JP2583576B2

JP2583576B2 - 酸化物超電導材の製造方法

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Publication number: JP2583576B2
Application number: JP63163685A
Authority: JP
Inventors: 光一猿渡; 正受前嶋; 裕小山内; 宰河野; 義光池野; 三紀夫中川
Original assignee: Fujikura Ltd
Current assignee: Fujikura Ltd
Priority date: 1988-06-30
Filing date: 1988-06-30
Publication date: 1997-02-19
Anticipated expiration: 2012-02-19
Also published as: JPH0214802A

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、超電導マグネットの巻線用、あるいは電力
輸送線用などとして応用開発が進められている酸化物超
電導材の製造方法に関する。

「従来の技術」近年相次いで発見されている酸化物超電導体は、常電
導状態から超電導状態に遷移する臨界温度が極めて高い
ことで知られている。この種の酸化物超電導体は、従来
の合金系超電導体あるいは金属間化合物系超電導体に比
較して臨界温度が極めて高く、一般式Ｙ−Ba−Cu−Ｏ、
Bi−Sr−Ca−Cu−Ｏ、Tl−Ca−Ba−Cu−Ｏなどで示され
る酸化物超電導体にあっては、液体窒素温度を超える臨
界温度を示すものとして注目され、その応用開発が進め
られている。

ところで従来、金属あるいはセラミックスの基材上に
酸化物超電導膜を形成する方法として、酸化物超電導体
の粉末にパインオイルなどの溶剤や有機バインダーを加
えて印刷用材料を作成し、この印刷用材料を基材上にス
クリーン印刷した後に焼成する方法が知られている。

また、前記印刷用材料を製造する場合と同様な方法で
塗布液を作成し、この塗布液を基材表面にスプレー塗布
する方法、あるいは、この塗布液に基材を浸漬して引き
上げ、その表面に塗布液を形成した後に焼成する方法が
知られている。

「発明が解決しようとする課題」しかしながら前記スクリーン印刷法は、平板の表面や
円筒の外面などの単純な形状部分に適用することは可能
であっても、線材の外周面やパイプの内周面などの曲率
の大きな部分を含む形状の基材、および、凹凸部分を有
する複雑な形状の基材には適用できない問題があった。
また、スクリーン印刷法によって形成できる膜の厚さ
は、200μｍ程度が限界であり、膜厚が200μｍ以上の超
電導厚膜の形成が困難な問題があった。

更に、前述の塗布法および浸漬法において、複雑な形
状の基材を用いようとする場合、塗布液の粘性を高くす
ると、基材の隅々まで塗布液を均一に塗布することが困
難であり、塗布液の粘性を低くすると、基材を塗布液か
ら引き出した際に塗布液が流れ落ちて基材表面に均一な
塗布ができないために、複雑な形状の基材には適用でき
ない問題があった。更に、基材がパイプ状などであっ
て、特に、径が小さいか、あるいは、長尺の基材の場
合、パイプの内面に均一に超電導層を形成することは困
難であった。また、基材表面に塗布層を形成し、次いで
熱処理を施して塗布層に含まれる物質を焼成して酸化物
超電導層を生成する場合、塗布層に含まれるバインダー
などの樹脂成分が燃焼するために、酸化物超電導層に亀
裂を生じたり、基材から剥離する問題があった。

本発明は、前記課題を解決するためになされたもの
で、パイプなどの中空部材の少なくとも内面に緻密で均
一な厚さの酸化物超電導層を短時間で形成することがで
き、厚さの制御も容易であって、1mm程度の極めて厚い
超電導層を形成できる方法を提供することを目的とす
る。

「課題を解決するための手段」本発明は前記課題を解決するために、少なくとも中空
部材の内面に導電性を付与した中空部材を用い、前記中
空部に、絶縁材料からなるスペーサを１つ以上設置し、
前記スペーサに支持させて中空部の中心部を通過するよ
うに電極を配置するとともに、超電導粉末または超電導
体の前駆体粉末を分散させた電着液を前記中空部材の内
部に充満させた状態で中空部材の導電部分と電極に通電
して電気泳動電着を行い、中空部材の内面に電着層を形
成するとともに、この後に熱処理を施して中空部材の内
面に、焼結した酸化物超電導層を形成することを課題解
決の手段とした。

