JP2590209B2 - 往復動作動装置 - Google Patents
往復動作動装置Info
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- JP2590209B2 JP2590209B2 JP15918988A JP15918988A JP2590209B2 JP 2590209 B2 JP2590209 B2 JP 2590209B2 JP 15918988 A JP15918988 A JP 15918988A JP 15918988 A JP15918988 A JP 15918988A JP 2590209 B2 JP2590209 B2 JP 2590209B2
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- Japan
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- piston shaft
- piston
- bearing
- slide
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空ポンプ等の往復動作動装置に関する。
一般に、真空ポンプ等の往復動作動装置はケーシング
内にピストン軸を往復動可能に収納し、ピストン軸に取
付けられたピストンによって仕事をするようになってい
る。
内にピストン軸を往復動可能に収納し、ピストン軸に取
付けられたピストンによって仕事をするようになってい
る。
すなわち、本件出願人は特願昭62−173948および特願
昭62−173949において、往復動作動装置である小形の真
空ポンプを開示している。
昭62−173949において、往復動作動装置である小形の真
空ポンプを開示している。
すなわち、第２図および第３図において、かかる真空
ポンプ100は、ケーシング102を有し、このケーシング10
2の中央拡大部には作動室103が形成され、この作動室10
3の左右に隣接してピストン軸104の後端を受けるための
ピストン軸受室105およびポンプ室106が設けられてい
る。
ポンプ100は、ケーシング102を有し、このケーシング10
2の中央拡大部には作動室103が形成され、この作動室10
3の左右に隣接してピストン軸104の後端を受けるための
ピストン軸受室105およびポンプ室106が設けられてい
る。
前記ポンプ室106内にはピストン軸104の先端に固着さ
れたピストン107が左右に往復動可能に収納されてい
る。このポンプ室106には真空にすべき室に連通される
吸入ポート108を開閉する吸入弁109と大気に通じる排気
ポート110を開閉する排気弁111が臨まされている。前記
両弁109,111はスプリングS1,S2によってそれぞれの閉じ
方向に付勢されている。前記ポンプ室106の弁形成側の
内壁中央にはピストン107のショックアブソーバ112が付
着されている。
れたピストン107が左右に往復動可能に収納されてい
る。このポンプ室106には真空にすべき室に連通される
吸入ポート108を開閉する吸入弁109と大気に通じる排気
ポート110を開閉する排気弁111が臨まされている。前記
両弁109,111はスプリングS1,S2によってそれぞれの閉じ
方向に付勢されている。前記ポンプ室106の弁形成側の
内壁中央にはピストン107のショックアブソーバ112が付
着されている。
前記ピストン軸104に作動室103内における位置にはリ
ング状に径が拡大したアーマチュア部113が形成されて
いる。このアーマチュア部113は作動室103内に形成され
た通常の形状のコア114と協働し、このコア114にはコイ
ル115が巻回されている。前記アーマチュア部113はコア
114とポンプ室106の中間に位置し、コア114、コイル115
（電磁石Ｍ）およびアーマチュア部113からなるソレノ
イド機構が動作したときにはピストン軸104は図上左側
へ移動してピストン室106内に真空にすべき室から空気
が吸入される。
ング状に径が拡大したアーマチュア部113が形成されて
いる。このアーマチュア部113は作動室103内に形成され
た通常の形状のコア114と協働し、このコア114にはコイ
ル115が巻回されている。前記アーマチュア部113はコア
114とポンプ室106の中間に位置し、コア114、コイル115
（電磁石Ｍ）およびアーマチュア部113からなるソレノ
イド機構が動作したときにはピストン軸104は図上左側
へ移動してピストン室106内に真空にすべき室から空気
が吸入される。
前記ピストン軸104の後端は前記ピストン軸受室105内
に摺動自在に収納され、前記ピストン軸受室105の後側
壁とピストン軸の後端面間には復帰コイルばね118が設
けられている。
に摺動自在に収納され、前記ピストン軸受室105の後側
壁とピストン軸の後端面間には復帰コイルばね118が設
けられている。
ところが、前記ピストン軸の前部は軸受部120によっ
て、また、その後部は軸受部121によってそれぞれケー
シングの内面に摺動自在に支持されている。このような
構造によって前記ピストン軸104は左右に往復働する
