JPH05134227A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents

液晶表示パネルの検査装置

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JPH05134227A
JPH05134227A JP32396191A JP32396191A JPH05134227A JP H05134227 A JPH05134227 A JP H05134227A JP 32396191 A JP32396191 A JP 32396191A JP 32396191 A JP32396191 A JP 32396191A JP H05134227 A JPH05134227 A JP H05134227A
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Norihide Yamaguchi
憲栄 山口
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Micronics Japan Co Ltd
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NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Micronics Japan Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶表示パネルの位置決め時、パネルの裏面
をアームに接触させないようにすることにある。 【構成】 検査すべき液晶表示パネルの位置決めをする
第1のステーションと、前記パネルの検査をする第2の
ステーションと、前記パネルを第1のステーションから
前記第2のステーションへおよびその逆に移すアームで
あって前記パネルを吸着する吸着面および該吸着面に開
口された穴を有するアームと、真空源と、圧縮空気源
と、前記穴を前記真空源および前記圧縮気体源に選択的
に接続する手段とを含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルの良否
を検査する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】製作された液晶表示パネルを検査する装
置は、液晶表示パネルの端子に当接される複数のプロー
ブを備える検査ユニットを備えている。プローブの配列
ピッチは、液晶表示パネルの配列ピッチと同様に非常に
小さい。このため、この種の検査装置では、検査すべき
液晶表示パネルを検査装置、特に検査ユニットに対し正
確に配置しなければならない。
【0003】しかし、検査ユニットは、検査ステーショ
ンへの液晶表示パネルの配置、検査ステーションからの
液晶表示パネルの除去、および検査装置に対する液晶表
示パネルの位置決め等の妨げとなる。このため、液晶表
示パネルの検査装置は、一般に、液晶表示パネルの位置
決めをする第1のステーションと、液晶表示パネルの検
査をする第2のステーションとを備えており、また液晶
表示パネルをアームにより第1のステーションから第2
のステーションへおよびその逆に移している。
【0004】公知の検査装置において、検査すべき液晶
表示パネルは、先ず、第1のステーションに傾斜された
状態に配置され、該第1のステーションにおいて検査装
置に対して縦横の位置決めをされ、次いで、アームによ
り第2のステーションへ移され、該第2のステーション
において検査をされ、その後、アームにより第2のステ
ーションから第1のステーションへ戻され、該第1のス
テーションから除去される。第1のステーションにおけ
る位置決め時、液晶表示パネルは、該液晶表示パネルが
倒れないようにその裏面においてアームに受けられ、次
いでその状態で位置決め用の複数のストッパに当接する
までアームに対して移動されることにより、位置決めを
される。
【0005】しかし、従来の検査装置では、液晶表示パ
ネルの位置決め時、液晶表示パネルの裏面がアームに接
触された状態で液晶表示パネルがアームに対して移動さ
れるから、液晶表示パネルの裏面に傷等が形成されやす
い。
【0006】
【解決しようとする課題】本発明は、液晶表示パネルの
位置決め時、液晶表示パネルの裏面をアームに接触させ
ないようにすることを目的とする。
【0007】
【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、検査す
べき液晶表示パネルの位置決めをする第1のステーショ
ンと、前記パネルの検査をする第2のステーションと、
前記パネルを第1のステーションから前記第2のステー
ションへおよびその逆に移すアームであって前記パネル
を吸着する吸着面および該吸着面に開口された穴を有す
るアームと、真空源と、圧縮空気源と、前記穴を前記真
空源および前記圧縮気体源に選択的に接続する手段とを
含むことを特徴とする。
【0008】検査すべき液晶表示パネルは、先ず、第1
のステーションに傾斜された状態に配置され、該第1の
ステーションにおいて検査装置に対して縦横の位置決め
をされ、次いで、アームにより第2のステーションへ移
され、該第2のステーションにおいて検査をされ、その
後、アームにより第2のステーションから第1のステー
ションへ戻され、該第1のステーションから除去され
る。
【0009】第1のステーションにおける位置決めの
間、アームの穴が圧縮気体源に接続され、空気等の気体
がアームの穴からパネルに向けて噴出される。これによ
り、液晶表示パネルは、該パネルが倒れないようにその
裏面においてアームに該アームから噴出される気体を介
して受けられるが、アームに当接されない。
【0010】このため、本発明によれば、位置決め時
に、パネルとアームとの接触に起因するパネルの損傷を
防止することができる。
【0011】前記接続手段は、前記真空源と前記穴とに
接続された第1の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴と
に接続された第2の電磁弁とを含むことができる。さら
に、前記第1のステーションに配置されかつ前記パネル
の位置決めのための複数のストッパを含むことができ
る。前記アームに複数の前記穴を形成し、少なくとも1
つの前記穴を第1の弁により前記真空源に切離し可能に
接続し、他の少なくとも1つの前記穴を第2の弁により
前記圧縮気体源に切離し可能に接続することができる。
【0012】
【実施例】図1および図2を参照するに、検査装置10
は、床12に設置される支持台14と、該支持台の上に
据え付けられた筐体16とを含む。図3に示すように、
検査すべき液晶表示パネル18は、四角形の形を有す
る。
【0013】筐体16には、液晶表示パネル18(図3
参照)の位置決めをする第1のステーション20と、液
晶表示パネルの特性検査をする第2のステーション22
とで形成されている。筐体16のうち、第1のステーシ
ョン20、第2のステーション22に対応する箇所は矩
形に開口されている。
【0014】第1のステーション20には位置決めユニ
ット26が配置されており、第2のステーション22に
は検査ユニット28が配置されている。
【0015】図1および図3に示すように、位置決めユ
ニット26は、筐体16にねじ止めされたコ字状のベー
ス部材32と、該ベース部材にねじ止めされた位置決め
用の細長い一対のストッパ34と、液晶表示パネルを移
動させるアーム36と、ベース部材32と各ストッパ3
4との間に配置されたシート38とを備える。
【0016】図1に示すように、検査ユニット28は、
筐体16にねじ止めされたベース部材40と、該ベース
部材にねじ止めされた複数のプローブ組立体42とを備
える。各プローブ組立体42は、検査すべき液晶表示パ
ネルの端子に接触される複数のプローブを有する。
【0017】図3〜図5に示すように、位置決めユニッ
ト26のベース部材32は、第1のステーション20の
対応する開口の3つの縁部に沿うように配置されてい
る。ストッパ34は、それ等のガイド面の延長線が互い
に直交するように、配置されている。各シート38は、
液晶表示パネル18を保護すべく、ベース32の内側の
縁部に沿って伸びる。
【0018】アーム36の先端部の表面は、液晶表示パ
ネル18を吸着する吸着面として作用する。アーム36
は、液晶表示パネル18の裏面を受けるべく吸着面が正
面の側となるように筐体16内に配置されており、また
図示しない移動機構に基端部において支持されており、
さらに前記移動機構により3次元的に移動される。前記
移動機構も、筐体16内に配置されている。
【0019】図6〜図8に示すように、アーム36は、
互いに連通された複数の第1の溝44を先端部表面すな
わち吸着面に有するとともに、互いに連通された複数の
第2の溝46を先端部裏面に有する。第1および第2の
溝44,46は、複数の穴48により互いに連通されて
いる。各穴48は、図9に示すように、第1の溝44の
側が第2の溝46の側より細い形状を有する。
【0020】第2の溝46は、アーム36の先端部裏面
の側に気密的にねじ止めされた板50により閉鎖されて
いる。第2の溝46は、また、アーム36に形成された
流路52に連通されている。流路52は、図10に示す
真空ポンプのような真空源54とコンプレッサのような
高圧空気源56とに連結されている。
【0021】図10に示すように、アーム36と真空源
54との間には第1の電磁弁58が配置されており、ま
たアーム36と高圧空気源56との間には第2の電磁弁
60および圧力調整器62とが配置されている。このた
め、アーム36の溝44,46は、電磁弁58,60に
より、真空源54および高圧空気源56に選択的に接続
される。
【0022】検査装置10は、先ず、第1の電磁弁58
が閉鎖され、第2の電磁弁60が開放された状態で、待
機する。このため、待機時には、アーム36の溝44,
46が高圧空気源56に接続されるから、高圧空気がア
ーム36の吸着面から噴出されている。
【0023】この状態で、液晶表示パネル18が作業者
により第1のステーション20に配置される。このと
き、液晶表示パネル18は、アーム36に当接しないよ
うにアーム36からわずかに離されているが、アーム3
6およびそれから噴出される高圧空気により傾斜した状
態に維持される。
【0024】次いで、液晶表示パネルは、位置決めをす
べく、作業者により両ストッパ34に向けて移動され
る。このとき、液晶表示パネル18はアーム36からわ
ずかに離された状態で移動されるから、液晶表示パネル
18とアーム36との接触に起因する液晶表示パネル1
8の損傷が防止される。
【0025】次いで、第1の電磁弁58が開放され、第
2の電磁弁60が閉鎖される。これにより、アーム36
の溝44,46が真空源54に接続されるから、液晶表
示パネル18は、これの裏面をアーム36の吸着面に吸
着される。
【0026】次いで、液晶表示パネル18は、アーム3
6に吸着された状態で所定のアライニング処理をされ、
第2のステーション22へ移動される。第2のステーシ
ョンにおいて、液晶表示パネル18は所定の検査をされ
る。このとき、液晶表示パネル18は、アーム36から
開放され、その代りに図示しない検査器具に吸着された
状態で検査ユニット、特にプローブに押圧される。
【0027】所定の検査が終了すると、液晶表示パネル
18は、再びアーム36に吸着されるとともに前記検査
器具から開放され、第1のステーション20に戻され、
第1のステーション20においてアーム36から開放さ
れ、作業者により第1のステーション20から取り去ら
れる。
【0028】アーム36からの液晶表示パネル18の開
放は、第1の電磁弁58を閉鎖状態にし、第2の電磁弁
60を開放状態にすることにより行なわれる。
【0029】なお、上記の実施例では、各穴48を真空
源54と高圧空気源56とに接続しているが、真空源5
4に接続する穴と、高圧空気源56に接続する穴とを別
にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の検査装置の一実施例を示し正面図であ
る。
【図2】図1に示す検査装置の側面図である。
【図3】位置決めユニットの一実施例を示す正面図であ
る。
【図4】図3の4−4線に沿って得た断面図である。
【図5】図4の部位5の拡大図である。
【図6】アームの先端部の一実施例を示す正面図であ
る。
【図7】図6に示すアームの底面図である。
【図8】図6に示すアームの背面である。
【図9】図8の9−9線に沿って得た拡大断面図であ
る。
【図10】流体回路の一実施例を示す図である。
【符号の説明】
10 検査装置 18 液晶表示パネル 20 第1のステーション 22 第2のステーション 26 位置決めユニット 28 検査ユニット 32 ベース 34 ストッパ 36 アーム 44,46 溝 48 穴 54 真空源 56 高圧空気源 58 第1の電磁弁 60 第2の電磁弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液晶表示パネルの位置決めをする第1の
    ステーションと、前記パネルの検査をする第2のステー
    ションと、前記パネルを第1のステーションから前記第
    2のステーションへおよびその逆に移すアームであって
    前記パネルを吸着する吸着面および該吸着面に開口され
    た穴を有するアームと、真空源と、圧縮空気源と、前記
    穴を前記真空源および前記圧縮気体源に選択的に接続す
    る手段とを含む、液晶表示パネルの検査装置。
  2. 【請求項2】 前記接続手段は、前記真空源と前記穴と
    に接続された第1の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴
    とに接続された第2の電磁弁とを含む、請求項1に記載
    の液晶表示パネルの検査装置。
  3. 【請求項3】 さらに、前記第1のステーションに配置
    されかつ前記パネルの位置決めのための複数のストッパ
    を含む、請求項1に記載の液晶表示パネルの検査装置。
  4. 【請求項4】 前記アームは複数の前記穴を有し、前記
    接続手段は、少なくとも1つの前記穴を前記真空源に切
    離し可能に接続する第1の弁と、他の少なくとも1つの
    前記穴を前記圧縮気体源に切離し可能に接続する第2の
    弁とを含む、請求項1に記載の液晶表示パネルの検査装
    置。
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