JP2570580Y2 - ウェーハ処理装置 - Google Patents
ウェーハ処理装置Info
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- JP2570580Y2 JP2570580Y2 JP1991067275U JP6727591U JP2570580Y2 JP 2570580 Y2 JP2570580 Y2 JP 2570580Y2 JP 1991067275 U JP1991067275 U JP 1991067275U JP 6727591 U JP6727591 U JP 6727591U JP 2570580 Y2 JP2570580 Y2 JP 2570580Y2
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- carrier
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、例えばイオン注入装
置のように、処理室内でウェーハにイオン注入等の処理
を施すウェーハ処理装置に関し、より具体的には、その
ウェーハ搬送システムの改良に関する。
置のように、処理室内でウェーハにイオン注入等の処理
を施すウェーハ処理装置に関し、より具体的には、その
ウェーハ搬送システムの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のウェーハ処理装置の従来例を図
３に示す。このウェーハ処理装置は、ウェーハ２を処理
する（例えばイオンビームを照射してイオン注入を行
う）処理室４と、この処理室４に真空弁８をそれぞれ介
して隣接されておりかつ大気圧側との間にも真空弁１０
がそれぞれ設けられた二つのエアロック室６を備えてい
る。両エアロック室６は、ウェーハ２を大気圧側と処理
室４との間で出し入れするためのものである。各室４、
６は、図示しない真空排気装置によってそれぞれ真空排
気される。
３に示す。このウェーハ処理装置は、ウェーハ２を処理
する（例えばイオンビームを照射してイオン注入を行
う）処理室４と、この処理室４に真空弁８をそれぞれ介
して隣接されておりかつ大気圧側との間にも真空弁１０
がそれぞれ設けられた二つのエアロック室６を備えてい
る。両エアロック室６は、ウェーハ２を大気圧側と処理
室４との間で出し入れするためのものである。各室４、
６は、図示しない真空排気装置によってそれぞれ真空排
気される。
【０００３】各エアロック室６内には、処理前または処
理後の複数枚のウェーハ２を収納可能な一時預けキャリ
ア１２がそれぞれ設けられている。
理後の複数枚のウェーハ２を収納可能な一時預けキャリ
ア１２がそれぞれ設けられている。
【０００４】両エアロック室６の前には、固定部２１お
よびその上で矢印Ａのようにスライドする移動台２２か
ら成るリニアモータ２０が設けられており、この移動台
２２にウェーハ搬送ロボット１４が載せられている。
よびその上で矢印Ａのようにスライドする移動台２２か
ら成るリニアモータ２０が設けられており、この移動台
２２にウェーハ搬送ロボット１４が載せられている。
【０００５】ウェーハ搬送ロボット１４は、例えば図４
に示すような、三つの回転可能なアーム１６〜１８を有
し、かつそれらを上下動させることができる多関節ロボ
ットである。従って、アーム１８の先端部のウェーハ支
持部（フォークと呼ばれるものを設ける場合もある）
を、水平面内で二次元的に移動かつ上下動させることが
できる。
に示すような、三つの回転可能なアーム１６〜１８を有
し、かつそれらを上下動させることができる多関節ロボ
ットである。従って、アーム１８の先端部のウェーハ支
持部（フォークと呼ばれるものを設ける場合もある）
を、水平面内で二次元的に移動かつ上下動させることが
できる。
【０００６】リニアモータ２０のエアロック室６とは反
対側にはキャリアステージ３０が設けられており、そこ
に、この例では四つのキャリア３２が載置されている。
各キャリア３２は、それぞれ、複数枚のウェーハ２を収
納可能である。
対側にはキャリアステージ３０が設けられており、そこ
に、この例では四つのキャリア３２が載置されている。
各キャリア３２は、それぞれ、複数枚のウェーハ２を収
納可能である。
【０００７】また、リニアモータ２０のスライド方向横
には、ウェーハ２を吸着する吸着ヘッド２６と、ウェー
ハ２の中心やオリエンテーションフラットを検出するセ
ンサー部２８とを有していて、ウェーハ２のセンタリン
グおよびオリエンテーションフラットの位置合わせを行
うオリフラ合わせ装置２４が設けられている。
には、ウェーハ２を吸着する吸着ヘッド２６と、ウェー
ハ２の中心やオリエンテーションフラットを検出するセ
ンサー部２８とを有していて、ウェーハ２のセンタリン
グおよびオリエンテーションフラットの位置合わせを行
うオリフラ合わせ装置２４が設けられている。
【０００８】このウェーハ処理装置の動作例を説明する
と、例えば図３の右側のエアロック室６側をロード側
（供給側）とし、左側のエアロック室６側をアンロード
側（回収側）とした場合、キャリアステージ３０の右半
分には未処理のウェーハ２を収納したキャリア３２が設
置され、左半分には空のキャリア３２が設置される（そ
れぞれキャリア３２を二つとしているのは、例えばそれ
らを処理を中断することなく交互に交換できるようにす
るためである）。
と、例えば図３の右側のエアロック室６側をロード側
（供給側）とし、左側のエアロック室６側をアンロード
側（回収側）とした場合、キャリアステージ３０の右半
分には未処理のウェーハ２を収納したキャリア３２が設
置され、左半分には空のキャリア３２が設置される（そ
れぞれキャリア３２を二つとしているのは、例えばそれ
らを処理を中断することなく交互に交換できるようにす
るためである）。
【０００９】キャリア３２が設置されると、ウェーハ搬
送ロボット１４がロード側の目的のキャリア３２の前ま
でスライドし（より厳密に言うと、リニアモータ２０に
よってロボット１４がスライドさせられ）、そのアーム
１８によって目的のキャリア３２から１枚のウェーハ２
を取り出した後、オリフラ合わせ装置２４の所まで更に
スライドしてそれにウェーハ２を渡す。
送ロボット１４がロード側の目的のキャリア３２の前ま
でスライドし（より厳密に言うと、リニアモータ２０に
よってロボット１４がスライドさせられ）、そのアーム
１８によって目的のキャリア３２から１枚のウェーハ２
を取り出した後、オリフラ合わせ装置２４の所まで更に
スライドしてそれにウェーハ２を渡す。
【００１０】オリフラ合わせ装置２４では、ウェーハ２
のセンタリングとオリエンテーションフラットの位置合
わせが行われ、それが済むと、ウェーハ搬送ロボット１
４は、当該ウェーハ２を取り出し、ロード側のエアロッ
ク室６の前までスライドし、同エアロック室６内の一時
預けキャリア１２にウェーハ２を納める。このとき真空
弁１０は開かれている。
のセンタリングとオリエンテーションフラットの位置合
わせが行われ、それが済むと、ウェーハ搬送ロボット１
４は、当該ウェーハ２を取り出し、ロード側のエアロッ
ク室６の前までスライドし、同エアロック室６内の一時
預けキャリア１２にウェーハ２を納める。このとき真空
弁１０は開かれている。
【００１１】上記のような動作が、ロード側の各キャリ
ア３２のウェーハ２ごとに行われる。
ア３２のウェーハ２ごとに行われる。
【００１２】ロード側の一時預けキャリア１２へ所要枚
数のウェーハ２の収納が完了すると、真空弁１０を閉
じ、同エアロック室６内を真空排気した後、真空弁８を
開いてウェーハ２を処理室４内に図示しない搬送装置に
よって搬送し、そこで所望の処理（例えばイオン注入）
が行われる。
数のウェーハ２の収納が完了すると、真空弁１０を閉
じ、同エアロック室６内を真空排気した後、真空弁８を
開いてウェーハ２を処理室４内に図示しない搬送装置に
よって搬送し、そこで所望の処理（例えばイオン注入）
が行われる。
【００１３】処理後のウェーハ２は、アンロード側のエ
アロック室６内のキャリア１２内に一旦集められ、その
後同エアロック室６の前にスライドしたウェーハ搬送ロ
ボット１４によって目的のキャリア３２に納められる。
アロック室６内のキャリア１２内に一旦集められ、その
後同エアロック室６の前にスライドしたウェーハ搬送ロ
ボット１４によって目的のキャリア３２に納められる。
【００１４】
【考案が解決しようとする課題】上記ウェーハ処理装置
においては、ウェーハ搬送ロボット１４が各キャリア３
２、オリフラ合わせ装置２４および各エアロック室６の
間を移動するため全体の移動距離が非常に長くなってウ
ェーハ搬送時間が長くなり、そのためスループットが低
いという問題がある。
においては、ウェーハ搬送ロボット１４が各キャリア３
２、オリフラ合わせ装置２４および各エアロック室６の
間を移動するため全体の移動距離が非常に長くなってウ
ェーハ搬送時間が長くなり、そのためスループットが低
いという問題がある。
【００１５】一般的にウェーハ搬送時間を短くするため
にウェーハ搬送ロボット１４が載せられた移動台２２を
速く移動するようにスピードを上げたりするが、そのよ
うにすると、移動台２２の急な加速・減速が行われるた
め、オリフラ合わせ装置２４でセンタリングおよびオリ