が、この往復時に前記ピストン軸104は一般的には回転
しない。従って、前記軸受部120及び121においては、ピ
ストン軸104の同一周面がケーシング側の軸受内面に接
触するので、ピストン軸の外周面及び軸受部の内面が局
部的に摩耗するという欠点があった。すなわち、前記ピ
ストン軸104はソレノイド機構および前記復帰コイルば
ね118の影響により往復働するが、一般的にはその長手
方向軸の回りには回転しない。特に第３図に示すよう
に、ピストン107にダイヤフラムｄを取付けた場合には
ピストン軸104は殆ど回転せず、従ってその軸受部分は
局部的に摩耗する。
て、また、その後部は軸受部121によってそれぞれケー
シングの内面に摺動自在に支持されている。このような
構造によって前記ピストン軸104は左右に往復働する
が、この往復時に前記ピストン軸104は一般的には回転
しない。従って、前記軸受部120及び121においては、ピ
ストン軸104の同一周面がケーシング側の軸受内面に接
触するので、ピストン軸の外周面及び軸受部の内面が局
部的に摩耗するという欠点があった。すなわち、前記ピ
ストン軸104はソレノイド機構および前記復帰コイルば
ね118の影響により往復働するが、一般的にはその長手
方向軸の回りには回転しない。特に第３図に示すよう
に、ピストン107にダイヤフラムｄを取付けた場合には
ピストン軸104は殆ど回転せず、従ってその軸受部分は
局部的に摩耗する。
このように、ピストン軸104がその軸の周りに回転す
ることなく左右に往復動するので軸受部分において局部
的な摩耗が大きくなり、ピストン軸の寿命が短いという
問題があった。
ることなく左右に往復動するので軸受部分において局部
的な摩耗が大きくなり、ピストン軸の寿命が短いという
問題があった。
本発明は係る点に鑑み、ピストン軸及びこれを摺動自
在に支持する軸受部分が局部的に摩耗することなく、ピ
ストン軸の寿命が増大するような往復動作動装置を提供
することを目的とする。
在に支持する軸受部分が局部的に摩耗することなく、ピ
ストン軸の寿命が増大するような往復動作動装置を提供
することを目的とする。
そこで、本発明は、ケーシング内にピストン軸を往復
動可能に設け、ピストンによって仕事をする作動室と、
前記ピストン軸を往復動させる駆動機構とを備えた往復
動作動装置において、前記ピストン軸にスライド部を設
け、このスライド部をケーシングの軸受筒に接触せしめ
てピストン軸をガイドし、前記スライド部とピストン軸
間に軸受を設けて前記スライド部をピストン軸に対して
回転自在とした。
動可能に設け、ピストンによって仕事をする作動室と、
前記ピストン軸を往復動させる駆動機構とを備えた往復
動作動装置において、前記ピストン軸にスライド部を設
け、このスライド部をケーシングの軸受筒に接触せしめ
てピストン軸をガイドし、前記スライド部とピストン軸
間に軸受を設けて前記スライド部をピストン軸に対して
回転自在とした。
ピストン軸に軸受を介して回転スライド筒を外嵌せし
め、この回転スライド筒にスライド部を設け、このスラ
イド部をケーシング側に設けた軸受面に係合せしめる。
前記回転スライド筒はピストン軸の往復運動間において
その長手方向軸の回りに回転するので、ケーシング側の
スライド面に対して局部的にスライド部が接触すること
がなく、これによりスライド部およびこれを受けるケー
シングの軸受面が均等に摩耗し、ピストン軸の寿命が著
しく増大する。
め、この回転スライド筒にスライド部を設け、このスラ
イド部をケーシング側に設けた軸受面に係合せしめる。
前記回転スライド筒はピストン軸の往復運動間において
その長手方向軸の回りに回転するので、ケーシング側の
スライド面に対して局部的にスライド部が接触すること
がなく、これによりスライド部およびこれを受けるケー
シングの軸受面が均等に摩耗し、ピストン軸の寿命が著
しく増大する。
以下、図面を参照して、本発明の一実施例について説
明する。
明する。
第１図において、本発明の往復動作動装置としての真
空ポンプ１は、ケーシング２を有している。このケーシ
ング２は中心部分に形成された大径部2aと、この大径部
2aの両側に形成された小径部2b及び2cからなっている。
前記大径部2aには一般的な形状のコア３が取付けられ、
このコア３の両側にコイル4,4が設けられている。前記
小径部2b内には作動室５が形成され、この作動室５内に
はピストン７が収納されている。このピストン７にはダ
イヤフラム８が設けられ、このダイヤフラム８の外周縁
8aは前記小径部2a内に埋め込まれている。前記小径部2b
の端部には入口ポート12が設けられ、この入口ポート12
の開閉を吸入弁11が行なっている。また、入口ポート12
と異なる位置には排気ポート10が設けられ、この排気ポ
ート10の開閉を排気弁９が行なっている。そして、これ
ら両弁9,11はそれぞれスプリング13及び14によって弁が
閉じる方向に付勢されている。
空ポンプ１は、ケーシング２を有している。このケーシ
ング２は中心部分に形成された大径部2aと、この大径部
2aの両側に形成された小径部2b及び2cからなっている。
前記大径部2aには一般的な形状のコア３が取付けられ、
