JP2611438B2 - 圧電共振子及びその製造方法 - Google Patents
圧電共振子及びその製造方法Info
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- JP2611438B2 JP2611438B2 JP1170507A JP17050789A JP2611438B2 JP 2611438 B2 JP2611438 B2 JP 2611438B2 JP 1170507 A JP1170507 A JP 1170507A JP 17050789 A JP17050789 A JP 17050789A JP 2611438 B2 JP2611438 B2 JP 2611438B2
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- shear
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、厚みすべり振動素子を有する圧電共振子及
びその製造方法に関し、特に、圧電共振子の薄型化を図
る場合に有用である。
びその製造方法に関し、特に、圧電共振子の薄型化を図
る場合に有用である。
従来、この種の圧電共振子では、たとえば第７図及び
第８図に示す如く、エネルギー閉込型の厚みすべり振動
素子７の薄肉方向両面端部にそれぞれ端子部8,8が設け
られており、この厚みすべり振動素子７の幅方向薄肉両
側部には、隙間を介してスペーサ9,9が各々配設されて
いる。
第８図に示す如く、エネルギー閉込型の厚みすべり振動
素子７の薄肉方向両面端部にそれぞれ端子部8,8が設け
られており、この厚みすべり振動素子７の幅方向薄肉両
側部には、隙間を介してスペーサ9,9が各々配設されて
いる。
そして、上記各スペーサ９の側部の上記厚みすべり振
動素子７の振動部7aと対応する位置には、必要に応じ、
該厚みすべり振動素子７の側部から離間する方向へ凹部
9aが刻設される。
動素子７の振動部7aと対応する位置には、必要に応じ、
該厚みすべり振動素子７の側部から離間する方向へ凹部
9aが刻設される。
そして、上記厚みすべり振動素子７とスペーサ9,9と
を挟んで、端子部８を有する側の両面に上記振動部7aを
囲むようにして形成された接着層10,10を介して被覆シ
ート11,11が接着固定されている。この場合、上記接着
層10により、該厚すべり振動素子７の振動スペースが確
保される。
を挟んで、端子部８を有する側の両面に上記振動部7aを
囲むようにして形成された接着層10,10を介して被覆シ
ート11,11が接着固定されている。この場合、上記接着
層10により、該厚すべり振動素子７の振動スペースが確
保される。
更に、上記厚みすべり振動素子７上の上記端子部８の
一部が露出し得るように、上記被覆シート11の一部11a
が欠切されている。
一部が露出し得るように、上記被覆シート11の一部11a
が欠切されている。
ところで、上記したような従来構造の圧電共振子で
は、所望する周波数によって厚みすべり振動素子７の薄
肉方向の肉厚（端子部８呼び電極部を有する方向に関す
る肉厚寸法）ｔの値が決定される。
は、所望する周波数によって厚みすべり振動素子７の薄
肉方向の肉厚（端子部８呼び電極部を有する方向に関す
る肉厚寸法）ｔの値が決定される。
上記周波数を例えば3.58M Hzに設定しようとする場
合、肉厚寸法ｔは0.35mm程度にする必要がある。従っ
て、圧電共振子全体の薄肉方向の肉厚寸法Ｔを例えば0.
5mm以下にしようとする場合、厚みすべり振動素子７の
表裏面に配備される接着層10,10及び被覆シートと11,11
のみの総肉厚寸法は0.15mm以下にしなければならず、材
料的に十分な強度を有する被覆シート111を選定するこ
とができない。
合、肉厚寸法ｔは0.35mm程度にする必要がある。従っ
て、圧電共振子全体の薄肉方向の肉厚寸法Ｔを例えば0.
