JPH0510463U - ウエーハ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェーハ処理装置において、スループットの
向上、搬送トラブルの低減およびパーティクルの低減を
図る。 【構成】 二つのエアロック室６の前にウェーハ搬送ロ
ボット１４を１台ずつ設置し、キャリアステージ３０
に、キャリア３２を各ウェーハ搬送ロボット１４の方へ
向けることができるように回転可能なキャリア台３４を
４台並設している。また、オリフラ合わせ装置２４は、
２台のウェーハ搬送ロボット１４の中央に設置してい
る。これにより、ウェーハ搬送ロボット１４を従来例の
ようにスライドさせる必要はなくなる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置のように、処理室内でウェーハにイオン注 入等の処理を施すウェーハ処理装置に関し、より具体的には、そのウェーハ搬送 システムの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種のウェーハ処理装置の従来例を図３に示す。このウェーハ処理装置は、 ウェーハ２を処理する（例えばイオンビームを照射してイオン注入を行う）処理 室４と、この処理室４に真空弁８をそれぞれ介して隣接されておりかつ大気圧側 との間にも真空弁１０がそれぞれ設けられた二つのエアロック室６を備えている 。両エアロック室６は、ウェーハ２を大気圧側と処理室４との間で出し入れする ためのものである。各室４、６は、図示しない真空排気装置によってそれぞれ真 空排気される。

【０００３】 各エアロック室６内には、処理前または処理後の複数枚のウェーハ２を収納可 能なキャリア１２がそれぞれ設けられている。

【０００４】 両エアロック室６の前には、固定部２１およびその上で矢印Ａのようにスライ ドする移動台２２から成るリニアモータ２０が設けられており、この移動台２２ にウェーハ搬送ロボット１４が載せられている。

【０００５】 ウェーハ搬送ロボット１４は、例えば図４に示すような、三つの回転可能なア ーム１６〜１８を有し、かつそれらを上下動させることができる多関節ロボット である。従って、アーム１８の先端部のウェーハ支持部（フォークと呼ばれるも のを設ける場合もある）を、水平面内で二次元的に移動かつ上下動させることが できる。

【０００６】 リニアモータ２０のエアロック室６とは反対側にはキャリアステージ３０が設 けられており、そこに、この例では四つのキャリア３２が載置されている。各キ ャリア３２は、それぞれ、複数枚のウェーハ２を収納可能である。

【０００７】 また、リニアモータ２０のスライド方向横には、ウェーハ２を吸着する吸着ヘ ッド２６と、ウェーハ２の中心やオリエンテーションフラットを検出するセンサ ー部２８とを有していて、ウェーハ２のセンタリングおよびオリエンテーション フラットの位置合わせを行うオリフラ合わせ装置２４が設けられている。

【０００８】 このウェーハ処理装置の動作例を説明すると、例えば図３の右側のエアロック 室６側をロード側（供給側）とし、左側のエアロック室６側をアンロード側（回 収側）とした場合、キャリアステージ３０の右半分には未処理のウェーハ２を収 納したキャリア３２が設置され、左半分には空のキャリア３２が設置される（そ れぞれキャリア３２を二つとしているのは、例えばそれらを処理を中断すること なく交互に交換できるようにするためである）。

【０００９】 キャリア３２が設置されると、ウェーハ搬送ロボット１４がロード側の目的の キャリア３２の前までスライドし（より厳密に言うと、リニアモータ２０によっ てロボット１４がスライドさせられ）、そのアーム１８によって目的のキャリア ３２から１枚のウェーハ２を取り出した後、オリフラ合わせ装置２４の所まで更 にスライドしてそれにウェーハ２を渡す。

【００１０】 オリフラ合わせ装置２４では、ウェーハ２のセンタリングとオリエンテーショ ンフラットの位置合わせが行われ、それが済むと、ウェーハ搬送ロボット１４は 、当該ウェーハ２を取り出し、ロード側のエアロック室６の前までスライドし、 同エアロック室６内のキャリア１２にウェーハ２を納める。このとき真空弁１０ は開かれている。

【００１１】 上記のような動作が、ロード側の各キャリア３２のウェーハ２ごとに行われる 。

【００１２】 ロード側のキャリア１２へ所要枚数のウェーハ２の収納が完了すると、真空弁 １０を閉じ、同エアロック室６内を真空排気した後、真空弁８を開いてウェーハ ２を処理室４内に図示しない搬送装置によって搬送し、そこで所望の処理（例え ばイオン注入）が行われる。

【００１３】 処理後のウェーハ２は、アンロード側のエアロック室６内のキャリア１２内に 一旦集められ、その後同エアロック室６の前にスライドしたウェーハ搬送ロボッ ト１４によって目的のキャリア３２に納められる。

【００１４】

【考案が解決しようとする課題】

上記ウェーハ処理装置においては、ウェーハ搬送ロボット１４が各キャリア３ ２、オリフラ合わせ装置２４および各エアロック室６の間を移動するため全体の 移動距離が非常に長くなってウェーハ搬送時間が長くなり、そのためスループッ トが低いという問題がある。

【００１５】 一般的にウェーハ搬送時間を短くするためにウェーハ搬送ロボット１４が載せ られた移動台２２を速く移動するようにスピードを上げたりするが、そのように すると、移動台２２の急な加速・減速が行われるため、オリフラ合わせ装置２４ でセンタリングおよびオリフラ合わせを行った後のウェーハ２がエアロック室６ へ搬送される時にその中心やオリエンテーションフラットに位置ずれを生じる可 能性がある。

【００１６】 また、ウェーハ搬送ロボット１４を載せた移動台２２がスライドすることによ って、そのガイド部等からパーティクル（ごみ等）が発生し、これがウェーハ２ に付着するという問題もある。

【００１７】 そこでこの考案は、上記のような点を改善して、スループットの向上、搬送ト ラブルの低減およびパーティクルの低減を図ることを主たる目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案のウェーハ処理装置は、ウェーハを処理す る処理室と、この処理室に真空弁をそれぞれ介して隣接されておりかつ大気圧側 との間にも真空弁がそれぞれ設けられた二つのエアロック室と、両エアロック室 内にそれぞれ設けられていて、複数枚のウェーハを収納可能な二つのキャリアと 、両エアロック室の前にそれぞれ設けられていて、ウェーハ支持部を水平面内で 二次元的に移動かつ上下動させる機能をそれぞれ有する二つのウェーハ搬送ロボ ットと、両ロボットの間に設けられていて、ウェーハのセンタリングおよびオリ エンテーションフラットの位置合わせを行うオリフラ合わせ装置と、両ウェーハ 搬送ロボットのエアロック室とは反対側にそれぞれ複数台ずつ並設されていて、 複数枚のウェーハを収納可能なキャリアをそれぞれ装着することができ、かつ各 キャリアを各ウェーハ搬送ロボットの方へ向けることができるように回転可能な キャリア台とを備えることを特徴とする。

【００１９】

【作用】

上記構成によれば、ウェーハ搬送ロボットを各エアロック室の前にそれぞれ設 けており、しかも大気圧側の各キャリアは回転式のキャリア台によって各ウェー ハ搬送ロボットの方に向けられるので、ウェーハ搬送ロボットを従来例のように スライドさせる必要がなくなる。その結果、ウェーハの搬送時間が短縮されてス ループットが向上する他、スライド時のような急な加速・減速を必要としないの でウェーハの位置ずれによる搬送トラブルを防止することができ、かつパーティ クルの発生も減る。

【００２０】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係るウェーハ処理装置を示す平面図であり、キ ャリア台にキャリアを設置した時の状態を示す。図２は、ウェーハを搬送する時 の状態を示す。図３の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以 下においては当該従来例との相違点を主に説明する。

【００２１】 この実施例においては、前述したような各エアロック室６の前であって各エア ロック室６の中心線３６上に、前述したような機能を有するウェーハ搬送ロボッ ト１４を１台ずつ設置している。両ウェーハ搬送ロボット１４は固定されており 、従来例のリニアモータ２０のようなものは設けていない。

【００２２】 また、キャリアステージ３０には、前述したようなキャリア３２をそれぞれ装 着することができ、かつ各キャリア３２を図２に示すように各ウェーハ搬送ロボ ット１４の方へ向けることができるように回転可能なキャリア台３４をこの例で は４台並設している。その内、右側の２台はこの例ではロード側のものであり、 右側の上記中心線３６を中心に等間隔で配置されている。左側の２台はこの例で はアンロード側のものであり、左側の中心線３６を中心に等間隔で配置されてい る。

【００２３】 また、前述したオリフラ合わせ装置２４は、２台のウェーハ搬送ロボット１４ の中央に設置している。

【００２４】 このウェーハ処理装置の動作例を説明すると、この実施例でも例えば図１の右 側のエアロック室６側をロード側とし、左側のエアロック室６側をアンロード側 とした場合、右側２台のキャリア台３４には未処理のウェーハ２を収納したキャ リア３２が装着され、左側２台のキャリア台３４には空のキャリア３２が装着さ れる。

【００２５】 ウェーハ２を搬送する時は、図２に示すように、各キャリア台３４が回転して 、ロード側の二つのキャリア３２はロード側のウェーハ搬送ロボット１４の方に 、アンロード側の二つのキャリア３２はアンロード側のウェーハ搬送ロボット１ ４の方にそれぞれ向けられる。

【００２６】 次に、ロード側のウェーハ搬送ロボット１４がそのアーム１６〜１８を延ばし かつ上下させて、目的のキャリア３２からウェーハ２を１枚取り出した後、回転 を行ってオリフラ合わせ装置２４の方に向き、それにウェーハ２を渡す。

【００２７】 オリフラ合わせ装置２４では、従来例と同様にウェーハ２のセンタリングとオ リエンテーションフラットの位置合わせが行われ、それが済むと、同ウェーハ搬 送ロボット１４は、当該ウェーハ２を取り出し、ロード側のエアロック室６の方 に回転し、アーム１６〜１８を伸ばしかつ上下させて、ウェーハ２を同エアロッ ク室６内のキャリア１２に納める。勿論その時は真空弁１０は開かれている。

【００２８】 上記のような動作が、ロード側の各キャリア３２のウェーハ２ごとに行われる 。

【００２９】 ロード側のキャリア１２へ所要枚数のウェーハ２の収納が完了すると、真空弁 １０を閉じ、同エアロック室６内を真空排気した後、真空弁８を開いてウェーハ ２を処理室４内に図示しない搬送装置によって搬送し、そこで所望の処理（例え ばイオン注入）が行われる。

【００３０】 処理後のウェーハ２は、アンロード側のエアロック室６内のキャリア１２内に 一旦集められ、その後、同エアロック室６の前のウェーハ搬送ロボット１４によ って、目的のキャリア３２内に納められる。

【００３１】 上記構成によれば、ウェーハ搬送ロボット１４は従来例のようにスライドさせ る必要がないため、ウェーハ２の搬送距離が短くなって搬送時間が短縮され、そ れによってスループットが向上する。

【００３２】 また、ウェーハ搬送ロボット１４はスライドさせる必要がなく、従来のスライ ド時のような急な加速・減速を必要としないので、オリフラ合わせ装置２４でセ ンタリングおよびオリエンテーションフラット合わせを行ったウェーハ２の位置 ずれを防止することができ、それによって搬送トラブルの発生を減らすことがで きる。

【００３３】 また、ウェーハ搬送ロボット１４をスライドさせなくて済むので、スライド機 構部分からのパーティクルの発生がなくなり、パーティクルの低減を図ることが できる。

【００３４】 なお、ウェーハ搬送ロボットは、上記ウェーハ搬送ロボット１４と同等の機能 を有するものであれば良く、必ずしも先に説明したような構造に限られるもので はない。

【００３５】 また、二つのウェーハ搬送ロボット１４およびそれに関連する装置等は、必ず しも上記例のように図の右側がロード側、左側がアンロード側である必要はなく 、その逆でも良く、またロード、アンロードと明確に区別しなくても良い。

【００３６】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、ウェーハ搬送ロボットを各エアロック室の前 にそれぞれ設けており、しかも大気圧側の各キャリアは回転式のキャリア台によ って各ウェーハ搬送ロボットの方に向けられるので、ウェーハ搬送ロボットを従 来例のようにスライドさせる必要がなくなる。その結果、ウェーハの搬送時間が 短縮されてスループットが向上する他、スライド時のような急な加速・減速を必 要としないのでウェーハの位置ずれによる搬送トラブルを防止することができ、 かつパーティクルの発生も減る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例に係るウェーハ処理装置
を示す平面図であり、キャリア台にキャリアを設置した
時の状態を示す。

【図２】 この考案の一実施例に係るウェーハ処理装置
を示す平面図であり、ウェーハを搬送する時の状態を示
す。

【図３】 従来のウェーハ処理装置の一例を示す平面図
である。

【図４】 ウェーハ搬送ロボットの一例を示す概略側面
図である。

【符号の説明】

２ ウェーハ ４ 処理室 ６ エアロック室 ８，１０ 真空弁 １２ キャリア １４ ウェーハ搬送ロボット ２４ オリフラ合わせ装置 ３２ キャリア ３４ キャリア台

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 ウェーハを処理する処理室と、この処理
   室に真空弁をそれぞれ介して隣接されておりかつ大気圧
   側との間にも真空弁がそれぞれ設けられた二つのエアロ
   ック室と、両エアロック室内にそれぞれ設けられてい
   て、複数枚のウェーハを収納可能な二つのキャリアと、
   両エアロック室の前にそれぞれ設けられていて、ウェー
   ハ支持部を水平面内で二次元的に移動かつ上下動させる
   機能をそれぞれ有する二つのウェーハ搬送ロボットと、
   両ロボットの間に設けられていて、ウェーハのセンタリ
   ングおよびオリエンテーションフラットの位置合わせを
   行うオリフラ合わせ装置と、両ウェーハ搬送ロボットの
   エアロック室とは反対側にそれぞれ複数台ずつ並設され
   ていて、複数枚のウェーハを収納可能なキャリアをそれ
   ぞれ装着することができ、かつ各キャリアを各ウェーハ
   搬送ロボットの方へ向けることができるように回転可能
   なキャリア台とを備えることを特徴とするウェーハ処理
   装置。