このコア３の両側にコイル4,4が設けられている。前記
小径部2b内には作動室５が形成され、この作動室５内に
はピストン７が収納されている。このピストン７にはダ
イヤフラム８が設けられ、このダイヤフラム８の外周縁
8aは前記小径部2a内に埋め込まれている。前記小径部2b
の端部には入口ポート12が設けられ、この入口ポート12
の開閉を吸入弁11が行なっている。また、入口ポート12
と異なる位置には排気ポート10が設けられ、この排気ポ
ート10の開閉を排気弁９が行なっている。そして、これ
ら両弁9,11はそれぞれスプリング13及び14によって弁が
閉じる方向に付勢されている。
前記作動室５に隣接して、前部軸受筒15が後方に伸出
し、前部軸受筒15の内面によってピストン軸６の前部が
ガイドされるようになっている。このピストン軸６の外
周には、回転スライド筒20が外嵌し、この回転スライド
筒20はアーマチュア19を保持し、このアーマチュア19は
前記コア３と協働して前記ピストン軸６を図上左方向へ
移動せしめる機能を有する。この回転スライド筒20の前
後には、大径の前部スライド部21とこの前部スライド部
21よりもやや直径が小さい後部スライド部22が形成さ
れ、この後部スライド部22は後部軸受筒をなす。これら
両スライド部21及び22と前記ピストン軸６間にはボール
ベアリング23,24がそれぞれ設けられ、このベアリング2
3,24によって前記回転スライド筒20がピストン軸６に対
して回転自在とされている。前記ピストン軸６の後端に
は、バネ座18が設けられ、このバネ座18はフランジ部18
aを有し、このフランジ部18aに復帰ばね17の前端が係合
し、この復帰ばね17の後端が前記小径部2cの端面の内側
に形成されたバネ座30に係合している。
し、前部軸受筒15の内面によってピストン軸６の前部が
ガイドされるようになっている。このピストン軸６の外
周には、回転スライド筒20が外嵌し、この回転スライド
筒20はアーマチュア19を保持し、このアーマチュア19は
前記コア３と協働して前記ピストン軸６を図上左方向へ
移動せしめる機能を有する。この回転スライド筒20の前
後には、大径の前部スライド部21とこの前部スライド部
21よりもやや直径が小さい後部スライド部22が形成さ
れ、この後部スライド部22は後部軸受筒をなす。これら
両スライド部21及び22と前記ピストン軸６間にはボール
ベアリング23,24がそれぞれ設けられ、このベアリング2
3,24によって前記回転スライド筒20がピストン軸６に対
して回転自在とされている。前記ピストン軸６の後端に
は、バネ座18が設けられ、このバネ座18はフランジ部18
aを有し、このフランジ部18aに復帰ばね17の前端が係合
し、この復帰ばね17の後端が前記小径部2cの端面の内側
に形成されたバネ座30に係合している。
次に本発明の作用について説明する。
前記コイル4,4に電流を通すと前記コア３が磁化し、
これによってアーマチュア19が図上左側に吸引され、復
帰ばね17を圧縮しつつピストン軸６が図上左側に移動す
る。これによって入口ポート12から空気が作動室５内に
吸引される。次に電流が切られると、前記アーマチュア
19が開放され、復帰ばね17の作用によってピストン軸６
は図上右側へ移動する。この時動作室５内に吸引された
空気は排気ポート10から排出され、ピストン７の間端は
ショックアブソーバ25に当接して停止する。
これによってアーマチュア19が図上左側に吸引され、復
帰ばね17を圧縮しつつピストン軸６が図上左側に移動す
る。これによって入口ポート12から空気が作動室５内に
吸引される。次に電流が切られると、前記アーマチュア
19が開放され、復帰ばね17の作用によってピストン軸６
は図上右側へ移動する。この時動作室５内に吸引された
空気は排気ポート10から排出され、ピストン７の間端は
ショックアブソーバ25に当接して停止する。
このようなピストン軸６の往復動作時に、前記回転ス
ライド筒20には特に回転力を外部から与えてはいない
が、前記回転スライド筒20の前部スライド部21は前部軸
受筒15の内面に対してある程度回転し、前記後部スライ
ド部22は軸受室16の内面に対して同様にある程度回転し
ながら往復動する。このように前記両スライド部21,22
はピストン軸６に対して回転フリーとされているので角
軸受面との接触において局部的な摩耗が避けられ摺動部
分の寿命が著しく伸びる。
ライド筒20には特に回転力を外部から与えてはいない
が、前記回転スライド筒20の前部スライド部21は前部軸
受筒15の内面に対してある程度回転し、前記後部スライ
ド部22は軸受室16の内面に対して同様にある程度回転し
ながら往復動する。このように前記両スライド部21,22
はピストン軸６に対して回転フリーとされているので角
軸受面との接触において局部的な摩耗が避けられ摺動部
分の寿命が著しく伸びる。
また前記前部軸受筒15の内面及び軸受室16の軸受面の
材質は、前記両スライド部21,22の材質よりも対摩耗性
のある材料で形成する。このようにケーシング側の軸受
面の材質をピストン軸側の両スライド部21,22よりも対
摩耗性を有する材質で形成すれば、ピストン軸６の往復
時には主として両スライド部21,22が摩耗し、前記回転
スライド筒20を取り替えれば、回転スライド筒20に対応
して前記ケーシング全体を取り替える必要がなくなり、
全体として安価になる。すなわち、ケーシング２側の軸
受面の加工は比較的難しいが、回転スライド筒20のスラ
イド部の外周面の加工は比較的容易であり、加工容易な
スライド部を交換すれば装置全体としてのコストが減少
する。
材質は、前記両スライド部21,22の材質よりも対摩耗性
のある材料で形成する。このようにケーシング側の軸受
面の材質をピストン軸側の両スライド部21,22よりも対
摩耗性を有する材質で形成すれば、ピストン軸６の往復
時には主として両スライド部21,22が摩耗し、前記回転
スライド筒20を取り替えれば、回転スライド筒20に対応
して前記ケーシング全体を取り替える必要がなくなり、
全体として安価になる。すなわち、ケーシング２側の軸
受面の加工は比較的難しいが、回転スライド筒20のスラ
イド部の外周面の加工は比較的容易であり、加工容易な
スライド部を交換すれば装置全体としてのコストが減少
する。
本発明は、以上のように構成したので、ピストン軸の
スライド部とこれを受けるケーシング側の軸受面間とで
局部的な摩耗が避けられ、全体としてピストン軸の寿命
が著しく増大するという効果を奏する。
スライド部とこれを受けるケーシング側の軸受面間とで
局部的な摩耗が避けられ、全体としてピストン軸の寿命
が著しく増大するという効果を奏する。
第１図は本発明の往復動作動装置の一例である真空ポン
プの縦断面図、第２図は従来の真空ポンプの縦断面図、
第３図は従来のピストンとこのピストンが収納されたピ
ストン室との状態を示す縦断面図である。 １……真空ポンプ、２……ケーシング、５……作動室、
６……ピストン軸、20……回転スライド筒、21……前部
スライド部、22……後部スライド部。
プの縦断面図、第２図は従来の真空ポンプの縦断面図、
第３図は従来のピストンとこのピストンが収納されたピ
ストン室との状態を示す縦断面図である。 １……真空ポンプ、２……ケーシング、５……作動室、
６……ピストン軸、20……回転スライド筒、21……前部
スライド部、22……後部スライド部。
Claims (1)
- 【請求項１】ケーシング内にピストン軸を往復動可能に
設け、ピストンによって仕事をする作動室と、前記ピス
トン軸を往復動させる駆動機構とを備えた往復動作動装
置において、前記ピストン軸にスライド部を設け、この
スライド部をケーシングの軸受筒に接触せしめてピスト
ン軸をガイドし、前記スライド部とピストン軸間に軸受
を設けて前記スライド部をピストン軸に対して回転自在
としたことを特徴とする往復動作動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15918988A JP2590209B2 (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 往復動作動装置 |
| US07/218,775 US4966533A (en) | 1987-07-14 | 1988-07-14 | Vacuum pump with rotational sliding piston support |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15918988A JP2590209B2 (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 往復動作動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211873A JPH0211873A (ja) | 1990-01-16 |
| JP2590209B2 true JP2590209B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=15688258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15918988A Expired - Fee Related JP2590209B2 (ja) | 1987-07-14 | 1988-06-29 | 往復動作動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590209B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013113351A1 (de) * | 2013-12-03 | 2015-06-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe |
-
1988
- 1988-06-29 JP JP15918988A patent/JP2590209B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0211873A (ja) | 1990-01-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |