JP3451666B2 - Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation - Google Patents

Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation

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JP3451666B2
JP3451666B2 JP23018393A JP23018393A JP3451666B2 JP 3451666 B2 JP3451666 B2 JP 3451666B2 JP 23018393 A JP23018393 A JP 23018393A JP 23018393 A JP23018393 A JP 23018393A JP 3451666 B2 JP3451666 B2 JP 3451666B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、低吸水性で半田耐熱性
に優れ、低硬化収縮で成形直後のパッケージの反りが少
ない半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, which has low water absorption, excellent solder heat resistance, low curing shrinkage, and less warpage of a package immediately after molding.

【0002】[0002]

【従来の技術】エポキシ樹脂は耐熱性、耐湿性、電気特
性、接着性などに優れており、さらに配合処方により種
々の特性が付与できるため、塗料、接着剤、電気絶縁材
料など工業材料として利用されている。
2. Description of the Related Art Epoxy resins are excellent in heat resistance, moisture resistance, electrical characteristics, adhesiveness, etc., and can be given various characteristics by blending formulation, so they are used as industrial materials such as paints, adhesives and electrical insulation materials. Has been done.

【0003】たとえば、半導体装置などの電子回路部品
の封止方法として従来より金属やセラミックスによるハ
ーメチックシールとフェノール樹脂、シリコーン樹脂、
エポキシ樹脂などによる樹脂封止が提案されている。し
かし、経済性、生産性、物性のバランスの点からエポキ
シ樹脂による樹脂封止が中心になっている。
For example, as a method of sealing electronic circuit parts such as semiconductor devices, hermetic seals made of metal or ceramics and phenol resin, silicone resin, etc. have hitherto been used.
Resin encapsulation with an epoxy resin or the like has been proposed. However, resin sealing with an epoxy resin is mainly used from the viewpoint of the balance of economy, productivity and physical properties.

【0004】近年、プリント基板への部品実装において
も高密度化、自動化が進められており、従来のリードピ
ンを基板の穴に挿入する“挿入実装方式”に代わり、基
板表面に部品を半田付けする“表面実装方式”が盛んに
なってきた。それに伴いパッケ−ジも従来のDIP(デ
ュアル・インライン・パッケージ)から高密度実装、表
面実装に適した薄型のFPP(フラット・プラスチック
・パッケージ)に移行しつつある。
In recent years, densification and automation have also been promoted in mounting components on a printed circuit board. Instead of the conventional "insertion mounting method" in which lead pins are inserted into holes in the substrate, components are soldered to the surface of the substrate. "Surface mounting method" has become popular. Along with this, the package is also shifting from the conventional DIP (dual in-line package) to a thin FPP (flat plastic package) suitable for high-density mounting and surface mounting.

【0005】表面実装方式への移行に伴い、従来あまり
問題にならなかった半田付け工程が大きな問題になって
きた。従来のピン挿入実装方式では半田付け工程はリー
ド部が部分的に加熱されるだけであったが、表面実装方
式ではパッケージ全体が熱媒に浸され加熱される。表面
実装方式における半田付け方法としては半田浴浸漬、不
活性ガスの飽和蒸気による加熱(ベーパーフェイズ法)
や赤外線リフロー法などが用いられるが、いずれの方法
でもパッケージ全体が210〜270℃の高温に加熱さ
れることになる。そのため従来の封止樹脂で封止したパ
ッケージは、半田付け時に樹脂部分にクラックが発生し
たり、チップと樹脂の間に剥離が生じたりして、信頼性
が低下して製品として使用できないという問題がおき
る。
With the shift to the surface mounting system, the soldering process, which has not been a problem so far, has become a big problem. In the conventional pin insertion mounting method, the lead portion is only partially heated in the soldering process, but in the surface mounting method, the entire package is immersed in a heating medium and heated. As the soldering method in the surface mounting method, immersion in a solder bath, heating with saturated vapor of inert gas (vapor phase method)
Although an infrared reflow method or the like is used, the whole package is heated to a high temperature of 210 to 270 ° C. by either method. Therefore, the package sealed with the conventional sealing resin has a problem that the resin part is cracked during soldering or peeling occurs between the chip and the resin, which reduces reliability and cannot be used as a product. Occurs.

【0006】半田付け工程におけるクラックの発生は、
後硬化してから実装工程の間までに吸湿した水分が半田
付け加熱時に爆発的に水蒸気化、膨張することに起因す
るといわれており、その対策として後硬化したパッケー
ジを完全に乾燥し密封した容器に収納して出荷する方法
が用いられている。
The occurrence of cracks in the soldering process is
It is said that the moisture absorbed between the post-curing and the mounting process explosively vaporizes and expands during soldering heating.As a countermeasure against this, the post-cured package is completely dried and sealed. The method of storing and shipping is used.

【0007】封止樹脂の改良も種々検討されている。た
とえば、フェノールアラルキル樹脂を硬化剤として配合
する方法(特開昭53−299号公報、特開昭59−6
7660号公報、特開平3−207714号公報、特開
平4−48759号公報、特開平4−55423号公
報)などが提案されている。
Various improvements have been made to the sealing resin. For example, a method of blending a phenol aralkyl resin as a curing agent (JP-A-53-299 and JP-A-59-6).
7660, JP-A-3-207714, JP-A-4-48759, JP-A-4-55423) and the like are proposed.

【0008】また、最近のパッケージの薄型化により、
封止樹脂の硬化収縮に起因する成形直後のパッケージの
反りが問題になってきた。パッケージに反りが発生する
と、タイバーカッター工程においてパッケージにクラッ
クが発生したり、リフロー半田工程においてピン先が基
板と接触しなくなり、半田付けが不十分になるなどの問
題が発生する。
Further, due to the recent thinning of the package,
Warpage of the package immediately after molding due to curing shrinkage of the sealing resin has become a problem. When the package warps, cracks occur in the package in the tie bar cutter process, and pin tips do not contact the substrate in the reflow soldering process, resulting in insufficient soldering.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかるに乾燥パッケー
ジを容器に封入する方法は製造工程および製品の取扱い
作業が繁雑になるうえ、製品価格が高価になる欠点があ
る。
However, the method of enclosing the dry package in the container has a drawback that the manufacturing process and the handling work of the product are complicated and the product price is high.

【0010】また、種々の方法で改良された樹脂も、そ
れぞれ少しずつ効果をあげてきているが、まだ十分では
ない。フェノールアラルキル樹脂を硬化剤として配合す
る方法(特開昭53−299号公報、特開昭59−67
660号公報、特開平3−207714号公報、特開平
4−48759号公報、特開平4−55423号公報)
は半田付け時の樹脂部分のクラック防止に効果があるも
のの、薄型パッケージ成形直後の反りが大きく、薄型パ
ッケージの生産性を考慮した場合実用的ではなかった。
Further, resins improved by various methods have been gradually effective, but they are still not sufficient. A method of blending a phenol aralkyl resin as a curing agent (JP-A-53-299 and JP-A-59-67).
660, JP-A-3-207714, JP-A-4-48759, and JP-A-4-55423).
Although it has an effect of preventing cracks in the resin portion during soldering, it is not practical in consideration of productivity of the thin package because of large warpage immediately after molding the thin package.

【0011】本発明の目的は、かかる半田付け工程で生
じるクラックの問題を解消するとともに、成形直後のパ
ッケージの反りが少なく生産性に優れる半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物を提供することにある。
It is an object of the present invention to provide an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which solves the problem of cracks generated in the soldering process and has little warpage of the package immediately after molding and excellent productivity.

【0012】本発明者らは、特定のエポキシ樹脂と特定
の構造の硬化剤を添加することにより、上記の課題を達
成し、目的に合致したエポキシ樹脂組成物が得られるこ
とを見出し、本発明に到達した。
The present inventors have found that by adding a specific epoxy resin and a curing agent having a specific structure, the above objects can be achieved and an epoxy resin composition that meets the purpose can be obtained. Reached

【0013】すなわち本発明は、エポキシ樹脂(A)、
硬化剤(B)、充填剤(C)を含有してなるエポキシ樹
脂組成物であって、前記エポキシ樹脂(A)が下記式
(I)で表されるエポキシ樹脂(a)を必須成分として
含有し、かつ前記硬化剤(B)がナフトール/フェノー
ルパラキシレンコポリマー(b)(以下コポリマー
(b)と称する)を必須成分として含有し、コポリマー
(b)の構成モル比が2/8〜5/5であり、前記充填
剤(C)の割合が組成物全体の84〜89重量%である
ことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物であ
る。
That is, the present invention relates to an epoxy resin (A),
An epoxy resin composition containing a curing agent (B) and a filler (C), wherein the epoxy resin (A) contains an epoxy resin (a) represented by the following formula (I) as an essential component.
Contains, and contains the curing agent (B) is (hereinafter referred to as copolymer (b)) naphthol / phenol paraxylene copolymer (b) as essential components, a copolymer
Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation , wherein the constituent molar ratio of (b) is 2/8 to 5/5, and the proportion of the filler (C) is 84 to 89 % by weight of the entire composition. It is a thing.

【化2】 (ただし、R1からR8は水素原子、C1〜C4の低級ア
ルキル基またはハロゲン原子を示す。)
[Chemical 2] (However, R 1 to R 8 represent a hydrogen atom, a C1-C4 lower alkyl group or a halogen atom.)

【0014】以下、本発明の構成を詳述する。The structure of the present invention will be described in detail below.

【0015】本発明におけるエポキシ樹脂(A)におけ
るエポキシ樹脂(a)以外の成分は、1分子中にエポキ
シ基を2個以上有するものであれば特に限定されず、こ
れらの具体例としては、たとえばクレゾールノボラック
型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、線状脂肪族型エポキシ樹脂、脂環式
エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環式エポ
キシ樹脂および臭素化エポキシ樹脂などがあげられる。
In the epoxy resin (A) of the present invention
The component other than the epoxy resin (a) is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule, and specific examples thereof include, for example, cresol novolac type epoxy resin and phenol novolac type epoxy resin.
Examples include fats, bisphenol A type epoxy resins , bisphenol F type epoxy resins, linear aliphatic type epoxy resins, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spirocyclic epoxy resins and brominated epoxy resins.

【0016】本発明におけるエポキシ樹脂(A)は、下
記式(I)
The epoxy resin (A) in the present invention has the following formula (I):

【化3】 (ただし、R 1 からR 8 は水素原子、C 1 〜C 4 の低級アル
キル基またはハロゲン原子を示す。)表されるエポキ
シ樹脂(a)を含有することが、半田耐熱性の点で必要
である。さらに好ましくは、エポキシ樹脂(A)中のエ
ポキシ樹脂の含有量は50重量%以上、特に好ましくは
70重量%以上である。
[Chemical 3] (However, R 1 to R 8 are hydrogen atoms, C 1 -C 4 lower alkyl
A kill group or a halogen atom is shown. ) Epoki represented by
It is necessary to contain resin (a) in terms of solder heat resistance
Is . More preferably, the content of the epoxy resin in the epoxy resin (A) is 50% by weight or more, and particularly preferably 70% by weight or more.

【0017】エポキシ樹脂(a) の好ましい具体例として
は、4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ビ
フェニル、4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキ
シ)−3,3´,5,5´−テトラメチルビフェニル、
4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)−3,
3´,5,5´−テトラメチル−2−クロロビフェニ
ル、4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)−
3,3´,5,5´−テトラメチル−2−ブロモビフェ
ニル、4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)
−3,3´,5,5´−テトラエチルビフェニル、4,
4´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)−3,3
´,5,5´−テトラブチルビフェニル、4,4´−ビ
ス(2,3−エポキシプロポキシ)ビフェニル、4,4
´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)−3,3´,
5,5´−テトラメチルビフェニルなどがあげられる。
Preferred specific examples of the epoxy resin (a) are 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) biphenyl and 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 '. , 5,5'-tetramethylbiphenyl,
4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,
3 ', 5,5'-tetramethyl-2-chlorobiphenyl, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy)-
3,3 ', 5,5'-Tetramethyl-2-bromobiphenyl, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy)
-3,3 ', 5,5'-tetraethylbiphenyl, 4,
4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3
′, 5,5′-Tetrabutylbiphenyl, 4,4′-bis (2,3-epoxypropoxy) biphenyl, 4,4
′ -Bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 ′,
Examples include 5,5'-tetramethylbiphenyl.

【0018】本発明において、エポキシ樹脂(A) の配合
量は通常3〜15重量%、好ましくは3〜10重量%で
ある。エポキシ樹脂(A) の配合量が3重量%未満では成
形性や接着性が不十分であり、15重量%を越えると線
膨脹係数が大きくなり、低応力化が困難になるため好ま
しくない。
In the present invention, the compounding amount of the epoxy resin (A) is usually 3 to 15% by weight, preferably 3 to 10% by weight. If the compounding amount of the epoxy resin (A) is less than 3% by weight, the moldability and adhesiveness are insufficient, and if it exceeds 15% by weight, the linear expansion coefficient becomes large and it becomes difficult to reduce the stress, which is not preferable.

【0019】本発明における硬化剤(B) は、コポリマー
(b) を必須成分として含有することが重要である。コポ
リマー(b) を含有しない場合は、半田耐熱性および成形
直後のパッケージの反りの両方に優れる樹脂を得ること
はできない。
The curing agent (B) in the present invention is a copolymer
It is important to contain (b) as an essential component. If the copolymer (b) is not contained, it is not possible to obtain a resin having excellent solder heat resistance and warpage of the package immediately after molding.

【0020】コポリマー(b)すなわちナフトール/フ
ェノールパラキシレンコポリマー(b)において、ナフ
トールとフェノールの比率は、モル比で2/8〜5/5
で構成される。
In the copolymer (b), that is, the naphthol / phenol paraxylene copolymer (b), the molar ratio of naphthol to phenol is 2/8 to 5/5.
Composed of.

【0021】また、本発明における硬化剤(B)はコポ
リマー(b)以外の硬化剤をも併用して用いることがで
きる。併用できる硬化剤としては、たとえば、フェノー
ルノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、次の一
般式(II)
Further, the curing agent (B) in the present invention may be used in combination with a curing agent other than the copolymer (b). Examples of the curing agent that can be used in combination include phenol novolac resin, cresol novolac resin, and the following general formula (II)

【化4】 (式中、Rは同一でも異なっていてもよく、それぞれ水
素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基を示
す。nは0以上の整数を示す。)で表される骨格を有す
るフェノール化合物、無水マレイン酸、無水フタル酸、
無水ピロメリット酸などの酸無水物およびメタフェニレ
ンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフ
ェニルスルホンなどの芳香族アミンなどがあげられる。
[Chemical 4] (In the formula, R may be the same or different and each represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. N represents an integer of 0 or more.) Phenol having a skeleton Compound, maleic anhydride, phthalic anhydride,
Examples thereof include acid anhydrides such as pyromellitic dianhydride and aromatic amines such as metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane and diaminodiphenylsulfone.

【0022】本発明におけるコポリマー(b) の添加量は
特に制限がなく必須成分としてコポリマー(b) が含有さ
れれば本発明の効果は発揮されるが、より十分な効果を
発揮させるためには、コポリマー(b) を硬化剤(B) 中に
通常20重量%以上、好ましくは50重量%以上、さら
に好ましくは70重量%以上含有せしめる必要がある。
The addition amount of the copolymer (b) in the present invention is not particularly limited, and the effect of the present invention is exhibited if the copolymer (b) is contained as an essential component, but in order to exert a more sufficient effect, The copolymer (b) must be contained in the curing agent (B) in an amount of usually 20% by weight or more, preferably 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more.

【0023】本発明において、硬化剤(B) の配合量は通
常2〜15重量%、好ましくは2〜10重量%、さらに
好ましくは2〜8重量%である。さらには、エポキシ樹
脂(A) と硬化剤(B) の配合比は、機械的性質および耐湿
信頼性の点から(A) に対する(B)の化学当量比が0.
5〜1.5、特に0.8〜1.2の範囲にあることが好
ましい。
In the present invention, the content of the curing agent (B) is usually 2 to 15% by weight, preferably 2 to 10% by weight, more preferably 2 to 8% by weight. Further, the blending ratio of the epoxy resin (A) and the curing agent (B) is such that the chemical equivalent ratio of (B) to (A) is 0 in terms of mechanical properties and moisture resistance reliability.
It is preferably in the range of 5 to 1.5, particularly 0.8 to 1.2.

【0024】また、本発明においてエポキシ樹脂(A) と
硬化剤(B) の硬化反応を促進するため硬化触媒を用いて
もよい。硬化触媒は硬化反応を促進するものならば特に
限定されず、たとえば2−メチルイミダゾール、2,4
−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミ
ダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−
4−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾー
ルなどのイミダゾール化合物、トリエチルアミン、ベン
ジルジメチルアミン、α−メチルベンジルジメチルアミ
ン、2−(ジメチルアミノメチル)フェノール、2,
4,6−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、
1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7
などの3級アミン化合物、ジルコニウムテトラメトキシ
ド、ジルコニウムテトラプロポキシド、テトラキス(ア
セチルアセトナト)ジルコニウム、トリ(アセチルアセ
トナト)アルミニウムなどの有機金属化合物およびトリ
フェニルホスフィン、トリメチルホスフィン、トリエチ
ルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリ(p−メチ
ルフェニル)ホスフィン、トリ(ノニルフェニル)ホス
フィンなどの有機ホスフィン化合物があげられる。なか
でも耐湿性の点から、有機ホスフィン化合物が好まし
く、トリフェニルホスフィンが特に好ましく用いられ
る。これらの硬化触媒は、用途によっては二種以上を併
用してもよく、その添加量はエポキシ樹脂(A) 100重
量部に対して0.1〜10重量部の範囲が好ましい。
In the present invention, a curing catalyst may be used to accelerate the curing reaction between the epoxy resin (A) and the curing agent (B). The curing catalyst is not particularly limited as long as it accelerates the curing reaction, and for example, 2-methylimidazole, 2,4
-Dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-
Imidazole compounds such as 4-methylimidazole and 2-heptadecylimidazole, triethylamine, benzyldimethylamine, α-methylbenzyldimethylamine, 2- (dimethylaminomethyl) phenol, 2,
4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol,
1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7
Such as tertiary amine compounds, zirconium tetramethoxide, zirconium tetrapropoxide, tetrakis (acetylacetonato) zirconium, tri (acetylacetonato) aluminum and other organometallic compounds, and triphenylphosphine, trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine And organic phosphine compounds such as tri (p-methylphenyl) phosphine and tri (nonylphenyl) phosphine. Among them, organic phosphine compounds are preferable, and triphenylphosphine is particularly preferably used, from the viewpoint of moisture resistance. Two or more kinds of these curing catalysts may be used in combination depending on the use, and the addition amount thereof is preferably in the range of 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin (A).

【0025】本発明における充填剤(C) としては、溶融
シリカ、結晶性シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシ
ウム、アルミナ、マグネシア、クレー、タルク、ケイ酸
カルシウム、酸化チタン、酸化アンチモン、アスベス
ト、ガラス繊維などがあげられるが、中でも溶融シリカ
は線膨張係数を低下させる効果が大きく、低応力化に有
効なため好ましく用いられる。
As the filler (C) in the present invention, fused silica, crystalline silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, alumina, magnesia, clay, talc, calcium silicate, titanium oxide, antimony oxide, asbestos, glass fiber, etc. Among them, fused silica is preferably used because it has a large effect of lowering the linear expansion coefficient and is effective in reducing stress.

【0026】ここでいう溶融シリカは真比重2.3以下
の非晶性シリカを意味する。その製造は必ずしも溶融状
態を経る必要はなく、任意の製造法を用いることができ
る。たとえば、結晶性シリカを溶融する方法、各種原料
から合成する方法などがあげられる。
The fused silica referred to herein means an amorphous silica having a true specific gravity of 2.3 or less. The production does not necessarily have to go through the molten state, and any production method can be used. For example, a method of melting crystalline silica, a method of synthesizing from various raw materials, and the like can be mentioned.

【0027】溶融シリカの形状および粒径は特に限定さ
れないが、球状溶融シリカを充填剤中に84〜89重量
%含有することが流動性と半田耐熱性の点から好まし
い。
The shape and particle size of the fused silica are not particularly limited, but it is preferable to contain spherical fused silica in the filler in an amount of 84 to 89 % by weight from the viewpoint of fluidity and solder heat resistance.

【0028】本発明において、充填材(C) の割合は成形
性および低応力性の点から全体の80〜95重量%であ
る。
In the present invention, the proportion of the filler (C) is 80 to 95% by weight based on the total weight in view of moldability and low stress.

【0029】本発明において、充填剤(C) をシランカッ
プリング剤、チタネートカップリング剤などのカップリ
ング剤であらかじめ表面処理することが、信頼性の点で
好ましい。カップリング剤としてエポキシシラン、アミ
ノシラン、メルカプトシランなどのシランカップリング
剤が好ましく用いられる。
In the present invention, the surface treatment of the filler (C) with a coupling agent such as a silane coupling agent or a titanate coupling agent is preferable in terms of reliability. As the coupling agent, silane coupling agents such as epoxysilane, aminosilane, mercaptosilane and the like are preferably used.

【0030】本発明のエポキシ樹脂組成物にはハロゲン
化エポキシ樹脂などのハロゲン化物、リン化合物などの
難燃剤、三酸化アンチモンなどの難燃助剤、カーボンブ
ラック、酸化鉄などの着色剤、シリコーンゴム、オレフ
ィン系共重合体、変性ニトリルゴム、変性ポリブタジエ
ンゴム、変性シリコーンオイルなどのエラストマー、ポ
リエチレンなどの熱可塑性樹脂、長鎖脂肪酸、長鎖脂肪
酸の金属塩、長鎖脂肪酸のエステル、長鎖脂肪酸のアミ
ド、パラフィンワックスなどの離型剤、ハイドロタルサ
イト類などのイオン捕捉剤、有機過酸化物などの架橋剤
を任意に添加することができる。
The epoxy resin composition of the present invention includes halides such as halogenated epoxy resins, flame retardants such as phosphorus compounds, flame retardants such as antimony trioxide, colorants such as carbon black and iron oxide, and silicone rubber. , Olefin copolymers, modified nitrile rubber, modified polybutadiene rubber, modified silicone oil and other elastomers, polyethylene and other thermoplastic resins, long chain fatty acids, long chain fatty acid metal salts, long chain fatty acid esters, long chain fatty acid A release agent such as amide or paraffin wax, an ion scavenger such as hydrotalcites, or a cross-linking agent such as organic peroxide can be optionally added.

【0031】本発明のエポキシ樹脂組成物は溶融混練す
ることが好ましく、たとえばバンバリーミキサー、ニー
ダー、ロール、単軸もしくは二軸の押出機およびコニー
ダーなどの公知の混練方法を用いて溶融混練することに
より、製造される。
The epoxy resin composition of the present invention is preferably melt-kneaded, for example by melt-kneading using a known kneading method such as a Banbury mixer, a kneader, a roll, a single or twin screw extruder and a cokneader. , Manufactured.

【0032】[0032]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。なお、実施例中の%は、重量%を示す。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. In addition,% in an Example shows weight%.

【0033】実施例1〜3、比較例1〜2 表1に示した成分を、表5に示した組成比でミキサーに
よりドライブレンドした。これを、ロール表面温度90
℃のミキシングロールを用いて5分間加熱混練後、冷却
・粉砕して半導体封止用エポキシ樹脂組成物を製造し
た。この組成物を用い、低圧トランスファー成形法によ
り175℃×2分の条件で成形し、180℃×5時間の
条件でポストキュアして次の物性測定法により各組成物
の物性を測定した。
Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 The components shown in Table 1 were dry blended with a mixer in the composition ratios shown in Table 5. Roll surface temperature 90
The mixture was heated and kneaded for 5 minutes using a mixing roll at ℃, cooled and pulverized to produce an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation. This composition was molded by a low-pressure transfer molding method under the conditions of 175 ° C. × 2 minutes, post-cured under the condition of 180 ° C. × 5 hours, and the physical properties of each composition were measured by the following physical property measuring methods.

【0034】半田耐熱性:表面にAl蒸着した模擬素子
を搭載したチップサイズ12×12mmの160pin
TQFP 20個を成形しポストキュアし,85℃/8
5%RHで72時間加湿後、最高温度240℃のIRリ
フロー炉で加熱処理し、外部クラック発生数を調べた。
Solder heat resistance: 160 pin with a chip size of 12 × 12 mm and mounting a simulated element with Al vapor deposition on the surface
TQFP 20 pieces are molded and post-cured, 85 ℃ / 8
After humidifying at 5% RH for 72 hours, heat treatment was performed in an IR reflow furnace having a maximum temperature of 240 ° C., and the number of external cracks was examined.

【0035】耐湿信頼性:半田耐熱評価後のQFPを用
い、121℃/100%RHのPCT条件下で、Al配
線の断線を故障として累積故障率50%になる時間を求
め寿命とした。
Moisture resistance reliability: Using QFP after solder heat resistance evaluation, under PCT conditions of 121 ° C./100% RH, the time at which the cumulative failure rate becomes 50% by breaking the Al wiring is determined as the life.

【0036】硬化収縮率:4inchの円板を成形し、
成形直後の直径をマイクロメーターで測定し成形収縮率
を求めた。
Curing shrinkage ratio: A disc of 4 inches was molded,
The diameter immediately after molding was measured with a micrometer to determine the molding shrinkage.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】表2にみられるように、本発明のエポキシ
樹脂組成物(実施例1〜3)は、半田耐熱性、吸水性、
硬化収縮性に優れている。中でも、ナフトール含有量の
多い硬化剤を用いた実施例2、3は半田耐熱性、吸水
性、硬化収縮率に優れている。これに対して硬化剤(B)
中にコポリマー(b) を含有しない比較例1〜2は、半田
耐熱性、吸水性、硬化収縮性が劣っている。
As can be seen from Table 2, the epoxy resin compositions of the present invention (Examples 1 to 3) have solder heat resistance, water absorption,
Excellent cure shrinkage. Among them, Examples 2 and 3 using a curing agent having a high naphthol content are excellent in solder heat resistance, water absorption, and curing shrinkage. On the other hand, curing agent (B)
Comparative Examples 1 and 2 which do not contain the copolymer (b) therein are inferior in solder heat resistance, water absorption and curing shrinkage.

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物は、エポキシ樹脂に特定のエポキシ樹脂、硬化剤とし
て特定のコポリマーを配合したために、半田耐熱性、吸
水性が良好で、しかも硬化収縮性が小さく生産性に優れ
ている。
EFFECT OF THE INVENTION The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention has good solder heat resistance and water absorption, and has good curing shrinkage because it contains a specific epoxy resin and a specific copolymer as a curing agent. It has low productivity and excellent productivity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/29 C08G 59/62 H01L 23/31 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 23/29 C08G 59/62 H01L 23/31

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】エポキシ樹脂(A)、硬化剤(B)、充填
剤(C)を含有してなるエポキシ樹脂組成物であって、
前記エポキシ樹脂(A)が下記式(I)で表されるエポ
キシ樹脂(a)を必須成分として含有し、かつ前記硬化
剤(B)がナフトール/フェノールパラキシレンコポリ
マー(b)を必須成分として含有し、ナフトール/フェ
ノールパラキシレンコポリマー(b)の構成モル比が2
/8〜5/5であり、前記充填剤(C)の割合が組成物
全体の84〜89重量%であることを特徴とする半導体
封止用エポキシ樹脂組成物。 【化1】 (ただし、R1からR8は水素原子、C1〜C4の低級ア
ルキル基またはハロゲン原子を示す。)
1. An epoxy resin composition comprising an epoxy resin (A), a curing agent (B) and a filler (C),
The epoxy resin (A) contains an epoxy resin (a) represented by the following formula (I) as an essential component, and the curing agent (B) contains a naphthol / phenolparaxylene copolymer (b) as an essential component. And naphthol / fe
The molar ratio of the norparaxylene copolymer (b) is 2
/ 8 to 5/5, and the proportion of the filler (C) is the composition.
An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, which is 84 to 89 % by weight of the whole . [Chemical 1] (However, R 1 to R 8 represent a hydrogen atom, a C1-C4 lower alkyl group or a halogen atom.)
【請求項2】請求項1に記載の半導体封止用エポキシ
組成物を用いて封止したことを特徴とする半導体装
置。
2. A epoxy resin for semiconductor encapsulation according to claim 1
A semiconductor device, which is encapsulated with an oil composition.
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