JPH05134227A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents
液晶表示パネルの検査装置Info
- Publication number
- JPH05134227A JPH05134227A JP32396191A JP32396191A JPH05134227A JP H05134227 A JPH05134227 A JP H05134227A JP 32396191 A JP32396191 A JP 32396191A JP 32396191 A JP32396191 A JP 32396191A JP H05134227 A JPH05134227 A JP H05134227A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶表示パネルの位置決め時、パネルの裏面
をアームに接触させないようにすることにある。 【構成】 検査すべき液晶表示パネルの位置決めをする
第１のステーションと、前記パネルの検査をする第２の
ステーションと、前記パネルを第１のステーションから
前記第２のステーションへおよびその逆に移すアームで
あって前記パネルを吸着する吸着面および該吸着面に開
口された穴を有するアームと、真空源と、圧縮空気源
と、前記穴を前記真空源および前記圧縮気体源に選択的
に接続する手段とを含むことを特徴とする。
をアームに接触させないようにすることにある。 【構成】 検査すべき液晶表示パネルの位置決めをする
第１のステーションと、前記パネルの検査をする第２の
ステーションと、前記パネルを第１のステーションから
前記第２のステーションへおよびその逆に移すアームで
あって前記パネルを吸着する吸着面および該吸着面に開
口された穴を有するアームと、真空源と、圧縮空気源
と、前記穴を前記真空源および前記圧縮気体源に選択的
に接続する手段とを含むことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルの良否
を検査する装置に関する。
を検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】製作された液晶表示パネルを検査する装
置は、液晶表示パネルの端子に当接される複数のプロー
ブを備える検査ユニットを備えている。プローブの配列
ピッチは、液晶表示パネルの配列ピッチと同様に非常に
小さい。このため、この種の検査装置では、検査すべき
液晶表示パネルを検査装置、特に検査ユニットに対し正
確に配置しなければならない。
置は、液晶表示パネルの端子に当接される複数のプロー
ブを備える検査ユニットを備えている。プローブの配列
ピッチは、液晶表示パネルの配列ピッチと同様に非常に
小さい。このため、この種の検査装置では、検査すべき
液晶表示パネルを検査装置、特に検査ユニットに対し正
確に配置しなければならない。
【０００３】しかし、検査ユニットは、検査ステーショ
ンへの液晶表示パネルの配置、検査ステーションからの
液晶表示パネルの除去、および検査装置に対する液晶表
示パネルの位置決め等の妨げとなる。このため、液晶表
示パネルの検査装置は、一般に、液晶表示パネルの位置
決めをする第１のステーションと、液晶表示パネルの検
査をする第２のステーションとを備えており、また液晶
表示パネルをアームにより第１のステーションから第２
のステーションへおよびその逆に移している。
ンへの液晶表示パネルの配置、検査ステーションからの
液晶表示パネルの除去、および検査装置に対する液晶表
示パネルの位置決め等の妨げとなる。このため、液晶表
示パネルの検査装置は、一般に、液晶表示パネルの位置
決めをする第１のステーションと、液晶表示パネルの検
査をする第２のステーションとを備えており、また液晶
表示パネルをアームにより第１のステーションから第２
のステーションへおよびその逆に移している。
【０００４】公知の検査装置において、検査すべき液晶
表示パネルは、先ず、第１のステーションに傾斜された
状態に配置され、該第１のステーションにおいて検査装
置に対して縦横の位置決めをされ、次いで、アームによ
り第２のステーションへ移され、該第２のステーション
において検査をされ、その後、アームにより第２のステ
ーションから第１のステーションへ戻され、該第１のス
テーションから除去される。第１のステーションにおけ
る位置決め時、液晶表示パネルは、該液晶表示パネルが
倒れないようにその裏面においてアームに受けられ、次
いでその状態で位置決め用の複数のストッパに当接する
までアームに対して移動されることにより、位置決めを
される。
表示パネルは、先ず、第１のステーションに傾斜された
状態に配置され、該第１のステーションにおいて検査装
置に対して縦横の位置決めをされ、次いで、アームによ
り第２のステーションへ移され、該第２のステーション
において検査をされ、その後、アームにより第２のステ
ーションから第１のステーションへ戻され、該第１のス
テーションから除去される。第１のステーションにおけ
る位置決め時、液晶表示パネルは、該液晶表示パネルが
倒れないようにその裏面においてアームに受けられ、次
いでその状態で位置決め用の複数のストッパに当接する
までアームに対して移動されることにより、位置決めを
される。
【０００５】しかし、従来の検査装置では、液晶表示パ
ネルの位置決め時、液晶表示パネルの裏面がアームに接
触された状態で液晶表示パネルがアームに対して移動さ
れるから、液晶表示パネルの裏面に傷等が形成されやす
い。
ネルの位置決め時、液晶表示パネルの裏面がアームに接
触された状態で液晶表示パネルがアームに対して移動さ
れるから、液晶表示パネルの裏面に傷等が形成されやす
い。
【０００６】
【解決しようとする課題】本発明は、液晶表示パネルの
位置決め時、液晶表示パネルの裏面をアームに接触させ
ないようにすることを目的とする。
位置決め時、液晶表示パネルの裏面をアームに接触させ
ないようにすることを目的とする。
【０００７】
【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、検査す
べき液晶表示パネルの位置決めをする第１のステーショ
ンと、前記パネルの検査をする第２のステーションと、
前記パネルを第１のステーションから前記第２のステー
ションへおよびその逆に移すアームであって前記パネル
を吸着する吸着面および該吸着面に開口された穴を有す
るアームと、真空源と、圧縮空気源と、前記穴を前記真
空源および前記圧縮気体源に選択的に接続する手段とを
含むことを特徴とする。
べき液晶表示パネルの位置決めをする第１のステーショ
ンと、前記パネルの検査をする第２のステーションと、
前記パネルを第１のステーションから前記第２のステー
ションへおよびその逆に移すアームであって前記パネル
を吸着する吸着面および該吸着面に開口された穴を有す
るアームと、真空源と、圧縮空気源と、前記穴を前記真
空源および前記圧縮気体源に選択的に接続する手段とを
含むことを特徴とする。
【０００８】検査すべき液晶表示パネルは、先ず、第１
のステーションに傾斜された状態に配置され、該第１の
ステーションにおいて検査装置に対して縦横の位置決め
をされ、次いで、アームにより第２のステーションへ移
され、該第２のステーションにおいて検査をされ、その
後、アームにより第２のステーションから第１のステー
ションへ戻され、該第１のステーションから除去され
る。
のステーションに傾斜された状態に配置され、該第１の
ステーションにおいて検査装置に対して縦横の位置決め
をされ、次いで、アームにより第２のステーションへ移
され、該第２のステーションにおいて検査をされ、その
後、アームにより第２のステーションから第１のステー
ションへ戻され、該第１のステーションから除去され
る。
【０００９】第１のステーションにおける位置決めの
間、アームの穴が圧縮気体源に接続され、空気等の気体
がアームの穴からパネルに向けて噴出される。これによ
り、液晶表示パネルは、該パネルが倒れないようにその
裏面においてアームに該アームから噴出される気体を介
して受けられるが、アームに当接されない。
間、アームの穴が圧縮気体源に接続され、空気等の気体
がアームの穴からパネルに向けて噴出される。これによ
り、液晶表示パネルは、該パネルが倒れないようにその
裏面においてアームに該アームから噴出される気体を介
して受けられるが、アームに当接されない。
【００１０】このため、本発明によれば、位置決め時
に、パネルとアームとの接触に起因するパネルの損傷を
防止することができる。
に、パネルとアームとの接触に起因するパネルの損傷を
防止することができる。
【００１１】前記接続手段は、前記真空源と前記穴とに
接続された第１の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴と
に接続された第２の電磁弁とを含むことができる。さら
に、前記第１のステーションに配置されかつ前記パネル
の位置決めのための複数のストッパを含むことができ
る。前記アームに複数の前記穴を形成し、少なくとも１
つの前記穴を第１の弁により前記真空源に切離し可能に
接続し、他の少なくとも１つの前記穴を第２の弁により
前記圧縮気体源に切離し可能に接続することができる。
接続された第１の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴と
に接続された第２の電磁弁とを含むことができる。さら
に、前記第１のステーションに配置されかつ前記パネル
の位置決めのための複数のストッパを含むことができ
る。前記アームに複数の前記穴を形成し、少なくとも１
つの前記穴を第１の弁により前記真空源に切離し可能に
接続し、他の少なくとも１つの前記穴を第２の弁により
前記圧縮気体源に切離し可能に接続することができる。
【００１２】
【実施例】図１および図２を参照するに、検査装置１０
は、床１２に設置される支持台１４と、該支持台の上に
据え付けられた筐体１６とを含む。図３に示すように、
検査すべき液晶表示パネル１８は、四角形の形を有す
る。
は、床１２に設置される支持台１４と、該支持台の上に
据え付けられた筐体１６とを含む。図３に示すように、
検査すべき液晶表示パネル１８は、四角形の形を有す
る。
【００１３】筐体１６には、液晶表示パネル１８（図３
参照）の位置決めをする第１のステーション２０と、液
晶表示パネルの特性検査をする第２のステーション２２
とで形成されている。筐体１６のうち、第１のステーシ
ョン２０、第２のステーション２２に対応する箇所は矩
形に開口されている。
参照）の位置決めをする第１のステーション２０と、液
晶表示パネルの特性検査をする第２のステーション２２
とで形成されている。筐体１６のうち、第１のステーシ
ョン２０、第２のステーション２２に対応する箇所は矩
形に開口されている。
【００１４】第１のステーション２０には位置決めユニ
ット２６が配置されており、第２のステーション２２に
は検査ユニット２８が配置されている。
ット２６が配置されており、第２のステーション２２に
は検査ユニット２８が配置されている。
【００１５】図１および図３に示すように、位置決めユ
ニット２６は、筐体１６にねじ止めされたコ字状のベー
ス部材３２と、該ベース部材にねじ止めされた位置決め
用の細長い一対のストッパ３４と、液晶表示パネルを移
動させるアーム３６と、ベース部材３２と各ストッパ３
４との間に配置されたシート３８とを備える。
ニット２６は、筐体１６にねじ止めされたコ字状のベー
ス部材３２と、該ベース部材にねじ止めされた位置決め
用の細長い一対のストッパ３４と、液晶表示パネルを移
動させるアーム３６と、ベース部材３２と各ストッパ３
４との間に配置されたシート３８とを備える。
【００１６】図１に示すように、検査ユニット２８は、
筐体１６にねじ止めされたベース部材４０と、該ベース
部材にねじ止めされた複数のプローブ組立体４２とを備
える。各プローブ組立体４２は、検査すべき液晶表示パ
ネルの端子に接触される複数のプローブを有する。
筐体１６にねじ止めされたベース部材４０と、該ベース
部材にねじ止めされた複数のプローブ組立体４２とを備
える。各プローブ組立体４２は、検査すべき液晶表示パ
ネルの端子に接触される複数のプローブを有する。
【００１７】図３〜図５に示すように、位置決めユニッ
ト２６のベース部材３２は、第１のステーション２０の
対応する開口の３つの縁部に沿うように配置されてい
る。ストッパ３４は、それ等のガイド面の延長線が互い
に直交するように、配置されている。各シート３８は、
液晶表示パネル１８を保護すべく、ベース３２の内側の
縁部に沿って伸びる。
ト２６のベース部材３２は、第１のステーション２０の
対応する開口の３つの縁部に沿うように配置されてい
る。ストッパ３４は、それ等のガイド面の延長線が互い
に直交するように、配置されている。各シート３８は、
液晶表示パネル１８を保護すべく、ベース３２の内側の
縁部に沿って伸びる。
【００１８】アーム３６の先端部の表面は、液晶表示パ
ネル１８を吸着する吸着面として作用する。アーム３６
は、液晶表示パネル１８の裏面を受けるべく吸着面が正
面の側となるように筐体１６内に配置されており、また
図示しない移動機構に基端部において支持されており、
さらに前記移動機構により３次元的に移動される。前記
移動機構も、筐体１６内に配置されている。
ネル１８を吸着する吸着面として作用する。アーム３６
は、液晶表示パネル１８の裏面を受けるべく吸着面が正
面の側となるように筐体１６内に配置されており、また
図示しない移動機構に基端部において支持されており、
さらに前記移動機構により３次元的に移動される。前記
移動機構も、筐体１６内に配置されている。
【００１９】図６〜図８に示すように、アーム３６は、
互いに連通された複数の第１の溝４４を先端部表面すな
わち吸着面に有するとともに、互いに連通された複数の
第２の溝４６を先端部裏面に有する。第１および第２の
溝４４，４６は、複数の穴４８により互いに連通されて
いる。各穴４８は、図９に示すように、第１の溝４４の
側が第２の溝４６の側より細い形状を有する。
互いに連通された複数の第１の溝４４を先端部表面すな
わち吸着面に有するとともに、互いに連通された複数の
第２の溝４６を先端部裏面に有する。第１および第２の
溝４４，４６は、複数の穴４８により互いに連通されて
いる。各穴４８は、図９に示すように、第１の溝４４の
側が第２の溝４６の側より細い形状を有する。
【００２０】第２の溝４６は、アーム３６の先端部裏面
の側に気密的にねじ止めされた板５０により閉鎖されて
いる。第２の溝４６は、また、アーム３６に形成された
流路５２に連通されている。流路５２は、図１０に示す
真空ポンプのような真空源５４とコンプレッサのような
高圧空気源５６とに連結されている。
の側に気密的にねじ止めされた板５０により閉鎖されて
いる。第２の溝４６は、また、アーム３６に形成された
流路５２に連通されている。流路５２は、図１０に示す
真空ポンプのような真空源５４とコンプレッサのような
高圧空気源５６とに連結されている。
【００２１】図１０に示すように、アーム３６と真空源
５４との間には第１の電磁弁５８が配置されており、ま
たアーム３６と高圧空気源５６との間には第２の電磁弁
６０および圧力調整器６２とが配置されている。このた
め、アーム３６の溝４４，４６は、電磁弁５８，６０に
より、真空源５４および高圧空気源５６に選択的に接続
される。
５４との間には第１の電磁弁５８が配置されており、ま
たアーム３６と高圧空気源５６との間には第２の電磁弁
６０および圧力調整器６２とが配置されている。このた
め、アーム３６の溝４４，４６は、電磁弁５８，６０に
より、真空源５４および高圧空気源５６に選択的に接続
される。
【００２２】検査装置１０は、先ず、第１の電磁弁５８
が閉鎖され、第２の電磁弁６０が開放された状態で、待
機する。このため、待機時には、アーム３６の溝４４，
４６が高圧空気源５６に接続されるから、高圧空気がア
ーム３６の吸着面から噴出されている。
が閉鎖され、第２の電磁弁６０が開放された状態で、待
機する。このため、待機時には、アーム３６の溝４４，
４６が高圧空気源５６に接続されるから、高圧空気がア
ーム３６の吸着面から噴出されている。
【００２３】この状態で、液晶表示パネル１８が作業者
により第１のステーション２０に配置される。このと
き、液晶表示パネル１８は、アーム３６に当接しないよ
うにアーム３６からわずかに離されているが、アーム３
６およびそれから噴出される高圧空気により傾斜した状
態に維持される。
により第１のステーション２０に配置される。このと
き、液晶表示パネル１８は、アーム３６に当接しないよ
うにアーム３６からわずかに離されているが、アーム３
６およびそれから噴出される高圧空気により傾斜した状
態に維持される。
【００２４】次いで、液晶表示パネルは、位置決めをす
べく、作業者により両ストッパ３４に向けて移動され
る。このとき、液晶表示パネル１８はアーム３６からわ
ずかに離された状態で移動されるから、液晶表示パネル
１８とアーム３６との接触に起因する液晶表示パネル１
８の損傷が防止される。
べく、作業者により両ストッパ３４に向けて移動され
る。このとき、液晶表示パネル１８はアーム３６からわ
ずかに離された状態で移動されるから、液晶表示パネル
１８とアーム３６との接触に起因する液晶表示パネル１
８の損傷が防止される。
【００２５】次いで、第１の電磁弁５８が開放され、第
２の電磁弁６０が閉鎖される。これにより、アーム３６
の溝４４，４６が真空源５４に接続されるから、液晶表
示パネル１８は、これの裏面をアーム３６の吸着面に吸
着される。
２の電磁弁６０が閉鎖される。これにより、アーム３６
の溝４４，４６が真空源５４に接続されるから、液晶表
示パネル１８は、これの裏面をアーム３６の吸着面に吸
着される。
【００２６】次いで、液晶表示パネル１８は、アーム３
６に吸着された状態で所定のアライニング処理をされ、
第２のステーション２２へ移動される。第２のステーシ
ョンにおいて、液晶表示パネル１８は所定の検査をされ
る。このとき、液晶表示パネル１８は、アーム３６から
開放され、その代りに図示しない検査器具に吸着された
状態で検査ユニット、特にプローブに押圧される。
６に吸着された状態で所定のアライニング処理をされ、
第２のステーション２２へ移動される。第２のステーシ
ョンにおいて、液晶表示パネル１８は所定の検査をされ
る。このとき、液晶表示パネル１８は、アーム３６から
開放され、その代りに図示しない検査器具に吸着された
状態で検査ユニット、特にプローブに押圧される。
【００２７】所定の検査が終了すると、液晶表示パネル
１８は、再びアーム３６に吸着されるとともに前記検査
器具から開放され、第１のステーション２０に戻され、
第１のステーション２０においてアーム３６から開放さ
れ、作業者により第１のステーション２０から取り去ら
れる。
１８は、再びアーム３６に吸着されるとともに前記検査
器具から開放され、第１のステーション２０に戻され、
第１のステーション２０においてアーム３６から開放さ
れ、作業者により第１のステーション２０から取り去ら
れる。
【００２８】アーム３６からの液晶表示パネル１８の開
放は、第１の電磁弁５８を閉鎖状態にし、第２の電磁弁
６０を開放状態にすることにより行なわれる。
放は、第１の電磁弁５８を閉鎖状態にし、第２の電磁弁
６０を開放状態にすることにより行なわれる。
【００２９】なお、上記の実施例では、各穴４８を真空
源５４と高圧空気源５６とに接続しているが、真空源５
４に接続する穴と、高圧空気源５６に接続する穴とを別
にしてもよい。
源５４と高圧空気源５６とに接続しているが、真空源５
４に接続する穴と、高圧空気源５６に接続する穴とを別
にしてもよい。
【図１】本発明の検査装置の一実施例を示し正面図であ
る。
る。
【図２】図１に示す検査装置の側面図である。
【図３】位置決めユニットの一実施例を示す正面図であ
る。
る。
【図４】図３の４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図４の部位５の拡大図である。
【図６】アームの先端部の一実施例を示す正面図であ
る。
る。
【図７】図６に示すアームの底面図である。
【図８】図６に示すアームの背面である。
【図９】図８の９−９線に沿って得た拡大断面図であ
る。
る。
【図１０】流体回路の一実施例を示す図である。
１０ 検査装置 １８ 液晶表示パネル ２０ 第１のステーション ２２ 第２のステーション ２６ 位置決めユニット ２８ 検査ユニット ３２ ベース ３４ ストッパ ３６ アーム ４４，４６ 溝 ４８ 穴 ５４ 真空源 ５６ 高圧空気源 ５８ 第１の電磁弁 ６０ 第２の電磁弁
Claims (4)
- 【請求項１】 液晶表示パネルの位置決めをする第１の
ステーションと、前記パネルの検査をする第２のステー
ションと、前記パネルを第１のステーションから前記第
２のステーションへおよびその逆に移すアームであって
前記パネルを吸着する吸着面および該吸着面に開口され
た穴を有するアームと、真空源と、圧縮空気源と、前記
穴を前記真空源および前記圧縮気体源に選択的に接続す
る手段とを含む、液晶表示パネルの検査装置。 - 【請求項２】 前記接続手段は、前記真空源と前記穴と
に接続された第１の電磁弁と、前記圧縮気体源と前記穴
とに接続された第２の電磁弁とを含む、請求項１に記載
の液晶表示パネルの検査装置。 - 【請求項３】 さらに、前記第１のステーションに配置
されかつ前記パネルの位置決めのための複数のストッパ
を含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。 - 【請求項４】 前記アームは複数の前記穴を有し、前記
接続手段は、少なくとも１つの前記穴を前記真空源に切
離し可能に接続する第１の弁と、他の少なくとも１つの
前記穴を前記圧縮気体源に切離し可能に接続する第２の
弁とを含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3323961A JP2573534B2 (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3323961A JP2573534B2 (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05134227A true JPH05134227A (ja) | 1993-05-28 |
| JP2573534B2 JP2573534B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=18160565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3323961A Expired - Fee Related JP2573534B2 (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573534B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62112044A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Sharp Corp | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
| JPH01124740A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH01115527U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-03 | ||
| JPH02263451A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-10-26 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプローバ |
| JPH03101119A (ja) * | 1989-09-14 | 1991-04-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 基板チャック機構 |
| JPH03142134A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-17 | Sharp Corp | 位置決め装置 |
-
1991
- 1991-11-13 JP JP3323961A patent/JP2573534B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62112044A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Sharp Corp | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
| JPH01124740A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH01115527U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-03 | ||
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| JPH03101119A (ja) * | 1989-09-14 | 1991-04-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 基板チャック機構 |
| JPH03142134A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-17 | Sharp Corp | 位置決め装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2573534B2 (ja) | 1997-01-22 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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