KR101433773B1 - 복수의 웨이퍼 핸들링 능력이 있는 이송 기구 - Google Patents

복수의 웨이퍼 핸들링 능력이 있는 이송 기구 Download PDF

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Abstract

객체 움직임을 정렬 또는 식별과 같은 다른 기능들과 일체화하여서, 이송 장비를 개선하는 일체화된 로봇식 기구가 개시된다. 개시된 일체화된 로봇 조립체는 복수의 워크피스들을 이동시키는 멀티 엔드 이펙터와, 하나의 워크피스를 이동시키는 싱글 엔드 이펙터와, 정렬 능력을 제공하도록 로봇 몸체 상에 병합된 회전 척과, 이송 동안 객체를 식별하기 위한 선택적인 식별 서브시스템을 포함한다. 분류기 또는 스토커 장비에서, 처리 장비에서, 그리고 이송 시스템에서 본 발명에 따른 로봇 조립체가 사용될 수 있다.

Description

복수의 웨이퍼 핸들링 능력이 있는 이송 기구{TRANSFER MECHANISM WITH MULTIPLE WAFER HANDLING CAPABILITY}
본 발명은 복수의 웨이퍼 핸들링 능력이 있는 이송 기구에 관한 것이다.
자동화에 있어서 특히 설비(facilities) 제조 및 장비(equipments) 제조에 있어서 로봇 조립체들을 중요한 구성요소이다. 예를 들어 반도체 산업에 있어서 반도체 웨이퍼들, 평판 패널 디스플레이, LCD, 레티클들, 마스크들, 또는 캐리어 박스들을 핸들링하는 데에 로봇 아암들이 사용된다.
반도체 제조 설비에 있어서, 일반적으로 캐리어 박스들에 저장된, 워크피스들을 하나의 지점(location)으로부터 다른 지점으로, 하나의 장비로부터 다른 장비로 이송하는데에 로봇이 사용될 수 있다. 일 프로세스 시스템에 있어서, 캐리어 박스들로부터 워크피스들을 제거하는 데에 로봇이 일반적으로 사용되고 그리고 그 후 로드락 내로 로딩된다. 로드락으로부터 프로세스 챔버 내로 그리고 하나의 프로세스 챔버로부터 다른 프로세스 챔버로 워크피스를 이동시키는 데에 다른 로봇이 사용될 수 있다. 따라서 프로세스 시스템 내에는 복수의 로봇들이 존재할 수 있고 각각은 특정한 일을 하도록 설계된다. 프로세스 시스템은 증착 시스템, 식각 시스템, 리소그래피 시스템, 계측 시스템(metrology system), 검사 시스템(inspection system), 임플란트 시스템(implantation system), 처리 시스템(treatment system), 또는 임의의 워크피스 프로세스 시스템일 수 있다.
다른 유형의 장비는 특정한 바람직한 순서로 워크피스들을 분류하도록 설계된 스태커(stacker)와 같은 추가적인(supplemental) 장비이다. 일반적인 베어(bare) 스태커 시스템에 있어서, 캐리어 박스들로부터 워크피스들을 제거하는 데에 로봇이 일반적으로 사용되고 그리고 그 후 로드락 내로 로딩된다. 로드락으로부터 저장 챔버 - 여기서 워크피스들이 원래의 캐리어 박스들 없이 저장된다 - 내로 워크피스를 이동시키는 데에 다른 로봇이 사용될 수 있다. 박스 스태커 시스템에 있어서, 캐리어 박스들 밖으로 워크피스들을 제거할 필요 없이 캐리어 박스들과 함께 워크피스들이 저장된다.
로봇 핸들링은 오버헤드 작업으로 간주될 수 있는데, 로봇 핸들링의 목적이 지점들 간에 워크피스들을 이송하는 것이기 때문이다. 따라서 제조 설비의 효율성을 향상시키고 이로써 장비의 처리율을 향상시키기 위해서, 로봇들의 더 빠른 움직임과 다수의 로봇 조립체들이 사용될 수 있다. 따라서 몇몇 장비는 다수의 워크피스들을 이송하는 것을 허용하기 위한 다수의 캐리어 아암들을 구비하는 로봇 조립체를 제공한다. 다수의 캐리어 아암들은 일반적으로 독립적이지 아니하므로 따라서 최적 효율이 실현될 수 없다. 다른 로봇 구성은 독립적으로 움직일 수 있는 다수의 독립적인 로봇 아암들을 포함하여서 하나의 로봇에 의한 처리율을 본질적으로 두 배로 할 수 있다.
제조 프로세스들의 개선으로 인하여, 더 높은 처리율, 더 작은 풋프린트(footprint), 및 더 나은 기능성에 대한 필요가 생겨났다. 이송 기구를 객체 식별 및 객체 정렬과 같은 다른 능력들과 결합하는 일체화된(integrated) 로봇 조립체는 이러한 필요를 크게 개선할 수 있다.
본 발명은 복수의 워크피스들 또는 다수의 워크피스들을 이송하도록 구성된, 워크피스 이송 방법 및 장치를 개시한다. 예시적인 일 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 이송 기구는 복수의 워크피스들 또는 다수의 워크피스들을 이송하기 위한 멀티 엔드 이펙터와 하나의 워크피스를 이송하기 위한 싱글 엔드 이펙터를 구비하는 로봇 아암을 포함한다. 일 양태(aspect)에 있어서, 싱글 엔드 이펙터는 멀티 엔드 이펙터 내 워크피스들을 핸들링하도록 구성될 수 있다. 측부 에지들(side edges)로터 워크피스들을 핸들링하도록 멀티 엔드 이펙터가 구성될 수 있고 그리고 윗면 및 바닥으로부터 워크피스를 핸들링하도록 싱글 엔드 이펙터가 구성될 수 있다. 이러한 구성은 엔드 이펙터들이 서로에 대하여 위 또는 아래로 이동하는 것에 의한 일 차원 이동으로 엔드 이펙터들 간에 워크피스의 핸들링을 제공한다.
멀티 엔드 이펙터는 프로세스 챔버로부터 또는 프로세스 챔버로 동시에 복수의 워크피스들 또는 다수의 워크피스들을 이송할 수 있다. 프로세스 챔버로부터/로 또는 멀티 엔드 이펙터로부터/로 싱글 엔드 이펙터가 하나의 워크피스를 이송할 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 로봇 아암은 멀티 엔드 이펙터를 사용하여 카세트와 같은 스테이션으로부터 워크피스 더미(stack)를 이송할 수 있고 싱글 엔드 이펙터를 사용하여 복수의 다른 스테이션들에 워크피스들을 재분배(re-distribute)할 수 있다. 대안적으로, 본 발명에 따른 로봇 아암은 복수의 프로세스 챔버들로부터 워크피스들을 회수(retrieve)할 수 있고 멀티 엔드 이펙터에 저장할 수 있고 다른 스테이션으로 워크피스들의 전체 더미를 둘 수 있다. 따라서 워크피스 분류기(sorter) 또는 워크피스 분배기(distributor)에 대하여 본 발명에 따른 로봇 아암이 사용될 수 있다. 워크피스들의 전체 더미를 동시에 이송하는 것은 특히 카세트 로드락과 같은 높은 오버헤드를 가지는 스테이션들에 대하여 이송 처리율을 향상시킬 수 있다.
일 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 로봇 아암은 정렬기(aligner) 또는 ID 판독기(reader) 능력을 더 포함한다. 일 양태에 있어서, 정렬기/판독기는 로봇 아암의 몸체 내에, 바람직하게는 싱글 엔드 이펙터에 인접하여 배치된다. 정렬기는 싱글 엔드 이펙터 아래에 위치된 회전 척을 포함할 수 있다. 따라서 정렬기로부터의 및 정렬기로의 워크피스의 이송이 싱글 엔드 이펙터에 의해서 핸들링될 수 있다. 워크피스를 엔드 이펙터 그립의 구속으로부터 풀기 위해(clear) 회전 척과 싱글 엔드 이펙터는 상대적인 업/다운 이동을 포함할 수 있다. 워크피스 센터링은 별도의 센터링 기구를 통해서 수행될 수 있거나 또는 회전 척에 의한 워크피스 중심의 로케이팅과 싱글 엔드 이펙터에 의한 척 중심으로의 회귀(return)를 통해서 수행될 수 있다. 바람직하게는 OCR 능력을 가진 ID 판독기가 ID 표지들을 읽고 워크피스를 식별하기 위하여 정렬기 근방에 배치될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 로봇 아암의 일 실시예를 도식적으로 나타낸다.
도 2a는 연장된 멀티 엔드 이펙터를 구비하는 일 실시예를 나타낸다.
도 2b는 연장된 싱글 엔드 이펙터를 구비하는 일 실시예를 나타낸다.
도 2c는 멀티 엔드 이펙터로부터 워크피스를 취하는 싱글 엔드 이펙터를 구비하는 일 실시예를 나타낸다.
도 2d는 멀티 엔드 이펙터로부터 연장된 싱글 엔드 이펙터를 구비하는 일 실시예를 나타낸다.
도 3a 및 도 3b는 예시적인 회수 시퀀스(retrieval sequence)를 나타낸다.
도 4a 내지 도 4c는 다른 예시적인 회수 시퀀스를 나타낸다.
도 5a 내지 도 5c는 다른 예시적인 회수 시퀀스를 나타낸다.
도 6a 내지 도 6b는 예시적인 배속 시퀀스(placing sequence)를 나타낸다.
도 7a 내지 도 7c는 다른 예시적인 배속 시퀀스를 나타낸다.
도 8a 내지 도 8c는 다른 예시적인 배속 시퀀스를 나타낸다.
도 9a 내지 도 9g는 예시적인 이송 시퀀스를 사시도로서 나타낸다.
본 발명은 제고 설비에서의 개선된 워크피스 플로우를 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 개선은 객체 이송 이동(object transport movement)에 다른 능력들을 일체화하는 것을 포함할 수 있고 이로써 잠재적으로 처리율이 향상되고 기능들이 더해지고 풋프린트가 감소된다. 마이크로전자기기의 제조에 있어서 반도체 워크피스들의 처리 동안, 수백 프로세스 단계들에 대하여 서로 다른 장비들이 채용된다. 워크피스의 프로세스 플로우는 본질적으로 직렬이고, 툴들의 대부분이 워크피스들 상에서 하나씩 동작한다. 본 발명은 장비 내 그리고 제조 설비 내 워크피스들의 연속적인 플로우를 보증하는 방식으로 워크피스들의 핸들링 또는 이동을 제공한다.
따라서 본 발명은 예시적인 일 실시예에 있어서, 워크피스들을 움직이는 동작들을 수행하는 복수의 엔드 이펙터들과 같은 멀티 이송 기구들을 제공한다. 웨이퍼 또는 레티클 스토커 스테이션과 같은 스테이션이 한 쌍의 로봇들 또는 워크피스 이송 기구들에 의해서 중심적에 두어진다(is centrally served). 각각의 이송은 부재를 따르는 축 방향 움직임 능력과 아암의 피봇식 또는 연결식(articulated) 움직임 능력이 있다. 축방향 움직임은 로드 락 내에 위치하고 있는 캐리어와 스테이션들 간에 워크피스들을 이동시키는 데에 사용되고 연결식 아암은 스테이션들 간을 스윙하는 것과 같은 스테이션들 내에서 보다 속박된 움직임(constrained motions)에 대하여 사용된다.
본 발명은 반도체 웨이퍼들, 레티클들, 평판 패널 디스플레이들과 같은 워크피스들 또는 반도체 제조 객체들의 이송 장비를 개선하기 위한 장치와 방법을 개시한다. 일 실시예에 있어서, 본 발명은 동시에 또는 일렬로 복수의 워크피스들을 이송하도록 구성되고 선택적으로 객체 이송을 객체 식별, 객체 정렬 또는 객체 센터링과 같은 다른 기능들과 결합하도록 구성된 일체화된 로봇 조립체를 개시한다. 예시적인 워크피스 이송 기구는 하나의 워크피스를 이송하는 능력과 함께 복수의 워크피스들을 동시에 이송하는 능력을 가진 로봇 아암을 포함한다. 워크피스 이송 장치는 복수의 워크피스들을 일시적으로 저장하는 능력과 임시 저장으로부터 워크피스을 동시에 또는 하나씩 이송하는 능력을 가질 수 있다. 객체 식별 서브시스템은 객체에 새겨진 표지들을 읽기 위한 OCR 구성요소를 포함할 수 있다. 이러한 기능은 처리율 감소가 없는 또는 최소한도의 처리율 감소가 있는, 처리될 객체의 식별 및 확인(confirmation)을 제공한다. 객체 정렬 서브시스템은 객체를 지향 표지(orientation mark)까지 회전시키는 회전 척을 포함할 수 있다. 이러한 기능은 처리될 객체의 인-시츄(in-situ) 정렬을 제공한다.
일 실시예에 있어서, 본 발명은 동시적인 이동들을 위한 방법을 포함한다. 개시된 방법은 웨이퍼들을 이송하기 위한 프론트 엔드 모듈과 같은 객체 이송에 또는 웨이퍼 분류기 또는 스토커와 같은 객체 분류기에 적용될 수 있다. 동시적인 이동들의 움직임은 하나의 웨이퍼 위치로부터 다른 웨이퍼 위치로 로봇 시스템을 움직이는 것을 포함한다. 동시적인 이동들의 다른 움직임은 웨이퍼 식별 동작, 웨이퍼 ID 서치 동작, 웨이퍼 정렬 동작 또는 웨이퍼 센터링 동작을 포함한다.
일 양태에 있어서, 로봇 몸체의 움직임과 동시에 발생하는 동시적인 이동들은 객체 센터링, 객체 회전, 객체 정렬, 객체 ID 로케이팅 및/또는 객체 판독을 포함한다. 객체 센터링은 센터링 기구에 의해서 성취될 수 있다. 객체 회전 및 객체 정렬은 회전가능한 척의 회전을 통해 객체를 회전시키는 것에 의해서 수행될 수 있다. 객체 판독은 OCR 판독기에 의해서 성취될 수 있다. 객체 ID 로케이팅은 정적인 판독기와 회전하는 객체에 의해서나 또는 객체 주위를 회전하는 판독기에 의해서 수행될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 본 발명은 로봇 몸체와 상기 로봇 몸체에 커플링된 복수의 엔드 이펙터들과 상기 로봇 몸체에 커플링된 회전 척과 및/또는 상기 로봇 몸체 또는 상기 엔드 이펙터에 커플링된 판독기를 포함하는 일체화된 로봇 조립체를 개시한다. 로봇 조립체는 바람직하게는 이송 챔버, 프론트 엔드 모듈 또는 프론트 인터페이스 기구와 같은 이송 환경에서 배치된다.
일 양태에 있어서, 로봇 몸체는 프로세스 챔버, 로드락 챔버, FOUP(front end unified pod), 또는 FOSB(front opening shipping box)와 같은 챔버의 안으로 또는 밖으로 객체를 이동시키는 복수의 엔드 이펙터들을 지지할 수 있다. 오른쪽 위치에 엔드 이펙터를 배치하고 객체를 받거나 또는 배속하는 데에 필요한 움직임들을 로봇 몸체가 제공한다. 로봇 몸체는 적층 구조인 모든 객체들 또는 챔버들에 접근하도록(address) 예를 들어 z-방향 움직임을 포함할 수 있다. 원형 또는 둘러싸인 배치로 배열된 챔버들을 받기 위해서 로봇 몸체는 쎄타 움직임을 포함할 수 있다. 선형 배치로 배열된 챔버들을 받기 위해서 로봇 몸체는 금속제 레일(traverse track) 또는 직선 가이드와 같은 선형 움직임을 포함할 수 있다.
엔드 이펙터는 이송 환경으로부터 그리고 상기 이송 환경에 커플링된 복수의 프로세스 챔버 또는 저장 챔버(예를 들어 FOUP)로부터/로 객체를 가져오거나/가져다놓는 연장 움직임과 수축되는 움직임을 제공한다. 엔드 이펙터의 연장하는 움직임과 수축되는 움직임은 바람직하게는 연결식 조인트 아암들 또는 직선형 가이드들을 통한 선형 움직임들을 포함하지만, 임의의 기계적인 움직임들이 될 수 있다. 엔드 이펙터는 또한 객체들을 리프팅하기 위한 리프팅 움직임(예를 들어 z-방향)을 제공할 수 있다. 엔드 이펙터는 객체를 홀딩하기 위한 에지 그리핑, 공기 쿠션, 또는 진공 석션을 포함할 수 있다. 엔드 이펙터는 객체를 지지하기 위한 및 미끄러짐을 막기 위한 지지 패드들을 포함할 수 있다. 엔드 이펙터는 객체를 홀딩하기 위한 진공 포트들을 포함할 수 있다. 엔드 이펙터는 에지 접촉 핸들링을 위한 에지 그립들을 포함할 수 있다. 나아가, 엔드 이펙터는 공기 쿠션을 제공하기 위한 복수의 가스 포트들을 제공할 수 있고, 이로써 엔트 이펙터의 어떤 부분에도 닿지 아니하면서 객체가 공기 갭 상에 뜰 수 있다. 엔드 이펙터는 객체의 미끄러짐(slippage)을 막기 위한 에지 핀들을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 워크피스 이송 장치는 복수의 워크피스들을 이송하기 위한 멀티 엔드 이펙터와 하나의 워크피스를 이송하기 위한 싱글 엔드 이펙터를 구비하는 로봇 아암을 포함한다. 임의의 수의 워크피스들을 예를 들어 25개의 8" 웨이퍼들 또는 13개의 12" 웨이퍼들의 일 카세트 로드를 핸들링하도록 멀티 엔드 이펙터가 구성될 수 있다. 워크피스들의 일 보트 로드를 수집할 수 있고 모든 워크피스들을 동시에 또는 하나씩 종착까지 이송할 수 있는 능력을 가진, 일시적인 및 제거가능한 저장 영역으로서 멀티 엔드 이펙터가 구성될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 예시적인 워크피스 이송 장치를 나타낸다. 상기 장치는 로봇 아암 몸체(10) - 멀티 엔드 이펙터(14)를 수납함 - 와 싱글 엔드 이펙터 12를 포함한다. 선택적인 정렬/판독 기구(11)가 몸체(10) 상에 배치될 수 있다. 멀티 엔드 이펙터(14)는 복수의 워크피스들(16*)를 지지하고 싱글 엔드 이펙터(12)는 하나의 워크피스(16)를 지지한다.
도 2a는 멀티 엔드 이펙터(14)의 예시적인 움직임 프로세스를 나타낸다. 종착 스테이션을 향하여 뻗고 복수의 워크피스들을 운반하여 이들 워크피스들을 종착 스테이션까지 동시에 이송하는 멀티 엔드 이펙터가 도시된다. 수축 위치(966)에 싱글 엔드 이펙터가 도시되어 있지만, 움직임 프로세스 동안 연장될 수도 있다. 도 2b는 싱글 엔드 이펙터(12)의 예시적인 움직임 프로세스를 나타낸다. 싱글 엔드 이펙터가 종착 스테이션을 향하여 뻗어지고 하나의 워크피스를 이송한다. 이러한 도면에 있어서, 멀티 엔드 이펙터가 수축 위치(926)에 있는 것으로 도시되었지만 움직임 프로세스 동안 뻗어질 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 싱글 엔드 이펙터는 멀티 엔드 이펙터 내 워크피스들을 핸들링하도록 구성될 수 있다. 멀티 엔드 이펙터는 측부 에지들로부터 워크피시들을 핸들링하도록 구성될 수 있고 이로써 싱글 엔드 이펙터가 멀티 엔드 이펙터의 윗 또는 바닥으로부터/으로 워크피스를 받거나 배속하는 것이 허용된다. 이러한 구성은 엔드 이펙터가 서로에 대하여 위로 또는 아래로 움직이는, 일 차원 이동에 의한 엔드 이펙터들 간 워크피스들의 핸들링을 제공한다.
도 2c는 멀티 엔드 이펙터와 싱글 엔드 이펙터 사이에서의 예시적인 움직임 프로세스를 나타낸다. 싱글 엔드 이펙터는 그것이 멀티 엔드 이펙터로부터 바닥 워크피스에 이를 때까지 위로 움직일 수 있다. 이러한 구성에 있어서, 바닥으로부터 위로 순차적으로 멀티 엔드 이펙터 내 워크피스들에 싱글 엔드 이펙터가 접근할 수 있다. 다른 구성들도 가능한데, 예를 들어 싱글 엔드 이펙터가 무작위로 또는 위로부터 아래로 워크피스들에 접근할 수 있다. 싱글 엔드 이펙터는 업 위치(952)로부터 연장되어서 워크피스를 최종 스테이션까지 가져갈 수 있다. 도 2d는 멀티 엔드 이펙터와 싱글 엔드 이펙터 간의 다른 예시적인 움직임 프로세스를 나타낸다. 로봇 몸체(10)는 싱글 엔드 이펙터가 멀티 엔드 이펙터로부터 바닥 워크피스에 이를 때까지 아래로 이동할 수 있다. 싱글 엔드 이펙터는 이 위치로부터 연장되어서 워크피스를 종착 스테이션까지 가져갈 수 있다. 일반적으로, 멀티 엔드 이펙터의 위치에 대하여 어디서로부터든지 싱글 엔드 이펙터가 연장될 수 있다. 싱글 엔드 이펙터는 또한 연장된 위치(976) 내에서 위로 및 아래로 움직일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 로봇 아암은 정렬기 능력 또는 ID 판독기 능력을 추가적으로 포함한다. 일 양태에 있어서, 정렬기/판독기는 로봇 아암의 몸체 내에 바람직하게는 싱글 엔드 이펙터에 근접하여 배치된다. 정렬기는 싱글 엔드 이펙터 아래에 위치된 회전 척을 포함할 수 있다. 이로써 정렬기로부터의 및 정렬기로의 워크피스의 이송은 싱글 엔드 이펙터에 의해서 핸들링될 수 있다. 워크피스를 엔드 이펙터 그립의 구속으로부터 풀기 위해(clear) 회전 척과 싱글 엔드 이펙터는 상대적인 업/다운 이동을 포함할 수 있다. 워크피스 센터링은 별도의 센터링 기구를 통해서 수행될 수 있거나 또는 회전 척에 의한 워크피스 중심의 로케이팅과 싱글 엔드 이펙터에 의한 척 중심으로의 회귀(return)를 통해서 수행될 수 있다. 바람직하게는 OCR 능력을 가진 ID 판독기가 ID 표지들을 읽고 워크피스를 식별하기 위하여 정렬기 근방에 배치될 수 있다.
본 발명은 또한 동시에 또는 하나씩 복수의 워크피스들을 이송하는 방법을 개시한다. 멀티 엔드 이펙터는 동시에 복수의 워크피스들을 핸들링할 수 있다. 싱글 엔드 이펙터는 스테이션으로부터/로 또는 멀티 엔드 이펙터로부터/로 한 번에 하나의 워크피스를 핸들링할 수 있다. 예를 들어, 본 발명에 따른 로봇 아암은 멀티 엔드 이펙터를 사용하여 카세트와 같은 스테이션으로부터 워크피스 더미를 이송할 수 있고 싱글 엔드 이펙터를 사용하여 복수의 다른 스테인션들로 워크피스들을 재분배할 수 있다. 대안적으로, 본 발명에 따른 로봇 아암은 멀티 엔드 이펙터에 저장된 복수의 프로세스 챔버들로부터 워크피스들을 회수할 수 있고 다른 스테이션으로 워크피스들의 전체 더미를 배속시킬 수 있다. 멀티 엔드 이펙터는 또한 워크피스들의 저장소로서 작용할 수 있고 바람직하게는 워크피스 운반(transit) 동안 일시적인 저장소로서 작용할 수 있다. 이들 가능한 구성들에 의해서, 본 발명에 따른 로봇 아암은 다양한 복잡한 워크피스 이송 시퀀스들을 수행할 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 로봇 아암은 특히 정렬기/판독기의 도움으로 워크피스 분류기 또는 워크피스 분배기에 사용될 수 있다. 워크피스의 전체 더미를 동시에 이송하는 것은 특히 카세트 로드락과 같은 큰 오버헤드를 가지는 스테이션들에 대하여 이송 처리율을 향상시킬 수 있다.
도 3 내지 도 5는 복수의 공급 스테이션들로부터 가능한 워크피스 회수 시퀀스들을 나타내고, 도 6 내지 도 8은 복수의 종착 스테이션들로의 가능한 워크피스 배속 시퀀스들을 나타낸다. 도 3은 멀티 엔드 이펙터를 사용하여 공급 스테이션으로부터의 예시적인 워크피스 회수 시퀀스를 나타낸다. 도 3a는 공급 스테이션에 면하는 로봇 아암을 나타낸다. 공급 스테이션은 이송될 복수의 워크피스들을 포함한다. 로봇 아암은 멀티 엔드 이펙터를 사용하여 공급 스테이션으로부터 복수의 워크피스들을 집고 원래의 위치로 복귀(retreat back)시키거나 또는 종착까지 옮긴다(도 3b). 공급 스테이션에서의 워크피스들의 수 및 멀티 엔드 이펙터에서의 슬롯들의 수에 따라서, 공급 스테이션 내 모든 또는 일부의 워크피스들이 회수될 수 있다. 스테이션은 멀티 엔드 이펙터를 수용하도록 설계될 수 있고, 따라서 예를 들어 25 슬롯 엔드 이펙터가 스테이션으로부터 예를 들어 5 워크피스들을 회수할 수 있다. 도 3은 공급 스테이션 내 모든 워크피스들이 회수되는 예시적인 실시예를 나타내지만, 다른 실시예들에서는 일부의 워크피스들만이 집어질 수 있다. 워크피스들의 더미 이송은 공급 스테이션 내 워크피스들을 빠르게 비울 수(claer) 있고 이로써 오버헤드가 큰 스테이션에 대하여 잠재적으로 이로울 수 있다. 예를 들어, 공급 스테이션은 준비 전에 벤팅과 펌핑에 상당한 시간을 요하는 로드락일 수 있다. 더미 이송은 로드락을 빠르게 비울 수 있고 이로써 멀티 엔드 이펙터 내 일시적인 저장소로부터 워크피스들이 처리되는 것이 계속될 수 있는 동안 로드락의 벤팅 및 펌핑을 허용한다.
도 4는 일시적인 저장소로서 멀티 엔드 이펙터를 그리고 회수 수단으로서 싱글 엔드 이펙터를 사용하는 공급 스테이션으로부터의 예시적인 워크피스 회수 시퀀스를 나타낸다. 도 4a는 복수의 워크피스들을 포함하는 공급 스테이션에 면하는 로봇 아암을 나타낸다. 싱글 엔드 이펙터는 공급 스테이션으로부터 워크피스들을 하나씩 또는 무작위로 회수할 수 있다. 공급 스테이션으로부터의 각각의 워크피스는 싱글 엔드 이펙터에 의해서 무작위로 집어질 수 있고 멀티 엔드 이펙터에 배속될 수 있다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 공급 스테이션 내에서 무작위인 지점들에서 네 개의 워크피스들이 회수되고 멀티 엔드 이펙터에 배속된다. 이러한 구성에 있어서, 싱글 엔드 이펙터는 바닥으로부터 멀티 엔드 이펙터에 접근하고 이로써 멀티 엔드 이펙터 내에서 위로부터 아래로 워크피스들이 순차적으로 저장된다. 설계에 따라서 멀티 엔드 이펙터의 다른 저장 구성들이 가능하다. 도시된 바와 같이, 멀티 엔드 이펙터 내에서 내 개의 워크피스를 싱글 엔트 이펙터가 여전히 핸들링하면서, 네 개의 워크피스들이 회수되어진다. 워크피스 회수는 공급 스테이션으로부터 어떤 임의의 수의 워크피스들을 회수할 수 있다. 예를 들어 워크피스 이송은 단지 네 개의 워크피스들이 회수될 것을 필요로 하는 도 4b에서 중단될 수 있다. 이송은 도 4c에 도시된 바와 같이 공급 스테이션으로부터 모든 워크피스들을 회수할 수도 있다.
싱글 엔드 이펙터에 의해서 워크피스들이 핸들링되는 동안, 로봇 아암 몸체 상에 위치된 선택적인 정렬기/판독기가 워크피스들의 ID 표지를 정렬하고 센터링하고 판독할 수 있다. 예를 들어, 싱글 엔드 이펙터가 안착 위치까지 워크피스를 회수한 후에, 선택적인 워크피스 센터링 기구가 워크피스를 센터링할 수 있다. 이어서 회전 척을 통해서 웨이퍼 중심을 찾아 낸 후에 센터링 위치까지 워크피스를 되돌려 움직임으로써 싱글 엔드 이펙터가 워크피스를 센터링할 수 있다.
동시적인 웨이퍼 정렬이 또한 수행될 수 있다. 엔드 이펙터 안착 위치에서, 웨이퍼가 엔트 이펙터의 구속으로부터 벗어나도록 회전 척이 올려진다. 이어서 노치, 평편부 또는 ID 찾기 기구에 따라서 노치까지 평편부까지 또는 웨이퍼 ID 지점까지 웨이퍼를 정렬하도록 회전 척이 회전할 수 있다. 정렬이 완료된 후에, 회적 척은 낮추어지고 그리고 엔드 이펙터 상에 웨이퍼가 다시 안착된다. 일반적으로 안정한 회전에 필요한 중심을 제공하기 위한 웨이퍼 정렬 전에 웨이퍼 센터링이 수행된다.
동시적인 웨이퍼 식별이 또한 수행될 수 있다. OCR 서브시스템과 같은 웨이퍼 식별 조립체가 웨이퍼 ID를 읽을 수 있다. 웨이퍼 식별 서브시스템은 웨이퍼 ID가 알려진 지점에 위치될 수 있다. 웨이퍼 식별 서브시스템 아래에 웨이퍼를 위치시키도록 웨이퍼가 회전되는 웨이퍼 정렬 서브시스템에 웨이퍼 식별 서브시스템이 의존할 수 있다. 웨이퍼 ID를 찾기 위해 웨이퍼 식별 서브시스템이 회전하는 웨이퍼 정렬 서브시스템에 웨이퍼 식별 서브시스템이 의존할 수 있다.
도 5는 복수의 공급 스테이션들로부터의 예시적인 워크피스 회수 시퀀스를 나타낸다. 도 5a는 복수의 워크피스들을 담고 있는 공급 스테이션들에 면하는 로봇 아암을 나타낸다. 싱글 엔드 이펙터는 공급 스테이션들로부터 워크피스들을 회수할 수 있고 멀티 엔드 이펙터 내에 배속시킬 수 있다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 공급 스테이션들 내 세 개의 워크피스들이 회수되고 멀티 엔드 이펙터에 배속된다. 이송은 또한 도 5c에 도시된 바와 같이, 공급 스테이션들로부터 모든 워크피스들을 회수할 수도 있다. 싱글 엔드 이펙터에 의한 이송에는 멀티 엔드 이펙터에의 저장 이전에 정렬, 센터링 및 ID 판독이 동반될 수 있다.
도 6 내지 도 8은 복수의 종착 스테이션들로의 세 개의 워크피스 배속 시퀀스들을 나타낸다. 도 6a 및 도 6b는 멀티 엔드 이펙터를 사용하는 종착 스테이션으로의 예시적인 워크피스 배속 시퀀스를 나타낸다. 이 동작은 스테이션의 짧은 액세스 시간을 가질 수 있어서, 스테이션이 펌핑 또는 벤팅과 같은 다른 일들을 수행하는 것을 허용한다. 도 7a, 도 7b 및 도 7c; 그리고 도 8a, 도 8b 및 도 8c는 복수의 종착 스테이션들로의 임시 저장소로서 멀티 엔드 이펙터를 사용하는 다른 예시적인 워크피스 배속 시퀀스를 나타낸다. 싱글 엔드 이펙터는 멀티 엔드 이펙터로부터 종착 스테이션들로 순차적으로 워크피스들을 이송시킬 수 있다. 이러한 배속 작업은 무작위적일 수 있어서, 워크피스가 더미의 바닥으로부터 집어졌을지라도, 그것이 종착 스테이션의 또는 다른 종착 스테이션의 어디에든지 배속될 수 잇다. 이러한 작업은 임의의 종착 스테이션으로 워크피스들 더미가 분류될 수 있는 워크피스 분류기의 능력을 제공한다. 로봇 몸체에 빌트-인된 선택적인 정렬기/판독기 스테이션에 의해서, 싱글 엔드 이펙터는 워크피스 분류기 작업 동안 효율적으로 워크피스를 정렬하고 센터링하고 식별할 수 있다.
완전한 워크피스 이송 기구는 도 3 내지 도 5의 워크피스 회수 시퀀스와 도 6 내지 도 8의 워크피스 배속 시퀀스를 포함할 수 있다. 필요와 이용가능한 구성들에 따라서 임의의 조합이 가능하다.
도 9a 내지 도 9g는 예시적인 워크피스 이송 시퀀스를 3D로 나타낸다. 도 9a에서 전체 조립체의 적어도 일 측방향 움직임(a side movement, 906), 멀티 엔드 이펙터의 상향 움직임(912) 및 싱글 엔드 이펙터의 상향 움직임(914)과 함께, 리프트 및 회전 척(918)을 구비하는 단일 웨이퍼 로봇(904) 및 25 개 웨이퍼 로봇(902)을 포함하는 로봇 아암 구성(900)이 도시된다. 다른 움직임들은 멀티 엔드 이펙터와 싱글 엔드 이펙터의 연장 및 수축을 포함한다. 도 9b는 로봇 아암이 FOUP 1과 같은 공급 스테이션에 면하도록 이동하는 것(920)을 나타낸다. 도 9c는 멀티 엔드 이펙터가 FOUP 1으로부터 웨이퍼들을 예를 들어 25개의 웨이퍼들을 회수하는 것(930)을 나타낸다. 도 9d는 로봇 아암이 FOUP 2와 같은 종착 스테이션으로 움직이는 것(940)을 나타낸다. 도 9e는 싱글 엔드 이펙터가 멀티 엔드 이펙터로부터 가장 아랫 웨이퍼를 집는 것(950)을 나타낸다. 도 9f는 회전 척으로 이송하기 위한 에지 그립 및 웨이퍼 수축(edge grip and wafer retract, 960)을 나타낸다. 정렬기/판독기 스테이션은 노치, 평편부와 같은 정렬 표지를 찾을 수 있고 웨이퍼를 센터링할 수 있고 그리고 ID OCR 판독을 수행할 수 있다. 웨이퍼를 식별한 후에, 회전 척은 예를 들어 진공 석션 릴리스와 에지 그립 수행을 디척(dechuck)한다. 이어서, 로봇 아암은 적절한 슬롯까지 이동한다. 도 9g는 싱글 엔드 이펙터가 종착 FOUP 2 내 적절한 슬롯까지 정렬되고/센터링되고/식별된 웨이퍼를 배속시키는 것(970)을 나타낸다.
로봇 조립체는 복수의 연결식 조인트 아암들을 포함할 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 예시적인 로봇은 선형 움직임을 예를 들어 워크피스를 받기 위한 예를 들어 뻗음과 수축을 포함할 수 있고, 연결식 아암의 회전 세타 움직임을 포함할 수 있고 워크피스들을 올리거나 내리는 수직 z 움직임을 포함할 수 있다. 복수의 워크 피스들을 이송하는 로봇 조립체는, 복수의 워크피스들(932)을 지지하는 제 1 지지부를 포함하는 멀티 엔드 이펙터(902); 멀티 엔드 이펙터를 수축 위치(926) 및 연장 위치(936)사이에서 이동시키도록 구성되는 제 1 이동 기구(934); 하나의 워크 피스(972)를 지지하는 제 2 지지부를 포함하는 싱글 엔드 이펙터(904); 싱글 엔드 이펙터를 수축 위치(966) 및 연장 위치(976) 사이에서 이동시키도록 구성되는 제 2 이동 기구(974); 및 싱글 엔드 이펙터를 다운 위치(942) 및 복수의 업위치들(952) 사이에서 이동시키도록 구성된 제 3 이동기구(903)를 포함한다. 로봇 조립체는 로봇 조립체를 워크피스 스테이션으로 이동시키도록 제 4 이동 기구(907)를 또한 포함할 수 있다. 로봇들은 선형 트랙(linear track), 멀티-세그먼트 연결식 아암, 프로그 아암들(frog arms), 스위블 아암들(swivel arms), 가위 및 텔레스코픽(telescopic) 기구, 4절 링크 기구와 같은 워크피스의 움직임을 수행하는 몇몇 다른 기구들을 포함할 수 있다. 중력 또는 에지 그립 힘을 사용하는 것과 같이, 워크피스를 받기 위한 엔드 이펙터를 로봇 아암이 포함할 수 있다. 선형 움직임과 회전 움직임의 조합과 같은 로봇의 움직임들은 일반적으로 높은 가속을 피하도록 설계된다.
로봇 조립체를 위한 이송 기구는 서로 무관하게 구동되는 복수의 로봇 아암들을 포함할 수 있다. 따라서 로봇 아암은 움직임에 있어서 높은 자유도를 가지고 많은 장소들에 도달할 능력을 가질 수 있다. 로봇 조립체의 동작들은 컴퓨터 시스템에 의해서 제어될 수 있다.
복수의 워크피스들을 핸들링할 능력을 가진 로봇 아암은 로봇 핸들링의 효율성을 증가시킬 수 있다. 동기화 장치(synchronous device)를 구비한 서보 모터들과 같은 모터들에 의해서 로봇 조립체가 구성될 수 있다. 각 조인트에서의 멀티 자유도와 4 아암 세그먼트들을 로봇 조립체가 포함할 수 있다. 로봇 아암은 선형 아암들에서의 r, 세타 및 z 구속들 없이 사실상 모든 방향으로 움직일 수 있다. 로봇은 단지 제1 아암에 대한 하나의 모터 제어만을 구비할 수 있는데 이 때 제2 아암은 제1 아암의 움직임에 의존할 수 있다. 로봇은 또한 두 개의 모터 제어들을 즉 제1 아암을 회전시키는 것에 대한 하나와 제2 아암을 회전시키는 것에 대한 하나를 구비할 수 있다. 이 경우 제2 아암은 제1 아암과는 독립적으로 움직일 수 있다.
예시적인 일 실시예에 있어서, 이송 로봇식 시스템은 복수의 일체화된 로봇 조립체들을 포함할 수 있는데, 각각이 그 자신의, 또는 공유된, 엔드 이펙터들, 웨이퍼 센터링 서브시스템, 회전 척과 같은 웨이퍼 정렬 서브시스템(11) 및/또는 OCR과 같은 웨이퍼 식별 서브시스템(11)을 포함할 수 있다. 다른 예시적인 실시예에 있어서, 이송 로봇식 시스템은 FIM(front interface mechanism) 또는 FEM/EFEM(front end module or equipment front end module)과 같은 이송 시스템에 채용된다. 챔버들은 일체화된 로봇 시스템 주변에 원형 링으로서 배열될 수 있거나, 일체화된 로봇 시스템의 일 측에 직선으로 배열될 수 있거나, 또는 일체화된 로봇 시스템의 양 측에 직선으로 배열될 수 있다.
본 발명에 따른 로봇 조립체는 웨이퍼 분류기 또는 스토커, LCD 분류기 또는 스토커 또는 레티클 분류기 또는 스토커와 같은 분류기 또는 스토커 장비에 사용될 수 있다. 그것은 또한 증착, 식각, 트랙, 리소그래피 노출, 현상 및 베이킹과 같은 프로세스 장비에서도 사용될 수 있다. 그것은 또한 로드락으로부터 버퍼로, 또는 프로세스 챔버로, 저장 챔버로, 또는 분류기 챔버로 워크피스들을 이송하는 데에도 사용될 수 있다. 그것은 또한 워크피스들을 FOUP들로부터 로드락들로 이송하기 위한 프론트 엔드 로더에서도 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 분류기의 일 실시예는, 어레이로 배열된 워크피스들을 구비하는 스토커 저장 영역을 포함한다. 스토커 내로 또는 스토커 밖으로 워크피스들을 이송하기 위하여 이송 로봇이 스토커 어레이의 전방 측에 설치될 수 있다. 스토커 스테이션은 인터베이 멀티레벨 트랙 시스템(interbay multilevel track system)에서의 트랙들과 인터페이스할 수 있다. 다른 로봇 조립체는 스토커와 인터베이 트랙 시스템 사이에서 캐리어들을 움직일 수 있다. 이송 또는 핸들링 능력이 단지 하나의 이송 로봇에 의해서 충분하지 아니할 때, 스토커에서 로트들의 저장이 제2 이송 로봇을 사용하는 것에 의해서 수행될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 포드 조립체(pod assembly)에서 카세트들 간에 워크피스들을 이송하기 위한 프론트 엔드 조립체에서 로봇 조립체가 사용될 수 있다. 프론트 엔드 조립체는 일반적으로 워크피스를 프론트 엔드 모듈 또는 중간 모듈까지 이동시키기 위한 수평 움직임 로봇 조립체를 포함한다.
로봇 조립체는 또한 워크피스 위치설정 센서들, 위치 오차들의 이미지 감지, RF 전기장 감지, 자기 공명 감지, 레이저 스캐닝, 광 탐지기 어레이들에 의한 감지, 모터 동작 감지, 아암 위치 감지, 또는 동작 또는 정비(service)에 관련된 임의의 센서들과 같은 복수의 센서들을 추가적으로 포함할 수 있다. 나아가 센서들은 로봇 조립체의 상태(status) 및 위치지점들(locations)을 제공할 수 있고 이로써 조립체의 남아있는 작동하는(operative) 부분의 최적 이용을 허용하고 또한 조립체의 작동하지 아니하는 부분들을 정비하도록 작업자에게 경보를 발하는 것을 허용한다.

Claims (20)

  1. 몸체;
    복수의 워크피스들을 지지하는 제 1 지지부를 포함하는 멀티 엔드 이펙터; 그리고
    하나의 워크피스를 지지하는 제 2 지지부를 포함하는 싱글 엔드 이펙터;를 포함하며,
    상기 멀티 엔드 이펙터는 상기 몸체의 제 1 부분에 연결되고 상기 몸체의 제 1 부분에 대해 제 1 수축 위치와 제 1 연장 위치 사이에서 이동하도록 구성되며,
    상기 제 1 지지부 및 제 2 지지부는, 상기 싱글 엔드 이펙터가 제 1 지지부에 의해 지지되는 워크피스로 접근할 수 있도록, 워크피스들을 비-중복 위치들에 지지하며,
    상기 싱글 엔드 이펙터는 상기 몸체의 제 2 부분에 연결되고 상기 몸체의 제 2 부분에 대해 제 2 수축 위치와 제 2 연장 위치 사이에서 이동하도록 구성되며,
    상기 제 2 부분은 제 1 부분에 연결되고 상기 제 1 부분에 대해 다운 위치와 복수의 업 위치들 사이에서 이동하도록 구성되며,
    상기 멀티 엔드 이펙터와 싱글 엔드 이펙터는, 상기 몸체가 하나 또는 그보다 많은 워크피스 스테이션들을 향하도록 이동할 때 단일체로서 이동하도록, 몸체에 연결되며,
    상기 멀티 엔드 이펙터와 싱글 엔드 이펙터는 상기 멀티 엔드 이펙터가 제 1 수축 위치에 있을 때 방해 없이 제 2 부분이 제 1 부분에 대해 업 위치와 다운 위치 사이에서 이동하도록 구성되며,
    제 1 연장 위치 또는 제 2 연장 위치는 워크피스 스테이션 내측으로 도달할 수 있으며,
    상기 업 위치들은 상기 싱글 엔드 이펙터가 제 1 지지부에 의해 지지되는 워크피스로 접근할 수 있도록 제 2 지지부를 제 1 지지부에 위치시키며,
    상기 다운 위치는, 상기 멀티 엔드 이펙터로부터 멀리 싱글 엔드 이펙터를 위치시킴으로써, 멀티 엔드 이펙터가 방해 없이 제 1 수축 위치와 제 1 연장 위치 사이에서 이동하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다운 위치의 근방에서 워크피스를 회전시키도록 제 2 부분 상에 배치되는 회전 척을 더 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    회전 척 상의 워크피스의 식별 표지를 판독하도록 로봇 조립체 상에 배치되는 정렬 또는 판독 기구를 더 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 지지부는 측부 에지들로부터 복수의 워크피스들을 지지하고,
    상기 제 2 지지부는 바닥으로부터 하나의 워크피스를 지지하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다운 위치로부터 업 위치로 이동할 때 상기 제 2 부분은 바닥으로부터 위로 순차적으로 상기 멀티 엔드 이펙터의 복수의 워크피스들에 접근하도록 상기 싱글 엔드 이펙터를 선형으로 이동시키는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 싱글 엔드 이펙터는 하나의 워크피스를 상기 멀티 엔드 이펙터와 하나의 워크피스 스테이션 사이에서 이송할 수 있는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  7. 몸체;
    복수의 워크피스들을 지지하기 위한 제 1 지지부로서, 상기 몸체의 제 1 부분에 연결되고 복수의 워크피스들을 제 1 워크피스 스테이션으로부터 받아들이도록 구성되는, 제 1 지지부; 그리고
    하나의 워크피스를 지지하기 위한 제 2 지지부로서, 상기 몸체의 제 2 부분에 연결되고 워크피스를 상기 제 1 지지부와 제 2 워크피스 스테이션 사이에서 이송하도록 구성되는, 제 2 지지부;를 포함하며,
    상기 제 1 부분과 제 2 부분은 상기 몸체가 제 1 또는 제 2 워크피스 스테이션을 향하도록 이동할 때 단일체로서 이동하도록 상기 몸체에 연결되는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 지지부는 제 1 지지부로부터 워크피스를 받아들이도록 구성되고 제 2 지지부로부터 제 2 워크피스 스테이션으로 워크피스를 이송하도록 구성되는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 몸체의 제 2 부분에 연결되고 제 1 지지부와 제 2 워크피스 스테이션 간의 이송 동안 상기 워크피스를 정렬시키도록 구성되는 정렬 기구를 더 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 몸체의 제 2 부분에 연결되고 제 1 지지부와 제 2 워크피스 스테이션 간의 이송 동안 상기 워크피스를 식별하도록 구성되는 정렬 또는 판독 기구를 더 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 지지부는 복수의 워크피스들을 워크피스 스테이션으로부터 또는 워크피스 스테이션으로 이송하도록 구성되며, 상기 제 2 지지부는 제 1 지지부 내의 워크피스를 회수하고 회수된 워크피스들을 기결정된 정렬 표지에 따라서 정렬시키는 정렬기로 이동시키록 구성되는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 로봇 조립체.
  12. 복수의 워크피스 스테이션들을 향하게 하기 위해 단일체로서 이동하도록 몸체에 연결되는 멀티 엔드 이펙터와 싱글 엔드 이펙터를 포함하는 로봇 조립체를 통해서 복수의 워크피스 스테이션들 사이에서 복수의 워크피스들을 이송하는 방법으로서,
    상기 멀티 엔드 이펙터에 의해서 로봇 조립체와 복수의 워크피스 스테이션들 중의 하나의 워크피스 스테이션 사이에서 동시에, 복수의 워크피스들 중의 둘 이상의 워크피스들을 이송하는 단계; 그리고
    상기 싱글 엔드 이펙터에 의해서 상기 멀티 엔드 이펙터와 복수의 워크피스 스테이션들 중의 하나 또는 그보다 많은 워크피스 스테이션들 사이에서 순차적으로, 복수의 워크피스들 중의 각각의 워크피스를 이송하는 단계;를 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    복수의 워크피스들 중의 각각의 워크피스를 이송하는 단계는 상기 워크피스를 정렬 표지에 대해 정렬시키는 단계를 더 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    복수의 워크피스들 중의 각각의 워크피스를 이송하는 단계는 ID 표지를 판독하는 것에 의해서 상기 워크피스를 식별하는 단계를 더 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    복수의 워크피스들 중의 둘 이상의 워크피스를 이송하는 단계는 워크피스 스테이션으로부터 상기 둘 이상의 워크피스들을 회수하거나 또는 상기 둘 이상의 워크피스들을 워크피스 스테이션으로 위치시키는 단계를 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
  16. 제 12 항에 있어서,
    복수의 워크피스들 중의 각각의 워크피스를 이송하는 단계는 상기 로봇 조립체 내의 복수의 워크피스들로부터 각각의 워크피스를 회수하고 각각의 워크피스를 워크피스 스테이션으로 위치시키는 단계를 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    복수의 워크피스들 중의 각각의 워크피스를 이송하는 단계는 워크피스 스테이션으로부터 각각의 워크피스를 회수하고 상기 로봇 조립체 내의 복수의 워크피스들에 각각의 워크피스를 추가하는 단계를 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
  18. 제 12 항에 있어서,
    복수의 워크피스들 중의 각각의 워크피스를 이송하는 단계는 복수의 워크피스들로부터 상기 워크피스들을 분류하는 단계를 포함하는,
    복수의 워크피스들을 이송하는 방법.
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  20. 삭제
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