フラ合わせを行った後のウェーハ２がエアロック室６へ
搬送される時にその中心やオリエンテーションフラット
に位置ずれを生じる可能性がある。
にウェーハ搬送ロボット１４が載せられた移動台２２を
速く移動するようにスピードを上げたりするが、そのよ
うにすると、移動台２２の急な加速・減速が行われるた
め、オリフラ合わせ装置２４でセンタリングおよびオリ
フラ合わせを行った後のウェーハ２がエアロック室６へ
搬送される時にその中心やオリエンテーションフラット
に位置ずれを生じる可能性がある。
【００１６】また、ウェーハ搬送ロボット１４を載せた
移動台２２がスライドすることによって、そのガイド部
等からパーティクル（ごみ等）が発生し、これがウェー
ハ２に付着するという問題もある。
移動台２２がスライドすることによって、そのガイド部
等からパーティクル（ごみ等）が発生し、これがウェー
ハ２に付着するという問題もある。
【００１７】そこでこの考案は、上記のような点を改善
して、スループットの向上、搬送トラブルの低減および
パーティクルの低減を図ることを主たる目的とする。
して、スループットの向上、搬送トラブルの低減および
パーティクルの低減を図ることを主たる目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この考案のウェーハ処理装置は、ウェーハを処理す
る処理室と、この処理室に真空弁をそれぞれ介して隣接
されておりかつ大気圧側との間にも真空弁がそれぞれ設
けられた二つのエアロック室と、両エアロック室内にそ
れぞれ設けられていて、複数枚のウェーハを収納可能な
二つの一時預けキャリアと、両エアロック室の前にそれ
ぞれ設けられていて、ウェーハ支持部を水平面内で二次
元的に移動かつ上下動させる機能をそれぞれ有する二つ
のウェーハ搬送ロボットと、両ロボットの間に設けられ
ていて、ウェーハのセンタリングおよびオリエンテーシ
ョンフラットの位置合わせを行うオリフラ合わせ装置
と、両ウェーハ搬送ロボットのエアロック室とは反対側
にそれぞれ複数台ずつ並設されていて、複数枚のウェー
ハを収納可能なキャリアをそれぞれ装着することがで
き、かつ各キャリアが互いにほぼ平行に向く状態と、対
応するウェーハ搬送ロボットの方に向く状態とに回転可
能なキャリア台とを備えることを特徴とする。
め、この考案のウェーハ処理装置は、ウェーハを処理す
る処理室と、この処理室に真空弁をそれぞれ介して隣接
されておりかつ大気圧側との間にも真空弁がそれぞれ設
けられた二つのエアロック室と、両エアロック室内にそ
れぞれ設けられていて、複数枚のウェーハを収納可能な
二つの一時預けキャリアと、両エアロック室の前にそれ
ぞれ設けられていて、ウェーハ支持部を水平面内で二次
元的に移動かつ上下動させる機能をそれぞれ有する二つ
のウェーハ搬送ロボットと、両ロボットの間に設けられ
ていて、ウェーハのセンタリングおよびオリエンテーシ
ョンフラットの位置合わせを行うオリフラ合わせ装置
と、両ウェーハ搬送ロボットのエアロック室とは反対側
にそれぞれ複数台ずつ並設されていて、複数枚のウェー
ハを収納可能なキャリアをそれぞれ装着することがで
き、かつ各キャリアが互いにほぼ平行に向く状態と、対
応するウェーハ搬送ロボットの方に向く状態とに回転可
能なキャリア台とを備えることを特徴とする。
【００１９】
【作用】上記構成によれば、ウェーハ搬送ロボットを各
エアロック室の前にそれぞれ設けており、しかも大気圧
側の各キャリアは回転式のキャリア台によって各ウェー
ハ搬送ロボットの方に向けられるので、ウェーハ搬送ロ
ボットを従来例のようにスライドさせる必要がなくな
る。その結果、ウェーハの搬送時間が短縮されてスルー
プットが向上する他、スライド時のような急な加速・減
速を必要としないのでウェーハの位置ずれによる搬送ト
ラブルを防止することができ、かつパーティクルの発生
も減る。
エアロック室の前にそれぞれ設けており、しかも大気圧
側の各キャリアは回転式のキャリア台によって各ウェー
ハ搬送ロボットの方に向けられるので、ウェーハ搬送ロ
ボットを従来例のようにスライドさせる必要がなくな
る。その結果、ウェーハの搬送時間が短縮されてスルー
プットが向上する他、スライド時のような急な加速・減
速を必要としないのでウェーハの位置ずれによる搬送ト
ラブルを防止することができ、かつパーティクルの発生
も減る。
【００２０】
【実施例】図１は、この考案の一実施例に係るウェーハ
処理装置を示す平面図であり、キャリア台にキャリアを
設置した時の状態を示す。図２は、ウェーハを搬送する
時の状態を示す。図３の従来例と同一または相当する部
分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との
相違点を主に説明する。
処理装置を示す平面図であり、キャリア台にキャリアを
設置した時の状態を示す。図２は、ウェーハを搬送する
時の状態を示す。図３の従来例と同一または相当する部
分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との
相違点を主に説明する。
【００２１】この実施例においては、前述したような各
エアロック室６の前であって各エアロック室６の中心線
３６上に、前述したような機能を有するウェーハ搬送ロ
ボット１４を１台ずつ設置している。両ウェーハ搬送ロ
ボット１４は固定されており、従来例のリニアモータ２
０のようなものは設けていない。
エアロック室６の前であって各エアロック室６の中心線
３６上に、前述したような機能を有するウェーハ搬送ロ
ボット１４を１台ずつ設置している。両ウェーハ搬送ロ
ボット１４は固定されており、従来例のリニアモータ２
０のようなものは設けていない。
【００２２】また、キャリアステージ３０には、前述し
たようなキャリア３２をそれぞれ装着することができ、
かつ各キャリア３２が、図１に示すように互いにほぼ平
行に向く状態と、図２に示すように対応するウェーハ搬
送ロボット１４の方に向く状態とに回転可能なキャリア
台３４をこの例では４台並設している。その内、右側の
２台はこの例ではロード側のものであり、右側の上記中
心線３６を中心に等間隔で配置されている。左側の２台
はこの例ではアンロード側のものであり、左側の中心線
３６を中心に等間隔で配置されている。
たようなキャリア３２をそれぞれ装着することができ、
かつ各キャリア３２が、図１に示すように互いにほぼ平
行に向く状態と、図２に示すように対応するウェーハ搬
送ロボット１４の方に向く状態とに回転可能なキャリア
台３４をこの例では４台並設している。その内、右側の
２台はこの例ではロード側のものであり、右側の上記中
心線３６を中心に等間隔で配置されている。左側の２台
はこの例ではアンロード側のものであり、左側の中心線
３６を中心に等間隔で配置されている。
【００２３】また、前述したオリフラ合わせ装置２４
は、２台のウェーハ搬送ロボット１４の中央に設置して
いる。
は、２台のウェーハ搬送ロボット１４の中央に設置して
いる。
【００２４】このウェーハ処理装置の動作例を説明する
と、この実施例でも例えば図１の右側のエアロック室６
側をロード側とし、左側のエアロック室６側をアンロー
ド側とした場合、右側２台のキャリア台３４には未処理
のウェーハ２を収納したキャリア３２が装着され、左側
２台のキャリア台３４には空のキャリア３２が装着され
る。
と、この実施例でも例えば図１の右側のエアロック室６
側をロード側とし、左側のエアロック室６側をアンロー
ド側とした場合、右側２台のキャリア台３４には未処理
のウェーハ２を収納したキャリア３２が装着され、左側
２台のキャリア台３４には空のキャリア３２が装着され
る。
【００２５】ウェーハ２を搬送する時は、図２に示すよ
うに、各キャリア台３４が回転して、ロード側の二つの
キャリア３２はロード側のウェーハ搬送ロボット１４の
方に、アンロード側の二つのキャリア３２はアンロード
側のウェーハ搬送ロボット１４の方にそれぞれ向けられ
る。
うに、各キャリア台３４が回転して、ロード側の二つの
キャリア３２はロード側のウェーハ搬送ロボット１４の
方に、アンロード側の二つのキャリア３２はアンロード
側のウェーハ搬送ロボット１４の方にそれぞれ向けられ
る。
【００２６】次に、ロード側のウェーハ搬送ロボット１
４がそのアーム１６〜１８を延ばしかつ上下させて、目
的のキャリア３２からウェーハ２を１枚取り出した後、
回転を行ってオリフラ合わせ装置２４の方に向き、それ
にウェーハ２を渡す。
４がそのアーム１６〜１８を延ばしかつ上下させて、目
的のキャリア３２からウェーハ２を１枚取り出した後、
回転を行ってオリフラ合わせ装置２４の方に向き、それ
にウェーハ２を渡す。
【００２７】オリフラ合わせ装置２４では、従来例と同
様にウェーハ２のセンタリングとオリエンテーションフ
ラットの位置合わせが行われ、それが済むと、同ウェー
ハ搬送ロボット１４は、当該ウェーハ２を取り出し、ロ
ード側のエアロック室６の方に回転し、アーム１６〜１
８を伸ばしかつ上下させて、ウェーハ２を同エアロック
室６内の一時預けキャリア１２に納める。勿論その時は
真空弁１０は開かれている。
様にウェーハ２のセンタリングとオリエンテーションフ
ラットの位置合わせが行われ、それが済むと、同ウェー
ハ搬送ロボット１４は、当該ウェーハ２を取り出し、ロ
ード側のエアロック室６の方に回転し、アーム１６〜１
８を伸ばしかつ上下させて、ウェーハ２を同エアロック
室６内の一時預けキャリア１２に納める。勿論その時は
真空弁１０は開かれている。
【００２８】上記のような動作が、ロード側の各キャリ
ア３２のウェーハ２ごとに行われる。
ア３２のウェーハ２ごとに行われる。
【００２９】ロード側の一時預けキャリア１２へ所要枚
数のウェーハ２の収納が完了すると、真空弁１０を閉
じ、同エアロック室６内を真空排気した後、真空弁８を
開いてウェーハ２を処理室４内に図示しない搬送装置に
よって搬送し、そこで所望の処理（例えばイオン注入）
が行われる。
数のウェーハ２の収納が完了すると、真空弁１０を閉
じ、同エアロック室６内を真空排気した後、真空弁８を
開いてウェーハ２を処理室４内に図示しない搬送装置に
よって搬送し、そこで所望の処理（例えばイオン注入）
が行われる。
【００３０】処理後のウェーハ２は、アンロード側のエ
アロック室６内の一時預けキャリア１２内に一旦集めら
れ、その後、同エアロック室６の前のウェーハ搬送ロボ
ット１４によって、目的のキャリア３２内に納められ
る。
アロック室６内の一時預けキャリア１２内に一旦集めら
れ、その後、同エアロック室６の前のウェーハ搬送ロボ
ット１４によって、目的のキャリア３２内に納められ
る。
【００３１】上記構成によれば、ウェーハ搬送ロボット
１４は従来例のようにスライドさせる必要がないため、
ウェーハ２の搬送距離が短くなって搬送時間が短縮さ
れ、それによってスループットが向上する。
１４は従来例のようにスライドさせる必要がないため、
ウェーハ２の搬送距離が短くなって搬送時間が短縮さ
れ、それによってスループットが向上する。
【００３２】また、ウェーハ搬送ロボット１４はスライ
ドさせる必要がなく、従来のスライド時のような急な加
速・減速を必要としないので、オリフラ合わせ装置２４
でセンタリングおよびオリエンテーションフラット合わ
せを行ったウェーハ２の位置ずれを防止することがで
き、それによって搬送トラブルの発生を減らすことがで
きる。
ドさせる必要がなく、従来のスライド時のような急な加
速・減速を必要としないので、オリフラ合わせ装置２４
でセンタリングおよびオリエンテーションフラット合わ
せを行ったウェーハ２の位置ずれを防止することがで
き、それによって搬送トラブルの発生を減らすことがで
きる。
【００３３】また、ウェーハ搬送ロボット１４をスライ
ドさせなくて済むので、スライド機構部分からのパーテ
ィクルの発生がなくなり、パーティクルの低減を図るこ
とができる。
ドさせなくて済むので、スライド機構部分からのパーテ
ィクルの発生がなくなり、パーティクルの低減を図るこ
とができる。
【００３４】なお、ウェーハ搬送ロボットは、上記ウェ
ーハ搬送ロボット１４と同等の機能を有するものであれ
ば良く、必ずしも先に説明したような構造に限られるも
のではない。
ーハ搬送ロボット１４と同等の機能を有するものであれ
ば良く、必ずしも先に説明したような構造に限られるも
のではない。
【００３５】また、二つのウェーハ搬送ロボット１４お
よびそれに関連する装置等は、必ずしも上記例のように
図の右側がロード側、左側がアンロード側である必要は
なく、その逆でも良く、またロード、アンロードと明確
に区別しなくても良い。
よびそれに関連する装置等は、必ずしも上記例のように
図の右側がロード側、左側がアンロード側である必要は
なく、その逆でも良く、またロード、アンロードと明確
に区別しなくても良い。
【００３６】
【考案の効果】以上のようにこの考案によれば、ウェー
ハ搬送ロボットを各エアロック室の前にそれぞれ設けて
おり、しかも大気圧側の各キャリアを、回転式のキャリ
ア台によって、対応するウェーハ搬送ロボットの方に向
けることができるので、ウェーハ搬送ロボットを従来例
のようにスライドさせる必要がなくなる。その結果、ウ
ェーハの搬送時間が短縮されてスループットが向上する
他、スライド時のような急な加速・減速を必要としない
のでウェーハの位置ずれによる搬送トラブルを防止する
ことができ、かつパーティクルの発生も減る。しかも、
大気圧側の各キャリアは、回転式のキャリア台によっ
て、互いにほぼ平行に向けることができるので、キャリ
ア台に対するキャリアの着脱も容易である。
ハ搬送ロボットを各エアロック室の前にそれぞれ設けて
おり、しかも大気圧側の各キャリアを、回転式のキャリ
ア台によって、対応するウェーハ搬送ロボットの方に向
けることができるので、ウェーハ搬送ロボットを従来例
のようにスライドさせる必要がなくなる。その結果、ウ
ェーハの搬送時間が短縮されてスループットが向上する
