JP2611085B2 - 微少流量ガス監視装置 - Google Patents
微少流量ガス監視装置Info
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- JP2611085B2 JP2611085B2 JP11473292A JP11473292A JP2611085B2 JP 2611085 B2 JP2611085 B2 JP 2611085B2 JP 11473292 A JP11473292 A JP 11473292A JP 11473292 A JP11473292 A JP 11473292A JP 2611085 B2 JP2611085 B2 JP 2611085B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微少流量ガス監視装置に
係り、特に、大容量のガス供給路に流れるガス流量が小
さくなったときその微少流量ガスを監視する微少流量ガ
ス監視装置に関するものである。
係り、特に、大容量のガス供給路に流れるガス流量が小
さくなったときその微少流量ガスを監視する微少流量ガ
ス監視装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の装置として、ＬＰＧ供給設
備における埋設管を含むガス供給管の微少ガス漏洩をガ
スの供給を強制的にストップすることなく検知するため
ガス漏洩検知装置に適用され、その一例が例えば特開平
３−４１３００号公報において提案されている。
備における埋設管を含むガス供給管の微少ガス漏洩をガ
スの供給を強制的にストップすることなく検知するため
ガス漏洩検知装置に適用され、その一例が例えば特開平
３−４１３００号公報において提案されている。
【０００３】図２は上記提案のガス漏洩検知装置を組み
込んだ例えばマンションなどの集合住宅にガスを供給す
るガス供給設備を示し、同図において、プロパンガスボ
ンベなどのガス供給源１とマンション２のガス取入口３
とはメイン供給路としてのガス供給管４により接続され
ており、ガス供給管４には圧力調整器５及び６並びにガ
スメータ７が設けられている。また、ガス取入口３には
例えば各階別にバルブ８，９が設けられており、マンシ
ョン２内の各住宅にはそれぞれバルブ１０及びガスメー
タ１１を介して配管１２によりガス消費設備１３にガス
が供給される。
込んだ例えばマンションなどの集合住宅にガスを供給す
るガス供給設備を示し、同図において、プロパンガスボ
ンベなどのガス供給源１とマンション２のガス取入口３
とはメイン供給路としてのガス供給管４により接続され
ており、ガス供給管４には圧力調整器５及び６並びにガ
スメータ７が設けられている。また、ガス取入口３には
例えば各階別にバルブ８，９が設けられており、マンシ
ョン２内の各住宅にはそれぞれバルブ１０及びガスメー
タ１１を介して配管１２によりガス消費設備１３にガス
が供給される。
【０００４】ガス供給源であるプロパンガスボンベ１側
の元調整器５とマンション２全体に供給するガス量を積
算する親ガスメータ７との間のガス供給管４ｂには親調
整器６が設けられており、更にガス供給管４ｂには親調
整器６の入口側と出口側とを接続するサブ供給路として
のバイパスガス流路１４が設けられている。このガス流
路１４には入口側から順次子調整器１５及び微少漏洩検
知手段としてのマイコンガスメータ（以下Ｍメータとい
う）１６が設けられている。
の元調整器５とマンション２全体に供給するガス量を積
算する親ガスメータ７との間のガス供給管４ｂには親調
整器６が設けられており、更にガス供給管４ｂには親調
整器６の入口側と出口側とを接続するサブ供給路として
のバイパスガス流路１４が設けられている。このガス流
路１４には入口側から順次子調整器１５及び微少漏洩検
知手段としてのマイコンガスメータ（以下Ｍメータとい
う）１６が設けられている。
【０００５】そして子調整器１５の調整圧力は親調整器
６の調整圧力より高く設定する。例えば親調整器６の調
整圧力が２８０mmＨ2 Ｏに設定されているときは、子調
整器１５の調整圧力は約３００mmＨ2 Ｏに設定するよう
にする。また、Ｍメータ１６としては、微少流量、例え
ば３リットル／時間程度の流量を正確に積算でき、また
微少漏洩検知機能により監視し、３０日間連続して３リ
ットル／時間以上の流量があるときには漏洩が生じてい
ると判断してその旨をランプの点灯により表示するもの
を用いる。
６の調整圧力より高く設定する。例えば親調整器６の調
