JP2594717Y2 - ウェーハ保持装置 - Google Patents
ウェーハ保持装置Info
- Publication number
- JP2594717Y2 JP2594717Y2 JP1992052786U JP5278692U JP2594717Y2 JP 2594717 Y2 JP2594717 Y2 JP 2594717Y2 JP 1992052786 U JP1992052786 U JP 1992052786U JP 5278692 U JP5278692 U JP 5278692U JP 2594717 Y2 JP2594717 Y2 JP 2594717Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- pillar
- holding
- wafer holding
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体製造工程でウェ
ーハを水平姿勢で多段に保持するウェーハ保持装置に関
するものである。
ーハを水平姿勢で多段に保持するウェーハ保持装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】縦型拡散炉、縦型ＣＶＤ装置は、縦型反
応炉を有し、該反応炉内に装入されたウェーハを表面処
理するものであり、該縦型拡散炉、縦型ＣＶＤ装置にウ
ェーハを装入する際に、ウェーハを水平姿勢で多段に保
持するのがウェーハ保持装置である。
応炉を有し、該反応炉内に装入されたウェーハを表面処
理するものであり、該縦型拡散炉、縦型ＣＶＤ装置にウ
ェーハを装入する際に、ウェーハを水平姿勢で多段に保
持するのがウェーハ保持装置である。
【０００３】従来のウェーハ保持装置について、図３、
図４により説明する。
図４により説明する。
【０００４】上フランジ板１と下フランジ板２との間に
４本の支柱３，３、支柱４，４を設け、１組の支柱３，
４に対して他方の支柱３，４を前記上フランジ板１と下
フランジ板２の中心に対して略同一円周上に且対称に配
設する。
４本の支柱３，３、支柱４，４を設け、１組の支柱３，
４に対して他方の支柱３，４を前記上フランジ板１と下
フランジ板２の中心に対して略同一円周上に且対称に配
設する。
【０００５】前記支柱３，３、支柱４，４は断面が円で
あり、それぞれの支柱の前記フランジの中心に面する側
にウェーハ保持用の溝５，６を所要のピッチで刻設し、
前記支柱の同一高さの４箇所の溝５，６にウェーハ７を
挿入することでウェーハ７が水平に保持される様になっ
ている。
あり、それぞれの支柱の前記フランジの中心に面する側
にウェーハ保持用の溝５，６を所要のピッチで刻設し、
前記支柱の同一高さの４箇所の溝５，６にウェーハ７を
挿入することでウェーハ７が水平に保持される様になっ
ている。
【０００６】而して、ウェーハ７は前記溝の数だけ保持
可能となっている。
可能となっている。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】前記したウェーハ保持
装置ではウェーハ７の略半円部を４箇所で支持してお
り、残りの半円部は片持梁状となっている。従って、ウ
ェーハ処理中、ウェーハが高温の状態となると、曲げ応
力による結晶間の辷を生じ、結晶欠陥となって製品品質
を低下させ、或は歩留りの低下を招来する。
装置ではウェーハ７の略半円部を４箇所で支持してお
り、残りの半円部は片持梁状となっている。従って、ウ
ェーハ処理中、ウェーハが高温の状態となると、曲げ応
力による結晶間の辷を生じ、結晶欠陥となって製品品質
を低下させ、或は歩留りの低下を招来する。
【０００８】本考案は斯かる実情に鑑み、ウェーハ保持
状態に於ける曲げ応力の低減を図り、結晶欠陥の発生を
防止しようとするものである。
状態に於ける曲げ応力の低減を図り、結晶欠陥の発生を
防止しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本考案は、保持されるウ
ェーハの背面側に背柱を立設すると共に前記ウェーハの
両側に側柱を立設し、前記背柱、前記側柱にそれぞれ所
要数のウェーハ保持溝を刻設し、各保持溝にウェーハを
保持可能としたウェーハ保持装置に於いて、前記側柱を
ウェーハの中心より前記背柱の反対側に延出する長形断
面形状とし、該側柱のウェーハ保持溝の先端部がウェー
ハの中心より反背柱側に位置する様にしたことを特徴と
するものである。
ェーハの背面側に背柱を立設すると共に前記ウェーハの
両側に側柱を立設し、前記背柱、前記側柱にそれぞれ所
要数のウェーハ保持溝を刻設し、各保持溝にウェーハを
保持可能としたウェーハ保持装置に於いて、前記側柱を
ウェーハの中心より前記背柱の反対側に延出する長形断
面形状とし、該側柱のウェーハ保持溝の先端部がウェー
ハの中心より反背柱側に位置する様にしたことを特徴と
するものである。
【００１０】
【作用】保持されるウェーハは、円周に沿って略均等に
支持されるので、ウェーハに曲げ応力が発生することが
少なく、曲げ応力に起因する結晶欠陥の発生を防止する
ことができる。
支持されるので、ウェーハに曲げ応力が発生することが
少なく、曲げ応力に起因する結晶欠陥の発生を防止する
ことができる。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づき本考案の一実施例を説明
する。
する。
【００１２】上フランジ８と下フランジ９との間に背柱
１０，１０と側柱１１，１１を掛渡して設け、更に１方
の背柱１０，側柱１１と他方の背柱１０，側柱１１とは
対称に配設する。
１０，１０と側柱１１，１１を掛渡して設け、更に１方
の背柱１０，側柱１１と他方の背柱１０，側柱１１とは
対称に配設する。
【００１３】前記背柱１０は断面を略矩形状とし、フラ
ンジの中心に対して放射状に配置する。又、側柱１１は
断面が偏平な蒲鉾状をしており、凸面側が外周側になる
様に配設されると共に装填されるウェーハ７に対して前
記背柱１０の反対側の縁がウェーハ７の外周より内側に
入込む様に配設されている。
ンジの中心に対して放射状に配置する。又、側柱１１は
断面が偏平な蒲鉾状をしており、凸面側が外周側になる
様に配設されると共に装填されるウェーハ７に対して前
記背柱１０の反対側の縁がウェーハ７の外周より内側に
入込む様に配設されている。
【００１４】背柱１０、前記側柱１１にはそれぞれウェ
ーハ保持溝１２、ウェーハ保持溝１３を所要のピッチで
刻設し、且各段のウェーハ保持溝１２、ウェーハ保持溝
１３が同一平面となる様にし、該ウェーハ保持溝１２、
ウェーハ保持溝１３にウェーハ７を挿入可能にしてい
る。而して、ウェーハ７は後方の２箇所を背柱１０のウ
ェーハ保持溝１２により保持され、ウェーハ７の両側を
前記側柱１１のウェーハ保持溝１３によって保持され
る。
ーハ保持溝１２、ウェーハ保持溝１３を所要のピッチで
刻設し、且各段のウェーハ保持溝１２、ウェーハ保持溝
１３が同一平面となる様にし、該ウェーハ保持溝１２、
ウェーハ保持溝１３にウェーハ７を挿入可能にしてい
る。而して、ウェーハ７は後方の２箇所を背柱１０のウ
ェーハ保持溝１２により保持され、ウェーハ７の両側を
前記側柱１１のウェーハ保持溝１３によって保持され
る。
【００１５】次に、ウェーハ７の保持の状態を説明する
と、前記側柱１１は柱実部１３ｂと、該柱実部１３ｂよ
り片持状に延出する棚板１３ａとで構成され、前記ウェ
ーハ保持溝１３は棚板１３ａ間に形成される。該棚板１
３ａはウェーハ７の中心より該ウェーハ７の円周に沿っ
て前方（前記背柱１０の反対側）に延出しており、ウェ
ーハ７の周辺をウェーハ保持溝１２、ウェーハ保持溝１
３によって略均等に保持する。従って、前記棚板１３ａ
の先端部はウェーハの中心より前方に位置することとな
るので、前記ウェーハ７の前記棚板１３ａの先端より更
に前方に片持梁状に延出する部分が短くなり、ウェーハ
７に発生する曲げ応力が大幅に低減し、この曲げ応力に
よる結晶間の辷りが防止される。更に、結晶欠陥の発生
が抑止され、製品品質の安定、或は歩留りを向上させる
ことができる。
と、前記側柱１１は柱実部１３ｂと、該柱実部１３ｂよ
り片持状に延出する棚板１３ａとで構成され、前記ウェ
ーハ保持溝１３は棚板１３ａ間に形成される。該棚板１
３ａはウェーハ７の中心より該ウェーハ７の円周に沿っ
て前方（前記背柱１０の反対側）に延出しており、ウェ
ーハ７の周辺をウェーハ保持溝１２、ウェーハ保持溝１
３によって略均等に保持する。従って、前記棚板１３ａ
の先端部はウェーハの中心より前方に位置することとな
るので、前記ウェーハ７の前記棚板１３ａの先端より更
に前方に片持梁状に延出する部分が短くなり、ウェーハ
７に発生する曲げ応力が大幅に低減し、この曲げ応力に
よる結晶間の辷りが防止される。更に、結晶欠陥の発生
が抑止され、製品品質の安定、或は歩留りを向上させる
ことができる。
【００１６】尚、前記側柱１１の断面形状は偏平な蒲鉾
状に限らず、短冊状であってもよい。又、背柱１０は１
本又は３本以上でもよい。
状に限らず、短冊状であってもよい。又、背柱１０は１
本又は３本以上でもよい。
【００１７】
【考案の効果】以上述べた如く本考案によれば、ウェー
ハの周囲を略均等に保持するので、曲げ応力の発生が少
なく、曲げ応力による結晶間の辷りが防止され、結晶欠
陥の発生を抑止し、製品品質の向上更に歩留りの向上を
図ることができる。
ハの周囲を略均等に保持するので、曲げ応力の発生が少
なく、曲げ応力による結晶間の辷りが防止され、結晶欠
陥の発生を抑止し、製品品質の向上更に歩留りの向上を
図ることができる。
【図１】本考案の一実施例の立断面図である。
【図２】同前一実施例の平断面図である。
【図３】従来例の平断面図である。
【図４】従来例の立断面図である。
７ ウェーハ １０ 背柱 １１ 側柱 １２ ウェーハ保持溝 １３ ウェーハ保持溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 宮 博信 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際 電気株式会社内 (72)考案者 鈴木 増雄 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際 電気株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−104418（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−19732（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 保持されるウェーハの背面側に背柱を立
設すると共に前記ウェーハの両側に側柱を立設し、前記
背柱、前記側柱にそれぞれ所要数のウェーハ保持溝を刻
設し、各保持溝にウェーハを保持可能としたウェーハ保
持装置に於いて、前記側柱をウェーハの中心より前記背
柱の反対側に延出する長形断面形状とし、前記側柱は柱
実部及び該柱実部より延出し前記保持溝を形成する棚板
から構成され、該棚板は柱実部より前記ウェーハの円周
に沿ってウェーハの中心より前方に向って更に延出し、
前記棚板の先端部がウェーハの中心より反背柱側に位置
する様にしたことを特徴とするウェーハ保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992052786U JP2594717Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ウェーハ保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992052786U JP2594717Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ウェーハ保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH069139U JPH069139U (ja) | 1994-02-04 |
| JP2594717Y2 true JP2594717Y2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=12924525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992052786U Expired - Lifetime JP2594717Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ウェーハ保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2594717Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000232151A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Hitachi Ltd | 縦型炉用ウェハボート |
| JP4176779B2 (ja) | 2006-03-29 | 2008-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法，記録媒体及び基板処理装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6219732U (ja) * | 1985-07-22 | 1987-02-05 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP1992052786U patent/JP2594717Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069139U (ja) | 1994-02-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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