JP2598121B2 - 回転乾燥装置 - Google Patents
回転乾燥装置Info
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- JP2598121B2 JP2598121B2 JP3320489A JP3320489A JP2598121B2 JP 2598121 B2 JP2598121 B2 JP 2598121B2 JP 3320489 A JP3320489 A JP 3320489A JP 3320489 A JP3320489 A JP 3320489A JP 2598121 B2 JP2598121 B2 JP 2598121B2
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- Japan
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- turntable
- spindle
- fixing
- hole
- screw
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、半導体の製造工程等において洗浄処理後の
半導体ウエハ等の水分除去，乾燥を行う回転乾燥装置に
関する。
半導体ウエハ等の水分除去，乾燥を行う回転乾燥装置に
関する。
＜従来の技術＞ 第３図は、この種の半導体ウエハ用の回転乾燥装置を
示す概略構成図で、グローブ１内にターンテーブル２
が、その回転軸を鉛直とした状態で回転する様に設けら
れている。即ちターンテーブル２は、その中心が回転軸
を鉛直としたスピンドル３に連結され、そのスピンドル
３は、グローブ１の底部に設けられたハウジング４を通
して、継手５により駆動モータ６に連結されている。
示す概略構成図で、グローブ１内にターンテーブル２
が、その回転軸を鉛直とした状態で回転する様に設けら
れている。即ちターンテーブル２は、その中心が回転軸
を鉛直としたスピンドル３に連結され、そのスピンドル
３は、グローブ１の底部に設けられたハウジング４を通
して、継手５により駆動モータ６に連結されている。
そしてターンテーブル２に取付けられたクレイドル７
に、洗浄処理後の半導体ウエハをカセットに収納した状
態でセットし、蓋８を閉じて駆動モータによりターンテ
ーブル２を高速回転させる。すると遠心力によって半導
体ウエハに付着した水分が除去される。更に、蓋８に設
けられた吸入孔8aからグローブ１内にグリーンエアＡを
供給することにより乾燥が行われる。除去された水分及
び供給されたエアは、グローブ１の排出口９から排出さ
れる。
に、洗浄処理後の半導体ウエハをカセットに収納した状
態でセットし、蓋８を閉じて駆動モータによりターンテ
ーブル２を高速回転させる。すると遠心力によって半導
体ウエハに付着した水分が除去される。更に、蓋８に設
けられた吸入孔8aからグローブ１内にグリーンエアＡを
供給することにより乾燥が行われる。除去された水分及
び供給されたエアは、グローブ１の排出口９から排出さ
れる。
上述の様な回転乾燥装置では、グローブ１内を清掃す
る際にはターンテーブル２を取外す。その為にターンテ
ーブル２は、スピンドル３に対して着脱し得る様に取付
けられている。
る際にはターンテーブル２を取外す。その為にターンテ
ーブル２は、スピンドル３に対して着脱し得る様に取付
けられている。
第４図は、従来の回転乾燥装置におけるターンテーブ
ル２とスピンドル３との連結部分を示す要部側断面図で
ある。図で示す様にターンテーブル２の中央には、固定
キャップ部10とボス部11とが上下に重ねられた状態で設
けられている。即ちターンテーブル２は、これら固定キ
ャップ部10とボス部11との周辺部分で、ターンテーブル
２の円盤部2aを挟み、複数のボルト12で一体化して構成
されている。固定キャップ部10と円盤部2a間には封水用
のＯリング13が装着されている。
ル２とスピンドル３との連結部分を示す要部側断面図で
ある。図で示す様にターンテーブル２の中央には、固定
キャップ部10とボス部11とが上下に重ねられた状態で設