整圧力が２８０mmＨ2 Ｏに設定されているときは、子調
整器１５の調整圧力は約３００mmＨ2 Ｏに設定するよう
にする。また、Ｍメータ１６としては、微少流量、例え
ば３リットル／時間程度の流量を正確に積算でき、また
微少漏洩検知機能により監視し、３０日間連続して３リ
ットル／時間以上の流量があるときには漏洩が生じてい
ると判断してその旨をランプの点灯により表示するもの
を用いる。
【０００６】以上の構成において、夜間や深夜のガス消
費がほとんどなくなるときにはガス供給管４ｂの圧力が
高くなって親調整器６が閉となって子調整器１５及びＭ
メータ１６にのみガスが流れるようになり、ガス供給路
４ｂを通じて流れる微少なガス流量を監視することがで
きるようにする。親調整器６、子調整器１５及びＭメー
タ１６は、ガス流量が小さくなったときメイン供給路を
閉じてサブ供給路のみを通じてガスを供給できるように
した微少流量ガス監視装置を構成している。このときガ
ス消費が全くなくしかもガスの微少漏洩も生じていなけ
れば、親ガスメータ７及びＭメータ１６共にガス流量を
検出することがなくなる。
費がほとんどなくなるときにはガス供給管４ｂの圧力が
高くなって親調整器６が閉となって子調整器１５及びＭ
メータ１６にのみガスが流れるようになり、ガス供給路
４ｂを通じて流れる微少なガス流量を監視することがで
きるようにする。親調整器６、子調整器１５及びＭメー
タ１６は、ガス流量が小さくなったときメイン供給路を
閉じてサブ供給路のみを通じてガスを供給できるように
した微少流量ガス監視装置を構成している。このときガ
ス消費が全くなくしかもガスの微少漏洩も生じていなけ
れば、親ガスメータ７及びＭメータ１６共にガス流量を
検出することがなくなる。
【０００７】そして、この様なことは例えば３０日の比
較的長い所定期間の間には少なくとも１回は生じること
を前提にし、もしこの所定期間の間に親ガスメータ７及
びＭメータ１６共にガス流量を検出することがなくなら
ないときには、微少ガス漏洩が生じていると判断できる
ようになる。
較的長い所定期間の間には少なくとも１回は生じること
を前提にし、もしこの所定期間の間に親ガスメータ７及
びＭメータ１６共にガス流量を検出することがなくなら
ないときには、微少ガス漏洩が生じていると判断できる
ようになる。
【０００８】このようにガス供給管の一部にバイパス流
路を設け、調整圧力の異なる調整器により低流量時にガ
スをバイパス流路に流し、このバイパス流路に設けた微
少流量を検出できるＭメータによって流量を監視して微
少ガス漏洩を検知するようにしているので、ガス供給管
のガス漏洩検知をガス供給を強制的に停止することな
く、容易にかつ確実に行うことができる。
路を設け、調整圧力の異なる調整器により低流量時にガ
スをバイパス流路に流し、このバイパス流路に設けた微
少流量を検出できるＭメータによって流量を監視して微
少ガス漏洩を検知するようにしているので、ガス供給管
のガス漏洩検知をガス供給を強制的に停止することな
く、容易にかつ確実に行うことができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の微少流
量ガス監視装置では、ガス供給路の圧力を高圧から低圧
あるいは中圧から低圧に減圧する親調整器６と子調整器
１５との間に差圧を設けることで微少流量時にガス供給
をバイパス流路に切り替えて微少流量ガスを監視するよ
うになっていて、減圧手段と切替手段とを組み合わせた
構成となっている。
量ガス監視装置では、ガス供給路の圧力を高圧から低圧
あるいは中圧から低圧に減圧する親調整器６と子調整器
１５との間に差圧を設けることで微少流量時にガス供給
をバイパス流路に切り替えて微少流量ガスを監視するよ
うになっていて、減圧手段と切替手段とを組み合わせた
構成となっている。
【００１０】このため、都市ガスや簡易ガス設備等のよ
うにガスが既に低圧圧力の状態で供給される場所には、
上述のような調整器の差圧を利用した従来の装置は適用
することができない。
うにガスが既に低圧圧力の状態で供給される場所には、
上述のような調整器の差圧を利用した従来の装置は適用
することができない。
【００１１】よって本発明は、上述した従来の問題点に
鑑み、低圧のガスを供給する大容量のガス供給路に流れ
るガス流量が小さくなったときその微少流量ガスを監視
することのできる微少流量ガス監視装置を提供すること
を目的としている。
鑑み、低圧のガスを供給する大容量のガス供給路に流れ
