JP2592135Y2

JP2592135Y2 - 蛍光ｘ線分析装置

Info

Publication number: JP2592135Y2
Application number: JP1993056133U
Authority: JP
Inventors: 啓助小倉; 茂樹藤原
Original assignee: 理学電機工業株式会社
Priority date: 1993-09-21
Filing date: 1993-09-21
Publication date: 1999-03-17
Anticipated expiration: 2008-09-21
Also published as: JPH0720553U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、分析する試料を回転
させる蛍光Ｘ線分析装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線
（放射線）を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を検出
して、試料の組成などを分析する装置である。この種の
蛍光Ｘ線分析装置では、試料が装填される試料ホルダを
交換することなく、試料を交換し得る交換装置を備えた
ものがある。この一例を図６および図７に示す。

【０００３】図６において、試料ホルダ５０は、ベース
５１と上板５２との間に４本の支柱５３を有している。
ベース５１と試料台５４との間には、コイルスプリング
５５が設けられており、試料台５４が上下動可能になっ
ている。上記４本の支柱５３は、試料台５４を案内する
もので、図７（ａ），（ｂ）のように、一方からのみ試
料５６を挿入・排出できるような位置に立設されてい
る。

【０００４】上記試料ホルダ５０は、図６の試料５６の
投入位置Ｐ１と、蛍光Ｘ線を試料５６に照射する分析位
置との間を、図示しない搬送装置により搬送される。分
析が終わると、図７（ｂ）のように、試料５６が排出さ
れた後、試料ホルダ５０を１８０°回転させて、図７
（ａ）のように、次に分析する試料５６が供給される。

【０００５】ところで、蛍光Ｘ線分析装置では、試料５
６の表面の凹凸や偏析による測定誤差を小さくする必要
がある。そこで、従来より、分析位置において試料５６
を試料ホルダ５０と共に回転させることによって、かか
る測定誤差を小さくしている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】しかし、従来の分析装
置では、分析位置において試料ホルダ５０を一定時間回
転させているものの一定角度回転させていないので、試
料ホルダ５０の回転位置にばらつきが生じる。しかも、
試料ホルダ５０を回転可能としているのに伴い、試料ホ
ルダ５０の回転位置が、試料ホルダ５０の搬送中などに
ずれるおそれがある。したがって、図７（ａ），（ｂ）
の試料５６の排出・供給の前に、排出・供給を可能とす
るために、試料ホルダ５０を回転させて回転位置を修正
する必要がある。

【０００７】この考案は、上記従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、試料ホルダの回転位置を修正する必要のな
い蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案は、モータにより回転され試料ホルダを載
置する回転自在な回転テーブルと、試料ホルダとに、そ
れぞれ、互いに係合して、回転テーブルと試料ホルダと
が相対回転するのを防止する係合部および被係合部を設
けている。

【０００９】

【作用】この考案によれば、モータにより回転される回
転テーブルと試料ホルダとが相対回転しないので、試料
ホルダの回転位置が搬送中に位置ずれするおそれがな
い。

【００１０】

【実施例】以下、この考案の一実施例を図１〜図５にし
たがって説明する。図３は分析位置Ｐ２における蛍光Ｘ
線分析装置の概略構造を示す。この図において、Ｘ線管
（放射線源）５７は、下方の試料ホルダ５０に装填され
た試料５６に一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を照射する。照射
された一次Ｘ線Ｂ１は、試料５６の原子を励起して蛍光
Ｘ線Ｂ２を発生させる。発生した蛍光Ｘ線Ｂ２は、分光
結晶５８を介してＸ線検出器５９に入射し、そのＸ線強
度が測定される。この測定強度に基づき、周知の蛍光Ｘ
線分析がなされる。

【００１１】上記試料ホルダ５０は、この図に示す分析
位置Ｐ２と図４に示す試料５６の投入位置Ｐ１との間を
搬送装置１により搬送される。搬送装置１は、この図に
示す昇降台２の他に図示しない走行装置および昇降装置
を有している。

【００１２】図３において、上記昇降台２には、下部に
パルスモータ３が取り付けられている。このパルスモー
タ３には、回転位置検出器が設けられており、パルスモ
ータ３が１回転する毎に、回転位置検出器がこれを検出
し、所定の回数を検出すると、直ちにパルスモータ３を
停止させる。このパルスモータ３の出力軸３ａは、カッ
プリング４などを介して、図２に明示する回転テーブル
５に連結されている。この回転テーブル５は、試料ホル
ダ５０を載置するもので、圧縮コイルスプリング６によ
り上記昇降台２に上下動自在に取り付けられ、一方、第
１ベアリング７により昇降台２に回転自在に取り付けら
れている。

【００１３】上記回転テーブル５の上部および試料ホル
ダ５０の底部には、それぞれ、図１に明示する係合孔
（係合部）５ａおよび被係合ピン（被係合部）５０ａ
が、一対設けられている。これらの係合孔５ａおよび被
係合ピン５０ａは、互いに係合して、回転テーブル５と
試料ホルダ５０とが相対回転するのを防止するものであ
る。したがって、図３のパルスモータ３が回転駆動する
ことにより、試料ホルダ５０が回転する。

【００１４】分析位置Ｐ２では、分析装置の本体８に第
２ベアリング９を介してホルダ押え１０が回転自在に取
り付けられている。したがって、試料ホルダ５０は、分
析位置Ｐ２において、ホルダ押え１０に押し当てられて
位置決めできるとともに、回転可能になっている。

【００１５】図４の投入位置Ｐ１には、試料ホルダ５０
の試料台５４を、図５（ｂ）のように下方に押し下げ
て、試料５６（図５（ａ））の排出・供給を可能にする
押下装置１１が設けられている。この押下装置１１は、
駆動ラック１２、ピニオン１３およびフック１４などか
らなる。この押下装置１１は図４の駆動ラック１２が下
方に駆動するのに伴い、まず、ピニオン１３およびフッ
ク１４が二点鎖線の位置まで回転し、その後、ピニオン
１３およびフック１４が、図５（ｂ）のように下降する
ことにより、フック１４が試料台５４に係合して試料台
５４を押し下げる構造になっている。

【００１６】上記試料ホルダ５０の支柱５３は、図５
（ａ）のように、第１の間口５０ｂから試料５６の供給
を許容し、第２の間口５０ｃから試料５６の排出を許容
するように立設されている。上記試料５６は、図示しな
いプッシャにより、試料ホルダ５０に供給され、試料ホ
ルダ５０から排出される。なお、試料ホルダ５０のその
他の構造は、図６の従来例と同様であり、同一部分また
は相当部分に同一符号を付して、その説明を省略する。

【００１７】つぎに、上記構成の動作について説明す
る。図３の分析位置Ｐ２に、試料５６が供給されると、
パルスモータ３を回転させるとともに、Ｘ線管５７から
一次Ｘ線Ｂ１を試料５６に照射する。パルスモータ３が
１回転する毎に、図示しない回転位置検出器がこれを検
出し、所定の回数検出する間、Ｘ線検出器５９が蛍光Ｘ
線Ｂ２を検出する。その後、回転位置検出器が回転位置
を検出すると直ちに上記パルスモータ３が停止する。

【００１８】この検出後、搬送装置１が試料ホルダ５０
を図４の投入位置Ｐ１まで搬送する。この搬送後、押下
装置１１が作動して、試料台５４を図５（ｂ）のように
下方に押し下げた後、プッシャが図５（ａ）の二点鎖線
で示す試料５６を第２の間口５０ｃから排出するととも
に、次の試料５６を第１の間口５０ｂから供給する。供
給された試料５６は、図３の分析位置Ｐ２まで搬送され
る。こうして、試料５６が連続的に分析される。

【００１９】上記構成において、図２の試料ホルダ５０
と回転テーブル５とが係合していないと、パルスモータ
３を正確に整数回回転させても、回転テーブル５と試料
ホルダ５０との間にすべりが生じるおそれがある。これ
に対し、この分析装置では、回転テーブル５に係合孔５
ａを形成し、試料ホルダ５０に被係合ピン５０ａを設け
ているので、回転テーブル５と試料ホルダ５０との間に
すべりが生じない。したがって、試料５６を正確に整数
回回転させることができるから、偏析や試料５６の凹凸
に起因する分析精度の低下を防止し得る。

【００２０】また、被係合ピン５０ａが係合孔５ａに係
合しているので、試料ホルダ５０が回転テーブル５、カ
ップリング４および出力軸３ａを介して、パルスモータ
３に連結されているから、搬送中に試料ホルダ５０の回
転位置がずれるおそれがない。したがって、図５（ａ）
のように、試料ホルダ５０の間口５ｂ，５ｃが所定の方
向に開口しているから、図５（ｂ）の投入位置Ｐ１にお
いて、試料ホルダ５０の回転位置を修正することなく、
図５（ａ）のように、試料５６を排出し、供給すること
ができる。

【００２１】なお、上記実施例では、搬送装置１が走行
装置および昇降装置を備えているが、この考案では、搬
送装置が試料ホルダ５０をリンクにより円弧状の軌跡に
沿って搬送するものであってもよい。

【００２２】

【考案の効果】以上説明したように、この考案によれ
ば、モータにより回転される回転テーブルと試料ホルダ
との相対回転を防止できるから、投入位置において試料
ホルダの回転位置を修正することなく、試料の排出・供
給を行うことができるとともに、分析位置において試料
を所定の回転数だけ正確に回転させることができるか
ら、試料の凹凸や偏析などによる分析精度の低下を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例にかかる回転テーブルおよ
び試料ホルダの概略斜視図である。

【図２】試料ホルダおよび昇降台を示す拡大断面図であ
る。

【図３】分析位置における蛍光Ｘ線分析装置の概略断面
図である。

【図４】投入位置における蛍光Ｘ線分析装置の概略正面
図である。

【図５】試料の供給・排出方法を示す平面断面図および
正面図である。

【図６】従来の試料ホルダを示す側面図である。

【図７】従来の試料の供給・排出方法を示す平面断面図
である。

【符号の説明】

１…搬送装置、３…（パルス）モータ、５…回転テーブ
ル、５ａ…係合部、５０…試料ホルダ、５０ａ…被係合
部、５６…試料、Ｐ１…投入位置、Ｐ２…分析位置、Ｂ
１…一次Ｘ線（放射線）、Ｂ２…蛍光Ｘ線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01N 23/223 G01N 1/28

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】分析位置において試料に放射線を照射し
て試料から発生した蛍光Ｘ線を検出して試料の分析を行
う蛍光Ｘ線分析装置であって、試料が装填される試料ホルダと、この試料ホルダを、試料の投入位置と上記分析位置との
間を搬送する搬送装置と、この搬送装置に設けられ上記試料ホルダを載置する回転
自在な回転テーブルと、この回転テーブルを回転駆動することにより上記試料ホ
ルダを回転させるモータとを備え、上記回転テーブルの上部および上記試料ホルダの底部
に、それぞれ、互いに係合して、上記回転テーブルと試
料ホルダとが相対回転するのを防止する係合部および被
係合部を設けた蛍光Ｘ線分析装置。