けられている。即ちターンテーブル２は、これら固定キ
ャップ部10とボス部11との周辺部分で、ターンテーブル
２の円盤部2aを挟み、複数のボルト12で一体化して構成
されている。固定キャップ部10と円盤部2a間には封水用
のＯリング13が装着されている。
上記固定キャップ部10とボス部11との回転軸上には、
夫々固定孔14とテーパ状の嵌合孔15とが貫通した状態で
設けられている。その固定キャップ部10の固定孔14の上
端には、小径部分14aが設けられている。又ボス部11の
下端には、嵌合孔15内に突出したキー16がネジ止めされ
ている。
夫々固定孔14とテーパ状の嵌合孔15とが貫通した状態で
設けられている。その固定キャップ部10の固定孔14の上
端には、小径部分14aが設けられている。又ボス部11の
下端には、嵌合孔15内に突出したキー16がネジ止めされ
ている。
一方、スピンドル３の上部にはテーパ状のテーパ部3a
が形成され、更にこのテーパ部3aに続くスピンドル３の
先端には径の一定な鉛直部3bが形成されている。又この
スピンドル３には、その回転軸上に先端面よりネジ穴17
が穿設されるとともに、鉛直部3bからテーパ部3aにかけ
ての周壁に、回転軸方向に長いキー溝18が形成されてい
る。
が形成され、更にこのテーパ部3aに続くスピンドル３の
先端には径の一定な鉛直部3bが形成されている。又この
スピンドル３には、その回転軸上に先端面よりネジ穴17
が穿設されるとともに、鉛直部3bからテーパ部3aにかけ
ての周壁に、回転軸方向に長いキー溝18が形成されてい
る。
そして上記ターンテーブル２は、テーパ状の嵌合孔15
にスピンドル３のテーパ部3aを、嵌合孔15の内壁とテー
パ部3aの周壁をと密着させた状態に嵌合させる、所謂テ
ーパ嵌合させるとともに、上記固定キャップ部10の固定
孔14に挿入した固定ボルト19を、スピンドル３のネジ穴
17に螺着させることにより、スピンドル３に取付けられ
る。その際、固定キャップ部10の固定孔14にはスピンド
ル３の鉛直部3bが挿入された状態となる。又上記ボス部
11のキー16を、スピンドル３のキー溝18に係合させるこ
とにより、スピンドル３の周方向に対するターンテーブ
ル２の位置決めが為される。更に固定キャップ部10と固
定ボルト19間の封水の為に、固定キャップ部10の固定孔
14の小径部分14aにＯリング20が装着される。
にスピンドル３のテーパ部3aを、嵌合孔15の内壁とテー
パ部3aの周壁をと密着させた状態に嵌合させる、所謂テ
ーパ嵌合させるとともに、上記固定キャップ部10の固定
孔14に挿入した固定ボルト19を、スピンドル３のネジ穴
17に螺着させることにより、スピンドル３に取付けられ
る。その際、固定キャップ部10の固定孔14にはスピンド
ル３の鉛直部3bが挿入された状態となる。又上記ボス部
11のキー16を、スピンドル３のキー溝18に係合させるこ
とにより、スピンドル３の周方向に対するターンテーブ
ル２の位置決めが為される。更に固定キャップ部10と固
定ボルト19間の封水の為に、固定キャップ部10の固定孔
14の小径部分14aにＯリング20が装着される。
ターンテーブル２を取外すには、固定ボルト19を外し
てターンテーブル２を鉛直上方へ引上げる。
てターンテーブル２を鉛直上方へ引上げる。
＜発明が解決しようとする課題＞ この種の回転乾燥装置では、ターンテーブル２が回転
時に振動しない様に、ボス部11の嵌合孔15内壁とスピン
ドル３のテーパ部3a周壁とを特に精密に加工して、テー
パ嵌合させた際の両者間の密着度を高めている。従って
外す際にターンテーブル２をスピンドル３から離脱させ
るには、ターンテーブル２自体の重量も大きいことから
非常に強い引上げ力を必要とする。しかも回転軸方向上
向き、つまり鉛直上方へ力を加えないと、嵌合孔15の内
壁或はテーパ部3aの周壁が傷付いたり変形したりして密
着度が低下し、回転時に振動を起こすことになる。更に
人間の手でターンテーブル２を取外す場合には、回転乾
燥装置の横から手を伸ばして持ち上げねばならない。
時に振動しない様に、ボス部11の嵌合孔15内壁とスピン
ドル３のテーパ部3a周壁とを特に精密に加工して、テー
パ嵌合させた際の両者間の密着度を高めている。従って
外す際にターンテーブル２をスピンドル３から離脱させ
るには、ターンテーブル２自体の重量も大きいことから
非常に強い引上げ力を必要とする。しかも回転軸方向上
向き、つまり鉛直上方へ力を加えないと、嵌合孔15の内
壁或はテーパ部3aの周壁が傷付いたり変形したりして密
着度が低下し、回転時に振動を起こすことになる。更に
人間の手でターンテーブル２を取外す場合には、回転乾
燥装置の横から手を伸ばして持ち上げねばならない。
即ち従来は、人間が回転乾燥装置のターンテーブル２
を取外すことは非常に困難であった。
を取外すことは非常に困難であった。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は上記問題点を解決すべく提案された回転乾燥
装置で、ターンテーブルの固定キャップ部の固定孔に、
固定ボルトのネジ径より大きい径の雌ネジを形成したこ
とを特徴とするものである。
装置で、ターンテーブルの固定キャップ部の固定孔に、
固定ボルトのネジ径より大きい径の雌ネジを形成したこ
とを特徴とするものである。
＜作用＞ 上記構成において、取外しボルトを用い、その取外し
ボルトのネジ部を固定孔の雌ネジに螺着させるととも
に、柱状突起部をスピンドルのネジ穴へ遊挿してネジ穴
の底部に当接させ、更に取外しボルトをねじ込むと、取
外しボルトがスピンドルを押圧する反作用によりターン
テーブルには回転軸方向上向きの力が作用し、ターンテ
ーブルはスピンドルから離脱する。
ボルトのネジ部を固定孔の雌ネジに螺着させるととも
に、柱状突起部をスピンドルのネジ穴へ遊挿してネジ穴
の底部に当接させ、更に取外しボルトをねじ込むと、取
外しボルトがスピンドルを押圧する反作用によりターン
テーブルには回転軸方向上向きの力が作用し、ターンテ
ーブルはスピンドルから離脱する。
＜実施例＞ 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第１図は、本発明の回転乾燥装置におけるターンテー
ブルとスピンドルとの連結部分を示す要部側断面図であ
る。尚第１図において、第４図に示した従来例と相違な
い構成部品については、同一の符号を付して説明を省略
する。
ブルとスピンドルとの連結部分を示す要部側断面図であ
る。尚第１図において、第４図に示した従来例と相違な
い構成部品については、同一の符号を付して説明を省略
する。
図に示す如く、本発明の回転乾燥装置の特徴は、ター
ンテーブル２の中央に設けられる固定キャップ部21の構
造にあり、更に詳しくは固定キャップ部21の回転軸上に
貫通した状態で設けられる固定孔22の構造にある。
ンテーブル２の中央に設けられる固定キャップ部21の構
造にあり、更に詳しくは固定キャップ部21の回転軸上に
貫通した状態で設けられる固定孔22の構造にある。
即ち固定ボルト19を挿着させる固定孔22の内壁最上部
に、雌ネジ23が形成されている。この雌ネジ23の径D
1は、固定孔22に対する固定ボルト19の挿脱時にそのネ
ジ部19aが接触しない様に固定ボルト19のネジ孔D2より
大きく設定されている。しかもこの実施例の場合には、
固定ボルト19の頭部19bも遊挿し得る大きさとされてい
る。
に、雌ネジ23が形成されている。この雌ネジ23の径D
1は、固定孔22に対する固定ボルト19の挿脱時にそのネ
ジ部19aが接触しない様に固定ボルト19のネジ孔D2より
大きく設定されている。しかもこの実施例の場合には、
固定ボルト19の頭部19bも遊挿し得る大きさとされてい
る。
又固定孔22には、上記雌ネジ23を形成した大径部分22
aの下方に、固定ボルト19の頭部19bを挿通させない小径
部分22bと、スピンドル３の鉛直部3bを挿入させる中径
部分22cとが形成されている。
aの下方に、固定ボルト19の頭部19bを挿通させない小径
部分22bと、スピンドル３の鉛直部3bを挿入させる中径
部分22cとが形成されている。
そして、ターンテーブル２は、ボス部11の嵌合孔15と
スピンドル３のテーパ部3aとをテーパ嵌合させるととも