るガス流量が小さくなったときその微少流量ガスを監視
することのできる微少流量ガス監視装置を提供すること
を目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的を達成
するため本発明により成された微少流量ガス監視装置
は、大容量のガス供給路のガス流量が小さくなったとき
その微少流量ガスを監視する微少流量ガス監視装置にお
いて、メイン供給路のガス流量が所定値以下に低下した
ことを判別する流量判別手段と、メイン供給路と並列に
配置され上流側の一端が上流方向に向け下流側の他端が
下流方向に向けてメイン供給路内の中央に位置決めされ
メイン供給路に流れるガスの一定割合を一端から流入し
て他端から流出するサブ供給路としてのバイパス管と、
前記バイパス管の途中に設けられバイパス管に流れるガ
スの流量を検知する微少流量検知手段と、前記流量判別
手段によってメイン供給路のガス流量が所定値以下に低
下したことが判別されたとき、前記微少流量検知手段に
より検知したガス流量によってメイン供給路のガス流量
を計測する流量計測手段とを備え、前記流量計測手段に
よる流量計測によってメイン供給路の微少流量ガスを監
視することを特徴としている。
するため本発明により成された微少流量ガス監視装置
は、大容量のガス供給路のガス流量が小さくなったとき
その微少流量ガスを監視する微少流量ガス監視装置にお
いて、メイン供給路のガス流量が所定値以下に低下した
ことを判別する流量判別手段と、メイン供給路と並列に
配置され上流側の一端が上流方向に向け下流側の他端が
下流方向に向けてメイン供給路内の中央に位置決めされ
メイン供給路に流れるガスの一定割合を一端から流入し
て他端から流出するサブ供給路としてのバイパス管と、
前記バイパス管の途中に設けられバイパス管に流れるガ
スの流量を検知する微少流量検知手段と、前記流量判別
手段によってメイン供給路のガス流量が所定値以下に低
下したことが判別されたとき、前記微少流量検知手段に
より検知したガス流量によってメイン供給路のガス流量
を計測する流量計測手段とを備え、前記流量計測手段に
よる流量計測によってメイン供給路の微少流量ガスを監
視することを特徴としている。
【００１３】
【作用】上記構成により、メイン供給路と並列に配置し
たバイパス管の上流側の一端を上流方向に向け、下流側
の他端を下流方向に向けてメイン供給路内の中央に位置
決めし、メイン供給路に流れるガスの一定割合を一端か
ら流入して他端から流出する。流量判別手段によってメ
イン供給路のガス流量が所定値以下に低下したことを判
別したとき、バイパス管の途中に設けた微少流量検知手
段によりバイパス管に流れるガスの流量を検知する。こ
の検知したバイパス管のガス流量によって流量計測手段
がメイン供給路のガス流量を計測し、この流量計測によ
ってメイン供給路の微少流量ガスを監視する。
たバイパス管の上流側の一端を上流方向に向け、下流側
の他端を下流方向に向けてメイン供給路内の中央に位置
決めし、メイン供給路に流れるガスの一定割合を一端か
ら流入して他端から流出する。流量判別手段によってメ
イン供給路のガス流量が所定値以下に低下したことを判
別したとき、バイパス管の途中に設けた微少流量検知手
段によりバイパス管に流れるガスの流量を検知する。こ
の検知したバイパス管のガス流量によって流量計測手段
がメイン供給路のガス流量を計測し、この流量計測によ
ってメイン供給路の微少流量ガスを監視する。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明による微少流量ガス監視装置の一実
施例を示し、同図において、メイン供給路２０にはその
途中に仕切り壁２０ａが形成され、その中央に大径孔２
０ｂが、この大径孔２０ｂの周囲に小径孔２０ｃがそれ
ぞれ開けられている。大径孔２０ｂは、圧縮スプリング
２１により下流側から付勢されたボール２２によって閉
栓されるようになっている。
する。図１は本発明による微少流量ガス監視装置の一実
施例を示し、同図において、メイン供給路２０にはその
途中に仕切り壁２０ａが形成され、その中央に大径孔２
０ｂが、この大径孔２０ｂの周囲に小径孔２０ｃがそれ
ぞれ開けられている。大径孔２０ｂは、圧縮スプリング
２１により下流側から付勢されたボール２２によって閉
栓されるようになっている。
【００１５】上記ボール２２は、大径孔２０ｂに上流側
から入ったガスの流量が例えば５０〜１００リットル／
時間の基準流量以上になると、圧縮スプリング２１の付
勢力に抗して下流側に後退させて大径孔２０ｂを開栓さ
せ、それ以下になると、圧縮スプリング２１の付勢力に
よって大径孔２０ｂを閉栓させる。ボール２２が開栓状
態にあるときには大径孔２０ｂ及び小径孔２０ｃの双方
を通じて大量のガスが流れ、ボール２２が閉栓状態にあ
るときには小径孔２０ｃのみを通じて少量のガスが流れ
る。
から入ったガスの流量が例えば５０〜１００リットル／
時間の基準流量以上になると、圧縮スプリング２１の付
勢力に抗して下流側に後退させて大径孔２０ｂを開栓さ
せ、それ以下になると、圧縮スプリング２１の付勢力に
よって大径孔２０ｂを閉栓させる。ボール２２が開栓状
態にあるときには大径孔２０ｂ及び小径孔２０ｃの双方
を通じて大量のガスが流れ、ボール２２が閉栓状態にあ
るときには小径孔２０ｃのみを通じて少量のガスが流れ
る。
【００１６】また、メイン供給路２０内には、ボール２
２の下流側において、メイン供給路２０の外側にこれに
沿って配置されたサブ供給路を形成する小径のバイパル
管２３の両端がその中央部まで引き込まれ、上流側の一
端が上流方向に、下流側の他端が下流方向にそれぞれ向
けて位置決めされている。このバイパス管２３の配置に
よって、メイン供給路２０に流れるガスの一部がバイパ
ス管２３にも流れ、両方を流れたガスが下流側に放出さ
れる。
２の下流側において、メイン供給路２０の外側にこれに
沿って配置されたサブ供給路を形成する小径のバイパル
管２３の両端がその中央部まで引き込まれ、上流側の一
端が上流方向に、下流側の他端が下流方向にそれぞれ向
けて位置決めされている。このバイパス管２３の配置に
よって、メイン供給路２０に流れるガスの一部がバイパ
ス管２３にも流れ、両方を流れたガスが下流側に放出さ
れる。
【００１７】メイン供給路２０の管壁には、上記ボール
２２に隣接した位置にボール２２の位置、すなわちボー
ル２２が大径孔２０ｂを閉栓する位置にあるか或いは開
栓する位置にあるかを検出する例えば光学センサ２４が
設けられている。この光学センサ２４は圧縮スプリング
２１によって大径孔２０ｂを閉栓方向に付勢されたボー
ル２２と共に流量が所定値以下であるかどうかを判別す
る流量判別手段Ａを構成している。
２２に隣接した位置にボール２２の位置、すなわちボー
ル２２が大径孔２０ｂを閉栓する位置にあるか或いは開
栓する位置にあるかを検出する例えば光学センサ２４が
設けられている。この光学センサ２４は圧縮スプリング
２１によって大径孔２０ｂを閉栓方向に付勢されたボー
ル２２と共に流量が所定値以下であるかどうかを判別す
る流量判別手段Ａを構成している。
【００１８】一方、バイパス管２３の途中には、バイパ
ス管２３を通じて流れるガス流量を検知するための流量
検知装置２５が設けられている。流量検知装置２５は、
バイパス管２３の途中に形成した水平部２３ａに一定間
隔開けて配置された２つの光学センサ２５ａ1 及び２５
ａ2 を有する。流量検知装置２５はまた、バイパス管２
３内に石鹸膜Ｍを形成してこれを上記水平部２３ａの部
分を移動させるための石鹸液供給回収装置２６を有す
る。
ス管２３を通じて流れるガス流量を検知するための流量
検知装置２５が設けられている。流量検知装置２５は、
バイパス管２３の途中に形成した水平部２３ａに一定間
隔開けて配置された２つの光学センサ２５ａ1 及び２５
ａ2 を有する。流量検知装置２５はまた、バイパス管２
３内に石鹸膜Ｍを形成してこれを上記水平部２３ａの部
分を移動させるための石鹸液供給回収装置２６を有す
る。
【００１９】バイパス管２３内に形成した石鹸膜Ｍは、
バイパス管２３に流れるガス流によってその流速に応じ
た速度で水平部２３ａを上流側から下流側に移動され、
この移動を微少流量検知手段Ｂを構成する光学センサ２
５ａ1 及び２５ａ2 が検知して発生する検知信号が流量
監視部２７に供給される。
バイパス管２３に流れるガス流によってその流速に応じ
た速度で水平部２３ａを上流側から下流側に移動され、
この移動を微少流量検知手段Ｂを構成する光学センサ２
５ａ1 及び２５ａ2 が検知して発生する検知信号が流量
監視部２７に供給される。
【００２０】流量監視部２７は、流量計測部２７ａにお
いて、光学センサ２５ａ1 及び２５ａ2 からの検知信号
に基づいて石鹸膜Ｍが両センサ間を横切る時間Ｔを計測
し、この時間Ｔを流量に換算してガス流量を計測する。
この計測した流量が所定値以上である状態にあるか、又
は、光学センサ２４によるボール２２が開栓した状態に
あると検知されている間、カウンタ部２７ｂが一日毎に
