JP2592135Y2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置Info
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- JP2592135Y2 JP2592135Y2 JP1993056133U JP5613393U JP2592135Y2 JP 2592135 Y2 JP2592135 Y2 JP 2592135Y2 JP 1993056133 U JP1993056133 U JP 1993056133U JP 5613393 U JP5613393 U JP 5613393U JP 2592135 Y2 JP2592135 Y2 JP 2592135Y2
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- JP
- Japan
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- sample
- sample holder
- rotary table
- holder
- ray fluorescence
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、分析する試料を回転
させる蛍光X線分析装置に関するものである。
させる蛍光X線分析装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】蛍光X線分析装置は、試料に一次X線
(放射線)を照射し、試料から発生する蛍光X線を検出
して、試料の組成などを分析する装置である。この種の
蛍光X線分析装置では、試料が装填される試料ホルダを
交換することなく、試料を交換し得る交換装置を備えた
ものがある。この一例を図6および図7に示す。
(放射線)を照射し、試料から発生する蛍光X線を検出
して、試料の組成などを分析する装置である。この種の
蛍光X線分析装置では、試料が装填される試料ホルダを
交換することなく、試料を交換し得る交換装置を備えた
ものがある。この一例を図6および図7に示す。
【0003】図6において、試料ホルダ50は、ベース
51と上板52との間に4本の支柱53を有している。
ベース51と試料台54との間には、コイルスプリング
55が設けられており、試料台54が上下動可能になっ
ている。上記4本の支柱53は、試料台54を案内する
もので、図7(a),(b)のように、一方からのみ試
料56を挿入・排出できるような位置に立設されてい
る。
51と上板52との間に4本の支柱53を有している。
ベース51と試料台54との間には、コイルスプリング
55が設けられており、試料台54が上下動可能になっ
ている。上記4本の支柱53は、試料台54を案内する
もので、図7(a),(b)のように、一方からのみ試
料56を挿入・排出できるような位置に立設されてい
る。
【0004】上記試料ホルダ50は、図6の試料56の
投入位置P1と、蛍光X線を試料56に照射する分析位
置との間を、図示しない搬送装置により搬送される。分
析が終わると、図7(b)のように、試料56が排出さ
れた後、試料ホルダ50を180°回転させて、図7
(a)のように、次に分析する試料56が供給される。
投入位置P1と、蛍光X線を試料56に照射する分析位
置との間を、図示しない搬送装置により搬送される。分
析が終わると、図7(b)のように、試料56が排出さ
れた後、試料ホルダ50を180°回転させて、図7
(a)のように、次に分析する試料56が供給される。
【0005】ところで、蛍光X線分析装置では、試料5
6の表面の凹凸や偏析による測定誤差を小さくする必要
がある。そこで、従来より、分析位置において試料56
を試料ホルダ50と共に回転させることによって、かか
る測定誤差を小さくしている。
6の表面の凹凸や偏析による測定誤差を小さくする必要
がある。そこで、従来より、分析位置において試料56
を試料ホルダ50と共に回転させることによって、かか
る測定誤差を小さくしている。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】しかし、従来の分析装
置では、分析位置において試料ホルダ50を一定時間回
転させているものの一定角度回転させていないので、試
料ホルダ50の回転位置にばらつきが生じる。しかも、
試料ホルダ50を回転可能としているのに伴い、試料ホ
ルダ50の回転位置が、試料ホルダ50の搬送中などに
ずれるおそれがある。したがって、図7(a),(b)
の試料56の排出・供給の前に、排出・供給を可能とす
るために、試料ホルダ50を回転させて回転位置を修正
する必要がある。
置では、分析位置において試料ホルダ50を一定時間回
転させているものの一定角度回転させていないので、試
料ホルダ50の回転位置にばらつきが生じる。しかも、
試料ホルダ50を回転可能としているのに伴い、試料ホ
ルダ50の回転位置が、試料ホルダ50の搬送中などに
ずれるおそれがある。したがって、図7(a),(b)
の試料56の排出・供給の前に、排出・供給を可能とす
るために、試料ホルダ50を回転させて回転位置を修正
する必要がある。
【0007】この考案は、上記従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、試料ホルダの回転位置を修正する必要のな
い蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
れたもので、試料ホルダの回転位置を修正する必要のな
い蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案は、モータにより回転され試料ホルダを載
置する回転自在な回転テーブルと、試料ホルダとに、そ
れぞれ、互いに係合して、回転テーブルと試料ホルダと
が相対回転するのを防止する係合部および被係合部を設
けている。
に、この考案は、モータにより回転され試料ホルダを載
置する回転自在な回転テーブルと、試料ホルダとに、そ
れぞれ、互いに係合して、回転テーブルと試料ホルダと
が相対回転するのを防止する係合部および被係合部を設
けている。
【0009】
【作用】この考案によれば、モータにより回転される回
転テーブルと試料ホルダとが相対回転しないので、試料
ホルダの回転位置が搬送中に位置ずれするおそれがな
い。
転テーブルと試料ホルダとが相対回転しないので、試料
ホルダの回転位置が搬送中に位置ずれするおそれがな
い。
【0010】
【実施例】以下、この考案の一実施例を図1〜図5にし
たがって説明する。図3は分析位置P2における蛍光X
線分析装置の概略構造を示す。この図において、X線管
(放射線源)57は、下方の試料ホルダ50に装填され
た試料56に一次X線(放射線)B1を照射する。照射
された一次X線B1は、試料56の原子を励起して蛍光
X線B2を発生させる。発生した蛍光X線B2は、分光
結晶58を介してX線検出器59に入射し、そのX線強
度が測定される。この測定強度に基づき、周知の蛍光X
線分析がなされる。
たがって説明する。図3は分析位置P2における蛍光X
線分析装置の概略構造を示す。この図において、X線管
(放射線源)57は、下方の試料ホルダ50に装填され
た試料56に一次X線(放射線)B1を照射する。照射
された一次X線B1は、試料56の原子を励起して蛍光
X線B2を発生させる。発生した蛍光X線B2は、分光
結晶58を介してX線検出器59に入射し、そのX線強
度が測定される。この測定強度に基づき、周知の蛍光X
線分析がなされる。
【0011】上記試料ホルダ50は、この図に示す分析
位置P2と図4に示す試料56の投入位置P1との間を
搬送装置1により搬送される。搬送装置1は、この図に
示す昇降台2の他に図示しない走行装置および昇降装置
を有している。
位置P2と図4に示す試料56の投入位置P1との間を
搬送装置1により搬送される。搬送装置1は、この図に
示す昇降台2の他に図示しない走行装置および昇降装置
を有している。
【0012】図3において、上記昇降台2には、下部に
パルスモータ3が取り付けられている。このパルスモー
タ3には、回転位置検出器が設けられており、パルスモ
ータ3が1回転する毎に、回転位置検出器がこれを検出
し、所定の回数を検出すると、直ちにパルスモータ3を
停止させる。このパルスモータ3の出力軸3aは、カッ
プリング4などを介して、図2に明示する回転テーブル
5に連結されている。この回転テーブル5は、試料ホル
ダ50を載置するもので、圧縮コイルスプリング6によ
り上記昇降台2に上下動自在に取り付けられ、一方、第
1ベアリング7により昇降台2に回転自在に取り付けら
れている。
パルスモータ3が取り付けられている。このパルスモー
タ3には、回転位置検出器が設けられており、パルスモ
ータ3が1回転する毎に、回転位置検出器がこれを検出
し、所定の回数を検出すると、直ちにパルスモータ3を
停止させる。このパルスモータ3の出力軸3aは、カッ
プリング4などを介して、図2に明示する回転テーブル
5に連結されている。この回転テーブル5は、試料ホル
ダ50を載置するもので、圧縮コイルスプリング6によ
り上記昇降台2に上下動自在に取り付けられ、一方、第
1ベアリング7により昇降台2に回転自在に取り付けら
れている。
【0013】上記回転テーブル5の上部および試料ホル
ダ50の底部には、それぞれ、図1に明示する係合孔
(係合部)5aおよび被係合ピン(被係合部)50a
が、一対設けられている。これらの係合孔5aおよび被
係合ピン50aは、互いに係合して、回転テーブル5と
試料ホルダ50とが相対回転するのを防止するものであ
る。したがって、図3のパルスモータ3が回転駆動する
ことにより、試料ホルダ50が回転する。
ダ50の底部には、それぞれ、図1に明示する係合孔
(係合部)5aおよび被係合ピン(被係合部)50a
が、一対設けられている。これらの係合孔5aおよび被
係合ピン50aは、互いに係合して、回転テーブル5と
試料ホルダ50とが相対回転するのを防止するものであ
る。したがって、図3のパルスモータ3が回転駆動する
ことにより、試料ホルダ50が回転する。
【0014】分析位置P2では、分析装置の本体8に第
2ベアリング9を介してホルダ押え10が回転自在に取
り付けられている。したがって、試料ホルダ50は、分
析位置P2において、ホルダ押え10に押し当てられて
位置決めできるとともに、回転可能になっている。
2ベアリング9を介してホルダ押え10が回転自在に取
り付けられている。したがって、試料ホルダ50は、分
析位置P2において、ホルダ押え10に押し当てられて
位置決めできるとともに、回転可能になっている。
【0015】図4の投入位置P1には、試料ホルダ50
の試料台54を、図5(b)のように下方に押し下げ
て、試料56(図5(a))の排出・供給を可能にする
押下装置11が設けられている。この押下装置11は、
駆動ラック12、ピニオン13およびフック14などか
らなる。この押下装置11は図4の駆動ラック12が下
方に駆動するのに伴い、まず、ピニオン13およびフッ
ク14が二点鎖線の位置まで回転し、その後、ピニオン
13およびフック14が、図5(b)のように下降する
ことにより、フック14が試料台54に係合して試料台
54を押し下げる構造になっている。
の試料台54を、図5(b)のように下方に押し下げ
て、試料56(図5(a))の排出・供給を可能にする
押下装置11が設けられている。この押下装置11は、
駆動ラック12、ピニオン13およびフック14などか
らなる。この押下装置11は図4の駆動ラック12が下
方に駆動するのに伴い、まず、ピニオン13およびフッ
ク14が二点鎖線の位置まで回転し、その後、ピニオン
13およびフック14が、図5(b)のように下降する
ことにより、フック14が試料台54に係合して試料台
54を押し下げる構造になっている。
【0016】上記試料ホルダ50の支柱53は、図5
(a)のように、第1の間口50bから試料56の供給
を許容し、第2の間口50cから試料56の排出を許容
するように立設されている。上記試料56は、図示しな
いプッシャにより、試料ホルダ50に供給され、試料ホ
ルダ50から排出される。なお、試料ホルダ50のその
他の構造は、図6の従来例と同様であり、同一部分また
は相当部分に同一符号を付して、その説明を省略する。
(a)のように、第1の間口50bから試料56の供給
を許容し、第2の間口50cから試料56の排出を許容
するように立設されている。上記試料56は、図示しな
いプッシャにより、試料ホルダ50に供給され、試料ホ
ルダ50から排出される。なお、試料ホルダ50のその
他の構造は、図6の従来例と同様であり、同一部分また
は相当部分に同一符号を付して、その説明を省略する。
【0017】つぎに、上記構成の動作について説明す
る。図3の分析位置P2に、試料56が供給されると、
パルスモータ3を回転させるとともに、X線管57から
一次X線B1を試料56に照射する。パルスモータ3が
1回転する毎に、図示しない回転位置検出器がこれを検
出し、所定の回数検出する間、X線検出器59が蛍光X
線B2を検出する。その後、回転位置検出器が回転位置
を検出すると直ちに上記パルスモータ3が停止する。
る。図3の分析位置P2に、試料56が供給されると、
パルスモータ3を回転させるとともに、X線管57から
一次X線B1を試料56に照射する。パルスモータ3が
1回転する毎に、図示しない回転位置検出器がこれを検
出し、所定の回数検出する間、X線検出器59が蛍光X
線B2を検出する。その後、回転位置検出器が回転位置
を検出すると直ちに上記パルスモータ3が停止する。
【0018】この検出後、搬送装置1が試料ホルダ50
を図4の投入位置P1まで搬送する。この搬送後、押下
装置11が作動して、試料台54を図5(b)のように
下方に押し下げた後、プッシャが図5(a)の二点鎖線
で示す試料56を第2の間口50cから排出するととも
に、次の試料56を第1の間口50bから供給する。供
給された試料56は、図3の分析位置P2まで搬送され
る。こうして、試料56が連続的に分析される。
を図4の投入位置P1まで搬送する。この搬送後、押下
装置11が作動して、試料台54を図5(b)のように
下方に押し下げた後、プッシャが図5(a)の二点鎖線
で示す試料56を第2の間口50cから排出するととも
に、次の試料56を第1の間口50bから供給する。供
給された試料56は、図3の分析位置P2まで搬送され
る。こうして、試料56が連続的に分析される。
【0019】上記構成において、図2の試料ホルダ50
と回転テーブル5とが係合していないと、パルスモータ
3を正確に整数回回転させても、回転テーブル5と試料
ホルダ50との間にすべりが生じるおそれがある。これ
に対し、この分析装置では、回転テーブル5に係合孔5
aを形成し、試料ホルダ50に被係合ピン50aを設け
ているので、回転テーブル5と試料ホルダ50との間に
すべりが生じない。したがって、試料56を正確に整数
回回転させることができるから、偏析や試料56の凹凸
に起因する分析精度の低下を防止し得る。
と回転テーブル5とが係合していないと、パルスモータ
3を正確に整数回回転させても、回転テーブル5と試料
ホルダ50との間にすべりが生じるおそれがある。これ
に対し、この分析装置では、回転テーブル5に係合孔5
aを形成し、試料ホルダ50に被係合ピン50aを設け
ているので、回転テーブル5と試料ホルダ50との間に
すべりが生じない。したがって、試料56を正確に整数
回回転させることができるから、偏析や試料56の凹凸
に起因する分析精度の低下を防止し得る。
【0020】また、被係合ピン50aが係合孔5aに係
合しているので、試料ホルダ50が回転テーブル5、カ
ップリング4および出力軸3aを介して、パルスモータ
3に連結されているから、搬送中に試料ホルダ50の回
転位置がずれるおそれがない。したがって、図5(a)
のように、試料ホルダ50の間口5b,5cが所定の方
向に開口しているから、図5(b)の投入位置P1にお
いて、試料ホルダ50の回転位置を修正することなく、
図5(a)のように、試料56を排出し、供給すること
ができる。
合しているので、試料ホルダ50が回転テーブル5、カ
ップリング4および出力軸3aを介して、パルスモータ
3に連結されているから、搬送中に試料ホルダ50の回
転位置がずれるおそれがない。したがって、図5(a)
のように、試料ホルダ50の間口5b,5cが所定の方
向に開口しているから、図5(b)の投入位置P1にお
いて、試料ホルダ50の回転位置を修正することなく、
図5(a)のように、試料56を排出し、供給すること
ができる。
【0021】なお、上記実施例では、搬送装置1が走行
装置および昇降装置を備えているが、この考案では、搬
送装置が試料ホルダ50をリンクにより円弧状の軌跡に
沿って搬送するものであってもよい。
装置および昇降装置を備えているが、この考案では、搬
送装置が試料ホルダ50をリンクにより円弧状の軌跡に
沿って搬送するものであってもよい。
【0022】
【考案の効果】以上説明したように、この考案によれ
ば、モータにより回転される回転テーブルと試料ホルダ
との相対回転を防止できるから、投入位置において試料
ホルダの回転位置を修正することなく、試料の排出・供
給を行うことができるとともに、分析位置において試料
を所定の回転数だけ正確に回転させることができるか
ら、試料の凹凸や偏析などによる分析精度の低下を防止
することができる。
ば、モータにより回転される回転テーブルと試料ホルダ
との相対回転を防止できるから、投入位置において試料
ホルダの回転位置を修正することなく、試料の排出・供
給を行うことができるとともに、分析位置において試料
を所定の回転数だけ正確に回転させることができるか
ら、試料の凹凸や偏析などによる分析精度の低下を防止
することができる。
【図1】この考案の一実施例にかかる回転テーブルおよ
び試料ホルダの概略斜視図である。
び試料ホルダの概略斜視図である。
【図2】試料ホルダおよび昇降台を示す拡大断面図であ
る。
る。
【図3】分析位置における蛍光X線分析装置の概略断面
図である。
図である。
【図4】投入位置における蛍光X線分析装置の概略正面
図である。
図である。
【図5】試料の供給・排出方法を示す平面断面図および
正面図である。
正面図である。
【図6】従来の試料ホルダを示す側面図である。
【図7】従来の試料の供給・排出方法を示す平面断面図
である。
である。
1…搬送装置、3…(パルス)モータ、5…回転テーブ
ル、5a…係合部、50…試料ホルダ、50a…被係合
部、56…試料、P1…投入位置、P2…分析位置、B
1…一次X線(放射線)、B2…蛍光X線。
ル、5a…係合部、50…試料ホルダ、50a…被係合
部、56…試料、P1…投入位置、P2…分析位置、B
1…一次X線(放射線)、B2…蛍光X線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 23/223 G01N 1/28
Claims (1)
- 【請求項1】 分析位置において試料に放射線を照射し
て試料から発生した蛍光X線を検出して試料の分析を行
う蛍光X線分析装置であって、 試料が装填される試料ホルダと、 この試料ホルダを、試料の投入位置と上記分析位置との
間を搬送する搬送装置と、 この搬送装置に設けられ上記試料ホルダを載置する回転
自在な回転テーブルと、 この回転テーブルを回転駆動することにより上記試料ホ
ルダを回転させるモータとを備え、 上記回転テーブルの上部および上記試料ホルダの底部
に、それぞれ、互いに係合して、上記回転テーブルと試
料ホルダとが相対回転するのを防止する係合部および被
係合部を設けた蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993056133U JP2592135Y2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993056133U JP2592135Y2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0720553U JPH0720553U (ja) | 1995-04-11 |
JP2592135Y2 true JP2592135Y2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=13018584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993056133U Expired - Lifetime JP2592135Y2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2592135Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101039749B1 (ko) * | 2008-10-08 | 2011-06-08 | 한국수력원자력 주식회사 | 고방사성 시료의 x-선 회절분석용 시료 홀더장치 |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP1993056133U patent/JP2592135Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0720553U (ja) | 1995-04-11 |
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