に、上記固定キャップ部21の固定孔22に挿入した固定ボ
ルト19を、スピンドル３のネジ穴17に螺着させることに
よりスピンドル３に取付けられている。その際、スピン
ドル３のキー溝18にはボス部11の位置決め用のキー16が
係合され、固定キャップ部21の固定孔22の小径部分22b
には封水用のＯリング20が装着される。
スピンドル３のテーパ部3aとをテーパ嵌合させるととも
に、上記固定キャップ部21の固定孔22に挿入した固定ボ
ルト19を、スピンドル３のネジ穴17に螺着させることに
よりスピンドル３に取付けられている。その際、スピン
ドル３のキー溝18にはボス部11の位置決め用のキー16が
係合され、固定キャップ部21の固定孔22の小径部分22b
には封水用のＯリング20が装着される。
又固定ボルト19の頭部19bは、固定孔22の大径部分22a
に嵌め込まれた状態となる。更にその大径部分22aに水
が溜らない様に、固定孔22の上端には雌ネジ23を利用し
てキャップ24が螺着されている。
に嵌め込まれた状態となる。更にその大径部分22aに水
が溜らない様に、固定孔22の上端には雌ネジ23を利用し
てキャップ24が螺着されている。
次に上述の如く固定孔22に雌ネジ23を形成したターン
テーブル２の取外し方法を、第２図の要部側断面図を用
いて説明する。
テーブル２の取外し方法を、第２図の要部側断面図を用
いて説明する。
即ちキャップ24と固定ボルト19を取外した後、固定キ
ャップ部21の固定孔22に取外しボルト25を挿入する。こ
の取外しボルト25は、頭部25aの下に、固定孔22の雌ネ
ジ23に螺合するネジ部25bを形成するとともに、そのネ
ジ部25bの下に、スピンドル３のネジ穴17へ遊挿し得る
柱状突起部25cを形成して成るものである。従って柱状
突起部25cの外径D3は、ネジ穴17の内径D4より小さく、
しかも柱状突起部25cの長さL1は、取付け状態における
固定孔22の大径部分22a下端とスピンドル３のネジ穴17
底部との距離L2より長い。
ャップ部21の固定孔22に取外しボルト25を挿入する。こ
の取外しボルト25は、頭部25aの下に、固定孔22の雌ネ
ジ23に螺合するネジ部25bを形成するとともに、そのネ
ジ部25bの下に、スピンドル３のネジ穴17へ遊挿し得る
柱状突起部25cを形成して成るものである。従って柱状
突起部25cの外径D3は、ネジ穴17の内径D4より小さく、
しかも柱状突起部25cの長さL1は、取付け状態における
固定孔22の大径部分22a下端とスピンドル３のネジ穴17
底部との距離L2より長い。
そしてこの様な取外しボルト25のネジ部25bを固定孔2
2の雌ネジ23に螺合させて、その先端をネジ穴17の底部
に当接させ、更にスパナ等の道具でねじ込んでいくと、
取外しボルト25がスピンドル３を押圧する反作用により
ターンテーブル２には、回転軸方向つまり鉛直方向上向
きの力が作用し、ターンテーブル２は浮上する様にスピ
ンドル３から離脱する。この離脱の際、嵌合孔15の内壁
或はスピンドル３のテーパ部3aの周壁を押圧する様な力
は生じない為、それらを傷付けたり変形させたりするこ
とはない。
2の雌ネジ23に螺合させて、その先端をネジ穴17の底部
に当接させ、更にスパナ等の道具でねじ込んでいくと、
取外しボルト25がスピンドル３を押圧する反作用により
ターンテーブル２には、回転軸方向つまり鉛直方向上向
きの力が作用し、ターンテーブル２は浮上する様にスピ
ンドル３から離脱する。この離脱の際、嵌合孔15の内壁
或はスピンドル３のテーパ部3aの周壁を押圧する様な力
は生じない為、それらを傷付けたり変形させたりするこ
とはない。
離脱させれば、後は手でターンテーブル２を持ち上げ
て容易に取外すことができる。
て容易に取外すことができる。
＜発明の効果＞ 以上述べた様に本発明の回転乾燥装置では、スピンド
ルに強い密着力でテーパ嵌合されたターンテーブルを、
取外しボルトとそれを回すスパナ等の道具を用いて小さ
な力で、しかも嵌合孔の内壁やスピンドルの周壁を傷付
けたり変形させたりすることなく離脱させることがで
き、よってターンテーブルを容易に取外すことができ
る。
ルに強い密着力でテーパ嵌合されたターンテーブルを、
取外しボルトとそれを回すスパナ等の道具を用いて小さ
な力で、しかも嵌合孔の内壁やスピンドルの周壁を傷付
けたり変形させたりすることなく離脱させることがで
き、よってターンテーブルを容易に取外すことができ
る。
第１図は、本発明の実施例を示す要部側断面図、 第２図は、実施例におけるターンテーブルの取外し方法
を説明する要部側断面図、 第３図は、半導体ウエハ用の回転乾燥装置の概略構成
図、 第４図は、従来例を示す要部側断面図。 ２……ターンテーブル,3……スピンドル,11……ボス部,
15……嵌合孔,17……ネジ穴,19……固定ボルト,21……
固定キャップ部,22……固定孔,23……雌ネジ。
を説明する要部側断面図、 第３図は、半導体ウエハ用の回転乾燥装置の概略構成
図、 第４図は、従来例を示す要部側断面図。 ２……ターンテーブル,3……スピンドル,11……ボス部,
15……嵌合孔,17……ネジ穴,19……固定ボルト,21……
固定キャップ部,22……固定孔,23……雌ネジ。
Claims (1)
- 【請求項１】被乾燥物をセットして回転させるターンテ
ーブルの中央に、固定キャップ部とボス部とを上下に重
ねた状態で設け、その固定キャップ部とボス部との回転
軸上に夫々固定孔とテーパ状の嵌合孔とを貫通させた状
態で設け、このボス部の嵌合孔と、駆動モータに連結さ
れたテーパ状のスピンドルとをテーパ嵌合するととも
に、上記固定キャップ部の固定孔に挿入した固定ボルト
を、上記スピンドルの回転軸上に穿設されたネジ穴に螺
着させることにより、ターンテーブルをスピンドルに着
脱可能に取付けた回転乾燥装置において、 上記ターンテーブルの固定キャップ部の固定孔に、上記
固定ボルトのネジ径より大きい径の雌ネジを形成したこ
とを特徴とする回転乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320489A JP2598121B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 回転乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320489A JP2598121B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 回転乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02211627A JPH02211627A (ja) | 1990-08-22 |
| JP2598121B2 true JP2598121B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=12379937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3320489A Expired - Fee Related JP2598121B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 回転乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598121B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4210537B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2009-01-21 | 株式会社キンキ | 剪断式破砕機の切断刃 |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP3320489A patent/JP2598121B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02211627A (ja) | 1990-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |