JP2984658B1 - 半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダとボートの構造 - Google Patents
半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダとボートの構造Info
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- JP2984658B1 JP2984658B1 JP21229598A JP21229598A JP2984658B1 JP 2984658 B1 JP2984658 B1 JP 2984658B1 JP 21229598 A JP21229598 A JP 21229598A JP 21229598 A JP21229598 A JP 21229598A JP 2984658 B1 JP2984658 B1 JP 2984658B1
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- loader
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- treatment furnace
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Abstract
【要約】
【課題】 ボートの支柱の変形を防止した半導体ウエー
ハ保持用のボートの構造を提供する。 【解決手段】 熱処理炉内で複数の半導体ウエーハを保
持するボートであって、前記ウエーハを所定の間隔で水
平に保つため前記ウエーハに対して垂直な方向に設けら
れた支柱１２と、前記支柱１２上部１１を支持すること
でボート１をボートローダ２に吊り下げるための前記支
柱１２に一体的に設けた係止部１３とで構成したことを
特徴とする。
ハ保持用のボートの構造を提供する。 【解決手段】 熱処理炉内で複数の半導体ウエーハを保
持するボートであって、前記ウエーハを所定の間隔で水
平に保つため前記ウエーハに対して垂直な方向に設けら
れた支柱１２と、前記支柱１２上部１１を支持すること
でボート１をボートローダ２に吊り下げるための前記支
柱１２に一体的に設けた係止部１３とで構成したことを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハの
熱処理炉用ボートローダとボートの構造に係わり、特
に、ボートの支柱の変形を防止した半導体ウエーハの熱
処理炉用ボートローダとボートの構造に関する。
熱処理炉用ボートローダとボートの構造に係わり、特
に、ボートの支柱の変形を防止した半導体ウエーハの熱
処理炉用ボートローダとボートの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハを水平に保持したボート
をエレベータを用いて釣り鐘型をした石英製炉芯管内に
出し入れする半導体ウエーハ熱処理炉用ボートローダと
しては、例えば、図２に示すようなボートローダが提案
されている。図２において、３１はエレベータ、３２は
保温筒、３３はウエーハを保持した石英製のボート（図
示していない）を固定、支持するため保温筒３２上に設
けられたボート支持部である。
をエレベータを用いて釣り鐘型をした石英製炉芯管内に
出し入れする半導体ウエーハ熱処理炉用ボートローダと
しては、例えば、図２に示すようなボートローダが提案
されている。図２において、３１はエレベータ、３２は
保温筒、３３はウエーハを保持した石英製のボート（図
示していない）を固定、支持するため保温筒３２上に設
けられたボート支持部である。
【０００３】さて、炉芯管は開口部が下部にあるため、
ボートを保持したエレベータ３１を下から上へ移動させ
てボートに保持されているウエーハの熱処理を行うよう
になっている。熱処理温度は１０００℃以上であり、
又、ボートに装填されたウエーハの重量は約８ｋｇにも
なるため、ウエーハに対して垂直に設けられたボートの
支柱がその重みで上下に押しつぶされたように歪み、曲
がってしまうという問題があった。
ボートを保持したエレベータ３１を下から上へ移動させ
てボートに保持されているウエーハの熱処理を行うよう
になっている。熱処理温度は１０００℃以上であり、
又、ボートに装填されたウエーハの重量は約８ｋｇにも
なるため、ウエーハに対して垂直に設けられたボートの
支柱がその重みで上下に押しつぶされたように歪み、曲
がってしまうという問題があった。
【０００４】なお、ボートの高温熱処理における天板、
台板の変形を防止したものとしては、特開昭６４−８９
５３４号公報に示されたようなボートが知られている。
この要部を図３に示した。図３において３４はボート、
３５はボートの支柱３６に保持された半導体ウエーハで
ある。しかし、上記公報には、ボートの支柱３６の変形
を防止する技術は示されていない。
台板の変形を防止したものとしては、特開昭６４−８９
５３４号公報に示されたようなボートが知られている。
この要部を図３に示した。図３において３４はボート、
３５はボートの支柱３６に保持された半導体ウエーハで
ある。しかし、上記公報には、ボートの支柱３６の変形
を防止する技術は示されていない。
【０００５】本発明者は、半導体ウエーハを保持する石
英ガラスからなる支柱は、支柱を軸方向に押しつぶす力
に対しては比較的弱く、逆に、軸方向に互いに引っ張る
力に対しては、高温の環境下においても十分な強度があ
る事実を見出し、本発明に至ったものである。
英ガラスからなる支柱は、支柱を軸方向に押しつぶす力
に対しては比較的弱く、逆に、軸方向に互いに引っ張る
力に対しては、高温の環境下においても十分な強度があ
る事実を見出し、本発明に至ったものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
した従来技術の欠点を改良し、特に、ボートの支柱の変
形を防止し、以て、寿命を長くして、製造コストを安価
にした新規な半導体ウエーハ保持用のボートの構造を提
供するものである。又、本発明の他の目的は、上記ボー
トの支持に好適な半導体ウエーハの熱処理炉用ボートロ
ーダを提供するものである。
した従来技術の欠点を改良し、特に、ボートの支柱の変
形を防止し、以て、寿命を長くして、製造コストを安価
にした新規な半導体ウエーハ保持用のボートの構造を提
供するものである。又、本発明の他の目的は、上記ボー
トの支持に好適な半導体ウエーハの熱処理炉用ボートロ
ーダを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる半
導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダの態様は、半導
体ウエーハを保持するボートを熱処理炉に出し入れする
熱処理炉用ボートローダにおいて、前記ボート上部を支
持することでこのボートを前記ボートローダ内に吊り下
げる輪状の支持部と、この支持部を前記ボートローダ内
に固定せしめる複数の支柱とで構成したことを特徴とす
るものである。
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる半
導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダの態様は、半導
体ウエーハを保持するボートを熱処理炉に出し入れする
熱処理炉用ボートローダにおいて、前記ボート上部を支
持することでこのボートを前記ボートローダ内に吊り下
げる輪状の支持部と、この支持部を前記ボートローダ内
に固定せしめる複数の支柱とで構成したことを特徴とす
るものである。
【０００８】又、本発明に係わる半導体ウエーハ保持用
のボートの構造の第１態様は、熱処理炉内で複数の半導
体ウエーハを保持するボートであって、前記ウエーハを
所定の間隔で水平に保つため前記ウエーハに対して垂直
な方向に設けられた支柱と、前記支柱上部を支持するこ
とでボートをボートローダに吊り下げるための前記支柱
に一体的に設けた係止部とで構成したことを特徴とする
ものであり、又、第２態様は、前記係止部の形状は、略
Ｕ字状に形成したことを特徴とするものであり、又、第
３態様は、前記係止部の形状は、略Ｌ字状に形成したこ
とを特徴とするものであり、
のボートの構造の第１態様は、熱処理炉内で複数の半導
体ウエーハを保持するボートであって、前記ウエーハを
所定の間隔で水平に保つため前記ウエーハに対して垂直
な方向に設けられた支柱と、前記支柱上部を支持するこ
とでボートをボートローダに吊り下げるための前記支柱
に一体的に設けた係止部とで構成したことを特徴とする
ものであり、又、第２態様は、前記係止部の形状は、略
Ｕ字状に形成したことを特徴とするものであり、又、第
３態様は、前記係止部の形状は、略Ｌ字状に形成したこ
とを特徴とするものであり、
【０００９】又、第４態様は、 熱処理炉内で複数の半導
体ウエーハを保持するようにしたボートであって、 前記
ウエーハを所定の間隔で水平に保つため前記ウエーハに
対して垂直な方向に設けられた支柱と、前記支柱上部を
支持することでボートをボートローダに吊り下げるため
の前記支柱に組み付けられる係止部材とで構成したこと
を特徴とするものである。
体ウエーハを保持するようにしたボートであって、 前記
ウエーハを所定の間隔で水平に保つため前記ウエーハに
対して垂直な方向に設けられた支柱と、前記支柱上部を
支持することでボートをボートローダに吊り下げるため
の前記支柱に組み付けられる係止部材とで構成したこと
を特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係わる半導体ウエーハ保
持用のボートの構造は、熱処理炉内で複数の半導体ウエ
ーハを保持するボートであって、前記ウエーハを所定の
間隔で水平に保つため前記ウエーハに対して垂直な方向
に設けられた支柱と、前記支柱上部を支持することでボ
ートをボートローダに吊り下げるための前記支柱に一体
的に設けた係止部とで構成したことを特徴とするもので
ある。
持用のボートの構造は、熱処理炉内で複数の半導体ウエ
ーハを保持するボートであって、前記ウエーハを所定の
間隔で水平に保つため前記ウエーハに対して垂直な方向
に設けられた支柱と、前記支柱上部を支持することでボ
ートをボートローダに吊り下げるための前記支柱に一体
的に設けた係止部とで構成したことを特徴とするもので
ある。
【００１１】このように構成することで、ボートの支柱
には、支柱の軸方向に互いに引っ張る力が加えられる。
この場合、ボートの支柱は、高温の環境下においても十
分な強度を有するから、従来のように、ボートの支柱が
ウエーハの重みにより変形するような不具合の発生を防
止することができる。
には、支柱の軸方向に互いに引っ張る力が加えられる。
この場合、ボートの支柱は、高温の環境下においても十
分な強度を有するから、従来のように、ボートの支柱が
ウエーハの重みにより変形するような不具合の発生を防
止することができる。
【００１２】
【実施例】以下に、本発明に係わる半導体ウエーハの熱
処理炉用ボートローダとボートの構造の具体例を図面を
参照しながら詳細に説明する。なお、従来例と同一部分
には同一番号を付して、その説明を省略する。図１は、
本発明に係わる半導体ウエーハの熱処理炉用ボートロー
ダとボートの構造を示す図であって、図１には、半導体
ウエーハを保持するボートを熱処理炉に出し入れする熱
処理炉用ボートローダ２において、前記ボート上部１１
を支持することでこのボート１を前記ボートローダ２内
に吊り下げる輪状の支持部２１と、この支持部２１を前
記ボートローダ２内に固定せしめる複数の支柱２２とで
構成した半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダ２が
示されている。
処理炉用ボートローダとボートの構造の具体例を図面を
参照しながら詳細に説明する。なお、従来例と同一部分
には同一番号を付して、その説明を省略する。図１は、
本発明に係わる半導体ウエーハの熱処理炉用ボートロー
ダとボートの構造を示す図であって、図１には、半導体
ウエーハを保持するボートを熱処理炉に出し入れする熱
処理炉用ボートローダ２において、前記ボート上部１１
を支持することでこのボート１を前記ボートローダ２内
に吊り下げる輪状の支持部２１と、この支持部２１を前
記ボートローダ２内に固定せしめる複数の支柱２２とで
構成した半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダ２が
示されている。
【００１３】更に、熱処理炉内で複数の半導体ウエーハ
を保持するボート１であって、前記ウエーハを所定の間
隔で水平に保つため前記ウエーハに対して垂直な方向に
設けられた支柱１２と、前記支柱１２上部１１を支持す
ることでボート１をボートローダ２に吊り下げるための
前記支柱１２に一体的に設けた係止部１３とで構成した
半導体ウエーハ保持用のボート１の構造が示され、又、
前記係止部１３の形状は、略Ｕ字状に形成した半導体ウ
エーハ保持用のボート１の構造が示されている。
を保持するボート１であって、前記ウエーハを所定の間
隔で水平に保つため前記ウエーハに対して垂直な方向に
設けられた支柱１２と、前記支柱１２上部１１を支持す
ることでボート１をボートローダ２に吊り下げるための
前記支柱１２に一体的に設けた係止部１３とで構成した
半導体ウエーハ保持用のボート１の構造が示され、又、
前記係止部１３の形状は、略Ｕ字状に形成した半導体ウ
エーハ保持用のボート１の構造が示されている。
【００１４】なお、支柱１２には、ウエーハを保持する
ための溝（図示せず）が設けられている。又、前記係止
部１３の形状は、図１（ｂ）に示すように、略Ｌ字状に
形成してもよい。又、ボートをボートローダ内に係止さ
せるボート１の構造としては、図１（ｃ）に示すよう
に、前記ウエーハを所定の間隔で水平に保つため前記ウ
エーハに対して垂直な方向に設けられた支柱１２と、前
記支柱１２上部１１を支持することでボート１をボート
ローダ２に吊り下げるための前記支柱１２に組み付けら
れる係止部材１４とで構成しても良い。
ための溝（図示せず）が設けられている。又、前記係止
部１３の形状は、図１（ｂ）に示すように、略Ｌ字状に
形成してもよい。又、ボートをボートローダ内に係止さ
せるボート１の構造としては、図１（ｃ）に示すよう
に、前記ウエーハを所定の間隔で水平に保つため前記ウ
エーハに対して垂直な方向に設けられた支柱１２と、前
記支柱１２上部１１を支持することでボート１をボート
ローダ２に吊り下げるための前記支柱１２に組み付けら
れる係止部材１４とで構成しても良い。