「作用」中空部材の導電部分に、電気泳動電着により電着層が
形成され、これを熱処理することにより酸化物超電導層
が生成する。泳動電着法によれば中空部材の内面などで
あっても厚さが均一で緻密な電着層が得られるので、均
一かつ緻密な酸化物超電導層が形成される。また、電着
条件を制御することで電着層を所望の厚さに調整できる
ので、使用目的に適合した厚さの酸化物超電導層が容易
に得られる。なお、中空部材の内部に電着液を満たし、
中空部の中心部を通過するように電極を配して電気泳動
電着を行うので中空部材の導電部分と電極との極間距離
が一定になり、均一な厚さの電着層が生成する。従って
この電着層を焼成するならば、長尺のパイプなどの中空
部材であっても内面全体に緻密で均一な厚さの酸化物超
電導層が形成される。

以下に本発明を更に詳細に説明する。

第１図なしし第５図は、本発明方法により超電導材を
製造する例について説明するための図である。この例に
よる超電導材の製造方法では、まず、パイプ状の中空部
材１を電着槽２に満たした電着液３に浸し、電気泳動電
着を行ってその内周面と外周面に第３図に示すように電
着層4,5を形成し、第３図に断面構造を示す超電導素材
６を作成する。

この例において使用される中空部材１の構成材料とし
て好ましくは、融点800℃以上で耐酸化性の良好な貴金
属あるいはTi、Ta、Zr、Hf、Ｖ、Nb、Ｗ、Cu等の単体金
属やCu−Ni合金、Cu−Al系合金、Ni−Al系合金、Ti−Ｖ
系合金、モネルメタル、ステンレス、クロメル、アロメ
ル、カンタルなどからなるものが用いられ、更には、石
英ガラス、ジルコニア、YSZ、アルミナ、サファイア、
チタン酸ストロンチウムなどのチタン酸化合物、マグネ
シア、酸化チタン等のセラミックス基材の少なくとも内
周面に、無電解メッキ法、スパッタリング法、イオンプ
レーティング法、真空蒸着法などの薄膜形成手段を用い
てAg、Ni、Cuなどの導電被覆を施したパイプなどの中空
部材が使用される。なお、中空部材１の形状はパイプ状
に限るものではなく、キャップなどの有底円筒状の部
材、あるいは、ブロック状の本体の内部に複数の通路を
形成した中空部材などを用いても良い。

前記電着液３は、酸化物超電導粉末を分散媒に分散さ
せたものが使用される。ここで用いる超電導粉末は、Ａ
−Ｂ−Cu−Ｏ（ただしＡはY,La,Ce,Yb,Sc,Erなどの周期
律表III a族元素の１種以上またはBiを示し、ＢはBa,S
r,Caなどの周期律II a族元素を示す）なる組成で代表さ
れる酸化物超電導体の粉末、その前駆体粉末、あるい
は、これらの混合粉末などが用いられる。

この超電導粉末を作成する方法として、例えば、Ｙ−
Ba−Cu−Ｏ系の酸化物超電導体を用いる場合は、Y₂O₃粉
末とBaCO₃粉末とCuO粉末をY:Ba:Cu＝1:2:3（モル比）と
なるように均一に混合して混合粉末とし、次いでこの混
合粉末を大気中あるいは酸素雰囲気中において500〜100
0℃で仮焼して仮焼粉末とし、次にこの仮焼粉末に圧粉
成形→加熱→粉砕の一連の操作を１回以上繰り返し行っ
て超電導粉末を作成する粉末混合法が好適である。前記
仮焼粉末の焼成後に行う加熱は、酸素雰囲気中におい
て、800〜1000℃で１〜数十時間とすることが好まし
い。なお、Bi−Sr−Ca−Cu−Ｏ系の超電導体を用いる場
合、例えばBiの酸化物粉末とCuの酸化物粉末とCaの炭酸
塩粉末とSrの炭酸塩粉末をBi:Sr:Ca:Cu＝1:1:1:2（モル
比）となるように均一に混合して混合粉末とし、次いで
この混合粉末を大気中あるいは酸素雰囲気中において、
750〜850℃で数分〜数十時間仮焼して仮焼粉末とし、次
いでこの仮焼粉末に、圧粉成形→加熱→粉砕の一連の操
作を１回あるいは２回以上繰り返し行う粉末混合法が好
適である。

ところで、前記超電導粉末の作成方法は前記粉末混合
法に限定されることなく、共沈法やゾルゲル法を用いて
も良い。また、電着液３中の超電導粉末の代わりに、上
述の仮焼粉末（前駆体粉末）を用いても良い。更に、こ
こで用いる超電導粉末は、粒径50μｍ以下のものが使用
され、特に粉末粒子の沈降を防止し、均一に分散させる
ために粒径30μｍ以下の粉末が好適に使用される。

ところで、分散媒としては、アセトン、メチルエチル
ケトン、ホルムアミド、Ｎ−Ｎジメチルホルムアミド、
イソプロピルアルコール、ノルマルブチルアルコール、
あるいは、ジエチルケトン、ジプロピルケトンなどを用
いることが好ましい。

そして、この分散媒１中の酸化物超電導粉末の量は
１〜500gの範囲とすることが望ましい。超電導粉末の量
を500g/とすると、基材表面に超電導粉末が緻密かつ
均一な状態で電着されなくなり、また超電導粉末の量を
1g/以下とすると電着効率が悪くなる。また分散媒中
に超電導粉末を分散させるには、超音波撹拌を行うこと
が望ましく、更に分散媒中に少量の水、ゼラチン、デン
プン、電解質などを添加して撹拌操作を行っても良い。
この際、分散媒に含まれる水分量は5vol.％以下、より
好ましくは1vol.％以下に設定することが好ましい。前
記分散媒中の水分量が5vol.％以下であると、水の電解
によるガスの発生が起こらず、また超電導粉末の分散状
態も良好となる。水分量が5vol.％以上であると、超電
導粉末の凝集が起こり、分散媒中に超電導粉末を均一に
分散させることができなくなる。なお、電着液３には、
必要に応じて酸化チタン等の酸化物超電導体の焼結助剤
となる材料が添加される。

第１図に示す電気泳動装置によってパイプ状の中空部
材１の内外表面に電着層４を形成するには、まず、中空
部材１を電着液３に浸すとともに、この中空部材１に線
状の電極７を挿通する。また、中空部材１の内部には複
数のスペーサ８を挿入しておく。これらのスペーサ８
は、第５図に示すように、中空部材１の内径より若干長
い板状体からなり、その長さ方向中央部には電極７を挿
通可能な大きさの支持孔8aが形成されている。このスペ
ーサ８は、樹脂、セラミックなどの絶縁材料、あるいは
金属板の表面を絶縁コーティングしたものなどから構成
されている。なお、スペーサ８の構成材料として具体的
なものを例示すると、ポリエチレン、塩化ビニル、アク
リル、ポリエステルなどの絶縁樹脂、あるいは、アルミ
ナ、石英、ジルコニア、マグネシア、ガラスなどのセラ
ミックなどである。また、スペーサ８の厚さは0.1〜5mm
程度が好ましい。これは、電極７と中空部材１の接触に
よる短絡を防止するスペーサとしての機能を安定して発
揮させるには0.1mm以上の厚さが必要であり、スペーサ
８が中空部材１の内面と接触する部分には電着層が生成
されないことを考慮すると5mm程度以下の厚さが好まし
いためである。

前記各スペーサ８は、中空部材１の長さ方向に沿って
適宜の間隔をあけ、各々の支持孔8aを中空部材１の中心
軸上に配置して中空部材１の内部の中空部に若干弾性変
形された状態で挿入固定されている。また、各中空部材
１の支持孔8aを挿通して線状の電極７が中空部材１に挿
通されている。

この状態で中空部材１と電極７に電圧を印加する。こ
の電圧印加の際に、Ｙ−Ba−Cu−Ｏ系の超電導体を生成
させる場合であって、分散媒としてアセトン、メチルエ
チルケトン、ホルムアミド、Ｎ−Ｎジメチルホルムアミ
ド、イソプロピルアルコール、ノルマルブチルアルコー
ルを用いた場合は、中空部材１を陰極とし、電極７を陽
極にする一方、分散媒としてジエチルケトン、ジプロピ
ルケトンを用いた場合は、中空部材１を陽極とし、電極
７を陰極として電気泳動電着を行うことにする。

また、Bi−Sr7−Ca−Cu−Ｏ系の超電導体を生成させ
る場合であって、分散媒としてジメチルケトン、Ｎ−Ｎ
ジメチルホルムアミド、イソプロピルアルコールなどを
用いる場合は、中空部材１を陰極とし、電極７を陽極に
して電気泳動電着を行う。

以上のような電気泳動電着では定電圧法、定電流法の
いずれも可能であり、さらに電流波形は直流の他、中空
部材１が一時的にせよ陰極あるいは陽極となるようなパ
ルス、交直重畳、断続などの電流波形とすることが可能
である。定電圧法を用いる場合には1V以上の電圧を印加
すれば良く、また定電流密度法を用いる場合には電流密
度を１〜500μA/cm²の範囲とするのが望ましい。なお、
電極７としては、白金板、ステンレス板、炭素電極など
通常の電極材料を使用することができる。

前記のように、陽極あるいは陰極となる中空部材１と
電極７間に電圧を印加することにより、電着液３中に分
散している超電導粉末は帯電し、異なる極に帯電してい
る中空部材１の表面に電着される。そして中空部材１の
内周面と外周面には超電導粉末からなる緻密な電着層4,
5が形成され、第２図に示す超電導素材６が得られる。
電着槽２内で所定の厚さの電着層4,5が形成されたなら
ば超電導素材６の電着槽２から引き上げ、次いで熱風に
よる乾燥処理を行って表面部分に残留する分散媒を除去
する。

次に、この超電導素材６に熱処理を施す。この熱処理
は、超電導素材６を大気中あるいは酸素雰囲気中におい
て、800〜1000℃で数分〜数10時間加熱した後、室温ま
で冷却することによって行われる。なお、Ｙ−Ba−Cu−
Ｏ系の酸化物超電導体を用いる場合は、熱処理時に超電
導素材６の内部に空気あるいはO₂ガスを送りながら熱処
理することが好ましい。

この熱処理により、中空部材１の内外表面の電着層4,
5は焼結され、この部分に酸化物超電導層9,10が形成さ
れる。以上の各操作により、第４図に示すように内周面
と外周面に酸化物超電導層9,10が形成されたパイプ状の
超電導材Ａを得ることができる。この超電導材Ａは液体
窒素あるいは液体ヘリウムなどの冷媒を用いて臨界温度
以下に冷却して使用することができる。そしてこの冷却
時に中空部材１の内部空間を冷媒の流通空間として利用
することができるとともに、中空部材１の内部空間を水
分を除去した雰囲気とするか、あるいは、内部空間にO₂
ガスを送って酸化物超電導体の特性が劣化しないように
することもできる。

以上のような方法で超電導材Ａを製造するならば、電
着層4,5を焼結して酸化物超電導層9,10を生成したの
で、クラックや剥離部分などの欠陥部分を生じることな
く均一で緻密な酸化物超電導層9,10を有する超電導材Ａ
を得ることができる。また、中空部材１の内周面と外周
面に形成する電着層4,5は印加電圧と電着時間を調節す
ることで所望の値にすることができるので、所望の厚さ
の酸化物超電導層9,10を生成することができる。更に、
電気泳動電着によれば、200μｍ以上の厚さの電着層を
容易に生成させることができるので厚い超電導層を容易
に得ることができる効果がある。ところで、酸化物超電
導体の熱膨張率よりも大きな熱膨張率を有する材料から
中空基材１を形成した場合は、熱処理後の冷却時に中空
部材１が収縮する関係から、中空部材１の内周面に生成
された超電導層９には、圧縮応力が作用し、超電導層９
の密度が向上するために、より緻密な超電導層９が生成
される。

なお、前述の例においては板状のスペーサ８を用いた
が、スペーサの形状は中空体１に挿入可能で電極６を支
持できる形状であれば、板状に限るものではなく、例え
ば、第５図に符号11で示すように十字状などに形成して
も差し支えない。

ところで、第１図に示す装置を用い、コイル状の中空
部材の内周面に酸化物超電導層を形成することができ
る。

この場合、パイプ状の中空部材の内部にスペーサと電
極を配した後に中空部材をコイル状に加工してコイルを
作成し、このコイルの外周面に絶縁樹脂をコーティング
して内周面のみに導電性を付与し、内周面と電極７に電
圧を印加することによりコイルの内周面に電着層を形成
し、これを焼結することにより内周面に酸化物超電導層
を形成した中空コイルを製造することができる。

第７図に示す装置は、本発明の実施に用いる装置の別
の例を示すものである。

この例の装置は、導電性を有するパイプ状の中空部材
20の両端にゴムなどの樹脂からなる栓体21,21を着脱自
在に嵌め込み、各栓体21,21にＴ字状の流通管22を取り
付け、各流通管22に開閉弁23を組み込み、流通管22,22
を液体循環ポンプＰと補助タンクＴに接続するととも
に、流通管22,22と中空部材20を貫通させてワイヤ状の
電極24を設け、中空部材20と電極24に電源26を接続した
構造となっている。なお、第７図に符号27で示すもの
は、流通管22の一端を閉じる樹脂製の栓体であり、この
栓体27を貫通して中空部材20を挿通するように電極24が
設けられている。

第７図に示す装置では、先の実施例で用いた電着液３
を中空部材20と流通管22,22と補助タンクＴを介して循
環ポンプＰで循環させるとともに、電極24と中空部材20
に通電して電気泳動電着を行う。この電気泳動電着によ
り、中空部材20の内周面に電着層を形成することができ
る。そしてこの電着層を先の実施例と同様に熱処理する
ならば、第８図に示すように内周面に酸化物超電導層29
を有するパイプ状の酸化物超電導材Ｂを形成することが
できる。

この例の装置を用いることで先に説明した例と同等の
効果が得られる。更に、中空部材20の中心軸に沿って電
極24を配置して電極24と中空部材260の内周面との距離
を同一にして電極間距離を一定にして電着しているの
で、中空部材20が極めて長いものであってもその内周面
全体に緻密で均一な厚さの超電導層29を形成することが
できる。また、補助タンクＴに超電導粉末を逐次補充し
ながら泳動電着を行うことにより、電着むらなどを生じ
させることなく長時間の処理ができるとともに、パイプ
状の中空部材20の内部に電着液３を流しながら電着する
ので、中空部材20の内部の隅々に確実に電着液を供給し
て電着できる効果がある。

なおまた、前記中空部材20に酸化物超電動層29を生成
した後に、ポリイミド樹脂などを溶剤に溶解した液を中
空部材１を介して循環し、酸化物超電導層29の表面をポ
リイミド樹脂のコーティング層で覆うようにすることも
できる。

このように酸化物超電導層29をコーティング層で覆う
ようにすると、Ｙ−Ba−Cu−Ｏ系の超電導層29では水分
による超電導特性の劣化を阻止することができ、初期特
性を長期間維持することができるとともに、超電導層29
の剥離現象やクラックの発生を抑制することができる。

「実施例１」 Y₁Ba₂Cu₃O_Xなる組成の超電導酸化物粉末をＮ−Ｎジメ
チルホルムアミド１に対して50gの割合で分散させた
電着液を用意するとともに、内径5mm、肉厚0.5mm、長さ
1mのNi製パイプを用意し、このパイプ中にアクリル製の
棒状のスペーサを約3cm間隔で配置し、スペーサ中部の
支持孔に直径0.2mmのNi線電極を挿通した。

次いでこのパイプを第７図に示す中空部材20の代わり
に電着装置にセットして循環ポンプによってパイプの内
部に電着液を流しながら、パイプを陰極として300Vの電
圧を２分間印加する直流定電圧電解を行ってパイプ内面
に電着層を形成した。

電着終了後、パイプを乾燥させた後に、酸素ガス中に
おいて950℃で２時間加熱し、その後に400℃／時間の割
合で室温まで徐冷して酸化物超電導材を得た。

このパイプ内面に形成された酸化物超電導層につい
て、パイプの長さ方向に沿って10カ所の部分を抽出して
断面の顕微鏡観察を行い、膜厚の測定を行うとともに臨
界温度（Tc）の測定を行ったところ、膜厚は240±30μ
ｍの均一な値を示し、Tcは91Kを示し、優秀な酸化物超
電導層であることを確認できた。

「実施例２」実施例１において用いたNi製のパイプと同一形状て同
一材料からなるパイプにスペーサと電極を配置し、この
パイプを巻径5cm、ピッチ1cmでコイル加工した後に実施
例１と同等の条件で電着と焼成を行ってコイル状の酸化
物超電導材を得た。

この酸化物超電導材の超電導層について実施例１と同
様に膜厚を測定したところ、膜厚は230±35μｍを示
し、均一な厚さの酸化物超電導層を生成できたことが明
らかになり、Tcは91Kを示し、優秀な酸化物超電導層で
あることを確認できた。

「実施例３」実施例１で用いたＹ−Ba−Cu−Ｏ系の超電導粉末の代
わりにBi:Sr:Ca:Cu＝1:1:1:2の組成を有する平均粒径6.
3μｍのBi系の酸化物超電導粉末を用い、電解電圧を100
Vに設定し、焼結処理を大気中において860℃で12時間行
うとともに、その他の条件は実施例１と同等の条件でパ
イプ状の酸化物超電導材を製造した。

得られた酸化物超電導材の超電導層の厚さを測定した
ところ、250±20μｍを示し、均一な厚さに生成できて
いることが判明するとともに、Tcは72Kを示した。

「実施例４」実施例２で用いたコイル状のパイプを用い、実施例３
において用いたBi系の超電導粉末を用い、実施例３で行
った処理条件でコイル状の酸化物超電導材を製造した。

得られた酸化物超電導材の超電導層の厚さを測定した
ところ、240±30μｍを示し、Tcは72Kを示した。

「発明の効果」以上説明したように本発明は、電気泳動電着により中
空部材の少なくとも内面に緻密な電着層を形成し、これ
に熱処理を施して焼結した酸化物超電導層を形成させる
ので、焼結時の収縮などによるクラックなどの欠陥部分
のない緻密で均質な酸化物超電導層を有する超電導材を
得ることができる。更に、電気泳動電着により中空部材
との密着力の高い電着層を形成し、これを焼結させるの
で、電着条件を制御することによって超電導層の厚さを
正確に制御することができる。また、電着泳動電着によ
れば200μｍ以上の厚さの超電導層を短時間で形成させ
ることができ、製造効率も向上する効果がある。

更に、中空部材内に電着液を満たし、中空部の中心部
に配した電極との間で電着するので、電極間距離が均一
になり、長尺で細い中空部材でも内面全体に緻密で均一
な厚さの酸化物超電導層を生成させることができる効果
を奏する。

なお、得られた酸化物超電導材は、中空部材内に冷媒
を流通させて臨界温度以下に冷却して使用することがで
きるとともに、中空部材内に酸化物超電導体の特性の劣
化を防止するガスなどを送りながら使用することもでき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施するために使用する装置の一
例を示す構成図、第２図はスペーサの装着状態を示す断
面図、第３図は電着線を示す断面図、第４図は酸化物超
電導材を示す断面図、第５図はスペーサの装着状態を示
す側面図、第６図はスペーサの他の例を示す側面図、第
７図は本発明を実施するために用いる装置の他の例を示
す構成図、第８図は第７図に示す装置で製造した酸化物
超電導材を示す断面図である。 A,B……酸化物超電導材、 1,20……中空部材（パイプ）、３……電着液、4,5……電着層、 7,24……電極、8,11……スペーサ、 9,10,29……超電導層。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｂ 12/00 Ｈ０１Ｂ 12/00 13/00 ５６５ 13/00 ５６５Ｄ (72)発明者河野宰東京都江東区木場１丁目５番１号藤倉電線株式会社内 (72)発明者池野義光東京都江東区木場１丁目５番１号藤倉電線株式会社内 (72)発明者中川三紀夫東京都江東区木場１丁目５番１号藤倉電線株式会社内

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも中空部の内面に導電性を付与し
た中空部材を用い、前記中空部に、絶縁材料からなるス
ペーサを１つ以上設置し、前記スペーサに支持させて中
空部の中心部を通過するように電極を配置するととも
に、超電導粉末または超電導体の前駆体粉末を分散させ
た電着液を前記中空部材の内部に充満させた状態で中空
部材の導電部分と電極に通電して電気泳動電着を行い、
中空部材の内面に電着層を形成するとともに、この後に
熱処理を施して中空部材の内面に、焼結した酸化物超電
導層を形成することを特徴とする酸化物超電導材の製造
方法。