JP2573534B2 - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents
液晶表示パネルの検査装置Info
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- JP2573534B2 JP2573534B2 JP3323961A JP32396191A JP2573534B2 JP 2573534 B2 JP2573534 B2 JP 2573534B2 JP 3323961 A JP3323961 A JP 3323961A JP 32396191 A JP32396191 A JP 32396191A JP 2573534 B2 JP2573534 B2 JP 2573534B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルの良否
を検査する装置に関する。
を検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】製作された液晶表示パネルを検査する装
置は、液晶表示パネルの端子に当接される複数のプロー
ブを備える検査ユニットを備えている。プローブの配列
ピッチは、液晶表示パネルの配列ピッチと同様に非常に
小さい。このため、この種の検査装置では、検査すべき
液晶表示パネルを検査装置、特に検査ユニットに対し正
確に配置しなければならない。
置は、液晶表示パネルの端子に当接される複数のプロー
ブを備える検査ユニットを備えている。プローブの配列
ピッチは、液晶表示パネルの配列ピッチと同様に非常に
小さい。このため、この種の検査装置では、検査すべき
液晶表示パネルを検査装置、特に検査ユニットに対し正
確に配置しなければならない。
【０００３】しかし、検査ユニットは、検査ステーショ
ンへの液晶表示パネルの配置、検査ステーションからの
液晶表示パネルの除去、および検査装置に対する液晶表
示パネルの位置決め等の妨げとなる。
ンへの液晶表示パネルの配置、検査ステーションからの
液晶表示パネルの除去、および検査装置に対する液晶表
示パネルの位置決め等の妨げとなる。
【０００４】このため、液晶表示パネルの検査装置にお
いては、液晶表示パネルの位置決めをする第１のステー
ションと、液晶表示パネルの検査をする第２のステーシ
ョンとを備え、液晶表示パネルをアームにより第１のス
テーションから第２のステーションへおよびその逆に移
すようにすることが好ましい。
いては、液晶表示パネルの位置決めをする第１のステー
ションと、液晶表示パネルの検査をする第２のステーシ
ョンとを備え、液晶表示パネルをアームにより第１のス
テーションから第２のステーションへおよびその逆に移
すようにすることが好ましい。
【０００５】このような検査装置において、検査すべき
液晶表示パネルは、先ず第１のステーションに傾斜した
状態に配置されて、該第１のステーションにおいて検査
装置に対して縦横の位置決めをされ、次いでアームによ
り第２のステーションへ移されて、該第２のステーショ
ンにおいて検査をされ、その後アームにより第２のステ
ーションから第１のステーションへ戻されて、該第１の
ステーションから除去される。
液晶表示パネルは、先ず第１のステーションに傾斜した
状態に配置されて、該第１のステーションにおいて検査
装置に対して縦横の位置決めをされ、次いでアームによ
り第２のステーションへ移されて、該第２のステーショ
ンにおいて検査をされ、その後アームにより第２のステ
ーションから第１のステーションへ戻されて、該第１の
ステーションから除去される。
【０００６】第１のステーションにおける位置決め時、
液晶表示パネルは、該液晶表示パネルが倒れないように
その裏面においてアームに傾斜した状態に受けられ、次
いでその状態で位置決め用の複数のストッパに当接する
までアームに対して移動されることにより、位置決めを
される。
液晶表示パネルは、該液晶表示パネルが倒れないように
その裏面においてアームに傾斜した状態に受けられ、次
いでその状態で位置決め用の複数のストッパに当接する
までアームに対して移動されることにより、位置決めを
される。
【０００７】しかし、従来の検査装置では、液晶表示パ
ネルが第１のステーションに傾斜した状態に配置される
から、アームに対する液晶表示パネルの受渡し時、特に
位置決め時に、液晶表示パネルがその裏面をアームに接
触させた状態でアームに対して移動し、その結果液晶表
示パネルの裏面に傷等が形成されやすい。
ネルが第１のステーションに傾斜した状態に配置される
から、アームに対する液晶表示パネルの受渡し時、特に
位置決め時に、液晶表示パネルがその裏面をアームに接
触させた状態でアームに対して移動し、その結果液晶表
示パネルの裏面に傷等が形成されやすい。
【０００８】
【解決しようとする課題】本発明は、アームに対する液
晶表示パネルの受渡し時に、傾斜した状態の液晶表示パ
ネルの裏面をアームに接触させないようにすることを目
的とする。
晶表示パネルの受渡し時に、傾斜した状態の液晶表示パ
ネルの裏面をアームに接触させないようにすることを目
的とする。
【０００９】
【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、液晶表
示パネルを傾斜した状態に受けかつ該液晶表示パネルの
位置決めをする第１のステーションと、前記パネルの検
査をする第２のステーションと、前記パネルを吸着する
吸着面および該吸着面に開口された穴を有するアームで
あって前記パネルを第１のステーションから前記第２の
ステーションへ移してそのパネルを前記第２のステーシ
ョンにおいて解放し、また前記パネルを前記第２のステ
ーションから前記第１のステーションへ移してそのパネ
ルを前記第１のステーションにおいて解放する、前記第
２のステーションにおいてパネルの受渡しをするアーム
と、真空源と、圧縮空気源と、前記穴を前記真空源およ
び前記圧縮気体源に選択的に接続する手段とを含むこと
を特徴とする。
示パネルを傾斜した状態に受けかつ該液晶表示パネルの
位置決めをする第１のステーションと、前記パネルの検
査をする第２のステーションと、前記パネルを吸着する
吸着面および該吸着面に開口された穴を有するアームで
あって前記パネルを第１のステーションから前記第２の
ステーションへ移してそのパネルを前記第２のステーシ
ョンにおいて解放し、また前記パネルを前記第２のステ
ーションから前記第１のステーションへ移してそのパネ
ルを前記第１のステーションにおいて解放する、前記第
２のステーションにおいてパネルの受渡しをするアーム
と、真空源と、圧縮空気源と、前記穴を前記真空源およ
び前記圧縮気体源に選択的に接続する手段とを含むこと
を特徴とする。
【００１０】検査すべき液晶表示パネルは、先ず第１の
ステーションに傾斜された状態に配置されて、該第１の
ステーションにおいて検査装置に対して縦横の位置決め
をされ、次いでアームにより第２のステーションへ移さ
れて、該第２のステーションにおいて検査をされ、次い
でアームにより第２のステーションから第１のステーシ
ョンへ戻されて、アームから解放され、その後第１のス
テーションから除去される。
ステーションに傾斜された状態に配置されて、該第１の
ステーションにおいて検査装置に対して縦横の位置決め
をされ、次いでアームにより第２のステーションへ移さ
れて、該第２のステーションにおいて検査をされ、次い
でアームにより第２のステーションから第１のステーシ
ョンへ戻されて、アームから解放され、その後第１のス
テーションから除去される。
【００１１】第１のステーションにおける位置決めの間
および第１のステーションにおいて液晶表示パネルをア
ームから解放するとき、アームの穴が圧縮気体源に接続
され、空気等の気体がアームの穴からパネルに向けて噴
出される。これにより、液晶表示パネルは、該パネルが
倒れないようにその裏面においてアームに該アームから
噴出される気体を介して受けられるが、アームに当接さ
れない。第２のステーションにおける検査の間、液晶表
示パネルはアームから解放される。
および第１のステーションにおいて液晶表示パネルをア
ームから解放するとき、アームの穴が圧縮気体源に接続
され、空気等の気体がアームの穴からパネルに向けて噴
出される。これにより、液晶表示パネルは、該パネルが
倒れないようにその裏面においてアームに該アームから
噴出される気体を介して受けられるが、アームに当接さ
れない。第２のステーションにおける検査の間、液晶表
示パネルはアームから解放される。
【００１２】本発明によれば、傾斜した状態のパネルを
第１のステーションから第２のステーションへ移してそ
のパネルを第２のステーションにおいて解放し、またパ
ネルを第２のステーションから第１のステーションへ移
してそのパネルを第１のステーションにおいて開放する
アームを設け、真空源および圧縮気体源に選択的に接続
される穴をアームのパネル吸着面に形成したから、アー
ムが、パネルを傾斜させた状態に浮上させる機能と、パ
ネルを傾斜させた状態で吸着する機能と、パネルを搬送
する機能と、第２のステーションにおいてパネルの受渡
しをする機能とを有し、したがって位置決め後のパネル
を正しくかつ確実に移すことができるのみならず、アー
ムに対するパネルの受渡し時、特に第１のステーション
における位置決め時に、パネルとアームとの接触に起因
するパネルの損傷を防止することができる。
第１のステーションから第２のステーションへ移してそ
のパネルを第２のステーションにおいて解放し、またパ
ネルを第２のステーションから第１のステーションへ移
してそのパネルを第１のステーションにおいて開放する
アームを設け、真空源および圧縮気体源に選択的に接続
される穴をアームのパネル吸着面に形成したから、アー
ムが、パネルを傾斜させた状態に浮上させる機能と、パ
ネルを傾斜させた状態で吸着する機能と、パネルを搬送
する機能と、第２のステーションにおいてパネルの受渡
しをする機能とを有し、したがって位置決め後のパネル
を正しくかつ確実に移すことができるのみならず、アー
ムに対するパネルの受渡し時、特に第１のステーション
における位置決め時に、パネルとアームとの接触に起因
するパネルの損傷を防止することができる。
【００１３】前記接続手段は、前記真空源と前記穴とに
接続された第１の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴と
に接続された第２の電磁弁とを含むことができる。さら
に、前記第１のステーションに配置されかつ前記パネル
の位置決めのための複数のストッパを含むことができ
る。前記アームに複数の前記穴を形成し、少なくとも１
つの前記穴を第１の弁により前記真空源に切離し可能に
接続し、他の少なくとも１つの前記穴を第２の弁により
前記圧縮気体源に切離し可能に接続することができる。
接続された第１の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴と
に接続された第２の電磁弁とを含むことができる。さら
に、前記第１のステーションに配置されかつ前記パネル
の位置決めのための複数のストッパを含むことができ
る。前記アームに複数の前記穴を形成し、少なくとも１
つの前記穴を第１の弁により前記真空源に切離し可能に
接続し、他の少なくとも１つの前記穴を第２の弁により
前記圧縮気体源に切離し可能に接続することができる。
【００１４】
【実施例】図１および図２を参照するに、検査装置１０
は、床１２に設置される支持台１４と、該支持台の上に
据え付けられた筐体１６とを含む。図３に示すように、
検査すべき液晶表示パネル１８は、四角形の形を有す
る。
は、床１２に設置される支持台１４と、該支持台の上に
据え付けられた筐体１６とを含む。図３に示すように、
検査すべき液晶表示パネル１８は、四角形の形を有す
る。
【００１５】筐体１６には、液晶表示パネル１８（図３
参照）の位置決めをする第１のステーション２０と、液
晶表示パネルの特性検査をする第２のステーション２２
とで形成されている。筐体１６のうち、第１のステーシ
ョン２０、第２のステーション２２に対応する箇所は矩
形に開口されている。
参照）の位置決めをする第１のステーション２０と、液
晶表示パネルの特性検査をする第２のステーション２２
とで形成されている。筐体１６のうち、第１のステーシ
ョン２０、第２のステーション２２に対応する箇所は矩
形に開口されている。
【００１６】第１のステーション２０には位置決めユニ
ット２６が配置されており、第２のステーション２２に
は検査ユニット２８が配置されている。
ット２６が配置されており、第２のステーション２２に
は検査ユニット２８が配置されている。
【００１７】図１および図３に示すように、位置決めユ
ニット２６は、筐体１６にねじ止めされたコ字状のベー
ス部材３２と、該ベース部材にねじ止めされた位置決め
用の細長い一対のストッパ３４と、液晶表示パネルを移
動させるアーム３６と、ベース部材３２と各ストッパ３
４との間に配置されたシート３８とを備える。
ニット２６は、筐体１６にねじ止めされたコ字状のベー
ス部材３２と、該ベース部材にねじ止めされた位置決め
用の細長い一対のストッパ３４と、液晶表示パネルを移
動させるアーム３６と、ベース部材３２と各ストッパ３
４との間に配置されたシート３８とを備える。
【００１８】図１に示すように、検査ユニット２８は、
筐体１６にねじ止めされたベース部材４０と、該ベース
部材にねじ止めされた複数のプローブ組立体４２とを備
える。各プローブ組立体４２は、検査すべき液晶表示パ
ネルの端子に接触される複数のプローブを有する。
筐体１６にねじ止めされたベース部材４０と、該ベース
部材にねじ止めされた複数のプローブ組立体４２とを備
える。各プローブ組立体４２は、検査すべき液晶表示パ
ネルの端子に接触される複数のプローブを有する。
【００１９】図３〜図５に示すように、位置決めユニッ
ト２６のベース部材３２は、第１のステーション２０の
対応する開口の３つの縁部に沿うように配置されてい
る。ストッパ３４は、それらのガイド面の延長線が互い
に直交するように、配置されている。各シート３８は、
液晶表示パネル１８を保護すべく、ベース３２の内側の
縁部に沿って伸びる。
ト２６のベース部材３２は、第１のステーション２０の
対応する開口の３つの縁部に沿うように配置されてい
る。ストッパ３４は、それらのガイド面の延長線が互い
に直交するように、配置されている。各シート３８は、
液晶表示パネル１８を保護すべく、ベース３２の内側の
縁部に沿って伸びる。
【００２０】アーム３６の先端部の表面は、液晶表示パ
ネル１８を吸着する吸着面として作用する。アーム３６
は、液晶表示パネル１８の裏面を受けるべく吸着面が正
面の側となるように筐体１６内に配置されており、また
図示しない移動機構に基端部において支持されており、
さらに前記移動機構により３次元的に移動される。前記
移動機構も、筺体１６内に配置されている。
ネル１８を吸着する吸着面として作用する。アーム３６
は、液晶表示パネル１８の裏面を受けるべく吸着面が正
面の側となるように筐体１６内に配置されており、また
図示しない移動機構に基端部において支持されており、
さらに前記移動機構により３次元的に移動される。前記
移動機構も、筺体１６内に配置されている。
【００２１】図６〜図８に示すように、アーム３６は、
互いに連通された複数の第１の溝４４を先端部表面すな
わち吸着面に有するとともに、互いに連通された複数の
第２の溝４６を先端部裏面に有する。第１および第２の
溝４４，４６は、複数の穴４８により互いに連通されて
いる。各穴４８は、図９に示すように、第１の溝４４の
側が第２の溝４６の側より細い形状を有する。
互いに連通された複数の第１の溝４４を先端部表面すな
わち吸着面に有するとともに、互いに連通された複数の
第２の溝４６を先端部裏面に有する。第１および第２の
溝４４，４６は、複数の穴４８により互いに連通されて
いる。各穴４８は、図９に示すように、第１の溝４４の
側が第２の溝４６の側より細い形状を有する。
【００２２】第２の満４６は、アーム３６の先端部裏面
の側に気密的にねじ止めされた板５０により閉鎖されて
いる。第２の満４６は、また、アーム３６に形成された
流路５２に連通されている。流路５２は、図１０に示す
真空ポンプのような真空源５４と、コンプレッサのよう
な高圧空気源５６とに連結されている。
の側に気密的にねじ止めされた板５０により閉鎖されて
いる。第２の満４６は、また、アーム３６に形成された
流路５２に連通されている。流路５２は、図１０に示す
真空ポンプのような真空源５４と、コンプレッサのよう
な高圧空気源５６とに連結されている。
【００２３】図１０に示すように、アーム３６と真空源
５４との間には第１の電磁弁５８が配置されており、ま
たアーム３６と高圧空気源５６との間には第２の電磁弁
６０および圧力調整器６２とが配置されている。このた
め、アーム３６の溝４４，４６は、電磁弁５８，６０に
より、真空源５４および高圧空気源５６に選択的に接続
される。
５４との間には第１の電磁弁５８が配置されており、ま
たアーム３６と高圧空気源５６との間には第２の電磁弁
６０および圧力調整器６２とが配置されている。このた
め、アーム３６の溝４４，４６は、電磁弁５８，６０に
より、真空源５４および高圧空気源５６に選択的に接続
される。
【００２４】検査装置１０において、待機時、アーム３
６は、その吸着面が第１のステーション２０の所定の位
置におかれた状態に、維持される。また、第１の電磁弁
５８は閉鎖された状態に維持され、第２の電磁弁６０は
開放された状態に維持される。このため、待機時には、
アーム３６の溝４４，４６が高圧空気源５６に接続され
るから、高圧空気がアーム３６の吸着面から噴出されて
いる。
６は、その吸着面が第１のステーション２０の所定の位
置におかれた状態に、維持される。また、第１の電磁弁
５８は閉鎖された状態に維持され、第２の電磁弁６０は
開放された状態に維持される。このため、待機時には、
アーム３６の溝４４，４６が高圧空気源５６に接続され
るから、高圧空気がアーム３６の吸着面から噴出されて
いる。
【００２５】この状態で、液晶表示パネル１８が作業者
により第１のステーション２０に配置される。このと
き、液品表示パネル１８は、アーム３６に当接しないよ
うにアーム３６からわずかに離されているが、アーム３
６およびそれから噴出される高圧空気により傾斜した状
態に維持される。
により第１のステーション２０に配置される。このと
き、液品表示パネル１８は、アーム３６に当接しないよ
うにアーム３６からわずかに離されているが、アーム３
６およびそれから噴出される高圧空気により傾斜した状
態に維持される。
【００２６】次いで、液晶表示パネルは、位置決めをす
べく、作業者により両ストッパ３４に向けて移動され
る。このとき、液品表示パネル１８はアーム３６からわ
ずかに離された状態で移動されるから、液晶表示パネル
１８とアーム３６との接触に起因する液晶表示パネル１
８の損傷が防止される。
べく、作業者により両ストッパ３４に向けて移動され
る。このとき、液品表示パネル１８はアーム３６からわ
ずかに離された状態で移動されるから、液晶表示パネル
１８とアーム３６との接触に起因する液晶表示パネル１
８の損傷が防止される。
【００２７】次いで、第１の電磁弁５８が開放され、第
２の電磁弁６０が閉鎖される。これにより、アーム３６
の溝４４，４６が真空源５４に接続されるから、液晶表
示パネル１８は、これの裏面をアーム３６の吸着面に吸
着される。
２の電磁弁６０が閉鎖される。これにより、アーム３６
の溝４４，４６が真空源５４に接続されるから、液晶表
示パネル１８は、これの裏面をアーム３６の吸着面に吸
着される。
【００２８】次いで、液晶表示パネル１８は、アーム３
６に吸着された状態で所定のアライニング処理をされ、
アーム３６により第２のステーション２２へ移される。
第２のステーションにおいて、液品表示パネル１８は所
定の検査をされる。このとき、液品表示パネル１８は、
アーム３６から解放され、その代りに図示しない検査器
具に吸着された状態で検査ユニット、特にプローブに押
圧される。
６に吸着された状態で所定のアライニング処理をされ、
アーム３６により第２のステーション２２へ移される。
第２のステーションにおいて、液品表示パネル１８は所
定の検査をされる。このとき、液品表示パネル１８は、
アーム３６から解放され、その代りに図示しない検査器
具に吸着された状態で検査ユニット、特にプローブに押
圧される。
【００２９】所定の検査が終了すると、液晶表示パネル
１８は、再びアーム３６に吸着されるとともに前記検査
器具から解放され、第１のステーション２０に戻され、
第１のステーション２０においてアーム３６から解放さ
れ、作業者により第１のステーション２０から取り去ら
れる。
１８は、再びアーム３６に吸着されるとともに前記検査
器具から解放され、第１のステーション２０に戻され、
第１のステーション２０においてアーム３６から解放さ
れ、作業者により第１のステーション２０から取り去ら
れる。
【００３０】アーム３６からの液晶表示パネル１８の解
放は、第１の電磁弁５８を閉鎖状態にし、第２の電磁弁
６０を開放状態にすることにより行なわれる。
放は、第１の電磁弁５８を閉鎖状態にし、第２の電磁弁
６０を開放状態にすることにより行なわれる。
【００３１】なお、上記の実施例では、各穴４８を真空
源５４と高圧空気源５６とに接続しているが、真空源５
４に接続する穴と、高圧空気源５６に接続する穴とを別
にしてもよい。
源５４と高圧空気源５６とに接続しているが、真空源５
４に接続する穴と、高圧空気源５６に接続する穴とを別
にしてもよい。
【図１】本発明の検査装置の一実施例を示し正面図であ
る。
る。
【図２】図１に示す検査装置の側面図である。
【図３】位置決めユニットの一実施例を示す正面図であ
る。
る。
【図４】図３の４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図４の部位５の拡大図である。
【図６】アームの先端部の一実施例を示す正面図であ
る。
る。
【図７】図６に示すアームの底面図である。
【図８】図６に示すアームの背面である。
【図９】図８の９−９線に沿って得た拡大断面図であ
る。
る。
【図１０】流体回路の一実施例を示す図である。
１０ 検査装置 １８ 液晶表示パネル ２０ 第１のステーション ２２ 第２のステーション ２６ 位置決めユニット ２８ 検査ユニット ３２ ベース ３４ ストッパ ３６ アーム ４４，４６ 溝 ４８ 穴 ５４ 真空源 ５６ 高圧空気源 ５８ 第１の電磁弁 ６０ 第２の電磁弁
Claims (4)
- 【請求項１】 液晶表示パネルを傾斜した状態に受けか
つ該液晶表示パネルの位置決めをする第１のステーショ
ンと、前記パネルの検査をする第２のステーションと、
前記パネルを吸着する吸着面および該吸着面に開口され
た穴を有するアームであって前記パネルを傾斜した状態
で第１のステーションから前記第２のステーションへ移
してそのパネルを前記第２のステーションにおいて解放
し、また前記パネルを前記第２のステーションから前記
第１のステーシヨンへ移してそのパネルを前記第１のス
テーションにおいて解放する、前記第２のステーション
においてパネルの受渡しをするアームと、真空源と、圧
縮空気源と、前記穴を前記真空源および前記圧縮気体源
に選択的に接続する手段とを含む、液晶表示パネルの検
査装置。 - 【請求項２】 前記接続手段は、前記真空源と前記穴と
に接続された第１の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴
とに接続された第２の電磁弁とを含む、請求項１に記載
の液晶表示パネルの検査装置。 - 【請求項３】 さらに、前記第１のステーションに配置
されかつ前記パネルの位置決めのための複数のストッパ
を含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。 - 【請求項４】 前記アームは複数の前記穴を有し、前記
接続手段は、少なくとも１つの前記穴を前記真空源に切
離し可能に接続する第１の弁と、他の少なくとも１つの
前記穴を前記圧縮気体源に切離し可能に接続する第２の
弁とを含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3323961A JP2573534B2 (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3323961A JP2573534B2 (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05134227A JPH05134227A (ja) | 1993-05-28 |
| JP2573534B2 true JP2573534B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=18160565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3323961A Expired - Fee Related JP2573534B2 (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573534B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH063476B2 (ja) * | 1985-11-11 | 1994-01-12 | シャープ株式会社 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
| JPH0810174B2 (ja) * | 1987-11-10 | 1996-01-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH01115527U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-03 | ||
| JPH07111991B2 (ja) * | 1988-12-05 | 1995-11-29 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハプローバ |
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