JP2582778Y2 - ２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子 - Google Patents
２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子Info
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- JP2582778Y2 JP2582778Y2 JP1993049372U JP4937293U JP2582778Y2 JP 2582778 Y2 JP2582778 Y2 JP 2582778Y2 JP 1993049372 U JP1993049372 U JP 1993049372U JP 4937293 U JP4937293 U JP 4937293U JP 2582778 Y2 JP2582778 Y2 JP 2582778Y2
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- magnetic
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、周期的な変化を示す磁
気信号に応答して２相出力を発生する２相出力磁性薄膜
磁気抵抗素子に関するものである。
気信号に応答して２相出力を発生する２相出力磁性薄膜
磁気抵抗素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】着磁された部分を有する回転体の回転数
を検出したり回転角度を検出したりする目的に用いるセ
ンサ（例えばブラシレス直流電動機の回転子の回転数や
回転角度を検出するセンサ）として、磁気抵抗の異方性
効果を有する強磁性体薄膜を磁気検出手段として用いた
磁性薄膜磁気抵抗素子（Magnetoresistive Element）が
知られている。磁性薄膜磁気抵抗素子は、単相出力信号
を発生するものと２相出力信号を発生するものとがあ
り、２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子は、２つの単相出力
磁性薄膜磁気抵抗素子を位相をずらして組み合わせた構
造を有する。
を検出したり回転角度を検出したりする目的に用いるセ
ンサ（例えばブラシレス直流電動機の回転子の回転数や
回転角度を検出するセンサ）として、磁気抵抗の異方性
効果を有する強磁性体薄膜を磁気検出手段として用いた
磁性薄膜磁気抵抗素子（Magnetoresistive Element）が
知られている。磁性薄膜磁気抵抗素子は、単相出力信号
を発生するものと２相出力信号を発生するものとがあ
り、２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子は、２つの単相出力
磁性薄膜磁気抵抗素子を位相をずらして組み合わせた構
造を有する。
【０００３】図３は、９０度の位相差を有する２つの出
力を発生する２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子ＭＲの構成
を概略的に示したもので、この磁気抵抗素子は、磁気抵
抗の異方性効果を有する強磁性体薄膜からなる第１ない
し第４の感磁部Ａ〜Ｄを備えている。第１ないし第４の
感磁部Ａ〜Ｄは、一定の間隔Ｌ／２をもって一方向に並
べて配置されていて、第１の感磁部Ａと第３の感磁部Ｃ
とが直列に接続されて第１の単位磁気抵抗素子１が構成
され、第２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとが直列に接続
されて第２の単位磁気抵抗素子２が構成されている。そ
して、第１の単位磁気抵抗素子１及び第２の単位磁気抵
抗素子２の同じ側の端部どうしが共通接続され、第１の
単位磁気抵抗素子１と第２の単位磁気抵抗素子２との一
端側の共通接続点ａ、第１の感磁部Ａと第３の感磁部Ｃ
との共通接続点ｂ、第１の単位磁気抵抗素子１と第２の
単位磁気抵抗素子２との他端側の共通接続点ｃ、及び第
２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとの共通接続点ｄからそ
れぞれ第１ないし第４の端子Ｔ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 及びＴ4
が引き出されている。
力を発生する２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子ＭＲの構成
を概略的に示したもので、この磁気抵抗素子は、磁気抵
抗の異方性効果を有する強磁性体薄膜からなる第１ない
し第４の感磁部Ａ〜Ｄを備えている。第１ないし第４の
感磁部Ａ〜Ｄは、一定の間隔Ｌ／２をもって一方向に並
べて配置されていて、第１の感磁部Ａと第３の感磁部Ｃ
とが直列に接続されて第１の単位磁気抵抗素子１が構成
され、第２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとが直列に接続
されて第２の単位磁気抵抗素子２が構成されている。そ
して、第１の単位磁気抵抗素子１及び第２の単位磁気抵
抗素子２の同じ側の端部どうしが共通接続され、第１の
単位磁気抵抗素子１と第２の単位磁気抵抗素子２との一
端側の共通接続点ａ、第１の感磁部Ａと第３の感磁部Ｃ
との共通接続点ｂ、第１の単位磁気抵抗素子１と第２の
単位磁気抵抗素子２との他端側の共通接続点ｃ、及び第
２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとの共通接続点ｄからそ
れぞれ第１ないし第４の端子Ｔ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 及びＴ4
が引き出されている。
【０００４】感磁部相互間の間隔Ｌ／２は検出する磁気
信号Ｈの波長λのｎ／４倍（ｎ＝１，２，…）に等しく
設定され、各単位磁気抵抗素子を構成する２つの感磁部
相互間の間隔Ｌは磁気信号の波長λのｎ／２倍に設定さ
れている。
信号Ｈの波長λのｎ／４倍（ｎ＝１，２，…）に等しく
設定され、各単位磁気抵抗素子を構成する２つの感磁部
相互間の間隔Ｌは磁気信号の波長λのｎ／２倍に設定さ
れている。
【０００５】この２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子ＭＲに
おいては、端子Ｔ3 が接地端子として接地され、端子Ｔ
1 が電源端子として図示しない直流電源の非接地側の端
子に接続される。また端子Ｔ2 及びＴ4 がそれぞれ第１
及び第２の相の出力端子として用いられている。
おいては、端子Ｔ3 が接地端子として接地され、端子Ｔ
1 が電源端子として図示しない直流電源の非接地側の端
子に接続される。また端子Ｔ2 及びＴ4 がそれぞれ第１
及び第２の相の出力端子として用いられている。
【０００６】上記の磁気抵抗素子ＭＲを、感磁部相互間
の間隔Ｌ／２に等しい磁極間隔を有するように着磁され
た可動体３の近傍に配置し、可動体３を図示の矢印Ｘ方
向に移動させたとすると、図４に示すように正弦波状に
変化する磁界（磁気信号）Ｈが各感磁部に作用し、各感
磁部の抵抗値が変化する。その結果、第１の相の出力端
子Ｔ2 及び第２の相の出力端子Ｔ4 からそれぞれ図５に
示すような第１の相の出力電圧Ｖ1 及び第２の相の出力
電圧Ｖ2 が得られる。ここで第１及び第２の単位磁気抵
抗素子１及び２は１／４波長の位相差をもって配置され
ているため、出力電圧Ｖ1 及びＶ2 は９０度の位相差を
有している。
の間隔Ｌ／２に等しい磁極間隔を有するように着磁され
た可動体３の近傍に配置し、可動体３を図示の矢印Ｘ方
向に移動させたとすると、図４に示すように正弦波状に
変化する磁界（磁気信号）Ｈが各感磁部に作用し、各感
磁部の抵抗値が変化する。その結果、第１の相の出力端
子Ｔ2 及び第２の相の出力端子Ｔ4 からそれぞれ図５に
示すような第１の相の出力電圧Ｖ1 及び第２の相の出力
電圧Ｖ2 が得られる。ここで第１及び第２の単位磁気抵
抗素子１及び２は１／４波長の位相差をもって配置され
ているため、出力電圧Ｖ1 及びＶ2 は９０度の位相差を
有している。
【０００７】上記の２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子で
は、９０度の位相差を有する２相出力を得るようにして
いるが、用途によっては１８０度の位相差を有する２相
出力を必要とする場合がある。従来１８０度の位相差を
有する２相出力を得る場合には、磁気信号の１／２波長
に相当する間隔をもって感磁部Ａ〜Ｄを配置した専用の
磁気抵抗素子を用いるようにしていた。
は、９０度の位相差を有する２相出力を得るようにして
いるが、用途によっては１８０度の位相差を有する２相
出力を必要とする場合がある。従来１８０度の位相差を
有する２相出力を得る場合には、磁気信号の１／２波長
に相当する間隔をもって感磁部Ａ〜Ｄを配置した専用の
磁気抵抗素子を用いるようにしていた。
【０００８】
【考案が解決しようとする課題】上記のように、従来
は、９０度の位相差を有する２相出力を得る場合と、１
８０度の位相差を有する２相出力を得る場合とで、それ
ぞれ別個の磁気抵抗素子を用いていたため、コストが高
くなるのを避けられなかった。また１８０度の位相差を
有する２相出力を得る場合には、感磁部Ａ〜Ｄを磁気信
号の１／２波長に相当する間隔をもって配置していたた
め、素子が大形になるのを避けられなかった。
は、９０度の位相差を有する２相出力を得る場合と、１
８０度の位相差を有する２相出力を得る場合とで、それ
ぞれ別個の磁気抵抗素子を用いていたため、コストが高
くなるのを避けられなかった。また１８０度の位相差を
有する２相出力を得る場合には、感磁部Ａ〜Ｄを磁気信
号の１／２波長に相当する間隔をもって配置していたた
め、素子が大形になるのを避けられなかった。
【０００９】本考案の目的は、従来９０度の位相差を有
する２相出力を得るために用いられていたものと同じ構
造で、１８０度の位相差を有する２相出力を得ることが
できるようにした２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子を提供
することにある。
する２相出力を得るために用いられていたものと同じ構
造で、１８０度の位相差を有する２相出力を得ることが
できるようにした２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子を提供
することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本考案は、磁気抵抗の異
方性効果を有する強磁性体薄膜からなっていて検出しよ
うとする磁気信号の波長の１／４に等しい間隔をもって
順次並べて配置された第１ないし第４の感磁部Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄを有し、第１の感磁部と第３の感磁部とが直列に
接続されて第１の単位磁気抵抗素子が構成されるととも
に第２の感磁部と第４の感磁部とが直列に接続されて第
２の単位磁気抵抗素子が構成され、第１及び第２の単位
磁気抵抗素子の同じ側の端部どうしが共通接続され、第
１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子との一
端側の共通接続点ａ、第１の感磁部Ａと第３の感磁部Ｃ
との共通接続点ｂ、第１の単位磁気抵抗素子と第２の単
位磁気抵抗素子との他端側の共通接続点ｃ、及び第２の
感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとの共通接続点ｄからそれぞ
れ端子Ｔ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 及びＴ4 が引き出されている２
相出力磁性薄膜磁気抵抗素子に係わるものである。
方性効果を有する強磁性体薄膜からなっていて検出しよ
うとする磁気信号の波長の１／４に等しい間隔をもって
順次並べて配置された第１ないし第４の感磁部Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄを有し、第１の感磁部と第３の感磁部とが直列に
接続されて第１の単位磁気抵抗素子が構成されるととも
に第２の感磁部と第４の感磁部とが直列に接続されて第
２の単位磁気抵抗素子が構成され、第１及び第２の単位
磁気抵抗素子の同じ側の端部どうしが共通接続され、第
１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子との一
端側の共通接続点ａ、第１の感磁部Ａと第３の感磁部Ｃ
との共通接続点ｂ、第１の単位磁気抵抗素子と第２の単
位磁気抵抗素子との他端側の共通接続点ｃ、及び第２の
感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとの共通接続点ｄからそれぞ
れ端子Ｔ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 及びＴ4 が引き出されている２
相出力磁性薄膜磁気抵抗素子に係わるものである。
【００１１】本考案においては、第１の感磁部と第３の
感磁部との共通接続点ｂから引き出された端子Ｔ2 及び
第２の感磁部と第４の感磁部との共通接続点ｄから引き
出された端子Ｔ4 の一方及び他方をそれぞれ電源端子及
び接地端子として用い、第１の単位磁気抵抗素子と第２
の単位磁気抵抗素子との一端側の共通接続点ａから引き
出された端子Ｔ1 及び第１の単位磁気抵抗素子と第２の
単位磁気抵抗素子との他端側の共通接続点ｃから引き出
された端子Ｔ3 をそれぞれ第１及び第２の相の出力端子
として用いる。
感磁部との共通接続点ｂから引き出された端子Ｔ2 及び
第２の感磁部と第４の感磁部との共通接続点ｄから引き
出された端子Ｔ4 の一方及び他方をそれぞれ電源端子及
び接地端子として用い、第１の単位磁気抵抗素子と第２
の単位磁気抵抗素子との一端側の共通接続点ａから引き
出された端子Ｔ1 及び第１の単位磁気抵抗素子と第２の
単位磁気抵抗素子との他端側の共通接続点ｃから引き出
された端子Ｔ3 をそれぞれ第１及び第２の相の出力端子
として用いる。
【００１２】なお本考案において「接地」とは電位の基
準となる部分を意味し、シャーシや大地電位部に接続さ
れている部分を必ずしも意味しない。
準となる部分を意味し、シャーシや大地電位部に接続さ
れている部分を必ずしも意味しない。
【００１３】
【作用】上記のように各端子を用いると、９０度の位相
差を有する２相出力を得る磁気抵抗素子から１８０度の
位相差を有する２相出力を得ることができるため、９０
度の位相差を有する２相出力を得る場合も、１８０度の
位相差を有する２相出力を得る場合も同じ磁気抵抗素子
を用いることができ、コストの低減を図ることができ
る。また１８０度の位相差を有する２相出力を得る場合
も、２つの単位磁気抵抗素子の間隔は９０度の位相差を
有する２相出力を得る場合と同じで良いため、磁気抵抗
素子が大形化することがない。
差を有する２相出力を得る磁気抵抗素子から１８０度の
位相差を有する２相出力を得ることができるため、９０
度の位相差を有する２相出力を得る場合も、１８０度の
位相差を有する２相出力を得る場合も同じ磁気抵抗素子
を用いることができ、コストの低減を図ることができ
る。また１８０度の位相差を有する２相出力を得る場合
も、２つの単位磁気抵抗素子の間隔は９０度の位相差を
有する２相出力を得る場合と同じで良いため、磁気抵抗
素子が大形化することがない。
【００１４】
【実施例】図１は本考案の実施例を示したもので、同図
においてＡないしＤは検出すべき磁気信号のｎ／４（ｎ
＝１，２，…）波長に相当する間隔Ｌ／２をもって一方
向に並べて配置された第１ないし第４の感磁部であり、
図示の例ではｎ＝１としている。各感磁部はニッケルコ
バルト等の磁気抵抗の異方性効果を有する強磁性体薄膜
からなっていて、ガラス等の絶縁材料からなる基板上に
所定のパターンで形成されている。
においてＡないしＤは検出すべき磁気信号のｎ／４（ｎ
＝１，２，…）波長に相当する間隔Ｌ／２をもって一方
向に並べて配置された第１ないし第４の感磁部であり、
図示の例ではｎ＝１としている。各感磁部はニッケルコ
バルト等の磁気抵抗の異方性効果を有する強磁性体薄膜
からなっていて、ガラス等の絶縁材料からなる基板上に
所定のパターンで形成されている。
【００１５】１及び２はそれぞれ、第１の感磁部Ａと
Ｃ、及びＢとＤをそれぞれ直列に接続することにより構
成した第１及び第２の単位磁気抵抗素子である。第１及
び第２の単位磁気抵抗素子１及び２の同じ側の端部どう
しが共通接続され、第１の単位磁気抵抗素子１と第２の
単位磁気抵抗素子２との一端側の共通接続点ａ、第１の
感磁部Ａと第３の感磁部Ｃとの共通接続点ｂ、第１の単
位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子との他端側の
共通接続点ｃ、及び第２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄと
の共通接続点ｄからそれぞれ第１ないし第４の端子Ｔ1
，Ｔ2 ，Ｔ3 及びＴ4 が引き出されている。
Ｃ、及びＢとＤをそれぞれ直列に接続することにより構
成した第１及び第２の単位磁気抵抗素子である。第１及
び第２の単位磁気抵抗素子１及び２の同じ側の端部どう
しが共通接続され、第１の単位磁気抵抗素子１と第２の
単位磁気抵抗素子２との一端側の共通接続点ａ、第１の
感磁部Ａと第３の感磁部Ｃとの共通接続点ｂ、第１の単
位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子との他端側の
共通接続点ｃ、及び第２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄと
の共通接続点ｄからそれぞれ第１ないし第４の端子Ｔ1
，Ｔ2 ，Ｔ3 及びＴ4 が引き出されている。
【００１６】そして本考案においては、第１の感磁部Ａ
と第３の感磁部Ｃとの共通接続点ｂから引き出された端
子Ｔ2 、及び第２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとの共通
接続点ｄから引き出された端子Ｔ4 がそれぞれ電源端子
及び接地端子として用いられ、接地端子Ｔ4 は接地され
ている。また第１の単位磁気抵抗素子１と第２の単位磁
気抵抗素子２との一端側の共通接続点ａから引き出され
た端子Ｔ1 及び第１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁
気抵抗素子との他端側の共通接続点ｃから引き出された
端子Ｔ3 がそれぞれ第１及び第２の相の出力端子として
用いられている。
と第３の感磁部Ｃとの共通接続点ｂから引き出された端
子Ｔ2 、及び第２の感磁部Ｂと第４の感磁部Ｄとの共通
接続点ｄから引き出された端子Ｔ4 がそれぞれ電源端子
及び接地端子として用いられ、接地端子Ｔ4 は接地され
ている。また第１の単位磁気抵抗素子１と第２の単位磁
気抵抗素子２との一端側の共通接続点ａから引き出され
た端子Ｔ1 及び第１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁
気抵抗素子との他端側の共通接続点ｃから引き出された
端子Ｔ3 がそれぞれ第１及び第２の相の出力端子として
用いられている。
【００１７】上記のように端子を用いると、見掛上、感
磁部ＡとＢとが１つの単位磁気抵抗素子を構成し、感磁
部ＣとＤとが他の１つの単位磁気抵抗素子を構成する。
これら見掛上の単位磁気抵抗素子相互間の間隔は９０度
の位相差の出力を得る場合の単位磁気抵抗素子１，２間
の間隔の２倍になる。そのため、上記磁気抵抗素子を、
磁極間の間隔がＬに等しくなるように着磁されて図示の
Ｘ方向に移動する可動体３の近傍に配置すると、第１の
相の出力端子Ｔ1 と接地間及び第２の相の出力端子Ｔ2
と接地間にそれぞれ、図２に示すように１８０度の位相
差を有する２相出力電圧Ｖ1 及びＶ2 を得ることができ
る。
磁部ＡとＢとが１つの単位磁気抵抗素子を構成し、感磁
部ＣとＤとが他の１つの単位磁気抵抗素子を構成する。
これら見掛上の単位磁気抵抗素子相互間の間隔は９０度
の位相差の出力を得る場合の単位磁気抵抗素子１，２間
の間隔の２倍になる。そのため、上記磁気抵抗素子を、
磁極間の間隔がＬに等しくなるように着磁されて図示の
Ｘ方向に移動する可動体３の近傍に配置すると、第１の
相の出力端子Ｔ1 と接地間及び第２の相の出力端子Ｔ2
と接地間にそれぞれ、図２に示すように１８０度の位相
差を有する２相出力電圧Ｖ1 及びＶ2 を得ることができ
る。
【００１８】上記の実施例では、端子Ｔ2 を電源端子と
し、端子Ｔ4 を接地端子としたが、端子Ｔ2 を接地端子
とし、端子Ｔ4 を電源端子としてもよい。
し、端子Ｔ4 を接地端子としたが、端子Ｔ2 を接地端子
とし、端子Ｔ4 を電源端子としてもよい。
【００１９】
【考案の効果】以上のように、本考案によれば、９０度
の位相差を有する２相出力を得る目的で製作された磁気
抵抗素子を用いて、１８０度の位相差を有する２相出力
を得ることができるため、９０度の位相差を有する２相
出力を得る場合も、１８０度の位相差を有する２相出力
を得る場合も同じ磁気抵抗素子を用いることができ、コ
ストの低減を図ることができる。
の位相差を有する２相出力を得る目的で製作された磁気
抵抗素子を用いて、１８０度の位相差を有する２相出力
を得ることができるため、９０度の位相差を有する２相
出力を得る場合も、１８０度の位相差を有する２相出力
を得る場合も同じ磁気抵抗素子を用いることができ、コ
ストの低減を図ることができる。
【００２０】また本考案によれば、１８０度の位相差を
有する２相出力を得る場合も、２つの単位磁気抵抗素子
の間隔は９０度の位相差を有する２相出力を得る場合と
同じで良いため、磁気抵抗素子が大形化するのを防ぐこ
とができる。
有する２相出力を得る場合も、２つの単位磁気抵抗素子
の間隔は９０度の位相差を有する２相出力を得る場合と
同じで良いため、磁気抵抗素子が大形化するのを防ぐこ
とができる。
【図１】本考案の実施例の構成を概略的に示した構成図
である。
である。
【図２】図１の磁気抵抗素子により得られる２相出力電
圧の波形を示した波形図である。
圧の波形を示した波形図である。
【図３】９０度の位相差を有する２相出力を得る磁気抵
抗素子を示した構成図である。
抗素子を示した構成図である。
【図４】磁気抵抗素子により検出する磁気信号の波形の
一例を示した波形図である。
一例を示した波形図である。
【図５】図３の磁気抵抗素子により得られる２相出力電
圧の波形を示した波形図である。
圧の波形を示した波形図である。
１ 第１の単位磁気抵抗素子 ２ 第２の単位磁気抵抗素子 Ａ〜Ｄ 第１ないし第４の感磁部 Ｔ1 〜Ｔ4 第１ないし第４の端子
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気抵抗の異方性効果を有する強磁性体
薄膜からなっていて検出しようとする磁気信号の波長の
１／４に等しい間隔をもって順次並べて配置された第１
ないし第４の感磁部（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）を
有し、前記第１の感磁部と第３の感磁部とが直列に接続
されて第１の単位磁気抵抗素子（１）が構成されるとと
もに第２の感磁部と第４の感磁部とが直列に接続されて
第２の単位磁気抵抗素子（２）が構成され、第１及び第
２の単位磁気抵抗素子の同じ側の端部どうしが共通接続
され、第１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素
子との一端側の共通接続点（ａ）、第１の感磁部（Ａ）
と第３の感磁部（Ｃ）との共通接続点（ｂ）、第１の単
位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子との他端側の
共通接続点（ｃ）、及び第２の感磁部（Ｂ）と第４の感
磁部（Ｄ）との共通接続点（ｄ）からそれぞれ端子（Ｔ
1)，（Ｔ2)，（Ｔ3)及び（Ｔ4)が引き出されている２相
出力磁性薄膜磁気抵抗素子において、 前記第１の感磁部と第３の感磁部との共通接続点から引
き出された端子（Ｔ2)及び第２の感磁部と第４の感磁部
との共通接続点から引き出された端子（Ｔ4)の一方及び
他方がそれぞれ電源端子及び接地端子として用いられ、 前記第１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子
との一端側の共通接続点から引き出された端子（Ｔ1)及
び第１の単位磁気抵抗素子と第２の単位磁気抵抗素子と
の他端側の共通接続点から引き出された端子（Ｔ3)がそ
れぞれ第１及び第２の相の出力端子として用いられるこ
とを特徴とする２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993049372U JP2582778Y2 (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | ２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993049372U JP2582778Y2 (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | ２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0718212U JPH0718212U (ja) | 1995-03-31 |
| JP2582778Y2 true JP2582778Y2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=12829207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993049372U Expired - Fee Related JP2582778Y2 (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | ２相出力磁性薄膜磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2582778Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6266116A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-25 | Denki Onkyo Co Ltd | 回転センサ |
-
1993
- 1993-09-10 JP JP1993049372U patent/JP2582778Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0718212U (ja) | 1995-03-31 |
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