5mm以下にしようとする場合、厚みすべり振動素子７の
表裏面に配備される接着層10,10及び被覆シートと11,11
のみの総肉厚寸法は0.15mm以下にしなければならず、材
料的に十分な強度を有する被覆シート111を選定するこ
とができない。
その結果、強度的に十分に耐え得る構造の圧電共振子
を得ることができない。
を得ることができない。
そこで、本発明の目的とするところは、所望の周波数
を得る際に厚みすべり振動素子の肉厚寸法に影響される
ことなく、強度的に十分耐え得る構造の圧電共振子及び
その製造方法を提供することである。
を得る際に厚みすべり振動素子の肉厚寸法に影響される
ことなく、強度的に十分耐え得る構造の圧電共振子及び
その製造方法を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明が採用する主たる
手段は、その要旨とするところが、矩形薄板状の基板の
対向する両側部にそれぞれ電極部を設けて該基板の中央
部を厚みすべり振動部となすと共に、上記各電極部に対
向させて関隙を介して上記基板とは別体で、該基板と略
同一厚さのスペーサを配設し、上記基板及びこの基板と
並べられた上記スペーサとで実質的に形成される平板の
両主面に、上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆う被
覆シートを設けた点に係る圧電共振子である。
手段は、その要旨とするところが、矩形薄板状の基板の
対向する両側部にそれぞれ電極部を設けて該基板の中央
部を厚みすべり振動部となすと共に、上記各電極部に対
向させて関隙を介して上記基板とは別体で、該基板と略
同一厚さのスペーサを配設し、上記基板及びこの基板と
並べられた上記スペーサとで実質的に形成される平板の
両主面に、上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆う被
覆シートを設けた点に係る圧電共振子である。
更に上記圧電共振子を製造するために、本発明が採用
する主たる手段は、その要旨とするところが、板状のス
ペーサ部材と該スペーサ部材とは別体で両面に電極を有
して厚みをすべり振動部を構成する板状の基材とを上記
電極を有する側を覆うようにして交互に重ね合わせて上
記厚みすべり振動部に対して間隙ができるようにその長
手方向両端部を接着固定し、上記基材及びスペーサ部材
を所定の肉厚寸法にてその長手方向に対して直角に切断
した後、その切断両面に板状の被覆シート部材を重ね合
わせて上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆うように
して上記被覆シート部材を接着固定し、その長手方向に
対して直角に所定の幅寸法にて切断して圧電共振子を製
造するようにした点に係る圧電共振子の製造方法であ
る。
する主たる手段は、その要旨とするところが、板状のス
ペーサ部材と該スペーサ部材とは別体で両面に電極を有
して厚みをすべり振動部を構成する板状の基材とを上記
電極を有する側を覆うようにして交互に重ね合わせて上
記厚みすべり振動部に対して間隙ができるようにその長
手方向両端部を接着固定し、上記基材及びスペーサ部材
を所定の肉厚寸法にてその長手方向に対して直角に切断
した後、その切断両面に板状の被覆シート部材を重ね合
わせて上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆うように
して上記被覆シート部材を接着固定し、その長手方向に
対して直角に所定の幅寸法にて切断して圧電共振子を製
造するようにした点に係る圧電共振子の製造方法であ
る。
以下添付図面を参照して、本発明を具体化した実施例
につき説明し、本発明の理解に供する。尚、以下の実施
例は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術
的範囲を限定する性格のものではない。
につき説明し、本発明の理解に供する。尚、以下の実施
例は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術
的範囲を限定する性格のものではない。
ここに、第１図は本発明の一実施例に係る圧電共振子
の斜視図、第２図は上記圧電共振子の分解斜視図、第３
図は上記圧電共振子を構成する厚みすべり振動素子の斜
