表面を与える。高表面品質を獲得するた
めに、基部13,15は粒径0.5μｍ以下の非晶質、単結晶ま
たは多結晶質の材料で形成される。作用層9,11は反応ス
パッタリング等によりこれらの表面領域57,59上に５μ
ｍ以下、例えば４μｍの均等な厚さを有する非晶質の薄
膜層を形成するように設けられる。このため作用層17,1
9はその下の表面領域57,59と正確に同じ形状をとるが、
表面領域57,59の表面に残存している場合のある顕微鏡
的微小欠陥は平滑化する。
第１図は、プレフォーム61を下部プレス型３の作用面
17上に置いた状態を示しており、前記プレフォームは記
載の実施態様ではプレード状であり、少なくとも作用面
17,19に形成される表面領域63,65において最高の表面品
質を示している。前記表面領域63,65は特に、熱切開法
により形成される劈開面として示される。
基部13,15は、高い形状安定性を有しなければなら
ず、また大きい押圧力を伝達できるようにする必要があ
る。そのため、基部は、何れの場合にも十分に圧縮（例
えば圧粉成形）された材料で形成する。圧縮材料は容易
に所望の精度および表面品質にできるためである。作用
層9,11は基部13,15と共通の成分を少なくとも１つ含む
材料で形成するのが望ましい。特に下記の材料は、基部
および作用層の成分として適当である。
基部： Si、SiC、Si3N4、WC、Al2O3、SiO2 作用層： SiC、Si3N4、TiN、AlN、ZrN 適当な組合せは、基部13,15を窒化ケイ素で形成し、
作用層9,11を反応スパッタリングで堆積した窒化チタン
で形成して成る。支持体21,23は熱膨脹率の低い金属で
形成する。
加圧成形工程に入る前に、基部13,15および作用層9,1
1の他、プレフォーム61が所望の開始温度になるまでプ
レス型3,7を加熱する。プレフォームは金型の外で加熱
して、プレフォーム61と金型１の作用層9,11との間に所
望の温度差を設定するようにしても良い。
プレフォーム61を含む全ての部品を完全に清浄化して
おくことも重要である。
加熱を行なう前に、金型１を供給管47,49により減圧
し、窒素で清浄した後、再び減圧する。金型１が高温で
ある間は、酸素の分圧を10-5ミリバール以下として、全
圧で例えば10-3ミリバールを維持する。所望の開始温度
に達すると直ちに加圧成形を行なうことができる。一方
の作用層で他方の作用層より強くガラス成形を行なう必
要がある場合は、前記一方の作用層の温度の方が前記他
方の作用層より高くなるようにすると共に、両側でのガ
ラス成形時間をほぼ等しくする。
成形が無事に完了する加圧成形時間として経験的に選
択した成形時間の経過後、成形されたプレフォームを冷
却し、十分に冷却した後に金型から取出すことができ
る。冷却装置の切換えとそれによって作用面の温度が実
際に低下するまでの間に時間的遅延があることを利用し
て、加圧成形工程の終了前に既に冷却を開始することに
より、加圧成形工程を迅速化することができることが明
らかになった。
この目的で金型１の加熱装置を切り、温度調整した冷
却流体を流すなどして冷却装置37,39を作動する。成形
プレフォームの温度が粘度約1013dPa.sに対応する温度
以下になると、金型１を開型してプレフォームを取出
し、これを焼鈍により仕上げてガラス製品を得ることが
できる。
次に、具体的実施例を２つ例示的に示す。
図面の説明は、成形されるレンズが図面の表示に対応
するかどうかということとは無関係に行なう。
実施例1:凹凸レンズの成形 下部プレス型３と上部プレス型７から成る金型１は単
結晶ケイ素から成る基部13,15を含んでおり、金型面中
央の表面法線がケイ素結晶の［111］結晶軸に対して直
交する方向に配向されている。作用層9,11の堆積時に作
用する基部9,11の表面領域57,59を、機械的研削または
超研磨により、形成すべきレンズの形成寸法に正確に対
応させる。表面領域57,59の表面等級を形成すべきレン
ズの最低要件より良くし、（ドイツ工業規格）DIN3140
による規格5/2×0.040に対応させる。表面粗さは約0.4n
m rmsになる。アルゴンと窒素を含む雰囲気中での陰極
スパッタリングにより、表面領域57,59上にケイ素とチ
タンと窒素から成る作用層9,11を均等に（層厚約100n
m）堆積する。作用面17,19の表面粗さは約0.6nm rmsに
なる。
プレフォーム61を金型１の下部プレス型３上に配置す
る。下部プレス型３は直径10mmであり、半径Ｒ＝10mmの
凹形球状の輪郭線を呈する金型面を有する。プレフォー
ム61として、その表面を機械的研磨により光学的品質と
した直径6,5mmのボールを使用する。ガラスの組成（単
位：重量％）はSiO2 46％、PbO 45％、Na2O ４％、K
2O ４％であり、転移温度432℃である。
金型１の付近における（すなわち処理室内の）全圧を
排気により約10-5ミリバールまで下げ、酸素の分圧を５
×10-6ミリバール以下とする。純粋窒素の添加により金
型付近の全圧を約10-3ミリバールに上げるが、酸素の分
圧は事実上変えない。高周波誘導加熱器を用いて上部プ
レス型７を約460℃まで加熱し、下部プレス型３をその
上に置いたプレフォームと共に約520℃まで加熱する。
型3,7を同時に移動し、プレフォーム61を凹凸レンズに
成形する。成形工程中に押圧力を約2KNまで連続的に増
大すると共に、上下の型の温度を430℃に下げる。この
温度においてガラスは約5.1×1012dPa.s.の粘度を示
す。約１分間加圧成形した後、押圧力を低減し、上下の
型を移動して離し、成形レンズを金型から取出す。続い
てレンズの焼鈍を行なう。
成形した凹凸レンズは外径11.2mm、中心厚さ2.1mmで
ある。レンズの輪郭と理論輪郭値との差は0.5リング（r
ings）以下になる。不整度は0.1リング以下である。成
形されたガラス表面の表面欠陥の数および大きさは、DI
N3140による5/2×0.063以下となる。レンズの表面粗さ
は約0.6nm rmsである。波面に関する誤差はλ/10以下
である。
実施例2:非球面レンズ 金型の下部プレス型３および上部プレス型７の基部1
3,15を単結晶Al2O3（合成サファイヤ）で形成する。表
面領域57,59を機械的研削または超研磨により、形成す
べきレンズの形状寸法に合わせて調整加工する。上部お
よび下部型はそれぞれ外径36mmであり、凸形輪郭の作用
面17,19を有する。この場合、下型３の表面領域57の輪
郭が非球状に形成される。研磨された表面領域57,59の
表面欠陥の大きさおよび数はDIN3140による規格5/2×0.
040を満足している。表面粗さは0.6nm rms以下にな
る。それぞれアルミニウムとチタンとジルコニウムと窒
素とから成り、厚さ約300mmの作用層17,19が、陰極反応
スパッタリングによりサファイヤ製基部13,15の表面領
域57,59上に形成される。こうして形成された作用層17,
19の表面粗さは0.5nm rms以下となる。
上下面を熱切開により光学的に有効なレンズ面に形成
した方形ストーン（35×35×12mm）をプレフォームとし
て使用する。この場合に使用したガラスは、組成（単
位：重量％）がLa2O3 42％、B2O3 35％、SiO2 ４
％、CaO ３％、ZnO＋ZrO2＋TiO2 16％を有するもので
あり、このガラスの転移温度は611℃である。
ケーシング45の内部、金型の外側でプレフォームを約
645℃に加熱する。これによって前記ケーシング内に実
施例１と同じ環境雰囲気が形成される。上型７および下
型３を別個の抵抗発熱体によりそれぞれ約702℃と689℃
に加熱する。プレフォーム61を金型１の中に配置し、押
圧力をゆっくりと上昇させながら変形させる。この変形
工程を通じてプレフォームはその外表面で支持される。
上下の型の温度は、5KNの最大押圧力に達する前から609
℃に向って下方調整する。最大押圧力は約２分間保持し
た後、約２分間でゼロまで漸減し、プレス型を移動して
離型した後、成形された両凹レンズを金型から取出す。
その後処理室外部でレンズの焼鈍を行なう。レンズの光
学的有効面は直径33mm、中心厚さ0.2mmを示す。
成形されたレンズの輪郭線の精度は、0.1リング未満
の正嵌合い許容差を有する輪郭線の理論値に比較して0.
5リングの範囲内に入る。
成形ガラス表面の表面粗さは約0.5nm rmsになる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の方法を実施する本発明による金型の概
略縦断面図である。 １は金型、３は上部プレス型、７は下部プレス型、9,11
は作用層、13,15は基部、17,19は作用面、61はプレフォ
ーム。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ディーター、シュターン ドイツ連邦共和国、デェー 7801 シュ テーゲン、エンゲルベルクシュトラーセ 32 (72)発明者 ウァルター、デェール ドイツ連邦共和国、デェー 7801 ロイ テ、シュタインシュトラーセ ４ (72)発明者 ギュンター、クレール ドイツ連邦共和国、デェー 7801 ブッ ヘンバッハ、シュールシュトラーセ ２ (72)発明者 ペーター、マンス ドイツ連邦共和国、デェー 7800 フラ イブルグ、ヤコブ‐ブュルクハルト‐シ ュトラーセ ７ (56)参考文献 特開 昭60−81032（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−286235（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−174128（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−123630（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−3030（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−118638（ＪＰ，Ａ)

Claims (19)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】次の事項を含む精密光学用のプレス仕上ガ
    ラス製品の製造方法： （ａ）製造されるガラス製品と接触する、少なくとも一
    層の、非晶質の作用層を備えたプレス金型を用意するこ
    と、 この作用層は、安定した一つの基部に密着されており、
    この安定した基部は0.5μｍ以下の粒径の多結晶、単結
    晶、または非晶質材料からなり、かつ、この材料は、T
    i,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Aj,Si,Ge,およびＣの少なく
    とも一つの元素を含み、その少なくとも一つの元素は窒
    素または酸素との化合物として存在するものであるこ
    と、 前記基部は、製造すべきガラス製品の形状に一致する一
    つの型表面を有し、この型表面は、製造されるガラス製
    品の光学的表面が最小限必要とされる独国標準等級DIN3
    140 5/2×0.040より等級が高いこと、 前記作用層は、前記安定な基部の前記型表面上に５μｍ
    以下の厚さで沈積され加工されていない状態のままであ
    り、この作用層は、前記基部の前記元素の少なくとも一
    つと、炭素、窒素、又は炭素並びに窒素の少なくとも一
    つの化合物を含んでいること； （ｂ）光学的表面となる領域において、火造りのガラス
    の表面的品質を少なくとも有するガラスプレフォームを
    製造すること； （ｃ）前記プレフォームを前記プレス金型中に配置し、
    その際、前記プレス型は酸素分圧が10-3ミリバール以下
    の非酸化雰囲気に維持すること； （ｄ）ガラス製品が製造されるように高い温度と圧力で
    プレスすること。この際、プレスの初期においては、プ
    レフォームと少なくともプレス金型の作用層は少なくと
    も30Kの温度差であるが、ガラスプレフォームの不均質
    または表面の欠陥が生じる値以下であること、および、 （ｅ）前記製造されたガラス製品をプレス金型内におい
    て十分な硬さが得られるまで冷却し、その後、そのガラ
    ス製品をプレス金型から取り出し、焼鈍することによっ
    て精密光学用の表面を形成させること。
  2. 【請求項２】ガラス製品の光学有効面を提供する表面領
    域が熱切開法によって形成されたプレフォーム（61）を
    使用することを特徴とする請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】空気を構成する分子の分子数が104/m3未満
    である清浄空気容器（51）内で実施することを特徴とす
    る請求項１乃至２の何れかに記載の方法。
  4. 【請求項４】加圧成形工程において、金型（１）付近の
    全圧を10-2ミリバール未満に維持することを特徴とする
    請求項１乃至３の何れかに記載の方法。
  5. 【請求項５】加圧成形工程において、金型（１）付近の
    還元ガスおよび／または酸化ガスの分圧を10-3ミリバー
    ル未満に維持することを特徴とする請求項１乃至４の何
    れかに記載の方法。
  6. 【請求項６】前記分圧が10-5ミリバール未満であること
    を特徴とする請求項５に記載の方法。
  7. 【請求項７】加圧成形工程において、作用層（9,11）を
    再生する濃度の窒素および／または炭素を含有する気体
    雰囲気を金型（１）付近で調整することを特徴とする請
    求項１乃至６の何れかに記載の方法。
  8. 【請求項８】単結晶基部（13,15）を使用する場合に、
    作用層（9,11）を基部（13,15）の結晶の物理的性質が
    優れた方向に対して本質的に直交する方向に配設するこ
    とを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の方法。
  9. 【請求項９】加圧成形工程の開始時に、プレフォーム
    （61）の温度をガラスの転移温度TGと少なくとも等しく
    すると共に、作用面（17,19）がそれより高い温度を示
    すようにすることを特徴とする請求項１乃至８の何れか
    に記載の方法。
  10. 【請求項１０】加圧成形工程の開始時に、作用面（17,1
    9）の温度がガラスの転移温度TG近辺になるようにする
    と共に、プレフォーム（61）がそれより高い温度を示す
    ようにすることを特徴とする請求項１乃至８の何れかに
    記載の方法。
  11. 【請求項１１】下型（３）と上型（７）とを含む金型
    （１）を使用するときに、プレフォーム（61）の下型
    （３）の作用面（17）上に配置し、プレフォームの温度
    を下型と共に上型（７）の温度より高くすることを特徴
    とする請求項１乃至８の何れかに記載の方法。
  12. 【請求項１２】相互に対向する２つのプレス型（3,7）
    を含む金型（１）を使用する時に、それぞれの作用面
    （17,19）と異なる温度に保持することを特徴とする請
    求項１乃至11の何れかに記載の方法。
  13. 【請求項１３】ガラス表面が不均等に変形するときの変
    形の強い方の作用面（17）の温度を他方の作用面（19）
    の温度より高く保持することを特徴とする請求項12に記
    載の方法。
  14. 【請求項１４】加圧成形工程終了まで前記温度差を維持
    することを特徴とする請求項１乃至13の何れかに記載の
    方法。
  15. 【請求項１５】前記温度差が少なくとも50Kであること
    を特徴とする請求項１乃至14の何れかに記載の方法。
  16. 【請求項１６】プレフォーム（61）を金型（１）の外で
    予備加熱することを特徴とする請求項１乃至15の何れか
    に記載の方法。
  17. 【請求項１７】金型（１）の冷却をガラスの変形中に開
    始することを特徴とする請求項１乃至16の何れかに記載
    の方法。
  18. 【請求項１８】ガラス変形の所期段階において冷却を開
    始することを特徴とする請求項17に記載の方法。
  19. 【請求項１９】少なくとも作用面（17,19）付近の温度
    が少なくとも1013dPa.sのガラス粘度に対応する温度に
    なった時にプレフォーム（61）を金型（１）から取出す
    ことを特徴とする請求項１乃至18の何れかに記載の方
    法。
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