JP2620765B2 - 縦型拡散炉用ボート - Google Patents
縦型拡散炉用ボートInfo
- Publication number
- JP2620765B2 JP2620765B2 JP62223567A JP22356787A JP2620765B2 JP 2620765 B2 JP2620765 B2 JP 2620765B2 JP 62223567 A JP62223567 A JP 62223567A JP 22356787 A JP22356787 A JP 22356787A JP 2620765 B2 JP2620765 B2 JP 2620765B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cassette
- mother
- sic
- diffusion furnace
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、熱拡散、アニール、減圧CVD処理等を行う
縦型拡散炉用ボートに関する。
縦型拡散炉用ボートに関する。
［従来の技術］ 従来、複数の半導体ウェーハを水平かつ多段に載置す
る縦型拡散炉用ボートは、石英ガラス質又はSi−SiC質
等の材料によって形成されている。
る縦型拡散炉用ボートは、石英ガラス質又はSi−SiC質
等の材料によって形成されている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来の石英ガラス質の材料からな
るボートによれば、耐熱性に劣るため、半導体ウェーハ
の大口径化等に対処すべくボートを大型にした場合、使
用温度における軟化変形が激しい問題がある。
るボートによれば、耐熱性に劣るため、半導体ウェーハ
の大口径化等に対処すべくボートを大型にした場合、使
用温度における軟化変形が激しい問題がある。
一方、Si−SiC質の材料からなるボートによれば、耐
熱衝撃性に劣るため、ボートを複雑形状にした場合、半
導体ウェーハを反応管から出し入れする際にボートが熱
衝撃によって割れ易い問題がある。
熱衝撃性に劣るため、ボートを複雑形状にした場合、半
導体ウェーハを反応管から出し入れする際にボートが熱
衝撃によって割れ易い問題がある。
そこで、本発明は、石英ガラス質とSi−SiC質等の材
料の長所を損なうことなく、夫々の短所を補って変形量
が少なく、かつ耐熱衝撃性に優れた縦型拡散炉用ボート
を提供しようとするものである。
料の長所を損なうことなく、夫々の短所を補って変形量
が少なく、かつ耐熱衝撃性に優れた縦型拡散炉用ボート
を提供しようとするものである。
［問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解決するため、本発明は、複数の半導体
ウェーハを水平かつ多段に載置する石英ガラス質のカセ
ットボートと、該カセットボートを吊持して搭載するSi
−SiC又はSi−SiC質のマザーボートとからなるものであ
る。
ウェーハを水平かつ多段に載置する石英ガラス質のカセ
ットボートと、該カセットボートを吊持して搭載するSi
−SiC又はSi−SiC質のマザーボートとからなるものであ
る。
［作 用］ 上記手段によれば、カセットボートは、石英ガラス質
からなり、かつその数及びマザーボートの搭載段数を半
導体ウェーハの載置数に応じて増やすことにより小型化
可能となると共にマザーボートに吊下げ式で搭載されて
曲げ荷重が作用しない一方、マザーボートは、Si−SiC
又はSi−SiC質からなり、かつカセットボートを搭載す
るだけの簡単な形状となる。
からなり、かつその数及びマザーボートの搭載段数を半
導体ウェーハの載置数に応じて増やすことにより小型化
可能となると共にマザーボートに吊下げ式で搭載されて
曲げ荷重が作用しない一方、マザーボートは、Si−SiC
又はSi−SiC質からなり、かつカセットボートを搭載す
るだけの簡単な形状となる。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面と共に説明する。
第１図及び第２図はそれぞれ一実施例の縦型拡散炉用
押上げ式ボートの側面図及び平面図である。
押上げ式ボートの側面図及び平面図である。
図中１はSi−SiC又はSi−SiC質の材料によって形成さ
れたマザーボートで、後述するカセットボートを吊持し
て搭載し、ボートローダによって反応管（共に図示せ
ず）内に押上げられるものである。そして、マザーボー
ト１は、円板状の基板２と、基板２の周辺部に立設した
支柱３と、基板２の上方に水平に位置させて支柱３に植
設した複数の係止板４とからなり、各係止板４の端部に
は、後述のカセットボートを吊持するための切欠き５が
設けられている。
れたマザーボートで、後述するカセットボートを吊持し
て搭載し、ボートローダによって反応管（共に図示せ
ず）内に押上げられるものである。そして、マザーボー
ト１は、円板状の基板２と、基板２の周辺部に立設した
支柱３と、基板２の上方に水平に位置させて支柱３に植
設した複数の係止板４とからなり、各係止板４の端部に
は、後述のカセットボートを吊持するための切欠き５が
設けられている。
カセットボート６は、複数の半導体ウェーハ７を水平
かつ多段に載置するもので、石英ガラス質の材料によっ
て形成されており、半導体ウェーハ７を載置するため、
多数の溝（図示せず）を相対する位置に刻設した平行か
つ垂直な複数の支持棒８と、各支持棒８の上下端部に固
着した端板9a,9bと、上方の端板9aに固着した係止ボタ
ン10とからなる。カセットボート６の係止ボタン10は、
カセットボート６をマザーボート１に吊持するため、そ
の係止板４の切欠き５に係合されるものであり、半導体
ウェーハ７を搭載した状態のカセットボート６の重心の
上方に取付けられている。
かつ多段に載置するもので、石英ガラス質の材料によっ
て形成されており、半導体ウェーハ７を載置するため、
多数の溝（図示せず）を相対する位置に刻設した平行か
つ垂直な複数の支持棒８と、各支持棒８の上下端部に固
着した端板9a,9bと、上方の端板9aに固着した係止ボタ
ン10とからなる。カセットボート６の係止ボタン10は、
カセットボート６をマザーボート１に吊持するため、そ
の係止板４の切欠き５に係合されるものであり、半導体
ウェーハ７を搭載した状態のカセットボート６の重心の
上方に取付けられている。
上記構成の押上げ式ボートによれば、カセットボート
６が石英ガラス質の材料からなるので、形状が複雑とな
っても熱衝撃によって破損することがなく、かつカセッ
トボート６の数及びマザーボート１の搭載段数を半導体
ウェーハ７の載置数に応じて増やすことによりカセット
ボート６の小型化が可能となると共に、カセットボート
６が吊下げ式で曲げ荷重が作用しないので、高温での変
形量を少なくすることができる。
６が石英ガラス質の材料からなるので、形状が複雑とな
っても熱衝撃によって破損することがなく、かつカセッ
トボート６の数及びマザーボート１の搭載段数を半導体
ウェーハ７の載置数に応じて増やすことによりカセット
ボート６の小型化が可能となると共に、カセットボート
６が吊下げ式で曲げ荷重が作用しないので、高温での変
形量を少なくすることができる。
又、マザーボート１がSi−SiC又はSi−SiC質の材料か
らなるので、変形がない上、カセットボート６を多段に
搭載するだけの簡単な形状となるので、熱衝撃によって
破損することが少なくなる。
らなるので、変形がない上、カセットボート６を多段に
搭載するだけの簡単な形状となるので、熱衝撃によって
破損することが少なくなる。
したがって、この押上げ式ボートは、全体として変形
量が少なく、かつ耐熱衝撃性に優れたものとなる。
量が少なく、かつ耐熱衝撃性に優れたものとなる。
第３図は比較例の縦型拡散炉用吊下げ式ボートの側面
図である。
図である。
図中11はSi−SiC又はSi−SiC質の材料によって形成さ
れたマザーボートで、後述するカセットボートを搭載
し、ボートローダによって反応管（共に図示せず）内に
吊下げられるものである。そして、マザーボート11は、
ボートローダに係止される係止ボタン12を備えた基板13
と、基板13の端部に垂設したブラケット14と、基板13の
下方に水平に位置させてブラケット14に取付けた複数の
棚板15とからなり、各棚板15の中央部上には、後述のカ
セットボートの位置決めをするための突起16が設けられ
ている。
れたマザーボートで、後述するカセットボートを搭載
し、ボートローダによって反応管（共に図示せず）内に
吊下げられるものである。そして、マザーボート11は、
ボートローダに係止される係止ボタン12を備えた基板13
と、基板13の端部に垂設したブラケット14と、基板13の
下方に水平に位置させてブラケット14に取付けた複数の
棚板15とからなり、各棚板15の中央部上には、後述のカ
セットボートの位置決めをするための突起16が設けられ
ている。
カセットボート17は、複数の半導体ウェーハ７を水平
かつ多段に載置するもので、石英ガラス質の材料によっ
て形成されており、半導体ウェーハ７を載置するため、
多数の溝（図示せず）を相対する位置に刻設した平行か
つ垂直な複数の支持棒18と、各支持棒18の上下端部に固
着した端板19a,19bとからなり、下方の端板19bの下面中
央部には、前記マザーボート11の棚板15の突起16と嵌合
う凹部20が設けられている。
かつ多段に載置するもので、石英ガラス質の材料によっ
て形成されており、半導体ウェーハ７を載置するため、
多数の溝（図示せず）を相対する位置に刻設した平行か
つ垂直な複数の支持棒18と、各支持棒18の上下端部に固
着した端板19a,19bとからなり、下方の端板19bの下面中
央部には、前記マザーボート11の棚板15の突起16と嵌合
う凹部20が設けられている。
上記実施例及び比較例の縦型拡散炉用ボートについ
て、実機使用したところ、比較例のものは、従来のボー
トに比べ、耐用回数の向上は見られるものの、22回のサ
イクルでボートのウェーハ支持棒の変形が顕著となった
が、実施例のものは、50回のサイクルでも問題が生じな
かった。
て、実機使用したところ、比較例のものは、従来のボー
トに比べ、耐用回数の向上は見られるものの、22回のサ
イクルでボートのウェーハ支持棒の変形が顕著となった
が、実施例のものは、50回のサイクルでも問題が生じな
かった。
なお、カセットボート６を吊下げ式とするのは、マザ
ーボート１を押上げ式とする場合に限らず、マザーボー
トを吊下げ式とする場合にも適用できる。
ーボート１を押上げ式とする場合に限らず、マザーボー
トを吊下げ式とする場合にも適用できる。
［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、カセットボートが、石
英ガラス質からなるので、形状が複雑となっても熱衝撃
によって破損することがなく、かつカセットボートの数
及びマザーボートの搭載段数を半導体ウェーハの載置数
に応じて増やすことによりカセットボートの小型化が可
能となると共にマザーボートに吊下げ式で搭載されて曲
げ荷重が作用しないので、高温での変形量を少なくする
ことができる。
英ガラス質からなるので、形状が複雑となっても熱衝撃
によって破損することがなく、かつカセットボートの数
及びマザーボートの搭載段数を半導体ウェーハの載置数
に応じて増やすことによりカセットボートの小型化が可
能となると共にマザーボートに吊下げ式で搭載されて曲
げ荷重が作用しないので、高温での変形量を少なくする
ことができる。
又、マザーボートが、Si−SiC又はSi−SiC質からなる
ので、変形がない上、カセットボートを多段に搭載する
だけの簡単な形状となるので、熱衝撃によって破損する
ことが少なくなる。
ので、変形がない上、カセットボートを多段に搭載する
だけの簡単な形状となるので、熱衝撃によって破損する
ことが少なくなる。
図は本発明の実施例を説明するもので、第１図及び第２
図は一実施例の縦型拡散炉用ボートの側面図及び平面
図、第３図は比較例の縦型拡散炉用ボートの側面図であ
る。 １……マザーボート、６……カセットボート ７……半導体ウェーハ、11……マザーボート 17……カセットボート
図は一実施例の縦型拡散炉用ボートの側面図及び平面
図、第３図は比較例の縦型拡散炉用ボートの側面図であ
る。 １……マザーボート、６……カセットボート ７……半導体ウェーハ、11……マザーボート 17……カセットボート
Claims (1)
- 【請求項１】複数の半導体ウェーハを水平かつ多段に載
置する石英ガラス質のカセットボートと、該カセットボ
ートを吊持して搭載するSi−SiC又はSi−SiC質のマザー
ボートとからなる縦型拡散炉用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62223567A JP2620765B2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | 縦型拡散炉用ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62223567A JP2620765B2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | 縦型拡散炉用ボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6466933A JPS6466933A (en) | 1989-03-13 |
| JP2620765B2 true JP2620765B2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=16800184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62223567A Expired - Lifetime JP2620765B2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | 縦型拡散炉用ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2620765B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3951587A (en) * | 1974-12-06 | 1976-04-20 | Norton Company | Silicon carbide diffusion furnace components |
| JPS6112024A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-01-20 | Fujitsu Ltd | 縦型加熱炉 |
-
1987
- 1987-09-07 JP JP62223567A patent/JP2620765B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6466933A (en) | 1989-03-13 |
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