視図、第４図（ａ），（ｂ）はそれぞれ上記圧電共振子
に適用することのできる他例のスペーサの斜視図、第５
図は上記圧電共振子を製造する場合の手順を示す説明
図、第６図は本発明の他の実施例に係る圧電共振子の分
解斜視図である。
の斜視図、第２図は上記圧電共振子の分解斜視図、第３
図は上記圧電共振子を構成する厚みすべり振動素子の斜
視図、第４図（ａ），（ｂ）はそれぞれ上記圧電共振子
に適用することのできる他例のスペーサの斜視図、第５
図は上記圧電共振子を製造する場合の手順を示す説明
図、第６図は本発明の他の実施例に係る圧電共振子の分
解斜視図である。
この実施例に係る圧電共振子では、第１図，第２図及
び第３図に示す如く、平面視で矩形薄板状（肉厚寸法
ｔ）の基板の幅方向（幅寸法Ｗ）の両側部に、それぞれ
電極部13,13が設けられ、厚みすべり振動素子12が形成
されている。
び第３図に示す如く、平面視で矩形薄板状（肉厚寸法
ｔ）の基板の幅方向（幅寸法Ｗ）の両側部に、それぞれ
電極部13,13が設けられ、厚みすべり振動素子12が形成
されている。
更に、上記厚みすべり振動素子12の他の両側部には、
上記電極部13,13に繋がる端子部14,14が設けられてい
る。
上記電極部13,13に繋がる端子部14,14が設けられてい
る。
尚この場合、上記電極部13,端子部14は、例えばスパ
ッタ法により形成される。
ッタ法により形成される。
そして、上記厚みすべり振動素子12の上記各電極部1
3,13側には、該電極部13,13に対向させて隙間を介して
それぞれ、基板と同一厚さのスペーサ15,15が配設され
ている。上記厚みすべり振動素子12及びこれと並べられ
た上記スペーサ15,15とは、それぞれ接着層16,16,16,16
により接着固定され、実質的に平板状に形成されてい
る。
3,13側には、該電極部13,13に対向させて隙間を介して
それぞれ、基板と同一厚さのスペーサ15,15が配設され
ている。上記厚みすべり振動素子12及びこれと並べられ
た上記スペーサ15,15とは、それぞれ接着層16,16,16,16
により接着固定され、実質的に平板状に形成されてい
る。
この場合、上記接着層16,16,…からなる隙間により、
上記厚みすべり振動素子12の厚みすべり振動部12aの幅
方向（振動方向）に関する振動スペースが確保される。
上記厚みすべり振動素子12の厚みすべり振動部12aの幅
方向（振動方向）に関する振動スペースが確保される。
更に、上記厚みすべり振動素子12とスペーサ15,15と
より構成された平板を挟んでその両面に、該厚みすべり
振動素子12の厚みすべり振動部12aを囲むようにして形
成された接着層17,17を介して被覆シート18,18が接着固
定されている。
より構成された平板を挟んでその両面に、該厚みすべり
振動素子12の厚みすべり振動部12aを囲むようにして形
成された接着層17,17を介して被覆シート18,18が接着固
定されている。
この場合、上記厚みすべり振動部12aを囲むようにし
て形成された接着層17により空隙が形成され、該厚みす
べり振動部12aの厚み方向に関する振動スペースが確保
される。
て形成された接着層17により空隙が形成され、該厚みす
べり振動部12aの厚み方向に関する振動スペースが確保
される。
上記被覆シート18には、当該圧電共振子を装備する際
に上記端子部14,14への配線作業を容易化するために、
一部18a,18aが半円形状にそれぞれ欠切されている。
に上記端子部14,14への配線作業を容易化するために、
一部18a,18aが半円形状にそれぞれ欠切されている。
この場合、上記のような欠切部に代えて、第１図に二
点鎖線で示されるように該被覆シート18を直線状に欠切
しても良い。この露出端子部には、スパッタ法等により
電極を付着させ、更にディップ法等により半田で覆うこ
とができる。
点鎖線で示されるように該被覆シート18を直線状に欠切
しても良い。この露出端子部には、スパッタ法等により
電極を付着させ、更にディップ法等により半田で覆うこ
とができる。
本実施例に係る圧電共振子は上記したように構成され
ている。
ている。
引き続き、第５図に基づいて、上記圧電共振子の製造
手順について説明する。
手順について説明する。
まず、板状のスペーサ部材21と、両面に電極22,22を
有して厚みすべり振動部23（12a）を構成する板状の基
材24（厚みすべり振動素子12）とが、上記電極22,22を
有する側を覆うようにして交互に重ね合わせられる。こ
の時、上記厚みすべり振動部23（12a）に対して間隙が
できるように、上記スペーサ部材21と基材24とはその長
手方向両端部で接着層25により接着固定される（第５図
（イ））。引続き、上記基材24及びスペーサ部材21が所
定の肉厚寸法にてその長手方向に対して直角に切断され
た後、その切断両面に板状の被覆シート部材26,26が重
ね合わせられる。この時、上記厚みすべり振動部12aを
空隙を介して覆うようにして上記被覆シート部材26,26
が接着固定される（第５図（ロ））。そして、その長手
方向に対して直角に所定の幅寸法にて切断（同図（ハ）
における破線の位置にて切断）することにより、当該圧
電共振子が製造される。
有して厚みすべり振動部23（12a）を構成する板状の基
材24（厚みすべり振動素子12）とが、上記電極22,22を
有する側を覆うようにして交互に重ね合わせられる。こ
の時、上記厚みすべり振動部23（12a）に対して間隙が
できるように、上記スペーサ部材21と基材24とはその長
手方向両端部で接着層25により接着固定される（第５図
（イ））。引続き、上記基材24及びスペーサ部材21が所
定の肉厚寸法にてその長手方向に対して直角に切断され
た後、その切断両面に板状の被覆シート部材26,26が重
ね合わせられる。この時、上記厚みすべり振動部12aを
空隙を介して覆うようにして上記被覆シート部材26,26
が接着固定される（第５図（ロ））。そして、その長手
方向に対して直角に所定の幅寸法にて切断（同図（ハ）
における破線の位置にて切断）することにより、当該圧
電共振子が製造される。
従って、上記手順によれば、当該圧電共振子を極めて
効率良く大量に製造することができる。
効率良く大量に製造することができる。
また、上記手順にて製造された圧電共振子では、薄板
状の厚みすべり振動素子12の幅方向の両側部に電極13,1
3が設けられていることから、所望の周波数を得るため
には、厚みすべり振動素子12の幅方向に関して寸法Ｗの
値を決定すれば良く、比較的自由に決定し得る。換言す
れば、従来の圧電共振子のように厚みすべり振動素子の
肉厚寸法（ｔ）を変えることなく、所望の周波数を選択
し得る。
状の厚みすべり振動素子12の幅方向の両側部に電極13,1
3が設けられていることから、所望の周波数を得るため
には、厚みすべり振動素子12の幅方向に関して寸法Ｗの
値を決定すれば良く、比較的自由に決定し得る。換言す
れば、従来の圧電共振子のように厚みすべり振動素子の
肉厚寸法（ｔ）を変えることなく、所望の周波数を選択
し得る。
実験結果では、例えば3.58M Hzの周波数を得る場合に
上記ｔの値を0.15mm,Wの値を0.35mmに設定したところ、
極めて良好な電気的特性を得ることができた。
上記ｔの値を0.15mm,Wの値を0.35mmに設定したところ、
極めて良好な電気的特性を得ることができた。
従って、本実施例に係る圧電共振子では、上記厚みす
べり振動素子12の薄肉方向の肉厚寸法ｔの値に影響され
ることなく所望の周波数を得ることが可能であるため、
被覆シート18としては、材料的，構造的に十分な強度を
有するものを選択し得る。
べり振動素子12の薄肉方向の肉厚寸法ｔの値に影響され
ることなく所望の周波数を得ることが可能であるため、
被覆シート18としては、材料的，構造的に十分な強度を
有するものを選択し得る。
更に、上記のような構造とすることにより、従来構造
の圧電共振子の場合よりも更に薄形化を可能とするもの
である。
の圧電共振子の場合よりも更に薄形化を可能とするもの
である。
尚、上記接着層17は、硬化前に流動性を有する接着剤
を塗布することにより形成されるか、あるいは基材入り
フィルム状接着剤からなる枠状体を貼り付けることによ
り形成される。
を塗布することにより形成されるか、あるいは基材入り
フィルム状接着剤からなる枠状体を貼り付けることによ
り形成される。
また、必ずしも上記接着層17のみで上記厚みすべり振
動部12aの振動スペースを確保するものに限らず、被覆
シート18の上記厚みすべり振動部12aに対向した部分に
凹部18b（第６図参照）を形成し、上記接着層17（第１
図参照）と協働して、若しくは凹部18b単独で該厚みす
べり振動部12aの振動スペースを確保するようにしても
よい。
動部12aの振動スペースを確保するものに限らず、被覆
シート18の上記厚みすべり振動部12aに対向した部分に
凹部18b（第６図参照）を形成し、上記接着層17（第１
図参照）と協働して、若しくは凹部18b単独で該厚みす
べり振動部12aの振動スペースを確保するようにしても
よい。
更に、前記スペーサ15に代えて、第４図（ａ）や第６
図に示すように、スペーサ19,19′の側部の上記厚みす
べり振動素子12の振動部12aと対応する位置に、該振動
部12aの側部から離間する方向へ凹部19a,19a′を刻設し
たものを用いても良い。
図に示すように、スペーサ19,19′の側部の上記厚みす
べり振動素子12の振動部12aと対応する位置に、該振動
部12aの側部から離間する方向へ凹部19a,19a′を刻設し
たものを用いても良い。
又、第４図（ｂ）に示すように、スペーサ20の側部の
上記厚みすべり振動部12aの両端部と対応する位置に、
それぞれに上記厚みすべり振動素子12から離間する方向
へ凹部20a,20aを刻設したものを用いても良い。
上記厚みすべり振動部12aの両端部と対応する位置に、
それぞれに上記厚みすべり振動素子12から離間する方向
へ凹部20a,20aを刻設したものを用いても良い。
本発明は、上記したように、矩形薄板状の基板の対向
する両側部にそれぞれ電極部を設けて該基板の中央部を
厚みすべり振動部となすと共に、上記各電極部に対向さ
せて間隙を介して上記基板とは別体で、該基板と略同一
厚さのスペーサを配設し、上記基板及びこの基板と並べ
られた上記スペーサとで実質的に形成される平板の両主
面に、上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆う被覆シ
ートを設けたことを特徴とする圧電共振子である。
する両側部にそれぞれ電極部を設けて該基板の中央部を
厚みすべり振動部となすと共に、上記各電極部に対向さ
せて間隙を介して上記基板とは別体で、該基板と略同一
厚さのスペーサを配設し、上記基板及びこの基板と並べ
られた上記スペーサとで実質的に形成される平板の両主
面に、上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆う被覆シ
ートを設けたことを特徴とする圧電共振子である。
従って、所望の周波数を得るためには、電極部を有す
る基板の幅方向の寸法を決定すれば良く、該基板の肉厚
寸法を任意に設定できる。そのため、被覆シートとして
は、材料的，構造的に十分な強度を有するものを選択し
得る。
る基板の幅方向の寸法を決定すれば良く、該基板の肉厚
寸法を任意に設定できる。そのため、被覆シートとして
は、材料的，構造的に十分な強度を有するものを選択し
得る。
また、本発明は、上記したように板状のスペーサ部材
と該スペーサ部材との別体で両面に電極を有して厚みす
べり振動部を構成する板状の基材とを上記電極を有する
側を覆うようにして交互に重ね合わせて上記厚みすべり
振動部に対して間隙ができるようにその長手方向両端部
を接着固定し、上記基材及びスペーサ部材を所定の肉厚
寸法にてその長手方向に対して直角に切断した後、その
切断両面に板状の被覆シート部材を重ね合わせて上記厚
みすべり振動部を空隙を介して覆うようにして上記被覆
シート部材を接着固定し、その長手方向に対して直角に
所定の幅寸法にて切断して圧電共振子を製造するように
したことを特徴とする圧電共振子の製造方法である。
と該スペーサ部材との別体で両面に電極を有して厚みす
べり振動部を構成する板状の基材とを上記電極を有する
側を覆うようにして交互に重ね合わせて上記厚みすべり
振動部に対して間隙ができるようにその長手方向両端部
を接着固定し、上記基材及びスペーサ部材を所定の肉厚
寸法にてその長手方向に対して直角に切断した後、その
切断両面に板状の被覆シート部材を重ね合わせて上記厚
みすべり振動部を空隙を介して覆うようにして上記被覆
シート部材を接着固定し、その長手方向に対して直角に
所定の幅寸法にて切断して圧電共振子を製造するように
したことを特徴とする圧電共振子の製造方法である。
従って、上記圧電共振子を極めて効率良く製造するこ
とができる。
とができる。
第１図は本発明の一実施例に係る圧電共振子の斜視図、
第２図は上記圧電共振子の分解斜視図、第３図は上記圧
電共振子を構成する厚みすべり振動素子の斜視図、第４