【００１５】この場合、係止部材１４としては、図１
（ｃ）に示すように、円板１５と、この円板１５の下面
に設けた段差部１５ａとで構成し、段差部１５ａをボー
トローダ２の輪状の支持部２１に係合させることで、ボ
ートローダ２内にボート１を吊り下げて支持するもので
ある。係止部材１４としては、支持部２１に係止又は係
合してボート１を支持できれば、どのような構成でもよ
い。
（ｃ）に示すように、円板１５と、この円板１５の下面
に設けた段差部１５ａとで構成し、段差部１５ａをボー
トローダ２の輪状の支持部２１に係合させることで、ボ
ートローダ２内にボート１を吊り下げて支持するもので
ある。係止部材１４としては、支持部２１に係止又は係
合してボート１を支持できれば、どのような構成でもよ
い。
【００１６】勿論、本発明の構造を縦形熱処理炉やＬＰ
ＣＶＤ炉に適用することもできる。
ＣＶＤ炉に適用することもできる。
【００１７】
【発明の効果】本発明に係わる半導体ウエーハの熱処理
炉用ボートローダとボートの構造は上述のように構成し
たので、ボートの寿命を長くして、製造コストを著しく
低減することが可能になる。
炉用ボートローダとボートの構造は上述のように構成し
たので、ボートの寿命を長くして、製造コストを著しく
低減することが可能になる。
【図１】（ａ）は、本発明に係わる半導体ウエーハの熱
処理炉用ボートローダとボートの構造を示す図、
（ｂ）、（ｃ）は他の具体例を示す図である。
処理炉用ボートローダとボートの構造を示す図、
（ｂ）、（ｃ）は他の具体例を示す図である。
【図２】従来技術を示す図である。
【図３】従来技術を示す図である。
１ ボート ２ ボートローダ １１ ボート上部 １２ ボートの支柱 １３ ボートの係止部 １４ 係止部材 １５ 円板 ２１ ボートローダの輪状の支持部 ２２ ボートローダの支柱
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体ウエーハを保持するボートを熱処
理炉に出し入れする熱処理炉用ボートローダにおいて、 前記ボート上部を支持することでこのボートを前記ボー
トローダ内に吊り下げる輪状の支持部と、この支持部を
前記ボートローダ内に固定せしめる複数の支柱とで構成
したことを特徴とする半導体ウエーハの熱処理炉用ボー
トローダ。 - 【請求項２】 熱処理炉内で複数の半導体ウエーハを保
持するボートであって、 前記ウエーハを所定の間隔で水平に保つため前記ウエー
ハに対して垂直な方向に設けられた支柱と、前記支柱上
部を支持することでボートをボートローダに吊り下げる
ための前記支柱に一体的に設けた係止部とで構成したこ
とを特徴とする半導体ウエーハ保持用のボートの構造。 - 【請求項３】 前記係止部の形状は、略Ｕ字状に形成し
たことを特徴とする請求項２記載の半導体ウエーハ保持
用のボートの構造。 - 【請求項４】 前記係止部の形状は、略Ｌ字状に形成し
たことを特徴とする請求項２記載の半導体ウエーハ保持
用のボートの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21229598A JP2984658B1 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダとボートの構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21229598A JP2984658B1 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダとボートの構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2984658B1 true JP2984658B1 (ja) | 1999-11-29 |
| JP2000049106A JP2000049106A (ja) | 2000-02-18 |
Family
ID=16620224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21229598A Expired - Fee Related JP2984658B1 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダとボートの構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2984658B1 (ja) |
-
1998
- 1998-07-28 JP JP21229598A patent/JP2984658B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000049106A (ja) | 2000-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |