JP2597919Y2 - 運動伝達装置 - Google Patents
運動伝達装置Info
- Publication number
- JP2597919Y2 JP2597919Y2 JP1992086428U JP8642892U JP2597919Y2 JP 2597919 Y2 JP2597919 Y2 JP 2597919Y2 JP 1992086428 U JP1992086428 U JP 1992086428U JP 8642892 U JP8642892 U JP 8642892U JP 2597919 Y2 JP2597919 Y2 JP 2597919Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fins
- container
- transmission device
- bearing
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Rotary Pumps (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、例えば往復動圧縮機、
スクロール型真空ポンプなどに適用される運動伝達装置
に関する。
スクロール型真空ポンプなどに適用される運動伝達装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は往復動圧縮機などに使用されてい
る従来の運動伝達装置の説明図である。図において、本
運動伝達装置は内部が数Torr以上の真空容器１内で回転
運動を往復運動に変換し、この真空雰囲気で使用される
往復動圧縮機、スクロール型真空ポンプなどに伝達する
もので、回転軸３は軸受２で支持されている。回転軸３
の端部にはクランクアーム４が取付けられており、クラ
ンクアーム４にはリンク５が図示しないころがり軸受を
介して連結されている。図における符号１０は真空容器
１の蓋である。
る従来の運動伝達装置の説明図である。図において、本
運動伝達装置は内部が数Torr以上の真空容器１内で回転
運動を往復運動に変換し、この真空雰囲気で使用される
往復動圧縮機、スクロール型真空ポンプなどに伝達する
もので、回転軸３は軸受２で支持されている。回転軸３
の端部にはクランクアーム４が取付けられており、クラ
ンクアーム４にはリンク５が図示しないころがり軸受を
介して連結されている。図における符号１０は真空容器
１の蓋である。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記のような従来の運
動伝達装置において、真空容器１内では周囲ガスが非常
に低圧でしか存在せず冷却に十分な媒体が存在しないこ
と、また油が真空下で蒸発して油散布などの冷却ができ
ないことなどのために軸受の温度が１００℃を超えるこ
とがあり、軸受潤滑用のグリースが劣化して頻繁にグリ
ース交換を行う必要がある。特に、半導体を扱う装置な
どにおいては非常に低圧ではあるが腐食性ガスが使用さ
れ、この腐食性ガスに対して耐性のあるフッ素グリース
を軸受に用いる場合は、フッ素グリースは比重が大きい
ために発熱が多く、軸受の温度がかなり高くなる。
動伝達装置において、真空容器１内では周囲ガスが非常
に低圧でしか存在せず冷却に十分な媒体が存在しないこ
と、また油が真空下で蒸発して油散布などの冷却ができ
ないことなどのために軸受の温度が１００℃を超えるこ
とがあり、軸受潤滑用のグリースが劣化して頻繁にグリ
ース交換を行う必要がある。特に、半導体を扱う装置な
どにおいては非常に低圧ではあるが腐食性ガスが使用さ
れ、この腐食性ガスに対して耐性のあるフッ素グリース
を軸受に用いる場合は、フッ素グリースは比重が大きい
ために発熱が多く、軸受の温度がかなり高くなる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案に係る運動伝達装
置は上記課題の解決を目的にしており、真空雰囲気の容
器内で作動して高温になる部材の外面に上記容器の内壁
へ放熱面を向けて設けられ上記容器の内面へ輻射と対流
による放熱を行う羽根状のフィンを捩じって取付けた構
成を特徴とする。
置は上記課題の解決を目的にしており、真空雰囲気の容
器内で作動して高温になる部材の外面に上記容器の内壁
へ放熱面を向けて設けられ上記容器の内面へ輻射と対流
による放熱を行う羽根状のフィンを捩じって取付けた構
成を特徴とする。
【０００５】
【作用】即ち、本考案に係る運動伝達装置においては、
真空雰囲気の容器内で作動して高温になる部材の外面に
羽根状のフィンが容器の内壁へ放熱面を向けて捩じって
取り付けられ容器の内壁へ輻射による放熱と、捩じって
取付けられた羽根状のフィンによる対流効果により冷却
を行うようになっており、真空雰囲気においても高温に
なる部材から容器内壁へフィンを介して輻射と対流によ
る放熱が効率良く行われることにより放熱量が増大して
温度上昇が抑制される。
真空雰囲気の容器内で作動して高温になる部材の外面に
羽根状のフィンが容器の内壁へ放熱面を向けて捩じって
取り付けられ容器の内壁へ輻射による放熱と、捩じって
取付けられた羽根状のフィンによる対流効果により冷却
を行うようになっており、真空雰囲気においても高温に
なる部材から容器内壁へフィンを介して輻射と対流によ
る放熱が効率良く行われることにより放熱量が増大して
温度上昇が抑制される。
【０００６】
【実施例】図１乃至図３は本考案の一実施例に係る運動
伝達装置の説明図である。図において、本実施例に係る
運動伝達装置は往復動圧縮機などに使用されるもので、
図における符号１は内部が数Torr以上の真空容器、３は
真空容器１内に軸受２を介して支持されている回転軸で
ある。回転軸３の端部にはクランクアーム４が取付けら
れており、クランクアーム４にはリンク５が図示しない
ころがり軸受を介して連結されている。このクランクア
ーム４とリンク５とを継ぐ部分に設けられているころが
り軸受にはグリースが充填されており、リンク５の押え
板６によってグリースが封入されている。
伝達装置の説明図である。図において、本実施例に係る
運動伝達装置は往復動圧縮機などに使用されるもので、
図における符号１は内部が数Torr以上の真空容器、３は
真空容器１内に軸受２を介して支持されている回転軸で
ある。回転軸３の端部にはクランクアーム４が取付けら
れており、クランクアーム４にはリンク５が図示しない
ころがり軸受を介して連結されている。このクランクア
ーム４とリンク５とを継ぐ部分に設けられているころが
り軸受にはグリースが充填されており、リンク５の押え
板６によってグリースが封入されている。
【０００７】この押え板６はステンレス鋼製で表面には
溝状に凸凹の加工を施したフィンが刻設されており、取
付ボルト７によってリンク５に取付けられている。ま
た、フィン８はアルミ合金製で、取付ボルト７によって
押え板６に真空容器１内壁に向けて取付けられている。
フィン８は放熱量を増すために捩って取付けられてい
る。これらのフィンを有する押え板６は、取付ボルト７
によりリンク５に密着して固定されている。図における
符号１０は真空容器１の開口部を塞ぐ蓋である。
溝状に凸凹の加工を施したフィンが刻設されており、取
付ボルト７によってリンク５に取付けられている。ま
た、フィン８はアルミ合金製で、取付ボルト７によって
押え板６に真空容器１内壁に向けて取付けられている。
フィン８は放熱量を増すために捩って取付けられてい
る。これらのフィンを有する押え板６は、取付ボルト７
によりリンク５に密着して固定されている。図における
符号１０は真空容器１の開口部を塞ぐ蓋である。
【０００８】このように、ころがり軸受をリンク５に取
付けている押え板６にフィンを設け、さらに押え板６に
フィン８を捩って取付けたことにより、ころがり軸受の
発熱はこれらのフィンに伝熱され、これらのフィンから
真空容器１内における数Torr以上の真空雰囲気に輻射さ
れ、この真空雰囲気から真空容器１を経て外気に放熱さ
れる。また、フィン８を捩って取付けたことにより、こ
のフィン８が回転するため僅かではあるが対流も生じ、
放熱量が大きくなる。このようにして、ころがり軸受か
らの放熱量が数倍に増大し、軸受温度を従来のものに比
べて２０〜３０％程度下げることができる。図３はこの
放熱効果を示しており、従来の運動伝達装置におけるこ
ろがり軸受の基準温度をＴとすると本運動伝達装置では
放熱効果が非常に高いことを示している。なお、本運動
伝達装置においては押え板６に凸凹状の形状を加工して
フィンとし、また押え板６に羽根状のフィン８を捩じっ
て取付けているが、これらフィンの形状や材質等は特に
このように限定されるものではない。また、本装置では
押え板６にフィンを設けているが、リンク５等にフィン
を設けたり、フィン８を捩じって取付けたりすることも
可能である。
付けている押え板６にフィンを設け、さらに押え板６に
フィン８を捩って取付けたことにより、ころがり軸受の
発熱はこれらのフィンに伝熱され、これらのフィンから
真空容器１内における数Torr以上の真空雰囲気に輻射さ
れ、この真空雰囲気から真空容器１を経て外気に放熱さ
れる。また、フィン８を捩って取付けたことにより、こ
のフィン８が回転するため僅かではあるが対流も生じ、
放熱量が大きくなる。このようにして、ころがり軸受か
らの放熱量が数倍に増大し、軸受温度を従来のものに比
べて２０〜３０％程度下げることができる。図３はこの
放熱効果を示しており、従来の運動伝達装置におけるこ
ろがり軸受の基準温度をＴとすると本運動伝達装置では
放熱効果が非常に高いことを示している。なお、本運動
伝達装置においては押え板６に凸凹状の形状を加工して
フィンとし、また押え板６に羽根状のフィン８を捩じっ
て取付けているが、これらフィンの形状や材質等は特に
このように限定されるものではない。また、本装置では
押え板６にフィンを設けているが、リンク５等にフィン
を設けたり、フィン８を捩じって取付けたりすることも
可能である。
【０００９】従来の運動伝達装置においては、真空容器
内では周囲ガスが非常に低圧でしか存在せず冷却に十分
な媒体が存在しないこと、また油が真空下で蒸発して油
散布などの冷却ができないことなどのために軸受の温度
が１００℃を超えることがあり、軸受潤滑用のグリース
が劣化して頻繁にグリース交換を行う必要がある。特
に、半導体を扱う装置などにおいては非常に低圧ではあ
るが腐食性ガスが使用され、この腐食性ガスに対して耐
性のあるフッ素グリースを軸受に用いる場合は、フッ素
グリースは比重が大きいために発熱が多く、軸受の温度
がかなり高くなるが、本運動伝達装置においてはころが
り軸受を取付けている押え板６にフィンを刻設して放熱
効果を高めるとともに、押え板６に密着し真空容器１内
壁に向けてフィン８を捩じって取付け輻射と対流による
放熱効果を高め、またリンク５の運動に伴ってころがり
軸受から数Torr以上の真空容器１内へ対流による放熱量
を高めており、ころがり軸受の温度上昇が抑制されてグ
リース交換の時期を従来の数倍に延ばすことができる。
内では周囲ガスが非常に低圧でしか存在せず冷却に十分
な媒体が存在しないこと、また油が真空下で蒸発して油
散布などの冷却ができないことなどのために軸受の温度
が１００℃を超えることがあり、軸受潤滑用のグリース
が劣化して頻繁にグリース交換を行う必要がある。特
に、半導体を扱う装置などにおいては非常に低圧ではあ
るが腐食性ガスが使用され、この腐食性ガスに対して耐
性のあるフッ素グリースを軸受に用いる場合は、フッ素
グリースは比重が大きいために発熱が多く、軸受の温度
がかなり高くなるが、本運動伝達装置においてはころが
り軸受を取付けている押え板６にフィンを刻設して放熱
効果を高めるとともに、押え板６に密着し真空容器１内
壁に向けてフィン８を捩じって取付け輻射と対流による
放熱効果を高め、またリンク５の運動に伴ってころがり
軸受から数Torr以上の真空容器１内へ対流による放熱量
を高めており、ころがり軸受の温度上昇が抑制されてグ
リース交換の時期を従来の数倍に延ばすことができる。
【００１１】
【考案の効果】本考案に係る運動伝達装置は前記のよう
に構成されており、真空雰囲気においても高温になる部
材から容器の内壁へ捩じって取付けたフィンを介して輻
射と対流による放熱が効率良く行われことにより放熱量
が増大して高温になる部材の温度上昇が抑制されるので
部材の寿命が延長される。
に構成されており、真空雰囲気においても高温になる部
材から容器の内壁へ捩じって取付けたフィンを介して輻
射と対流による放熱が効率良く行われことにより放熱量
が増大して高温になる部材の温度上昇が抑制されるので
部材の寿命が延長される。
【図１】図１（ａ）は本考案の一実施例に係る運動伝達
装置の断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるｂ−ｂ
矢視図である。
装置の断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるｂ−ｂ
矢視図である。
【図２】図２（ａ）はそのフィンの正面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）におけるｂ−ｂ断面図である。
は同図（ａ）におけるｂ−ｂ断面図である。
【図３】図３はその作用説明図である。
【図４】図４（ａ）は従来の運動伝達装置の断面図、同
図（ｂ）は同図（ａ）におけるｂ−ｂ矢視図である。
図（ｂ）は同図（ａ）におけるｂ−ｂ矢視図である。
１ 真空容器 ２ 軸受 ３ 回転軸 ４ クランクアーム ５ リンク ６ 押え板 ７ 取付ボルト ８ フィン １０ 蓋
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−14572（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−226640（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−145687（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16H 21/10 - 21/42 F28F 1/00 - 27/02
Claims (1)
- 【請求項１】 真空雰囲気の容器内で作動して高温にな
る部材の外面に上記容器の内壁へ放射面を向けて設けら
れ上記容器の内壁へ輻射と対流による放熱を行う羽根状
のフィンを捩じって取付けたことを特徴とする運動伝達
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992086428U JP2597919Y2 (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 運動伝達装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992086428U JP2597919Y2 (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 運動伝達装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0651604U JPH0651604U (ja) | 1994-07-15 |
| JP2597919Y2 true JP2597919Y2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=13886637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992086428U Expired - Lifetime JP2597919Y2 (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 運動伝達装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2597919Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150100878A (ko) * | 2013-01-25 | 2015-09-02 | 닛본 세이고 가부시끼가이샤 | 볼 나사 장치 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0645670Y2 (ja) * | 1987-09-30 | 1994-11-24 | 岩田塗装機工業株式会社 | 空冷オイルレススクロール圧縮機の冷却装置 |
| JPH0158790U (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-12 | ||
| JPH0724633Y2 (ja) * | 1989-05-12 | 1995-06-05 | 岩田塗装機工業株式会社 | スクロール圧縮機 |
| JPH04342801A (ja) * | 1991-05-20 | 1992-11-30 | Tokico Ltd | スクロール式流体機械 |
-
1992
- 1992-12-16 JP JP1992086428U patent/JP2597919Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0651604U (ja) | 1994-07-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990420 |