他、スライド時のような急な加速・減速を必要としない
のでウェーハの位置ずれによる搬送トラブルを防止する
ことができ、かつパーティクルの発生も減る。しかも、
大気圧側の各キャリアは、回転式のキャリア台によっ
て、互いにほぼ平行に向けることができるので、キャリ
ア台に対するキャリアの着脱も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この考案の一実施例に係るウェーハ処理装置
を示す平面図であり、キャリア台にキャリアを設置した
時の状態を示す。
を示す平面図であり、キャリア台にキャリアを設置した
時の状態を示す。
【図２】 この考案の一実施例に係るウェーハ処理装置
を示す平面図であり、ウェーハを搬送する時の状態を示
す。
を示す平面図であり、ウェーハを搬送する時の状態を示
す。
【図３】 従来のウェーハ処理装置の一例を示す平面図
である。
である。
【図４】 ウェーハ搬送ロボットの一例を示す概略側面
図である。
図である。
２ ウェーハ ４ 処理室 ６ エアロック室 ８，１０ 真空弁 １２ 一時預けキャリア １４ ウェーハ搬送ロボット ２４ オリフラ合わせ装置 ３２ キャリア ３４ キャリア台
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハを処理する処理室と、この処理
室に真空弁をそれぞれ介して隣接されておりかつ大気圧
側との間にも真空弁がそれぞれ設けられた二つのエアロ
ック室と、両エアロック室内にそれぞれ設けられてい
て、複数枚のウェーハを収納可能な二つの一時預けキャ
リアと、両エアロック室の前にそれぞれ設けられてい
て、ウェーハ支持部を水平面内で二次元的に移動かつ上
下動させる機能をそれぞれ有する二つのウェーハ搬送ロ
ボットと、両ロボットの間に設けられていて、ウェーハ
のセンタリングおよびオリエンテーションフラットの位
置合わせを行うオリフラ合わせ装置と、両ウェーハ搬送
ロボットのエアロック室とは反対側にそれぞれ複数台ず
つ並設されていて、複数枚のウェーハを収納可能なキャ
リアをそれぞれ装着することができ、かつ各キャリアが
互いにほぼ平行に向く状態と、対応するウェーハ搬送ロ
ボットの方に向く状態とに回転可能なキャリア台とを備
えることを特徴とするウェーハ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991067275U JP2570580Y2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | ウェーハ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991067275U JP2570580Y2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | ウェーハ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0510463U JPH0510463U (ja) | 1993-02-09 |
| JP2570580Y2 true JP2570580Y2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=13340258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991067275U Expired - Fee Related JP2570580Y2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | ウェーハ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2570580Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60221252A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-05 | Toyoda Mach Works Ltd | 循環式搬送体に対する工作物着脱装置 |
-
1991
- 1991-07-29 JP JP1991067275U patent/JP2570580Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0510463U (ja) | 1993-02-09 |
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