図（ａ），（ｂ）はそれぞれ上記圧電共振子に適用する
ことのできる他例のスペーサの斜視図、第５図は上記圧
電共振子を製造する場合の手順を示す説明図、第６図は
本発明の他の実施例に係る圧電共振子の分解斜視図、第
７図は従来の圧電共振子の斜視図、第８図は上記従来の
圧電共振子の分解斜視図である。 〔符号の説明〕 12……厚みすべり振動素子 12a,23……厚みすべり振動部 13……電極部 15,19,19′,20……スペーサ 16,17,25……接着層 18……被覆シート 18b,19a,19a′,20a……凹部 21……スペーサ部材 22……電極 24……基材 26……被覆シート部材
第２図は上記圧電共振子の分解斜視図、第３図は上記圧
電共振子を構成する厚みすべり振動素子の斜視図、第４
図（ａ），（ｂ）はそれぞれ上記圧電共振子に適用する
ことのできる他例のスペーサの斜視図、第５図は上記圧
電共振子を製造する場合の手順を示す説明図、第６図は
本発明の他の実施例に係る圧電共振子の分解斜視図、第
７図は従来の圧電共振子の斜視図、第８図は上記従来の
圧電共振子の分解斜視図である。 〔符号の説明〕 12……厚みすべり振動素子 12a,23……厚みすべり振動部 13……電極部 15,19,19′,20……スペーサ 16,17,25……接着層 18……被覆シート 18b,19a,19a′,20a……凹部 21……スペーサ部材 22……電極 24……基材 26……被覆シート部材
Claims (2)
- 【請求項１】矩形薄板状の基板の対向する両側部にそれ
ぞれ電極部を設けて該基板の中央部を厚みすべり振動部
となすと共に、上記各電極部に対向させて間隙を介して
上記基板とは別体で、該基板と略同一厚さのスペーサを
配設し、上記基板及びこの基板と並べられた上記スペー
サとで実質的に形成される平板の両主面に、上記厚みす
べり振動部を空隙を介して覆う被覆シートを設けたこと
を特徴とする圧電共振子。 - 【請求項２】板状のスペーサ部材と該スペーサ部材とは
別体で両面に電極を有して厚みすべり振動部を構成する
板状の基材とを上記電極を有する側を覆うようにして交
互に重ね合わせて上記厚みすべり振動部に対して間隙が
できるようにその長手方向両端部を接着固定し、上記基
材及びスペーサ部材を所定の肉厚寸法にてその長手方向
に対して直角に切断した後、その切断両面に板状の被覆
シート部材を重ね合わせて上記厚みすべり振動部を空隙
を介して覆うようにして上記被覆シート部材を接着固定
し、その長手方向に対して直角に所定の幅寸法にて切断
して圧電共振子を製造するようにしたことを特徴とする
圧電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170507A JP2611438B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170507A JP2611438B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP2611438B2 true JP2611438B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=15906234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1170507A Expired - Lifetime JP2611438B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2611438B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (3)
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|---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-06-30 JP JP1170507A patent/JP2611438B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0335609A (ja) | 1991-02-15 |
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