JP2580794Y2 - 熱伝導式絶対湿度センサー - Google Patents

熱伝導式絶対湿度センサー

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JP2580794Y2
JP2580794Y2 JP7430792U JP7430792U JP2580794Y2 JP 2580794 Y2 JP2580794 Y2 JP 2580794Y2 JP 7430792 U JP7430792 U JP 7430792U JP 7430792 U JP7430792 U JP 7430792U JP 2580794 Y2 JP2580794 Y2 JP 2580794Y2
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光之 武田
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Tokin Corp
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、空調器、除湿器、調理
器、栽培ハウス等の雰囲気の水蒸気量を検出する熱伝導
式絶対湿度センサーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、空調器、除湿器、調理器、栽培ハ
ウス等での湿度(相対湿度、絶対湿度のどちらでもよ
い)の検出制御の要求が高まっている。この要求に応え
るため抵抗変化式、静電容量式、熱伝導式等種々の方式
の湿度センサーが提案されている。
【0003】従来の熱伝導式絶対温度センサーは、図2
に示すような構成である。作製手順は、まず感熱抵抗素
子1、2をそれぞれ異なるステム4に高温用の無機接着
剤や、ポリイミド系接着剤等によって固定し、ワイヤボ
ンディングを施し、前記感熱抵抗素子1を固定した該ス
テム4に通気孔5を設けたキャップ3aを溶接でかぶせ
る。一方、前記感熱抵抗素子2は、−40℃にてステム
4にキャップ3bを溶接でかぶせることにより前記感熱
抵抗素子2を乾燥空気中に封入する。その後、キャップ
3a、3bを金属パッケージ6にはめ込んで、完成す
る。
【0004】前記感熱抵抗素子1(抵抗値;RHT)と前
記感熱抵抗素子2(抵抗値;RT)、固定抵抗R1
2、R3、保護抵抗RS(ただし、白金抵抗のように正
特性の温度特性を持つ感熱抵抗素子の場合はRSは必要
無し)により図3に示すようなホイートストンブリッジ
を構成して使用する。ただしRTとRHTの温度−抵抗特
性は等しく、R1とR2の抵抗値も等しくなければならな
い。前記感熱抵抗素子2は乾燥雰囲気中に封入されてお
り前記感熱抵抗素子1は外気中にさらされている。この
時、前記感熱抵抗素子1、2に電圧を印加することによ
り前記感熱抵抗素子1、2は自己発熱をし、周囲温度よ
りも高くなる。前記感熱抵抗素子1、2の温度は、前記
感熱抵抗素子1、2に加わる電力と前記感熱抵抗素子
1、2の熱放散により決定するが、外気中に水蒸気が含
まれていると、水蒸気が含まれていない場合に対して水
蒸気の熱伝導が作用して熱放散が大きくなるため、前記
感熱抵抗素子1の温度が前記感熱抵抗素子2よりも低く
なる。このため固定抵抗R3の両端に電位差(ブリッジ
バランス電圧)VOUTが生じる。この現象を利用し大気
中の絶対湿度を検出することができる。
【0005】本絶対湿度センサにおいて、電源電圧VIN
印加直後に感熱抵抗素子1、2の自己発熱により金属パ
ッケージ6が温まるまでの時間、感熱抵抗素子1、2の
温度が上昇し、温度上昇の間、過渡的に温度差が生じ、
感熱抵抗素子1、2の抵抗値にも差が生じるので、ブリ
ッジバランス電圧VOUTは過渡的に変化する。従来品で
は金属パッケージ6の温度上昇が大きく従って、感熱抵
抗素子1、2の温度差が一時的に大きくなり電源電圧V
IN印加直後のブリッジバランス電圧VOUTの変化が大き
かった。この為ある程度ブリッジバランス電圧が安定す
るまで30〜60秒要し、その間、正確な湿度測定が出
来なかった。そこで、金属パッケージ6の温度上昇を小
さく抑えるため、金属パッケージ6の大きさを大きくす
ると、電源電圧VIN印加直後のブリッジバランス電圧V
OUTの過渡的な変化を小さくできるが、熱伝導式絶対湿
度センサの大きさが大きくなってしまうという欠点があ
った。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、熱伝導式絶
対湿度センサにおいて、上述の欠点を除去し、電源電圧
IN印加直後のブリッジバランス電圧VOUTの過渡的な
変化を小さくし、電源電圧印加直後直ちに正確な湿度測
定ができるようにすることを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本考案では、キャップ3
a、3bの近傍に放熱フィン12を取り付けた事によ
り、電源電圧VIN印加直後の感熱抵抗素子1、2の自己
発熱による金属パッケージ6の温度上昇を小さく抑える
ことが可能となり、電源電圧VIN印加直後のブリッジバ
ランス電圧VOUTの過渡的な変化を小さくできて、電源
電圧印加後、直ちに正確な湿度測定を可能とした。
【0008】即ち本考案は、同一の特性を有する2ケの
感熱抵抗素子(1)、(2)を用い、通常大気中に晒し
た前記感熱抵抗素子(1)と乾燥状態に保持した前記感
熱抵抗素子(2)と固定抵抗(R1)、(R2)2ケとで
ブリッジ回路を組み、前記感熱抵抗素子(1)、(2)
の両端に電圧印加することにより、前記感熱抵抗素子
(1)、(2)を自己発熱させ、湿度変化に伴う前記感
熱抵抗素子(1)の抵抗値の変化でブリッジバランスが
崩れることを利用して湿度を検出する熱伝導式絶対温度
センサにおいて、前記感熱抵抗素子(1)、(2)を内
部に設けたキャップ(3a)、(3b)が通気穴(7)
を有する金属パッケージ(6)にはめ込まれた構造であ
り、かつキャップ(3a)、(3b)の近傍に放熱フィ
ン(12)が取り付けられていることを特徴とする熱伝
導式絶対湿度センサである。
【0009】
【作用】従来の熱伝導式絶対湿度センサにおいては、一
対の感熱抵抗素子をブリッジに組んでいるが、この一対
の感熱抵抗素子に電圧を印加して、発熱により温度上昇
させた場合、感熱抵抗素子を収納する金属製パッケージ
が自己の持つ熱容量が小さくて温度上昇が著しいので、
過渡的にブリッジバランス電圧を大きくくずし、安定す
るまで正確な温度測定が出来なかった。そこで、この金
属製パッケージに放熱フィンを付設することにより金属
製パッケージの温度上昇を抑え、ブリッジバランス電圧
の過渡的な変化を小さくして、電圧印加後直ちに湿度測
定を可能とする。
【0010】
【実施例】本願考案の実施例を以下に示す。
【0011】感熱抵抗素子1、2をそれぞれステム4に
高温用の無機接着剤や、ポリイミド系接着剤等によって
固定し、ワイヤボンディングを施し、前記感熱抵抗素子
1を固定した該ステム4に通気孔5を設けたキャップ3
aを溶接でかぶせる。一方、前記感熱抵抗素子2は、−
40℃にてステム4にキャップ3bを溶接でかぶせるこ
とにより乾燥空気中に封入する。その後、キャップ3
a、3bを、あらかじめ放熱フィン12を溶接等の方法
で取り付けておいた金属パッケージ6にはめ込んで、完
成する。もちろん、放熱フィン12と金属パッケージ6
は一体で構成してもなんら問題はない。また、本実施例
では感熱抵抗素子1、2に白金チップ抵抗を用いた。但
し、壁(電気機器の内部の壁、部屋の壁等)に取り付け
る場合は必要ないが、本絶対湿度センサを空間に放置し
て使用する場合は金属カバー10を取り付ける。
【0012】前記感熱抵抗素子1(抵抗値RHT)と前記
感熱抵抗素子2(抵抗値RT)、固定抵抗R1、R2
3、保護抵抗RS(ただし、白金抵抗のように正特性の
温度特性を持つ感熱抵抗素子の場合はRSは必要無し)
により図3にしめすようなホイートストンブリッジを構
成して使用する。
【0013】感熱抵抗素子2は乾燥雰囲気中に封入され
ており感熱抵抗素子1は外気中にさらされている。この
時、前記感熱抵抗素子1、2に印加されている電圧によ
り、前記感熱抵抗素子1、2は自己発熱をし、周囲温度
よりも高くなる。前記感熱抵抗素子1、2の温度は、前
記感熱抵抗素子1、2に加わる電力と前記感熱抵抗素子
1、2の熱放散により決定するが、外気中に水蒸気が含
まれていると水蒸気が含まれていない場合に対して水蒸
気の熱伝導が作用して熱放散が大きくなるため、前記感
熱抵抗素子1の温度が前記感熱抵抗素子2よりも低くな
る。このため固定抵抗R3の両端に電位差であるブリッ
ジバランス電圧VOUTが生じる。この現象を利用し大気
中の絶対湿度を検出することができる。
【0014】
【考案の効果】本考案により、電源電圧VIN印加直後の
ブリッジバランス電圧VOUTの変化をほぼゼロにできた
為、電源電圧VIN印加直後十秒後には正確な湿度の検出
が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の熱伝導式絶対湿度センサーの構成を示
す説明図で、図1の(a)は本考案の熱伝導式絶対湿度
センサーの斜視図、図1の(b)は本考案の熱伝導式絶
対湿度センサー分解斜視図、図1の(c)は本考案のス
テム4に感熱抵抗素子1、2を取り付けた状況を裏から
見た説明図。
【図2】従来の熱伝導式絶対温度センサの構成を示す説
明図で、図2の(a)は従来の熱伝導式絶対湿度センサ
の斜視図、図2の(b)は従来の熱伝導式絶対湿度セン
サー分解斜視図、図2の(c)は従来例のステム4に感
熱抵抗素子1、2を取り付けた状況を裏から見た説明
図。
【図3】熱伝導式絶対湿度センサーの一般的使用回路
図。
【符号の説明】
1、2 感熱抵抗素子 3a、3b キャップ 4 ステム 5 通気孔 6 金属パッケージ 7 通気穴 8 キャップはめ込み穴 9 ネジ取り付け穴 10 金属カバー 11 ワイヤー 12 放熱フィン 13 ネジ取付時通り穴 VIN 電源電圧 VOUT ブリッジバランス電圧 RHT 感熱抵抗素子1の抵抗値 RT 感熱抵抗素子2の抵抗値 R1、R2、R3 固定抵抗 RS 保護抵抗

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同一の特性を有する2ケの感熱抵抗素子
    (1)、(2)を用い、通常大気中に晒した前記感熱抵
    抗素子(1)と乾燥状態に保持した前記感熱抵抗素子
    (2)と固定抵抗(R1)、(R2)2ケとでブリッジ回
    路を組み、前記感熱抵抗素子(1)、(2)の両端に電
    圧印加することにより、前記感熱抵抗素子(1)、
    (2)を自己発熱させ、湿度変化に伴う前記感熱抵抗素
    子(1)の抵抗値の変化でブリッジバランスが崩れるこ
    とを利用して湿度を検出する熱伝導式絶対温度センサに
    おいて、前記感熱抵抗素子(1)、(2)を内部に設け
    たキャップ(3a)、(3b)が通気穴(7)を有する
    金属パッケージ(6)にはめ込まれた構造であり、かつ
    キャップ(3a)、(3b)の近傍に放熱フィン(1
    2)が取り付けられていることを特徴とする熱伝導式絶
    対湿度センサ。
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