JP2600258B2 - Resin composition for semiconductor encapsulation - Google Patents

Resin composition for semiconductor encapsulation

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JP2600258B2
JP2600258B2 JP63072984A JP7298488A JP2600258B2 JP 2600258 B2 JP2600258 B2 JP 2600258B2 JP 63072984 A JP63072984 A JP 63072984A JP 7298488 A JP7298488 A JP 7298488A JP 2600258 B2 JP2600258 B2 JP 2600258B2
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は半導体装置を封止するための樹脂組成物に関
する。さらに詳しくは、樹脂封止型半導体装置を実装す
る際、ハンダ付け工程において封止樹脂にクラックが発
生するのを防止した半導体封止用樹脂組成物に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a resin composition for sealing a semiconductor device. More specifically, the present invention relates to a resin composition for semiconductor encapsulation in which a crack is not generated in an encapsulating resin in a soldering step when a resin-encapsulated semiconductor device is mounted.

<従来の技術> 近年、半導体装置の高集積度化が急速に進められてお
り、素子サイズの大型化と配線の微細化が著しく進展し
ている。これら高集積化された半導体装置も含め半導体
装置は現在ほとんどが樹脂封止されているが、これは信
頼性の高い優れた性能を有する封止用樹脂の開発に負う
ところが大きい。
<Related Art> In recent years, the degree of integration of semiconductor devices has been rapidly increased, and the size of elements and the miniaturization of wiring have been significantly advanced. Most semiconductor devices, including these highly integrated semiconductor devices, are currently resin-sealed, but this largely depends on the development of a highly reliable sealing resin having excellent performance.

一方、最近は、プリント基板への部品実装においても
高密度化、自動化が進められており、従来のリードピン
を基板の穴に挿入する“挿入実装方式”に代り、基板表
面に部品をハンダ付けする“表面実装方式”がさかんに
なってきている。それに伴い、パッケージも従来のDIP
(デュアル・インライン・パッケージ)型から高密度実
装、表面実装に適した薄型のFPP(フラット・プラスチ
ック・パッケージ)型に移行しつつある。
On the other hand, recently, the density and automation of component mounting on printed circuit boards have been increasing, and instead of the conventional "insertion mounting method" in which lead pins are inserted into holes in the board, components are soldered on the board surface. “Surface mounting method” is becoming more and more popular. Along with that, the package is also a conventional DIP
(Dual in-line package) type is shifting to thin FPP (flat plastic package) type suitable for high-density mounting and surface mounting.

表面実装方式への移行に伴い、従来あまり問題となら
なかったハンダ付け工程が大きな問題となってきてい
る。従来のピン挿入実装方式ではハンダ付け工程はリー
ド部が部分的に加熱されるだけであったが、表面実装方
式ではパッケージ全体が熱媒に浸され加熱される。表面
実装方式におけるハンダ付け方法としてはハンダ浴浸
漬、不活性ガスの飽和蒸気による加熱(ベーパフェイズ
法)や赤外線リフロー法などが用いられるが、いずれの
方法でもパッケージ全体が210〜270℃の高温に加熱され
ることになる。そのため従来の封止用樹脂で封止したパ
ッケージはハンダ付け時に樹脂部分にクラックが発生
し、製品として使用できないという問題がおきる。
With the shift to the surface mounting method, the soldering process, which has not been a problem so far, has become a major problem. In the conventional pin insertion mounting method, the lead portion is only partially heated in the soldering process, but in the surface mounting method, the entire package is immersed in a heating medium and heated. As a soldering method in the surface mounting method, a solder bath immersion, heating with a saturated vapor of an inert gas (a vapor phase method), an infrared reflow method, and the like are used. In any case, the entire package is heated to a high temperature of 210 to 270 ° C. It will be heated. Therefore, the conventional package sealed with the sealing resin has a problem that cracks occur in the resin portion at the time of soldering and cannot be used as a product.

ハンダ付け工程におけるクラックの発生は、後硬化し
てから実装工程の間までに吸湿された水分がハンダ付け
加熱時に爆発的に水蒸気化、膨脹することに起因すると
いわれており、その対策として後硬化したパッケージを
完全に乾燥し密封した容器に収納して出荷する方法が用
いられている。
It is said that the cracks generated during the soldering process are caused by the moisture absorbed between the post-curing and the mounting process explosively turning into steam and expanding during soldering and heating. A method has been used in which a package that has been completely dried and stored in a sealed container is shipped.

封止用樹脂の改良も種々検討されている。たとえば、
封止用樹脂にゴム成分を配合し内部応力を低下させる方
法(特開昭58−219218号公報、特開昭59−96122号公
報)、無機充填剤の品種を選択する方法(特開昭58−19
136号公報、特開昭60−202145号公報)、無機充填剤の
形状を球形化したり、粒子径コントロールすることによ
り応力、ひずみを均一化させる方法(特開昭60−171750
号公報、特開昭60−17937号公報)、撥水性の添加剤や
ワックスにより吸水性を低下させ、ハンダ浴での水分に
よる応力発生を下げる方法(特開昭60−65023号公報)
などがある。
Various studies have been made on improvements in the sealing resin. For example,
A method of blending a rubber component into a sealing resin to reduce the internal stress (Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 58-219218 and 59-96122) and a method of selecting the type of inorganic filler (Japanese Patent Application Laid-Open No. −19
136, JP-A-60-202145), a method of uniformizing stress and strain by making the shape of the inorganic filler spherical or controlling the particle size (JP-A-60-171750).
Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-65037), a method of reducing the water absorption by a water-repellent additive or wax to reduce the occurrence of stress due to moisture in a solder bath (Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-65023).
and so on.

<発明が解決しようとする課題> しかるに乾燥パッケージを容器に封入する方法は製造
工程および製品の取扱作業が煩雑になるうえ、製品価格
がきわめて高価になる欠点がある。
<Problems to be Solved by the Invention> However, the method of enclosing the dry package in a container has a drawback that the manufacturing process and the handling of the product are complicated, and the product price is extremely high.

また種々の方法で改良された樹脂も、それぞれ少しづ
つ効果をあげてきているが、実装技術の進歩に伴うより
過酷な要請に答えるには十分でない。具体的にはこれら
従来の方法で得られた樹脂により諷刺された半導体装置
を加湿処理後、たとえば、85℃/85%RH処理72時間、ま
たは121℃/2気圧PCT(プレッシャー・クッカー・テス
ト)処理72時間後にハンダ浴に浸すと樹脂部分にはこと
ごとく膨れまたはクラックが発生する。すなわち、まだ
ハンダ付け加熱時のクラック発生を防止した十分満足で
きる封止用樹脂は得られておらず、表面実装化技術の進
展に対応したハンダ耐熱性が優れた封止用樹脂の開発が
望まれているのが現状である。
In addition, resins improved by various methods are gradually improving their effects, but they are not enough to respond to the more severe requirements accompanying the progress of packaging technology. Specifically, after humidifying a semiconductor device that has been satired with the resin obtained by these conventional methods, for example, 85 ° C./85% RH treatment for 72 hours, or 121 ° C./2 atm PCT (pressure cooker test) When immersed in a solder bath 72 hours after the treatment, any swelling or cracking occurs in the resin portion. In other words, a sufficiently satisfactory encapsulating resin that has prevented cracking during soldering heating has not yet been obtained, and development of an encapsulating resin with excellent solder heat resistance corresponding to the progress of surface mounting technology has been desired. It is the present situation.

本発明の目的は、かかるハンダ付け工程で生じるクラ
ックの問題を解消した改良された封止用樹脂を提供する
ことにあり、表面実装ができる樹脂封止半導体装置を可
能にすることにある。
An object of the present invention is to provide an improved encapsulating resin that has solved the problem of cracks generated in the soldering step, and to provide a resin-encapsulated semiconductor device that can be surface-mounted.

<課題を解決するための手段> すなわち本発明はエポキシ樹脂(A)、硬化剤(B)
および粉末充填剤(C)を主成分とする半導体封止用樹
脂組成物において、該半導体封止用樹脂組成物中に、芳
香環に3個以上の隣接した水酸基を有し、かつ該水酸基
以外の置換基を有するか、または有しない化合物(D)
を0.001〜20重量%含有し、かつ前記粉末状充填剤
(C)が粒子径14μ以下の微粉末粒子を50重量%以上含
有することを特徴とする半導体封止用樹脂組成物および
それを用いて半導体素子を封止してなる半導体装置であ
る。
<Means for Solving the Problems> That is, the present invention provides an epoxy resin (A) and a curing agent (B).
And a resin composition for semiconductor encapsulation containing a powder filler (C) as a main component, wherein the resin composition for semiconductor encapsulation has three or more adjacent hydroxyl groups on an aromatic ring and is other than the hydroxyl group. Compound (D) with or without a substituent of
And a resin composition for semiconductor encapsulation, wherein the powdery filler (C) contains 50% by weight or more of fine powder particles having a particle diameter of 14 μ or less, and the use thereof. Semiconductor device in which the semiconductor element is sealed by

以下、本発明の構成を詳述する。 Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail.

本発明の半導体封止用樹脂組成物はエポキシ樹脂
(A)、硬化剤(B)および粉末状充填剤(C)を主成
分として含有する。
The resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention contains an epoxy resin (A), a curing agent (B) and a powdery filler (C) as main components.

本発明におけるエポキシ樹脂(A)は、1分子中にエ
ポキシ基を2個以上有するものであれば特に限定されな
い。
The epoxy resin (A) in the present invention is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule.

たとえば、クレゾールノポラック型エポキシ樹脂、フ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂、4,4′−ビス(2,3
−エポキシプロポキシ)−3,3′,5,5′−テトラメチル
ビフェニル等のビスヒドロキシビフェニル型エポキシ樹
脂ビスフェノールA型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキ
シ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、
ハロゲン化エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂な
どが挙げられる。
For example, cresol nopolak epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, 4,4′-bis (2,3
-Epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl and other bishydroxybiphenyl type epoxy resins bisphenol A type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin ,
Examples include a halogenated epoxy resin and a spiro ring-containing epoxy resin.

これらのエポキシ樹脂は2種類以上併用してもよい。 Two or more of these epoxy resins may be used in combination.

本発明の樹脂組成物においてエポキシ樹脂(A)の配
合量については特に制限はないが、通常は3〜30重量
%、好ましくは5〜25重量%である。
The amount of the epoxy resin (A) in the resin composition of the present invention is not particularly limited, but is usually 3 to 30% by weight, preferably 5 to 25% by weight.

本発明における硬化剤(B)はエポキシ樹脂と反応し
て硬化されるものであれば特に限定されない。たとえば
フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹
脂、下記式(III)で表わされるノボラック樹脂、 (ただし、nは0以上の整数を示す。) ビスフェノールAやレゾルシンから合成される各種ノボ
ラック樹脂、各種多価フェノール化合物、無水マレイン
酸、無水フタル酸、無水ピロメリット酸などの酸無水
物、メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタ
ン、ジアミノジフェニルスルホンなどの芳香族アミンな
どが挙げられるが、特に限定されるものではない。
The curing agent (B) in the present invention is not particularly limited as long as it is cured by reacting with the epoxy resin. For example, a phenol novolak resin, a cresol novolak resin, a novolak resin represented by the following formula (III), (However, n represents an integer of 0 or more.) Various novolak resins synthesized from bisphenol A and resorcinol, various polyhydric phenol compounds, acid anhydrides such as maleic anhydride, phthalic anhydride, and pyromellitic anhydride, and meta Examples include aromatic amines such as phenylenediamine, diaminodiphenylmethane, and diaminodiphenylsulfone, but are not particularly limited.

本発明の樹脂組成物において硬化剤(B)の配合量に
ついては特に制限はないが、通常は1〜20重量%、好ま
しくは2〜15重量%である。
The amount of the curing agent (B) in the resin composition of the present invention is not particularly limited, but is usually 1 to 20% by weight, preferably 2 to 15% by weight.

本発明で使用するエポキシ樹脂(A)および硬化剤
(B)は耐湿性の点からナトリウムイオン、塩素イオ
ン、遊離の酸、アルカリやそれらを生成する可能性のあ
る不純物はできるだけ除去したものを用いることが好ま
しい。
The epoxy resin (A) and the curing agent (B) used in the present invention are those from which sodium ions, chloride ions, free acids, alkalis and impurities which may generate them are removed as much as possible from the viewpoint of moisture resistance. Is preferred.

エポキシ樹脂(A)と硬化剤(B)の配合比は、機械
的性質や耐熱性などの点からエポキシ樹脂に対する硬化
剤の化学当量比が0.5〜1.5、特に0.7〜1.3の範囲にある
ことが好ましい。
The mixing ratio of the epoxy resin (A) and the curing agent (B) is such that the chemical equivalent ratio of the curing agent to the epoxy resin is in the range of 0.5 to 1.5, particularly 0.7 to 1.3 from the viewpoint of mechanical properties and heat resistance. preferable.

本発明の樹脂組成物における粉末状充填剤(C)は粒
子径が14μ以下、好ましくは12μ以下、特に好ましくは
10μ以下の微粉末粒子を50重量%以上含有することが必
須である。14μ以下の微粉末粒子が50重量%未満の場合
はハンダ工程におけるクラックの発生防止効果は十分発
揮されない。
The powdery filler (C) in the resin composition of the present invention has a particle size of 14 µ or less, preferably 12 µ or less, particularly preferably.
It is essential to contain fine powder particles of 10 μm or less in an amount of 50% by weight or more. When the amount of fine powder particles having a particle size of 14 μ or less is less than 50% by weight, the effect of preventing the occurrence of cracks in the soldering process is not sufficiently exhibited.

粉末状充填剤(C)の材質に関しては特に制限がない
が、通常は溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、窒化ケ
イ素、炭化ケイ素、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウ
ム、クレー、タルク、ケイ酸カルシウム、酸化チタンな
どが用いられる。これらは2種以上併用することができ
る。なかでも溶融シリカは線膨張係数を低下させる効果
が大きく、低応力化に有効なため好ましく用いられる。
粉末状充填剤(C)の粒子形状に関しても特に制限はな
く、通常は破砕状のもの、球状のものまたは破砕状と球
状を併用したものを用いることができる。
There is no particular limitation on the material of the powdery filler (C), but usually, fused silica, crystalline silica, alumina, silicon nitride, silicon carbide, magnesium carbonate, calcium carbonate, clay, talc, calcium silicate, titanium oxide, etc. Is used. These can be used in combination of two or more. Among them, fused silica is preferably used because it has a large effect of lowering the coefficient of linear expansion and is effective in reducing stress.
There is no particular limitation on the particle shape of the powdery filler (C), and usually, crushed, spherical or a combination of crushed and spherical can be used.

粉末状充填剤(C)の粒度分布に関しても、粒子径が
上記の範囲内にあるかぎり特に制限はない。異なる粒度
分布を持った粉末状充填剤を2種以上併用することもで
きる。
There is no particular limitation on the particle size distribution of the powdery filler (C) as long as the particle size is within the above range. Two or more powdered fillers having different particle size distributions can be used in combination.

本発明の樹脂組成物において、粉末状充填剤(C)の
配合量は、通常50〜85重量%、好ましくは65〜80重量%
である。50重量%未満では線膨脹係数が大きくなり、85
重量%を越えると成形性が不十分である。
In the resin composition of the present invention, the compounding amount of the powdery filler (C) is usually 50 to 85% by weight, preferably 65 to 80% by weight.
It is. If it is less than 50% by weight, the coefficient of linear expansion increases,
If the amount is more than 10% by weight, the moldability is insufficient.

本発明の半導体封止用樹脂組成物は、芳香環に3個以
上の隣接した水酸基を有し、かつ該水酸基以外の置換基
を有するか、または有しない化合物(D)(以下、化合
物(D)と称する)を含有することが必須である。該化
合物(D)を含有しない場合は本発明の効果が十分発揮
されない。化合物(D)としては、たとえば、ピロガロ
ール、没食子酸およびこれらの誘導体類が挙げられる。
そのうち、ピロガロール、没食子酸、没食子酸エステル
が好ましく用いられる。好ましく用いられる没食子酸エ
ステルとしては、没食子酸メチル、没食子酸エチル、没
食子酸プロピル、没食子酸ブチル、没食子酸ペンチル、
没食子酸ヘキシルなど炭素数6以下のアルコールでエス
テル化された没食子酸エステルが挙げられ、特に没食子
酸メチル、没食子酸エチル、没食子酸プロピル、没食子
酸ブチルなど炭素数4以下のアルコールでエステル化さ
れた没食子酸エステルがさらに著しい効果を発揮する。
これらの化合物(D)は2種以上併用してもよい。かか
る化合物(D)の配合量は本発明の半導体封止用樹脂組
成物中、0.001〜20重量%、好ましくは0.003〜10重量
%、特に好ましくは0.005〜5重量%である。0.001重量
%未満の場合はハンダ付け工程におけるクラックの発生
防止効果は十分発揮されない。逆に20重量%を越える場
合は、樹脂組成物の硬化反応が遅くなったり、硬化物の
物性が劣り、半導体封止用樹脂としての性能が悪化する
ので好ましくない。
The resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention comprises a compound (D) having three or more adjacent hydroxyl groups on an aromatic ring and having or not having a substituent other than the hydroxyl group (hereinafter, compound (D) ) Is essential. When the compound (D) is not contained, the effect of the present invention is not sufficiently exhibited. Examples of the compound (D) include pyrogallol, gallic acid, and derivatives thereof.
Among them, pyrogallol, gallic acid and gallic acid ester are preferably used. Examples of preferably used gallic acid esters include methyl gallate, ethyl gallate, propyl gallate, butyl gallate, pentyl gallate,
Examples include gallic acid esters esterified with alcohols having 6 or less carbon atoms such as hexyl gallate, and particularly esterified with alcohols having 4 or less carbon atoms such as methyl gallate, ethyl gallate, propyl gallate and butyl gallate. Gallic esters exert an even more pronounced effect.
Two or more of these compounds (D) may be used in combination. The compounding amount of the compound (D) is 0.001 to 20% by weight, preferably 0.003 to 10% by weight, and particularly preferably 0.005 to 5% by weight in the resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention. If the amount is less than 0.001% by weight, the effect of preventing cracking in the soldering step is not sufficiently exhibited. On the other hand, when the content exceeds 20% by weight, the curing reaction of the resin composition is slowed down, the physical properties of the cured product are inferior, and the performance as a resin for semiconductor encapsulation is not preferable.

また、本発明において、エポキシ樹脂と硬化剤の硬化
反応を促進するために硬化促進剤を用いてもよい。硬化
促進剤としては硬化反応を促進させるものならば特に限
定されない。たとえば、2−メチルイミダゾール、2−
フェニルイミダゾールなどのイミダゾール類、ベンジル
ジメチルアミン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデ
セン−7(DBUと略す)などのアミン類、トリフェニル
ホスフィン、テトラフェニルホルホニウム、テトラフェ
ニルボレートなどの有機リン化合物などが好ましく用い
られる。
In the present invention, a curing accelerator may be used to accelerate the curing reaction between the epoxy resin and the curing agent. The curing accelerator is not particularly limited as long as it accelerates the curing reaction. For example, 2-methylimidazole, 2-methylimidazole,
Imidazoles such as phenylimidazole, amines such as benzyldimethylamine, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7 (abbreviated as DBU), triphenylphosphine, tetraphenylformonium, tetraphenylborate, etc. Are preferably used.

本発明の樹脂組成物は必要に応じてシリコーンゴム、
オレフィン系ゴム、ジエン系ゴムなどのゴム状重合体、
ワックスなどの離型剤、カーボンブラックなどの着色
剤、カップリング剤、臭素化化合物、酸化アンチモンな
どの難燃剤、シリコーンオイルなどを用いることができ
る。
The resin composition of the present invention is optionally silicone rubber,
Rubbery polymers such as olefin rubbers and diene rubbers,
Release agents such as wax, coloring agents such as carbon black, coupling agents, brominated compounds, flame retardants such as antimony oxide, and silicone oil can be used.

本発明の樹脂組成物は溶融混練することが好ましく、
溶融混練は公知の方法を用いることができる。たとえば
バンバリーミキサー、ニーダー、ロール、一軸もしくは
二軸の押出機、コニーダーなどを用い溶融混練すること
ができる。
The resin composition of the present invention is preferably melt-kneaded,
A known method can be used for the melt kneading. For example, melt kneading can be performed using a Banbury mixer, a kneader, a roll, a single or twin screw extruder, a co-kneader, or the like.

<実施例> 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.

実施例中、部数と%はそれぞれ重量部と重量%を意味
する。
In the examples, parts and% mean parts by weight and% by weight, respectively.

実施例1〜17、比較例1〜13 表1に示した原料、表2に示した充填剤および表3に
示した各種の化合物(D)を表3に示した配合処方の組
成比で配合し、ミキサーによりドライブレンドした。こ
れをロール表面温度90℃のミキシングロールを用いて5
分間加熱混練したのち、冷却、粉砕して樹脂組成物を製
造した。
Examples 1 to 17, Comparative Examples 1 to 13 The raw materials shown in Table 1, the fillers shown in Table 2, and the various compounds (D) shown in Table 3 were blended in the composition ratios shown in Table 3 And dry blended with a mixer. This is mixed with a mixing roll having a roll surface temperature of 90 ° C. for 5 minutes.
After heating and kneading for minutes, the mixture was cooled and pulverized to produce a resin composition.

これらの樹脂組成物と模擬素子を搭載した42アロイ製
リードフレームを用い、低圧トランスファー成形機によ
り180℃×2分の条件で44ピンフラットパッケージを成
形し、次いで180℃で5時間後硬化した。
A 44-pin flat package was molded by a low-pressure transfer molding machine under the conditions of 180 ° C. × 2 minutes using a lead frame made of 42 alloy on which the resin composition and the simulated element were mounted, and then cured at 180 ° C. for 5 hours.

得られたフラットパッケージ硬化物を85℃、85%RHで
72時間加湿処理したのち、260℃のハンダ浴に10秒間浸
漬し、浸漬後のクラック発生状況を調べた。
Obtain the cured flat package at 85 ° C and 85% RH
After humidification treatment for 72 hours, it was immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds, and the state of crack generation after immersion was examined.

結果を表3に示す。 Table 3 shows the results.

表3においてハンダ耐熱性をパッケージ20個中のクラ
ックが発生しなかったパッケージの個数で表示した。
In Table 3, the solder heat resistance is indicated by the number of packages in which no crack occurred in 20 packages.

表3の結果から次のことが明らかである。 The following is clear from the results in Table 3.

実施例1〜17にみられるように化合物(D)を含有
し、かつ粉末状充填剤が粒子径14μ以下の微粉末粒子を
50重量%以上含有する本発明の樹脂組成物で封止したパ
ッケージは、85℃/85%RHで加湿処理後260℃のハンダ浴
に浸漬してもほとんどクラックが発生せず、ハンダ耐熱
性が優れている。
As seen in Examples 1 to 17, the compound (D) was contained, and the powdery filler was fine powder having a particle diameter of 14 μ or less.
The package sealed with the resin composition of the present invention containing 50% by weight or more hardly cracks even when immersed in a 260 ° C solder bath after humidification at 85 ° C / 85% RH and has solder heat resistance. Are better.

一方、比較例1〜5にみられるように、微粉末状充填
剤が14μ以下の微粒粉末粒子を50重量%以上含有したと
しても、化合物(D)を含有しない樹脂組成物はほとん
どのパッケージにクラックが発生する。
On the other hand, as seen in Comparative Examples 1 to 5, even if the fine powder filler contains fine powder particles of 14 μ or less in an amount of 50% by weight or more, the resin composition containing no compound (D) can be used in almost all packages. Cracks occur.

比較例6〜11にみられるように化合物(D)を含有し
ても、粉末状充填剤が粒子径14μ以下の微粉末粒子を50
重量%未満しか含有しない樹脂組成物はほとんどのパッ
ケージにクラックが発生する。
As shown in Comparative Examples 6 to 11, even when the compound (D) was contained, the powdery filler reduced fine powder particles having a particle diameter of 14 μ
Cracks occur in most packages when the resin composition contains less than about 10% by weight.

比較例12、13にみられるように、化合物(D)を含有
せず、粉末状充填剤が粒子径14μ以下の微粉末粒子を50
重量%未満しか含有しない樹脂組成物はすべてのパッケ
ージにクラックが発生する。
As can be seen in Comparative Examples 12 and 13, the powdery filler containing no compound (D) contained 50 μm
Cracks occur in all the packages in the resin composition containing less than the weight percentage.

<発明の効果> 本発明の樹脂組成物はハンダ耐熱性がきわめて優れて
おり、本発明の樹脂組成物で封止することにより半導体
装置を実装する際のハンダ付け工程における樹脂クラッ
クの発生を防止することができる。この特徴をいかし
て、表面実装用の半導体装置の封止など種々の用途への
応用が期待される。
<Effects of the Invention> The resin composition of the present invention has extremely excellent solder heat resistance. By sealing with the resin composition of the present invention, the occurrence of resin cracks in the soldering step when mounting a semiconductor device is prevented. can do. Utilizing this feature, application to various uses such as sealing of semiconductor devices for surface mounting is expected.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−297313(JP,A) 特開 昭62−149743(JP,A) 特開 昭61−283615(JP,A) 特開 昭61−143466(JP,A) 特開 昭63−225616(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-62-297313 (JP, A) JP-A-62-149743 (JP, A) JP-A-61-283615 (JP, A) JP-A-61-283615 143466 (JP, A) JP-A-63-225616 (JP, A)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】エポキシ樹脂、硬化剤(B)および粉末状
充填剤(C)を主成分とする半導体封止用樹脂組成物に
おいて、該半導体封止用樹脂組成物中に、芳香環に3個
以上の隣接した水酸基を有し、かつ該水酸基以外の置換
基を有するか、または有しない化合物(D)を0.001〜2
0重量%含有し、かつ前記粉末状充填剤(C)が粒子径1
4μ以下の微粉末粒子を50重量%以上含有することを特
徴とする半導体封止用樹脂組成物。
1. A resin composition for semiconductor encapsulation comprising an epoxy resin, a curing agent (B) and a powdery filler (C) as main components, wherein the resin composition for semiconductor encapsulation has three aromatic rings. The compound (D) having at least two adjacent hydroxyl groups and having or not having a substituent other than the hydroxyl group is 0.001 to 2
0% by weight, and the powdery filler (C) has a particle size of 1
A resin composition for encapsulating a semiconductor, comprising 50% by weight or more of fine powder particles of 4 μ or less.
【請求項2】請求項1記載の半導体封止用樹脂組成物に
よって半導体素子が封止された半導体装置。
2. A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with the resin composition for semiconductor sealing according to claim 1.
【請求項3】エポキシ樹脂、硬化剤(B)、粒子径14μ
以下の微粉末粒子を50重量%以上含有する粉末状充填剤
(C)、および芳香環に3個以上の隣接した水酸基を有
し、かつ該水酸基以外の置換基を有するか、または有し
ない化合物(D)を半導体封止用樹脂組成物中0.001〜2
0重量%の割合で、溶融混練することを特徴とする半導
体封止用樹脂組成物の製造方法。
3. An epoxy resin, a curing agent (B), and a particle diameter of 14 μm.
A powder filler (C) containing 50% by weight or more of the following fine powder particles, and a compound having three or more adjacent hydroxyl groups on an aromatic ring and having or not having a substituent other than the hydroxyl group (D) in a resin composition for encapsulating a semiconductor in an amount of 0.001 to 2
A method for producing a resin composition for encapsulating a semiconductor, which comprises melting and kneading at a ratio of 0% by weight.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3868179B2 (en) * 1999-08-02 2007-01-17 住友ベークライト株式会社 Liquid encapsulating resin composition, semiconductor device manufacturing method, and semiconductor device
JP4654475B2 (en) * 1999-11-02 2011-03-23 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor device
US6872762B2 (en) * 2000-07-13 2005-03-29 Loctite (R&D) Limited Epoxy resin composition with solid organic acid
CN100352847C (en) * 2003-03-11 2007-12-05 住友电木株式会社 Resin composition for encapsulating semiconductor chip and semiconductor device therewith
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US7291684B2 (en) 2003-03-11 2007-11-06 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. Resin composition for encapsulating semiconductor chip and semiconductor device therewith
JP4569137B2 (en) * 2003-03-17 2010-10-27 住友ベークライト株式会社 Semiconductor sealing resin composition and semiconductor device
JP4404051B2 (en) * 2003-03-25 2010-01-27 住友ベークライト株式会社 Semiconductor sealing resin composition and semiconductor device using the same
DE102004049717A1 (en) 2004-10-11 2006-04-13 Henkel Kgaa Aging resistant coatings and adhesive bonds

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61143466A (en) * 1984-12-18 1986-07-01 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition
JPS61283615A (en) * 1985-06-11 1986-12-13 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin molding material for sealing semiconductor
JPS62149743A (en) * 1985-12-25 1987-07-03 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin molding material for use in sealing semiconductor
JPS62297313A (en) * 1986-06-18 1987-12-24 Hitachi Ltd Thermosetting resin composition and semiconductor device obtained by using said composition
JPS63225616A (en) * 1986-10-01 1988-09-20 Toray Ind Inc Resin composition for sealing semiconductor

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