インクリメエントし、このカウンタ部２７ｂのカウント
値が例えば３０日に相当する所定値になった場合には、
微少ガス漏れがあると判断して異常表示部２７ｃに微少
ガス漏洩が生じていることを表示する。
いて、光学センサ２５ａ1 及び２５ａ2 からの検知信号
に基づいて石鹸膜Ｍが両センサ間を横切る時間Ｔを計測
し、この時間Ｔを流量に換算してガス流量を計測する。
この計測した流量が所定値以上である状態にあるか、又
は、光学センサ２４によるボール２２が開栓した状態に
あると検知されている間、カウンタ部２７ｂが一日毎に
インクリメエントし、このカウンタ部２７ｂのカウント
値が例えば３０日に相当する所定値になった場合には、
微少ガス漏れがあると判断して異常表示部２７ｃに微少
ガス漏洩が生じていることを表示する。
【００２１】上記石鹸液供給回収装置２６は、光学セン
サ２４によってボール２２による閉栓、すなわち、ガス
流量が所定値以下になったことが検知されたときボンプ
２６ａを動作させ、このポンプ２６ａの動作によって石
鹸液タンク２６ｂ内の石鹸液を上流側の光学センサ２５
ａ1 より更に上流側に開口した供給口２６ｃからバイパ
ス管２３内に供給してバイパス管２３内に石鹸膜Ｍを形
成し、下流側の光学センサ２５ａ2 より更に下流側に開
口した回収口２６ｄに達して崩壊した石鹸膜Ｍを回収す
るようにされている。
サ２４によってボール２２による閉栓、すなわち、ガス
流量が所定値以下になったことが検知されたときボンプ
２６ａを動作させ、このポンプ２６ａの動作によって石
鹸液タンク２６ｂ内の石鹸液を上流側の光学センサ２５
ａ1 より更に上流側に開口した供給口２６ｃからバイパ
ス管２３内に供給してバイパス管２３内に石鹸膜Ｍを形
成し、下流側の光学センサ２５ａ2 より更に下流側に開
口した回収口２６ｄに達して崩壊した石鹸膜Ｍを回収す
るようにされている。
【００２２】上記流量計測は、メイン供給路２０とバイ
パス管２３の両方にガスを流した状態でバイパス管２３
で流量を計測する擬似流量計測法を採用していおり、メ
イン供給路２０とバイパス管２３の流量比率は精密な計
測データに基づく必要があるが、大略両者のガス通過断
面積比で決まり、流量換算によって全体の通過流量を予
測するようにしている。
パス管２３の両方にガスを流した状態でバイパス管２３
で流量を計測する擬似流量計測法を採用していおり、メ
イン供給路２０とバイパス管２３の流量比率は精密な計
測データに基づく必要があるが、大略両者のガス通過断
面積比で決まり、流量換算によって全体の通過流量を予
測するようにしている。
【００２３】上記石鹸膜Ｍの移動時間Ｔは、例えば、石
鹸膜Ｍが光学センサ２５ａ1 を通過したときタイマをス
タートし、光学センサ２５ａ2 を通過したときタイマを
ストップすることにより計測することができる。
鹸膜Ｍが光学センサ２５ａ1 を通過したときタイマをス
タートし、光学センサ２５ａ2 を通過したときタイマを
ストップすることにより計測することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、メ
イン供給路に流れるガスの一定割合を一端から流入して
他端から流出することでバイパス管に常時ガスを流して
おき、メイン供給路のガス流量が所定値以下に低下した
とき、バイパス管に流れるガスの流量を検知することに
よりメイン供給路のガス流量を計測してメイン供給路の
微少流量ガスを監視するので、低圧のガスを供給する大
容量のガス供給路に流れるガス流量が小さくなったとき
その微少流量ガスを監視することができる。
イン供給路に流れるガスの一定割合を一端から流入して
他端から流出することでバイパス管に常時ガスを流して
おき、メイン供給路のガス流量が所定値以下に低下した
とき、バイパス管に流れるガスの流量を検知することに
よりメイン供給路のガス流量を計測してメイン供給路の
微少流量ガスを監視するので、低圧のガスを供給する大
容量のガス供給路に流れるガス流量が小さくなったとき
その微少流量ガスを監視することができる。
【図１】本発明による微少流量ガス監視装置の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図２】従来の装置の一例を示す図である。
２０ ガス供給路 ２３ バイパス管 Ａ 流量判別手段 Ｂ 微少流量検知手段 ２７ａ 流量計測手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｍ 3/26 Ｇ０１Ｍ 3/26 Ｌ (56)参考文献 特開 平３−41300（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−64914（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−9848（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−163341（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 大容量のガス供給路のガス流量が小さく
なったときその微少流量ガスを監視する微少流量ガス監
視装置において、 メイン供給路のガス流量が所定値以下に低下したことを
判別する流量判別手段と、 メイン供給路と並列に配置され上流側の一端が上流方向
に向け下流側の他端が下流方向に向けてメイン供給路内
の中央に位置決めされメイン供給路に流れるガスの一定
割合を一端から流入して他端から流出するサブ供給路と
してのバイパス管と、 前記バイパス管の途中に設けられバイパス管に流れるガ
スの流量を検知する微少流量検知手段と、 前記流量判別手段によってメイン供給路のガス流量が所
定値以下に低下したことが判別されたとき、前記微少流
量検知手段により検知したガス流量によってメイン供給
路のガス流量を計測する流量計測手段とを備え、 前記流量計測手段による流量計測によってメイン供給路
の微少流量ガスを監視することを特徴とする微少流量ガ
ス監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11473292A JP2611085B2 (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 微少流量ガス監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11473292A JP2611085B2 (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 微少流量ガス監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312669A JPH05312669A (ja) | 1993-11-22 |
| JP2611085B2 true JP2611085B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=14645248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11473292A Expired - Fee Related JP2611085B2 (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 微少流量ガス監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2611085B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7228733B2 (en) | 2002-11-18 | 2007-06-12 | Yamatake Corporation | Fluid detection device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107218981A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-29 | 湖北锐意自控系统有限公司 | 一种基于超声波旁流原理的气体流量测量装置及方法 |
-
1992
- 1992-05-07 JP JP11473292A patent/JP2611085B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7228733B2 (en) | 2002-11-18 | 2007-06-12 | Yamatake Corporation | Fluid detection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05312669A (ja) | 1993-11-22 |
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